專利名稱：基板檢查方法及基板檢查裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種使用拍攝部件安裝基板(下面有時(shí)單稱為“基板”)而得到的圖像來(lái)執(zhí)行部件的有無(wú)、位置偏差、焊接的適當(dāng)與否等的檢查的方法以及實(shí)施該方法的基板檢查裝置。
背景技術(shù)：
申請(qǐng)人開發(fā)了一種用部件安裝基板的圖像來(lái)自動(dòng)檢查部件的安裝狀態(tài)和焊接狀態(tài)的基板檢查裝置(參照專利文獻(xiàn)1)。該基板檢查裝置具有支承檢查對(duì)象的基板的基板臺(tái)；用于拍攝基板的照相機(jī)；用于使基板臺(tái)及照相機(jī)沿水平面移動(dòng)的工作臺(tái)部(X軸工作臺(tái)部、Y軸工作臺(tái)部)等。檢查時(shí)，通過(guò)控制各工作臺(tái)部的動(dòng)作使上述照相機(jī)的視野與基板的規(guī)定區(qū)域?qū)?yīng)，通過(guò)處理在該狀態(tài)下生成的圖像，對(duì)上述區(qū)域內(nèi)的被檢查部位進(jìn)行檢查所需要的測(cè)定，將得到的測(cè)量值與規(guī)定的判定基準(zhǔn)值比較。
專利文件1為JP特開2003-222598號(hào)公報(bào)。
這種檢查裝置中，在檢驗(yàn)之前，進(jìn)行作成各種檢驗(yàn)數(shù)據(jù)而登錄到存儲(chǔ)器中的處理(示教)。在該檢查數(shù)據(jù)中包含有在各檢查部位設(shè)定的檢查區(qū)域的設(shè)定數(shù)據(jù)。檢查時(shí)，在檢查對(duì)象的基板的圖像(以下稱為“處理對(duì)象圖像”)上，基于上述設(shè)定數(shù)據(jù)設(shè)定檢查區(qū)域，通過(guò)對(duì)每個(gè)檢查區(qū)域的圖像分別進(jìn)行處理，進(jìn)行對(duì)各被檢查部位的檢查。
進(jìn)行上述檢查時(shí)，必須調(diào)整基板或照相機(jī)的位置，以使基板上的被檢查部位分別位于與檢查區(qū)域的設(shè)定數(shù)據(jù)相適合的地方。以往一般是在基板的適當(dāng)位置標(biāo)上定位用的標(biāo)記，從運(yùn)入到拍攝區(qū)域的基板的圖像提取上述標(biāo)記，控制X、Y的各工作臺(tái)部的動(dòng)作，以使該提取位置成為預(yù)定的標(biāo)準(zhǔn)位置。
作為公開了與上述調(diào)整處理相同的處理的文獻(xiàn)，列舉下述的專利文獻(xiàn)2。在該專利文獻(xiàn)2中記載了如下內(nèi)容從基板的畫像提取出兩個(gè)定位用的圖形之后，調(diào)整基板臺(tái)的位置，以使連接各圖形的提取位置的線段的中點(diǎn)與連接各圖形的基準(zhǔn)位置的線段的中點(diǎn)一致，而且使基板臺(tái)僅旋轉(zhuǎn)各線段所成角度的程度。
專利文獻(xiàn)2是JP特開平9-15302號(hào)公報(bào)。
但是，如上述專利文獻(xiàn)2那樣控制基板臺(tái)的驅(qū)動(dòng)部的方法中，不能避免該驅(qū)動(dòng)部的性能造成的誤差的影響。特別是由于近年來(lái)的基板在部件的微細(xì)化和高密度化方面不斷發(fā)展，所以即使基板的對(duì)位的誤差很微小，也會(huì)在檢查區(qū)域的設(shè)定上產(chǎn)生問(wèn)題，檢查結(jié)果也可能產(chǎn)生誤差。另外為了減小誤差，需要使用高性能的驅(qū)動(dòng)部，導(dǎo)致成本的增大。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是著眼于上述問(wèn)題而提出的，其目的在于通過(guò)基于軟件處理而調(diào)整相對(duì)于處理對(duì)象圖像的檢查區(qū)域的設(shè)定位置的方法，來(lái)去除基板、照相機(jī)的定位用的臺(tái)部的動(dòng)作量誤差帶來(lái)的影響，以高的精度進(jìn)行對(duì)被檢查部位的檢查區(qū)域的設(shè)定而提高檢查精度。
本發(fā)明的基板檢查方法是使用由拍攝裝置拍攝部件安裝基板而得到的圖像，執(zhí)行相對(duì)于上述基板上的多個(gè)被檢查部位的檢查的方法，其特征在于，包括準(zhǔn)備的步驟和檢查的步驟。
因?yàn)闇?zhǔn)備的步驟與所謂“示教處理”相當(dāng)，所以包括以下的步驟A、步驟B、步驟C、步驟D。
步驟A中，獲取拍攝裝置的視野與基板上的規(guī)定區(qū)域?qū)?yīng)時(shí)應(yīng)得到的基準(zhǔn)圖像。該基準(zhǔn)圖像是通過(guò)將品質(zhì)良好的基準(zhǔn)基板分為多個(gè)區(qū)域而進(jìn)行拍攝，合成按每個(gè)區(qū)域得到的圖像而作成基板的全體圖像的方法而能夠取得的?；蛘撸部梢酝ㄟ^(guò)使攝影裝置與上述基準(zhǔn)基板的規(guī)定位置對(duì)位而進(jìn)行拍攝來(lái)取得。另外，在基板的尺寸較小、該基板全體都能進(jìn)入照相機(jī)的視野時(shí)，能將該基板的全體圖像設(shè)定為基準(zhǔn)圖像。
步驟B中，獲取使拍攝裝置與對(duì)應(yīng)于上述基準(zhǔn)圖像的基板上的區(qū)域?qū)ξ凰枰呐臄z裝置與基板的位置關(guān)系。該位置關(guān)系能夠表示為與拍攝裝置的視野對(duì)應(yīng)的基板上的區(qū)域(以下稱為“拍攝對(duì)象區(qū)域”)的位置數(shù)據(jù)。還有，將上述拍攝對(duì)象區(qū)域內(nèi)的特定位置作為從基板上的規(guī)定的基準(zhǔn)點(diǎn)所見的相對(duì)坐標(biāo)來(lái)表示該位置數(shù)據(jù)也可以。這時(shí)，如果作成上述的基板的全體圖像，則作為上述位置數(shù)據(jù)，也可以求得相對(duì)于全體圖像上的基準(zhǔn)點(diǎn)的相對(duì)坐標(biāo)。另外，因?yàn)榕臄z對(duì)象區(qū)域的大小是通過(guò)拍攝裝置確定的，所以作為上述相對(duì)坐標(biāo)，只要求出拍攝對(duì)象區(qū)域內(nèi)的特定的1點(diǎn)坐標(biāo)就可以。但并不僅限于此，例如，針對(duì)拍攝對(duì)象區(qū)域的左上頂點(diǎn)和右下頂點(diǎn)，分別求得上述相對(duì)坐標(biāo)，來(lái)表示拍攝對(duì)象區(qū)域的位置以及大小也可以。
還有也可以將上述拍攝裝置與基板的位置關(guān)系作為調(diào)整這些位置的工作臺(tái)部的坐標(biāo)來(lái)表示。
步驟C中，在上述基準(zhǔn)圖像上的被檢查部位設(shè)定檢查區(qū)域。
