一種研磨盤平整度測量工具的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種研磨盤平整度測量工具，是一種用于測量鑄鐵研磨盤平整度的測量工具。
【背景技術】
[0002]在晶體材料加工過程中，通常需要對晶體材料進行研磨加工。研磨是介于切割和拋光之間的一道工序，目的是為了去除切割刀痕和晶片減薄，通常是采用鑄鐵研磨盤進行研磨。在研磨過程中鑄鐵研磨盤會產(chǎn)生形變，研磨碳化硅、藍寶石等硬脆材料時變形尤為嚴重。為了保證上下盤的平整度保持在一定范圍內(nèi)，需要每天測量研磨盤盤面平整度，檢測盤面是否達到平整度要求。
[0003]目前，對研磨盤上盤進行平整度測量的方法是:先用布將盤面擦干凈再用氣槍吹干，測量需要三人同時操作，兩個人將平整度測量儀舉起緊貼在上盤盤面，一人用塞尺進行測量。由于平整度測量儀較重，抬舉時比較費力，用力不均勻會影響測量精度，對晶片的研磨帶來安全隱患，并且浪費人力。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]針對現(xiàn)有技術中存在的上述缺陷，本實用新型提供了一種能夠?qū)崿F(xiàn)單人操作、測量精度高、能有效避免研磨盤不平而導致晶片破損的研磨盤平整度測量工具。
[0005]本實用新型是通過如下技術方案來實現(xiàn)的:一種研磨盤平整度測量工具，其包括帶有可升降的升降桿的升降支架、卡槽、平整度測量儀，所述升降桿頂端安裝有萬向節(jié)軸承，所述卡槽下部與所述萬向節(jié)軸承連接，所述平整度測量儀設置在所述卡槽內(nèi)。
[0006]本實用新型中，由于卡槽通過萬向節(jié)軸承連接在升降桿的頂端，因此卡槽可以在一定角度范圍內(nèi)進行擺動，設置在卡槽內(nèi)的平整度測量儀可隨之進行擺動。使用本實用新型進行測量時，將平整度測量儀放置于卡槽內(nèi)，操作升降支架使其升降桿升起，將平整度測量儀上升至研磨盤上盤盤面，通過萬向節(jié)軸承可以調(diào)節(jié)平整度測量儀與上盤盤面吻合。調(diào)節(jié)平整度測量儀與研磨盤上盤盤面垂直度，使得平整度測量儀與上盤盤面緊密結合，用相應厚度塞尺插入平整度測量儀與研磨盤盤面結合處，通過塞尺檢測盤面是否合格。
[0007]利用本實用新型進行測量時，對研磨盤盤面的清理可通過人工手動清理，為了提高效率，本實用新型在所述平整度測量儀內(nèi)設有沿其長度方向設置的進氣孔道，所述進氣孔道的一端通于平整度測量儀的外部，所述平整度測量儀的上端面設有若干個與所述進氣孔道相通的出氣孔。測量時，可通過平整度測量儀的進氣孔道通入壓縮空氣，壓縮空氣自平整度測量儀上的出氣孔吹出，吹向研磨上盤的盤面，將上盤盤面的研磨液吹凈，便于精確測量。
[0008]為了保證平整度測量儀與卡槽之間的固定，所述平整度測量儀與所述卡槽之間設有頂絲。
[0009]本實用新型中的升降桿的升降可采用現(xiàn)有技術中的任何可升降的結構形式，考慮到結構設計的簡單和可靠性，所述升降支架的升降桿通過螺紋進行升降。
[0010]進一步的方案是，為了便于對升降桿進行升降操作，所述升降桿上設有升降把手。通過升降把手可方便地轉動升降桿。
[0011]本實用新型結構簡單，操作方便，能夠保證測量準確度，能有效避免研磨盤不平而導致的晶片破損，且可以實現(xiàn)單人操作，省時省力。
【附圖說明】
[0012]圖1是本實用新型的結構示意圖；
[0013]圖2是本實用新型中的平整度測量儀的剖視示意圖；
[0014]圖3是本實用新型中的卡槽的剖視示意圖；