該設(shè)定處理最好使用上述基板的設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)(如CAD數(shù)據(jù))來(lái)進(jìn)行。這時(shí)，使用例如在上述步驟B中取得的位置關(guān)系，根據(jù)基板的設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)提取出與基準(zhǔn)圖像對(duì)應(yīng)的區(qū)域內(nèi)的數(shù)據(jù)，根據(jù)所提取出的數(shù)據(jù)所示的被檢查部位，能夠求出與該部分適合的檢查區(qū)域的位置以及大小。
但是，設(shè)定處理并不限于此，例如，也可以通過(guò)將上述基準(zhǔn)圖像在監(jiān)視器顯示并接受用戶的設(shè)定操作的方法，設(shè)定各檢查區(qū)域。
步驟D中，使在步驟A中獲取的基準(zhǔn)圖像、在步驟B中獲取的拍攝裝置與基板的位置關(guān)系、以及在步驟C中設(shè)定的檢查區(qū)域的相對(duì)于基準(zhǔn)圖像的位置關(guān)系分別建立對(duì)應(yīng)并進(jìn)行登錄。
對(duì)于在步驟C中設(shè)定的檢查區(qū)域，最好登錄在與基準(zhǔn)圖像的位置關(guān)系的基礎(chǔ)上表示檢查區(qū)域的大小的數(shù)據(jù)。例如，作為檢查區(qū)域的位置，在表示相對(duì)于基準(zhǔn)圖像上的特定的點(diǎn)的檢查區(qū)域的特定的點(diǎn)的相對(duì)坐標(biāo)的同時(shí)，作為檢查區(qū)域的大小能表示檢查區(qū)域的各邊的寬度?；蛘?，針對(duì)檢查區(qū)域的左上頂點(diǎn)及右下頂點(diǎn)，分別求得相對(duì)于基準(zhǔn)圖像上的特定的點(diǎn)的相對(duì)坐標(biāo)，通過(guò)這些坐標(biāo)表示檢查區(qū)域的位置及大小也可以。
上述檢查的步驟中，包括有以下的第一、第二、第三、第四的各步驟。
第一步驟中，根據(jù)在上述步驟D中登錄的拍攝裝置和基板的位置關(guān)系，使上述拍攝裝置與檢查對(duì)象的基板對(duì)位而執(zhí)行拍攝，作成處理對(duì)象圖像。該拍攝裝置的對(duì)位是通過(guò)使拍攝裝置及基板的至少一個(gè)的臺(tái)部相對(duì)于另一個(gè)移動(dòng)而進(jìn)行，但這時(shí)如果在臺(tái)部的移動(dòng)量產(chǎn)生誤差，則不能拍攝與基準(zhǔn)圖像相同的區(qū)域，處理對(duì)象圖像相對(duì)于基準(zhǔn)圖像可能會(huì)發(fā)生位置偏差。
第二步驟中，將在上述第一步驟中作成的處理對(duì)象圖像與在上述步驟D中登錄的基準(zhǔn)圖像進(jìn)行對(duì)照，檢測(cè)出相對(duì)于基準(zhǔn)圖像的處理對(duì)象圖像的偏差量。該檢出處理中，最好使處理對(duì)象圖像或基準(zhǔn)圖像相對(duì)于另一方進(jìn)行掃描，按每個(gè)規(guī)定間隔(最好是每個(gè)像素)進(jìn)行基于相關(guān)運(yùn)算和濃淡差分運(yùn)算等的對(duì)照處理，檢測(cè)出成為兩圖像間的類似度為最大的位置關(guān)系時(shí)的偏差量。
另外，檢查對(duì)象的基板的圖像上可能含有不良部分，但不良部分以外的部分處于與基準(zhǔn)圖像接近的狀態(tài)。因此，上述的對(duì)照處理中，考慮到基準(zhǔn)圖像與處理對(duì)象圖像處于適合的位置關(guān)系時(shí)類似度最大，能高精度的檢測(cè)出偏差量。
第三步驟中，通過(guò)在上述第二步驟中檢測(cè)出的偏差量修正在上述步驟D中登錄的檢查區(qū)域與基準(zhǔn)圖像的位置關(guān)系，根據(jù)該修正后的位置關(guān)系，在處理對(duì)象圖像上設(shè)定檢查區(qū)域。
例如，可以使表示相對(duì)于基準(zhǔn)圖像的檢查區(qū)域的位置的坐標(biāo)僅移動(dòng)上述偏差量，在移動(dòng)后的坐標(biāo)的位置上設(shè)定檢查區(qū)域。
第四步驟中，使用在上述第三步驟中設(shè)定的檢查區(qū)域內(nèi)的圖像數(shù)據(jù)執(zhí)行上述檢查用的圖像處理。該圖像處理也可以與上述的專利文獻(xiàn)1等公開的以往的處理相同。還有，為了該第四步驟，在上述準(zhǔn)備的步驟中，也可以按每個(gè)檢查區(qū)域登錄各種檢查數(shù)據(jù)。例如能夠登錄執(zhí)行的程序的種類、2值化閾值等的參數(shù)、計(jì)測(cè)數(shù)據(jù)的基準(zhǔn)值、判定處理用的閾值等。
根據(jù)上述的基板檢查方法，可以將相對(duì)于基板的照相機(jī)的位置從本來(lái)應(yīng)在的位置偏差了多少的情況，通過(guò)軟件處理而提取出，使用該提取結(jié)果修正檢查區(qū)域的設(shè)定位置。因此，無(wú)論臺(tái)部的性能如何，都能高精度的設(shè)定檢查區(qū)域，所以在最后的第四步驟中，能夠不妨礙檢查所需要的圖像處理而執(zhí)行。
以下，對(duì)涉及上述基板檢查方法的兩個(gè)方式進(jìn)行說(shuō)明。
首先在第一方式中，在上述步驟A中包括將品質(zhì)良好的基準(zhǔn)基板分為對(duì)應(yīng)于上述拍攝裝置的視野的大小的多個(gè)區(qū)域(拍攝對(duì)象區(qū)域)，按這些區(qū)域的每一個(gè)執(zhí)行拍攝的步驟A1；合成在步驟A1中生成的每個(gè)區(qū)域的圖像而生成上述基準(zhǔn)基板的全體圖像的步驟A2；在該全體圖像上，設(shè)定包含規(guī)定數(shù)量的被檢查部位、并且對(duì)應(yīng)于上述拍攝裝置的視野的大小的區(qū)域的步驟A3；將在步驟A3中設(shè)定的區(qū)域內(nèi)的圖像設(shè)定為上述基準(zhǔn)圖像的步驟A4。
另外，在上述步驟C中包括從與上述基準(zhǔn)基板對(duì)應(yīng)的基板設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)提取與在上述步驟A4中設(shè)定的基準(zhǔn)圖像對(duì)應(yīng)的區(qū)域內(nèi)的基板設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)的步驟C1；使用所提取的基板設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)，確定相對(duì)于上述基準(zhǔn)圖像的檢查區(qū)域的設(shè)定條件的步驟C2。
上述方式中，步驟A1中，最好將各拍攝對(duì)象區(qū)域以只重合與在上述臺(tái)部的驅(qū)動(dòng)時(shí)產(chǎn)生的誤差對(duì)應(yīng)的寬度的方式進(jìn)行設(shè)定。這時(shí)，步驟A2中，最好將每個(gè)區(qū)域的圖像的上述重合部分按順序重合而作成全體圖像。而且，該重合處理時(shí)，進(jìn)行使用重合部分的圖像信息的圖形匹配處理，基于該匹配結(jié)果調(diào)整圖像的對(duì)應(yīng)關(guān)系，從而能作成更適當(dāng)?shù)娜w圖像。
步驟C1中，基于基板上特定的基準(zhǔn)點(diǎn)(例如基板上的定位標(biāo)記的中心點(diǎn))，使在步驟A中作成的全體圖像與基板設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)的坐標(biāo)系對(duì)應(yīng)后，基于相對(duì)于全體圖像的基準(zhǔn)圖像的位置關(guān)系，能將與基準(zhǔn)圖像對(duì)應(yīng)的區(qū)域的基板設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)提取出。步驟C2中，從提取出的基板設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)中將被檢查部位提取出，設(shè)定與該被檢查部位適合的檢查區(qū)域，可以將該區(qū)域的位置和大小作為檢查區(qū)域的設(shè)定條件。這時(shí)的檢查區(qū)域的位置最好作為相對(duì)于基準(zhǔn)圖像上的特定的點(diǎn)的相對(duì)坐標(biāo)來(lái)表示。這是因?yàn)閷?shí)際的檢查中，取得與基準(zhǔn)圖像對(duì)應(yīng)的圖像后，相對(duì)于該圖像，能夠原樣適用上述相對(duì)坐標(biāo)，能簡(jiǎn)單的設(shè)定檢查區(qū)域的緣故。
另外，適用上述方式的情況的步驟D中，也可以從上述基準(zhǔn)基板的全體圖像僅將在步驟A4中設(shè)定的基準(zhǔn)圖像切出而登錄，將其取代，也可以登錄全體圖像。
進(jìn)而在該第一方式中，在上述步驟A3中，在上述基準(zhǔn)基板的全體圖像上設(shè)定與在上述步驟A1中拍攝使用的區(qū)域?qū)?yīng)的區(qū)域，在上述步驟A4中，將在上述步驟A3中設(shè)定的每個(gè)區(qū)域的圖像分別設(shè)定為單獨(dú)的基準(zhǔn)圖像。如此，檢查時(shí)也以與作成全體圖像的情況相同的條件進(jìn)行拍攝，可將基板在整體上進(jìn)行檢查。
另外，在實(shí)施上述的方法的情況下，也可以將按每個(gè)區(qū)域得到的基準(zhǔn)圖像合成為基板的全體圖像而進(jìn)行登錄。
還有，上述步驟A3中，也可以根據(jù)對(duì)應(yīng)于上述基準(zhǔn)基板的基板設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)，確定相對(duì)于基板上的規(guī)定的被檢查部位的檢查區(qū)域的設(shè)定條件，設(shè)定包含有基于該設(shè)定條件的檢查區(qū)域這樣的區(qū)域。這時(shí)，由于能以與作成全體圖像的情況不同的條件進(jìn)行拍攝，所以即使在全體圖像的作成時(shí)有橫跨位于拍攝對(duì)象區(qū)域間的被檢查部位時(shí)，也可以生成含有該被檢查部位的全體圖像而進(jìn)行檢查，檢查的自由度提高。另外，若以根據(jù)基板設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)作成表示基板全體上的檢查區(qū)域的分布的映像圖像，能夠高效的實(shí)行檢查的方式進(jìn)行拍攝對(duì)象區(qū)域的分配處理，則檢查的效率就能夠提高。
接著，在第二方式中，在步驟A中包括根據(jù)上述基板的設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)，確定相對(duì)于基板上的規(guī)定的被檢查部位的檢查區(qū)域的設(shè)定條件的步驟A1；相對(duì)于品質(zhì)良好的基準(zhǔn)基板，以使基于在上述步驟A1中確定的設(shè)定條件的檢查區(qū)域包含于視野中的方式使上述拍攝裝置對(duì)位而進(jìn)行拍攝，將得到的圖像作為基準(zhǔn)圖像的步驟A2。在步驟C中包括檢測(cè)出上述基準(zhǔn)圖像上的被檢查部位的步驟C1；在上述基準(zhǔn)圖像上檢測(cè)出基于在步驟A1中確定的設(shè)定條件而設(shè)定了檢查區(qū)域時(shí)的相對(duì)于該檢查區(qū)域的被檢查部位的偏差量的步驟C2；根據(jù)在步驟C2中檢測(cè)出的偏差量修正上述檢查區(qū)域的設(shè)定位置的步驟C3。
步驟A中，不作成全體圖像，使用基板設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)在基板上的任意位置確定拍攝對(duì)象區(qū)域，使拍攝裝置與基準(zhǔn)基板的該拍攝對(duì)象區(qū)域?qū)ξ?，能取得基?zhǔn)圖像。但是如果采用這樣的方法，則由于臺(tái)部的動(dòng)作量的誤差的影響，相對(duì)于拍攝對(duì)象區(qū)域，拍攝裝置的視野發(fā)生偏差，可能不能取得正確的基準(zhǔn)圖像。但是，通過(guò)步驟C1、C2的處理，能應(yīng)對(duì)該拍攝裝置的視野的偏差。
步驟C1中，對(duì)應(yīng)于被檢查部位的特征，通過(guò)2值化、邊緣提取等方法，可以從基準(zhǔn)圖像將被檢查部位提取出。或者，也可以從基板設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)將被檢查部位提取出。還有，也可以將基準(zhǔn)圖像在監(jiān)視器上顯示，在該表示畫面上接受指定被檢查部位的操作，而提取出被檢查部位。
步驟C2中，通過(guò)作成表示基于在步驟A1中確定的設(shè)定條件的檢查區(qū)域的分布狀態(tài)的映像圖像，相對(duì)于基準(zhǔn)圖像掃描該映像圖像，從而能檢測(cè)出成為與基準(zhǔn)圖像適合的位置關(guān)系時(shí)(基準(zhǔn)圖像上的所提取出的被檢查部位分別包含在檢測(cè)區(qū)域中的狀態(tài)時(shí))的偏差量。
由于即使上述的方式，也能在基板的任意的位置設(shè)定拍攝對(duì)象區(qū)域而進(jìn)行檢查，所以能提高檢查的效率和自由度。
本發(fā)明的基板檢查裝置具有基板臺(tái)，其將檢查對(duì)象的基板在使上述被檢查部位朝上的狀態(tài)下支承著；拍攝裝置，其用于從上方拍攝上述基板臺(tái)上所支承著的基板；移動(dòng)裝置，其使上述拍攝裝置及基板臺(tái)中的至少一方沿水平方向移動(dòng)；存儲(chǔ)器，其登錄有使上述拍攝裝置的視野與檢查對(duì)象的基板上的規(guī)定區(qū)域?qū)?yīng)時(shí)應(yīng)得到的基準(zhǔn)圖像、得到該基準(zhǔn)圖像時(shí)的拍攝裝置與基板的位置關(guān)系、以及相對(duì)于基準(zhǔn)圖像的檢查區(qū)域的位置關(guān)系；位置調(diào)整裝置，其控制上述移動(dòng)裝置的移動(dòng)量，以使上述拍攝裝置與基板的位置關(guān)系與在存儲(chǔ)器中登錄的位置關(guān)系相同的方式進(jìn)行調(diào)整；處理對(duì)象圖像生成裝置，其在上述位置調(diào)整裝置的調(diào)整后驅(qū)動(dòng)上述拍攝裝置，生成處理對(duì)象圖像；偏差量檢出裝置，其將上述處理對(duì)象圖像與上述基準(zhǔn)圖像對(duì)照，檢測(cè)出相對(duì)于基準(zhǔn)圖像的處理對(duì)象圖像的偏差量；區(qū)域設(shè)定裝置，其根據(jù)上述偏差量檢出裝置檢測(cè)出的偏差量修正在上述存儲(chǔ)器中登錄的檢查區(qū)域與基準(zhǔn)圖像的位置關(guān)系，基于該修正后的位置關(guān)系，在上述處理對(duì)象圖像上設(shè)定檢查區(qū)域；圖像處理裝置，其使用由上述區(qū)域設(shè)定裝置設(shè)定的檢查區(qū)域內(nèi)的圖像數(shù)據(jù)執(zhí)行上述檢查用的圖像處理。