[0015]圖中，I是升降支架，2是升降把手，3是頂絲，4是平整度測量儀，5是研磨盤上盤，6是出氣孔，7是進氣孔道，8是卡槽，9是萬向節(jié)軸承，10是升降桿，11是底座。
【具體實施方式】
[0016]下面通過非限定性的實施例并結合附圖對本實用新型進一步的說明:
[0017]如附圖所示，一種研磨盤平整度測量工具，其包括升降支架1、卡槽8、平整度測量儀4，升降支架I設有可升降的升降桿10，升降桿10通過螺紋進行升降，升降桿10上設有升降把手2。升降支架I整體固定在底座11上。在升降桿10的頂端安裝有萬向節(jié)軸承9?？ú?為U形件，卡槽8的下部與萬向節(jié)軸承9連接，萬向節(jié)軸承9可帶動卡槽8在一定角度范圍內(nèi)擺動。平整度測量儀4設置在卡槽8的U形槽內(nèi)，卡槽8側面設有頂絲3，通過頂絲3可對平整度測量儀4進行固定。所述平整度測量儀4內(nèi)設有沿其長度方向設置的進氣孔道7，該進氣孔道7的一端通于平整度測量儀4的外部，在平整度測量儀4的上端面設有若干個與所述進氣孔道7相通的出氣孔6。
[0018]利用本實用新型進行測量時，將平整度測量儀4放置于卡槽8內(nèi)，手動旋轉升降把手2使升降桿升起，使平整度測量儀4接近研磨盤上盤5的盤面，打開壓縮氣體，氣體通過平整度測量儀4的進氣孔道7進入從出氣孔6噴出，將上盤盤面上的磨料吹干凈。調(diào)節(jié)平整度測量儀與研磨盤上盤盤面垂直度，使平整度測量儀4上端的測試平面與研磨盤盤面緊密結合，然后塞入相應厚度塞尺進行測量，如塞尺不可拔出，則盤面達到要求，否則需要修盤。
[0019]本實施例中的其他部分采用已知技術，在此不再贅述。
[0020]利用本實用新型進行平整度測量，方便快捷且測量精度高。
【主權項】
1.一種研磨盤平整度測量工具，其特征是:包括帶有可升降的升降桿(10)的升降支架(1)、卡槽(8)、平整度測量儀(4)，所述升降桿(10)頂端安裝有萬向節(jié)軸承(9)，所述卡槽(8)下部與所述萬向節(jié)軸承(9)連接，所述平整度測量儀(4)設置在所述卡槽(8)內(nèi)。
2.根據(jù)權利要求1所述的研磨盤平整度測量工具，其特征是:所述平整度測量儀(4)內(nèi)設有沿其長度方向設置的進氣孔道(7)，所述進氣孔道(7)的一端通于平整度測量儀(4)的外部，所述平整度測量儀(4)的上端面設有若干個與所述進氣孔道(7)相通的出氣孔(6)。
3.根據(jù)權利要求1或2所述的研磨盤平整度測量工具，其特征是:所述平整度測量儀(4)與所述卡槽(8)之間設有頂絲(3)。
4.根據(jù)權利要求1或2所述的研磨盤平整度測量工具，其特征是:所述升降支架(I)的升降桿(10)通過螺紋進行升降。
5.根據(jù)權利要求4所述的研磨盤平整度測量工具，其特征是:所述升降桿(10)上設有升降把手(2)。
【專利摘要】本實用新型公開了一種研磨盤平整度測量工具。其包括帶有可升降的升降桿(10)的升降支架(1)、卡槽(8)、平整度測量儀(4)，所述升降桿(10)頂端安裝有萬向節(jié)軸承(9)，所述卡槽(8)下部與所述萬向節(jié)軸承(9)連接，所述平整度測量儀(4)設置在所述卡槽(8)內(nèi)。本實用新型結構簡單，操作方便，能夠保證測量準確度，能有效避免研磨盤不平而導致的晶片破損，且可以實現(xiàn)單人操作，省時省力。
【IPC分類】G01B5-28
【公開號】CN204514257
【申請?zhí)枴緾N201520262316
【發(fā)明人】宗艷民, 張志海, 高玉強, 梁慶瑞, 孫詩甫, 李秀杰
【申請人】山東天岳晶體材料有限公司
【公開日】2015年7月29日
【申請日】2015年4月27日