在上述中，移動(dòng)裝置相當(dāng)于上述工作臺(tái)部，因此可以在拍攝裝置、基板臺(tái)的雙方上設(shè)置。這時(shí)，可以使拍攝裝置的工作臺(tái)部，沿與水平面上垂直的2方向中的一方移動(dòng)，使基板臺(tái)的工作臺(tái)部沿另一方向移動(dòng)。或者，在拍攝裝置以及基板臺(tái)的任意一方上設(shè)置工作臺(tái)部，使該工作臺(tái)部沿上述垂直的兩個(gè)方向移動(dòng)也可以。
還有，也可以在這些工作臺(tái)部設(shè)置旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)。
在存儲(chǔ)器中，優(yōu)選能登錄在上述基板檢查方法的準(zhǔn)備的步驟中作成的基準(zhǔn)圖像等。另外，該存儲(chǔ)器最好是非易失性存儲(chǔ)器。
位置調(diào)整裝置、處理對(duì)象圖像生成裝置、偏差量檢測(cè)裝置、區(qū)域設(shè)定裝置、圖像處理裝置都是由存儲(chǔ)有程序的計(jì)算機(jī)構(gòu)成。可以考慮上述基板檢查方法的第一步驟是通過(guò)位置調(diào)整裝置以及處理對(duì)象圖像生成裝置、第二步驟是通過(guò)偏差量檢出裝置、第三步驟是通過(guò)區(qū)域設(shè)定裝置、第四步驟是通過(guò)圖像處理裝置分別進(jìn)行的。
構(gòu)成上述的各裝置的程序可以組入到一臺(tái)計(jì)算機(jī)內(nèi)。另一方面，上述存儲(chǔ)器可以在上述計(jì)算機(jī)內(nèi)設(shè)置或者外置于計(jì)算機(jī)。另外，在該基板檢查裝置中，如下所示，也可以設(shè)定用于作成在存儲(chǔ)器登錄的數(shù)據(jù)的裝置。另一方面，也可以將在其他的計(jì)算機(jī)作成的全體圖像和檢查區(qū)域的設(shè)定圖像等在上述存儲(chǔ)器中登錄。
在執(zhí)行上述第一方式的基板檢查方法的基板檢查裝置中，除上述構(gòu)成之外，還設(shè)置有拍攝控制裝置，其在上述基板臺(tái)上支承著品質(zhì)良好的基準(zhǔn)基板的狀態(tài)下，控制上述移動(dòng)裝置以及拍攝裝置的動(dòng)作，使得將上述基準(zhǔn)基板分為與拍攝裝置的視野對(duì)應(yīng)的大小的多個(gè)區(qū)域而進(jìn)行拍攝；圖像合成裝置，其合成通過(guò)拍攝控制裝置的控制而得到的各圖像，生成上述基準(zhǔn)基板的全體圖像；基準(zhǔn)圖像提取裝置，其在上述全體圖像上設(shè)定包含有規(guī)定數(shù)量的被檢查部位、并且與上述拍攝裝置的視野對(duì)應(yīng)的大小的區(qū)域，將該區(qū)域內(nèi)的圖像作為上述基準(zhǔn)圖像而提取出；條件確定裝置，其根據(jù)提取出上述基準(zhǔn)圖像的區(qū)域內(nèi)的基板設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)確定相對(duì)于上述基準(zhǔn)圖像的檢查區(qū)域的設(shè)定條件；登錄裝置，其將上述基準(zhǔn)圖像登錄于上述存儲(chǔ)器中的同時(shí)，提取出基于上述條件確定裝置所確定的設(shè)定條件的檢查區(qū)域與基準(zhǔn)圖像的位置關(guān)系、以及得到該基準(zhǔn)圖像時(shí)的基準(zhǔn)基板與拍攝裝置的位置關(guān)系，將這些位置關(guān)系登錄在上述存儲(chǔ)器中。
上述的各裝置都是由設(shè)定有執(zhí)行該裝置的處理的程序的計(jì)算機(jī)構(gòu)成。拍攝控制裝置執(zhí)行上述第一方式的基板檢查方法的步驟A1，圖像合成裝置執(zhí)行步驟A2。還有，基準(zhǔn)圖像提取裝置執(zhí)行步驟A3、A4。
條件確定裝置執(zhí)行上述步驟C1。登錄裝置除了執(zhí)行上述C2的處理之外，執(zhí)行提取基準(zhǔn)圖像與拍攝裝置的位置關(guān)系的處理，將這些處理結(jié)果與基準(zhǔn)圖像一起登錄到存儲(chǔ)器中。
另外，基準(zhǔn)圖像與拍攝裝置之間的位置關(guān)系，能夠作為基準(zhǔn)圖像提取裝置所設(shè)定的拍攝對(duì)象區(qū)域與全體圖像之間的位置關(guān)系而提取出。例如，能作為相對(duì)于全體圖像上的特定的基準(zhǔn)點(diǎn)的拍攝對(duì)象區(qū)域的特定的點(diǎn)的相對(duì)坐標(biāo)而求出。
執(zhí)行第二方式的基板檢查方法的基板檢查裝置中，具有條件確定裝置，其根據(jù)上述基板的設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)，確定相對(duì)于基板上的規(guī)定的被檢查部位的檢查區(qū)域的設(shè)定條件；位置關(guān)系確定裝置，其確定上述拍攝裝置與基板的位置關(guān)系，使得基于上述條件確定裝置所確定的條件的檢查區(qū)域包含在拍攝裝置的視野中；拍攝控制裝置，其在上述基板臺(tái)上支承著品質(zhì)良好的基準(zhǔn)基板的狀態(tài)下，控制上述移動(dòng)裝置以及拍攝裝置的動(dòng)作，使得上述基板相對(duì)于拍攝裝置處于由上述位置關(guān)系確定裝置所確定的位置關(guān)系的狀態(tài)下被拍攝；檢出裝置，其在檢測(cè)出通過(guò)上述拍攝控制裝置的控制而得到的圖像上的上述被檢查部位的同時(shí)，檢測(cè)出根據(jù)由上述條件確定裝置所確定的設(shè)定條件在上述圖像上設(shè)定檢查區(qū)域時(shí)的相對(duì)于該檢查區(qū)域的被檢查部位的偏差量；修正裝置，其根據(jù)由上述檢出裝置檢測(cè)出的偏差量修正上述檢查區(qū)域的設(shè)定位置；登錄裝置，其將通過(guò)上述拍攝控制裝置的控制而生成的圖像作為基準(zhǔn)圖像登錄在上述存儲(chǔ)器中的同時(shí)，將上述位置關(guān)系確定裝置所確定的拍攝裝置與基板的位置關(guān)系、以及基于由上述修正裝置修正了的設(shè)定位置的檢查區(qū)域與基準(zhǔn)圖像的位置關(guān)系登錄在上述存儲(chǔ)器中。
涉及上述構(gòu)成的各裝置，也由設(shè)定有執(zhí)行該裝置的處理的程序的計(jì)算機(jī)構(gòu)成。上述條件確定裝置執(zhí)行上述第二方式的基板檢查方法的步驟A1。位置關(guān)系確定裝置以及拍攝控制裝置執(zhí)行步驟A2。檢出裝置執(zhí)行步驟C1以及C2，修正裝置執(zhí)行步驟C3。
本發(fā)明中，將處理對(duì)象圖像與預(yù)先作成的基板的全體圖像對(duì)照而提取出兩圖像間的相對(duì)位置關(guān)系，根據(jù)該提取結(jié)果以及全體圖像與檢查區(qū)域之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系，設(shè)定處理對(duì)象圖像需要的檢查區(qū)域。因而，消除通過(guò)臺(tái)部使照相機(jī)或基板移動(dòng)時(shí)的動(dòng)作量的誤差造成的檢查區(qū)域的偏差，相對(duì)于被檢查部位，能夠以高精度設(shè)定檢查區(qū)域，能提高檢查的精度。


圖1為本發(fā)明一實(shí)施例的基板檢查裝置的框圖。
圖2為表示基板的基準(zhǔn)圖像與檢查區(qū)域的關(guān)系的說(shuō)明圖。
圖3是表示全體圖像作成用的圖像的重合處理的順序的說(shuō)明圖。
圖4是表示為了作成全體圖像而作成的6幅圖像的說(shuō)明圖。
圖5是表示根據(jù)圖4的圖像作成全體圖像的過(guò)程的說(shuō)明圖。
圖6是表示根據(jù)圖5的處理作成的全體圖像的說(shuō)明圖。
圖7是表示檢測(cè)出處理對(duì)象圖像的偏差量的處理的說(shuō)明圖。
圖8是表示示教處理的步驟的流程圖。
圖9是表示檢查的步驟的流程圖。
圖10是表示實(shí)施例2的全體圖像的結(jié)構(gòu)的說(shuō)明圖。
圖11是表示基準(zhǔn)圖像與檢查區(qū)域的關(guān)系的說(shuō)明圖。
圖12是表示檢測(cè)出處理對(duì)象圖像的偏差量的處理的說(shuō)明圖。
圖13是表示檢查區(qū)域的修正處理的說(shuō)明圖。
圖14是表示實(shí)施例2的檢查的步驟的流程圖。
圖15是表示實(shí)施例3的全體圖像的結(jié)構(gòu)的說(shuō)明圖。
圖16是表示基準(zhǔn)圖像與檢查區(qū)域的關(guān)系的說(shuō)明圖。
圖17是表示實(shí)施例4的示教處理的步驟的流程圖。
圖18是表示檢測(cè)出基準(zhǔn)圖像的偏差量的處理的說(shuō)明圖。
具體實(shí)施例方式
圖1表示本發(fā)明一實(shí)施例的基板檢查裝置的結(jié)構(gòu)。
該基板檢查裝置用于處理拍攝檢查對(duì)象的基板而得到的圖像，判別上述基板上的部件的安裝狀態(tài)和焊接的適當(dāng)與否等，由拍攝部3、投光部4、控制處理部5、X軸工作臺(tái)6、Y軸工作臺(tái)7等構(gòu)成。
另外，圖中的1T是檢查對(duì)象的基板(以下稱為“被檢查基板“1T”)。還有，1S為部件的安裝狀態(tài)良好的基準(zhǔn)基板，在檢查前的示教時(shí)使用。
上述Y軸工作臺(tái)部7具有支承基板1S、1T的傳送帶7A，通過(guò)圖中未示的馬達(dá)運(yùn)轉(zhuǎn)該傳送帶7A，使上述基板1S、1T沿Y軸方向(與圖的紙面垂直的方向)移動(dòng)。上述X軸工作臺(tái)部6在Y軸工作臺(tái)部7的上方，支承拍攝部3及投光部4，同時(shí)使這些部分向X軸方向(圖的左右方向)移動(dòng)。
上述投光部4由具有不同直徑的3個(gè)圓環(huán)狀光源8、9、10構(gòu)成。這些光源8、9、10分別發(fā)出紅色、綠色、藍(lán)色的各色光，所以通過(guò)使中心與觀測(cè)位置的正上方位置重合，從上述基板1S、1T來(lái)看，以位于與不同的仰角對(duì)應(yīng)的方向的方式設(shè)置。
上述拍攝部3包含有彩色圖像生成用的CCD照相機(jī)3A(以下稱為“照相機(jī)3A”)，所以其光軸以對(duì)應(yīng)于各光源8、9、10的中心、且沿著垂直方向的方式被定位。由此，來(lái)自作為觀測(cè)對(duì)象的基板1S、1T的反射光射入到拍攝部3，轉(zhuǎn)換為三原色的色彩信號(hào)R、G、B，并輸入到控制處理部5。
控制處理部5包括有作為控制部11的含有CPU的計(jì)算機(jī)；作為其構(gòu)成的圖象輸入部12、存儲(chǔ)器13、拍攝控制器14、圖像處理部15、照明控制部16、XY工作臺(tái)控制器17、檢查部18、示教表(テイ一チングテ一ブル)19、數(shù)據(jù)管理部20、輸入部21、CRT顯示部22、打印機(jī)23、發(fā)送接收部24、外部存儲(chǔ)器裝置25等。
圖像輸入部12具有將來(lái)自拍攝部3的R、G、B的各圖像信號(hào)放大的放大電路、和用于將這些圖像信號(hào)轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號(hào)的A/D轉(zhuǎn)換電路等。存儲(chǔ)器13中除了R、G、B的數(shù)字濃淡圖像數(shù)據(jù)之外，容納有處理這些濃淡圖像而得到的2值圖像數(shù)據(jù)和色相數(shù)據(jù)等。
拍攝控制器14具有將拍攝部3連接于控制部11的接口等，基于來(lái)自控制部11的命令驅(qū)動(dòng)上述拍攝部3，或者進(jìn)行調(diào)整各色光的輸出水平等的控制。照明控制部16用于調(diào)節(jié)投光部4的各光源的光量。另外，該實(shí)施例中，調(diào)整各光源8、9、10的光量，以使通過(guò)混合紅、綠、藍(lán)各色光來(lái)實(shí)施白色照明。
XY工作臺(tái)控制器17包含有將上述X軸工作臺(tái)部6以及Y軸工作臺(tái)部7連接于控制部11的接口等，基于來(lái)自控制部11的命令，控制X軸工作臺(tái)部6以及Y軸工作臺(tái)部7的移動(dòng)動(dòng)作。
示教表19為用于存儲(chǔ)基板的檢查數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)部，設(shè)置在硬盤裝置等的非易失性存儲(chǔ)器內(nèi)，該檢查數(shù)據(jù)中，除了后述的基板的基準(zhǔn)圖像、檢查區(qū)域和處理對(duì)象區(qū)域的設(shè)定數(shù)據(jù)之外，還包含有在各檢查區(qū)域執(zhí)行的程序的種類、與所執(zhí)行的圖像處理對(duì)應(yīng)的參數(shù)(例如2值化處理用的閾值、邊緣抽取用的過(guò)濾器(フイルタ)等)、用于判斷所提取的特征量的適當(dāng)與否的判定基準(zhǔn)值等。
上述檢查數(shù)據(jù)是在檢查前，使用拍攝上述基準(zhǔn)圖像1S而得到的圖像和預(yù)先登錄了的基準(zhǔn)的檢查數(shù)據(jù)而被示教的。這些檢查數(shù)據(jù)是按每個(gè)基板的種類作為判定文件而被集中的。上述數(shù)據(jù)管理部20是存儲(chǔ)將基板的種類與判定文件建立對(duì)應(yīng)的連接信息的存儲(chǔ)器?？刂撇?1，接受被檢查部基板1T的基板名的輸入后，基于數(shù)據(jù)管理部20的連接信息，讀出與該被檢查基板1T對(duì)應(yīng)的判定文件而存到存儲(chǔ)器13中。圖像處理部15和檢查部18，基于該讀出的判定文件內(nèi)的檢查信息而進(jìn)行處理。
圖像處理部15在檢查時(shí)，將由存儲(chǔ)器13存儲(chǔ)的R、G、B的各色調(diào)產(chǎn)生的彩色圖像按每個(gè)檢查區(qū)域進(jìn)行處理，計(jì)測(cè)被檢查部位的面積、重心位置、色彩的圖形等檢查所需要的特征量。檢查部18通過(guò)將由圖像處理部15提取的特征量與上述基準(zhǔn)數(shù)據(jù)比較，從而判別各被檢查部位的適合與否。
控制部11，綜合檢查部18中各種判別處理的結(jié)果，判定被檢查基板1T是否為良品。該最終判定結(jié)果是輸出到CRT顯示部22、和打印機(jī)23或者發(fā)送接收部24。
上述輸入部21用于輸入檢查用的各種條件和檢查信息的輸入等，由鍵盤和鼠標(biāo)等構(gòu)成。CRT顯示部22(以下簡(jiǎn)稱為“顯示部22”)從控制部11接受圖像數(shù)據(jù)、檢查結(jié)果等的供給。將其顯示在顯示畫面上。還有，打印機(jī)23從控制部11接受檢查結(jié)果等的供給，將其以預(yù)定的形式打印輸出。
發(fā)送接收部24用于與其他裝置之間進(jìn)行數(shù)據(jù)的交換，例如對(duì)于被判定為不良的被檢查基板1T，通過(guò)將其識(shí)別信息和不良的內(nèi)容發(fā)送到后階段的修正裝置，能快速地修正不良之處。外部存儲(chǔ)器裝置25是用于在軟盤、CD-R、光磁盤等存儲(chǔ)介質(zhì)上讀寫數(shù)據(jù)的裝置，用于保存上述檢查結(jié)果，或者從外部取入檢查所需要的程序和設(shè)定數(shù)據(jù)。還有，發(fā)送接收部24和外部存儲(chǔ)器裝置25在檢查前的示教中設(shè)定檢查區(qū)域和拍攝對(duì)象區(qū)域時(shí)，有時(shí)也以取入基板的CAD數(shù)據(jù)的用途來(lái)使用。
另外，上述結(jié)構(gòu)中，圖像處理部15及檢查部18由編入用于執(zhí)行上述各處理的程序的專用的處理機(jī)構(gòu)成。但是，不一定需要設(shè)置專用的處理機(jī)，也可以將圖像處理部15及檢查部18的功能賦予給控制部11。
該實(shí)施例的基板檢查裝置中，用CAD數(shù)據(jù)作成上述檢查區(qū)域的設(shè)定條件(檢查區(qū)域的位置及大小)。下面使用圖2對(duì)檢查區(qū)域的設(shè)定涉及到的原理進(jìn)行說(shuō)明。
圖2的100將拍攝上述基準(zhǔn)基板1S而得到的基準(zhǔn)圖像示意化。該基準(zhǔn)圖像100表示基板1S的全體。
101是將基準(zhǔn)圖像100上的檢查區(qū)域102的分布狀態(tài)圖像化而表示的。以下，將該圖像101稱為“檢查區(qū)域的映像圖像”或簡(jiǎn)稱為“映像圖像”。該映像圖像上的各檢查區(qū)域102是對(duì)應(yīng)于基板的CAD數(shù)據(jù)表示的被檢查部位的位置和大小而設(shè)定的。
即，映像圖像是表示基板上的檢查區(qū)域的位置及大小的信息，也就是表示檢查區(qū)域的設(shè)定條件的信息。另外，該設(shè)定條件實(shí)際上由表示檢查區(qū)域的位置的坐標(biāo)(例如后述的xn、yn)、和表示檢查區(qū)域的寬度的數(shù)值構(gòu)成。但圖2以及以后的各實(shí)施例中，為了理解容易地進(jìn)行說(shuō)明，將檢查區(qū)域的設(shè)定條件作為映像圖像來(lái)表現(xiàn)。
該實(shí)施例在作為處理對(duì)象的基板1S、1T的左上角部以及右下角部，為了使運(yùn)入時(shí)的基板重合于基準(zhǔn)位置而設(shè)定定位標(biāo)記。在CAD數(shù)據(jù)中也含有表示上述定位標(biāo)記的位置等的數(shù)據(jù)。圖2中，將基準(zhǔn)圖像100上的定位標(biāo)記作為105、106，將映像圖像101上的定位標(biāo)記作為105a、106a而分別示出。
圖2的例子中，以映像圖像101上的定位標(biāo)記105a、106a分別與基準(zhǔn)圖像100上的定位標(biāo)記105、106重合的方式，使基準(zhǔn)圖像100與映像圖像101對(duì)位后，將映像圖像101上的檢查區(qū)域102的位置和大小作為檢查區(qū)域102的設(shè)定數(shù)據(jù)而特定。這樣，通過(guò)使基準(zhǔn)圖像100的坐標(biāo)系與映像圖像101的坐標(biāo)系對(duì)位，對(duì)于上述基準(zhǔn)圖像上的任意的被檢查部位，都可以將含有被檢查部位的大小的檢查區(qū)域102設(shè)定在適當(dāng)?shù)奈恢谩?br> 另外，圖2中，將含有部件主體部以及電極部的部分作為一個(gè)被檢查部位而設(shè)定檢查區(qū)域102，但不僅限于此，如后所述，也可以將部件主體、電極、焊接部位(角焊縫)等分別作為單獨(dú)的被檢查部位，設(shè)定檢查區(qū)域102。
因此，如果將相對(duì)于該基準(zhǔn)圖像100的檢查區(qū)域102的設(shè)定位置及大小登錄于上述示教表19，則對(duì)于被檢查基板1T的圖像，也可將該圖像上的上述定位標(biāo)記作為基準(zhǔn)，以與相對(duì)于基準(zhǔn)基板1S的條件相同的條件設(shè)定檢查區(qū)域102。還有，如果將檢查區(qū)域102的位置作為相對(duì)于上述定位標(biāo)記105的相對(duì)坐標(biāo)進(jìn)行登錄，則即使被檢查基板1T的圖像相對(duì)于基準(zhǔn)圖像100發(fā)生位置偏差，基于該圖像上的定位標(biāo)記105，也能將相對(duì)于各被檢查部位的檢查區(qū)域設(shè)定在適當(dāng)?shù)奈恢谩?br> 但是，在基板1S、1T比照相機(jī)3A的視野大，必須分為多個(gè)拍攝對(duì)象區(qū)域進(jìn)行拍攝時(shí)，按每個(gè)拍攝對(duì)象區(qū)域登錄基準(zhǔn)圖像，檢查區(qū)域的設(shè)定條件也需要按每個(gè)基準(zhǔn)圖像確定。
這樣的情況下，為了生成每個(gè)拍攝對(duì)象區(qū)域的基準(zhǔn)圖像，需要首先針對(duì)含有定位標(biāo)記的拍攝對(duì)象區(qū)域(例如右下角部的區(qū)域)，以使圖像上的定位標(biāo)記105位于預(yù)定的基準(zhǔn)坐標(biāo)的方式調(diào)整照相機(jī)3A與基板的位置關(guān)系而進(jìn)行拍攝之后，對(duì)于其他的拍攝對(duì)象區(qū)域，根據(jù)相對(duì)于基板上的定位標(biāo)記的該拍攝對(duì)象區(qū)域的相對(duì)坐標(biāo)(可以從上述基板圖像的映像圖像101求出)控制X軸工作臺(tái)部6以及Y軸工作臺(tái)部7的移動(dòng)量，使照相機(jī)3A的視野與各拍攝對(duì)象區(qū)域重合。
還有，在用于確定檢查區(qū)域的設(shè)定條件的處理中，根據(jù)相對(duì)于上述定位標(biāo)記的拍攝對(duì)象區(qū)域的相對(duì)坐標(biāo)，從上述基板全體的映像圖像101將該拍攝對(duì)象區(qū)域的圖像提取出，進(jìn)行使該提取出的映像圖像與上述基準(zhǔn)圖像重合的處理。
另外，上述中為了方便起見使用了“重合”這樣的表現(xiàn)，但實(shí)際上是進(jìn)行將從CAD數(shù)據(jù)求出的檢查區(qū)域的位置信息以及大小信息變換為基準(zhǔn)圖像側(cè)的坐標(biāo)系的處理。
但是，因?yàn)楦鞴ぷ髋_(tái)部6、7的動(dòng)作量多少含有一些誤差，所以實(shí)際拍攝時(shí)的照相機(jī)3A的視野相對(duì)于拍攝對(duì)象區(qū)域可能有位置偏差。因此，即使從映像圖像101提取出的圖像正確對(duì)應(yīng)于拍攝對(duì)象區(qū)域，也成為基準(zhǔn)圖像相對(duì)于拍攝對(duì)象區(qū)域而位置偏差的狀態(tài)，即使將兩者對(duì)位，也可能不能將檢查區(qū)域102設(shè)定到正確位置。
如下所示的4個(gè)實(shí)施例中，將需要設(shè)定多個(gè)拍攝對(duì)象區(qū)域的基板作為檢查對(duì)象，將按這些每個(gè)拍攝對(duì)象區(qū)域生成基準(zhǔn)圖像的情況作為前提，能高精度的確定相對(duì)于該基準(zhǔn)圖像的檢查區(qū)域的位置。
進(jìn)一步，由于上述的照相機(jī)3A的視野的偏差在檢查時(shí)也產(chǎn)生，所以在各實(shí)施例中，通過(guò)將由照相機(jī)3A生成的處理對(duì)象圖像與上述基準(zhǔn)圖像進(jìn)行對(duì)照，檢測(cè)出相對(duì)于上述拍攝對(duì)象區(qū)域的照相機(jī)3A的視野的偏差量，用該偏差量修正檢查區(qū)域的設(shè)定數(shù)據(jù)。并且，使用該修正后的設(shè)定數(shù)據(jù)進(jìn)行對(duì)上述處理對(duì)象圖像的檢查區(qū)域的設(shè)定處理。
<實(shí)施例1>
該實(shí)施例中，將上述基準(zhǔn)基板1S分為多個(gè)區(qū)域而拍攝后，將每個(gè)區(qū)域的圖像連接在一起，作成基準(zhǔn)基板1S的全體圖像而進(jìn)行登錄。還有，在相鄰的區(qū)域間，對(duì)應(yīng)于X軸工作臺(tái)部6以及Y軸工作臺(tái)部7的移動(dòng)量產(chǎn)生的誤差(以下將其稱為“機(jī)械誤差”)設(shè)定規(guī)定像素?cái)?shù)量的重合。對(duì)于這些圖像，分別執(zhí)行使用重合部分的圖像信息的圖形匹配處理，通過(guò)根據(jù)該匹配結(jié)果調(diào)整像素的對(duì)應(yīng)關(guān)系之后將對(duì)應(yīng)的像素彼此重合，從而作成適當(dāng)?shù)娜w圖像。
圖3表示圖像的重合處理的一例，連接的順序通過(guò)帶圓圈的數(shù)字表示。圖3的例子中，將中央部的圖像作為第1個(gè)的圖像，向著順時(shí)針?lè)较虬错樞蛑睾蠄D像。還有，在重合部分的各個(gè)像素中，設(shè)定重合前的各像素的濃度平均值。
圖4-6表示全體圖像的作成處理的具體例子。另外，在這些圖中，為使基板的圖像的狀態(tài)易于理解，將基板上的部件的分布圖形置換為“ABC”這樣的文字來(lái)表示。還有，設(shè)置在基板的左上角部以及右下角部的+字標(biāo)記105、106是用于將送入時(shí)的基板與基準(zhǔn)的位置重合的定位標(biāo)記。
圖4是將處理對(duì)象的基板分為6個(gè)拍攝對(duì)象區(qū)域拍攝時(shí)的各圖像(圖中用g1-g6的符號(hào)表示)。圖5是表示將這些圖像中的下段中央部的圖像g2設(shè)定為第1個(gè)而開始了全體圖像的作成的狀態(tài)。另外，將圖3的重合順序適用于該全體圖像的作成時(shí)，按g2、g5、g6、g3、g1、g4的順序進(jìn)行圖像的重合處理。通過(guò)該重合處理作成如圖6所示的全體圖像103。
該實(shí)施例中，在上述全體圖像103上使用在上述圖2所示的方法設(shè)定檢查區(qū)域，根據(jù)這些檢查區(qū)域的分布狀態(tài)，在基板上設(shè)定多個(gè)拍攝對(duì)象區(qū)域。因此，能考慮上述全體圖像103含有這些多個(gè)拍攝對(duì)象區(qū)域的基準(zhǔn)圖像，還有，根據(jù)考慮X、Y工作臺(tái)部6、7的機(jī)械誤差而設(shè)定重合部分的圖像g1-g6，能得到重合部分適當(dāng)?shù)倪B接在一起的全體圖像103。因此，對(duì)于任意的拍攝對(duì)象區(qū)域，若將上述全體圖像103上的拍攝對(duì)象區(qū)域的圖像切開提取出，將其作為基準(zhǔn)圖像，可以將與照相機(jī)3A的視野正確對(duì)位于該拍攝對(duì)象區(qū)域時(shí)得到的圖像相同的圖像作為基準(zhǔn)圖像。
另一方面，檢查時(shí)，由于X、Y工作臺(tái)部6、7的機(jī)械誤差，成為不能使照相機(jī)3A的視野正確對(duì)位于上述設(shè)定的拍攝對(duì)象區(qū)域的狀態(tài)。相對(duì)于該拍攝對(duì)象區(qū)域的照相機(jī)3A的視野的偏差量，可以作為相對(duì)于上述的全體圖像103上的拍攝對(duì)象區(qū)域的處理對(duì)象圖像的偏差量而檢測(cè)出。
圖7示出上述的偏差量檢出處理的大致情況。圖中的31是根據(jù)全體圖像103而設(shè)定的檢查區(qū)域，30是全體圖像103上的拍攝對(duì)象區(qū)域。該拍攝對(duì)象區(qū)域31內(nèi)的圖像具有用于檢查的基準(zhǔn)圖像的功能。另外在該例中，只設(shè)定了1個(gè)檢查區(qū)域30，但實(shí)際上，1個(gè)拍攝對(duì)象區(qū)域30內(nèi)包含有多個(gè)檢查區(qū)域。
圖中的40是由對(duì)位于實(shí)際的基板上的拍攝對(duì)象區(qū)域的照相機(jī)3A生成的處理對(duì)象圖像。還有，41是在全體圖像103上得到與上述處理對(duì)象圖像40對(duì)應(yīng)的圖像的區(qū)域(以下稱為“對(duì)應(yīng)區(qū)域41”)。在照相機(jī)3A的視野正確對(duì)位時(shí)，該對(duì)應(yīng)區(qū)域41應(yīng)該與上述拍攝對(duì)象區(qū)域30一致，但該例中，因由于上述的X軸工作臺(tái)部6、Y軸工作臺(tái)部7的機(jī)械誤差使得照相機(jī)3A的視野沒(méi)有正確對(duì)位，所以相對(duì)于拍攝對(duì)象區(qū)域30，產(chǎn)生Δx、Δy的偏差量。
檢查區(qū)域31和拍攝對(duì)象區(qū)域30的位置，作為與上述基板的全體圖像103相同的坐標(biāo)系的坐標(biāo)而登錄。該坐標(biāo)系中的各區(qū)域30、31間的位置關(guān)系在處理對(duì)象圖像40中原樣適用時(shí)，檢查區(qū)域31成為從本來(lái)應(yīng)設(shè)定的位置偏離的狀態(tài)(在處理對(duì)象圖像40上以點(diǎn)劃線表示的區(qū)域311是位置偏移了的狀態(tài)的檢查區(qū)域)。
本實(shí)施例中，通過(guò)圖形匹配處理(也稱為相關(guān)匹配處理)將相對(duì)于上述處理對(duì)象圖像40的對(duì)應(yīng)區(qū)域41提取出之后，在全體圖像103上，按水平方向、垂直方向的每個(gè)方向計(jì)算出相對(duì)于上述拍攝對(duì)象區(qū)域30的區(qū)域41的偏差量Δx、Δy。并且，本實(shí)施例中，根據(jù)上述的偏差量Δx、Δy修正處理對(duì)象圖像40的檢查區(qū)域31的設(shè)定位置(處理對(duì)象圖像40上的用虛線表示的區(qū)域312為修正后的檢查區(qū)域)。因而，通過(guò)該修正，對(duì)于被檢查部位(在本例中為“B”)，在與基準(zhǔn)圖像103中的位置相同的位置上設(shè)定檢查區(qū)域31，能得到正確的檢查結(jié)果。
以往的檢查裝置中，僅根據(jù)檢查開始時(shí)從基板的圖像上的定位標(biāo)記105、106的圖像提取出的基板的偏差量，通過(guò)上述的方法進(jìn)行照相機(jī)3A的視野與拍攝對(duì)象區(qū)域的對(duì)位，因此，在處理對(duì)象圖像40中，對(duì)位置偏差了的檢查區(qū)域311內(nèi)的圖像進(jìn)行了處理。還有，如果X軸工作臺(tái)部6、Y軸工作臺(tái)部7的機(jī)械誤差能變小，則檢查區(qū)域311的設(shè)定位置的精度能夠提高。但為了使機(jī)械誤差變小，需要在X軸工作臺(tái)部6、Y軸工作臺(tái)部7裝入高性能的驅(qū)動(dòng)部，導(dǎo)致成本增大。
相對(duì)于此，上述圖7的例子中，將相對(duì)于全體圖像103上的拍攝對(duì)象區(qū)域30的處理對(duì)象圖像40的偏差量Δx、Δy提取出，使用這些偏差量Δx、Δy修正檢查區(qū)域31的設(shè)定位置，所以可以在1個(gè)像素程度的誤差的范圍內(nèi)設(shè)定檢查區(qū)域。因而，無(wú)論X軸工作臺(tái)部6以及Y軸工作臺(tái)部7的驅(qū)動(dòng)部的性能怎樣，都能夠高精度的設(shè)定檢查區(qū)域，不妨礙檢查需要的圖像處理而執(zhí)行。
另外，使用品質(zhì)良好的基準(zhǔn)基板1S生成全體圖像103，相對(duì)于此，在拍攝檢查對(duì)象的基板1T而得到的處理對(duì)象圖像40中，可能包含有不良部分。但是，考慮到例如即使是不良部分，對(duì)于這之外的部分，也能得到與全體圖像103的對(duì)應(yīng)部分相同的狀態(tài)的圖像，所以如果在處理對(duì)象圖像40中所占的不良部分的比例小，則在對(duì)應(yīng)于處理對(duì)象圖像40的區(qū)域中相比于其他區(qū)域，相關(guān)值變高。因而，通過(guò)基于圖形匹配處理將與處理對(duì)象圖像40的相關(guān)值最高的區(qū)域作為上述對(duì)應(yīng)區(qū)域41而提取出，能求得偏差量Δx、Δy。
圖8是表示在實(shí)施例1中執(zhí)行的示教處理的順序，圖9表示檢查的順序。以下，沿著各圖的流程來(lái)說(shuō)明示教處理以及檢查處理的大致情況。另外，在圖8、圖9以及以下的說(shuō)明中，“ST”是“步驟”的縮寫。
首先，圖8的示教處理是對(duì)應(yīng)于輸入登錄對(duì)象的基板名和基板尺寸等的操作而開始的。在最初的ST1中，將基準(zhǔn)基板1S運(yùn)入上述Y軸工作臺(tái)部7。在接著的ST2中，根據(jù)上述輸入的基板尺寸，確定全體圖像作成用的拍攝對(duì)象區(qū)域的數(shù)量和位置，使照相機(jī)3A定位于其中的包含有上述定位標(biāo)記105或者106的拍攝圖像區(qū)域。
ST3中，驅(qū)動(dòng)上述定位了的照相機(jī)3A進(jìn)行拍攝。由該拍攝產(chǎn)生的圖像通過(guò)上述圖像輸入部12在存儲(chǔ)器13中暫時(shí)保存。
ST4中，在顯示部22顯示上述暫時(shí)保存的圖像，使用戶指定上述定位標(biāo)記105或106的位置，將該指定的坐標(biāo)特定為基準(zhǔn)點(diǎn)的坐標(biāo)。另外，也可以通過(guò)圖形匹配等而自動(dòng)提取圖像上的定位標(biāo)記105或106，將表示該提取位置的坐標(biāo)作為基準(zhǔn)點(diǎn)。
ST4的處理一結(jié)束，就進(jìn)入到ST5，驅(qū)動(dòng)X軸工作臺(tái)部6、Y軸工作臺(tái)部7使上述照相機(jī)3A對(duì)位于下一個(gè)拍攝對(duì)象區(qū)域。在接著的ST6中，驅(qū)動(dòng)照相機(jī)3A，將生成的圖像暫存于存儲(chǔ)器13中。
以下也相同，在變更相對(duì)于基準(zhǔn)基板1S的照相機(jī)3A的位置的同時(shí)，反復(fù)進(jìn)行拍攝的處理。當(dāng)獲取全體圖像的作成需要的所有的圖像時(shí)，從ST7進(jìn)到ST8。該ST8中，根據(jù)上述圖3所示的方法，將在上述存儲(chǔ)器13中暫時(shí)保存的各圖像按順序重合，作成全體圖像103。
在接著的ST9中，通過(guò)根據(jù)對(duì)應(yīng)于上述基準(zhǔn)基板1S的CAD數(shù)據(jù)作成檢查區(qū)域的映像圖像的方法，在上述全體圖像103上的各被檢查部位上設(shè)定檢查區(qū)域。另外，該映像圖像是通過(guò)上述定位標(biāo)記105、106而對(duì)位于全體圖像103，將對(duì)位后的映像圖像上的檢查區(qū)域的位置及大小設(shè)定為檢查區(qū)域的設(shè)定數(shù)據(jù)。
而且，在接著的ST10中，在上述檢查區(qū)域的映像圖像上掃描對(duì)應(yīng)于照相機(jī)3A的視野的大小的窗口，特定檢查時(shí)的拍攝對(duì)象區(qū)域的設(shè)定位置。
ST11中，按上述全體圖像上的每個(gè)部件，作為其他的檢查數(shù)據(jù)，作成相對(duì)于檢查區(qū)域內(nèi)的各部位的檢查用窗口的設(shè)定位置、所執(zhí)行的程序的種類、2值化閾值等的參數(shù)、用于判別所提取的特征量適當(dāng)與否的基準(zhǔn)值等的數(shù)據(jù)。另外，在這些檢查數(shù)據(jù)中，有根據(jù)預(yù)先按每個(gè)部件種類登錄的標(biāo)準(zhǔn)的檢查數(shù)據(jù)(程序庫(kù)數(shù)據(jù))而作成的數(shù)據(jù)、和使用全體圖像作成的數(shù)據(jù)。
ST12中，作成將在上述ST4中特定的基準(zhǔn)點(diǎn)的坐標(biāo)、在上述ST8中作成的全體圖像、以及在ST9-11中作成的各種檢查數(shù)據(jù)與基板名建立對(duì)應(yīng)的判定文件，登錄于上述示教表19。然后，在ST13運(yùn)出基準(zhǔn)基板1T，處理結(jié)束。
圖9的檢查順序是，在執(zhí)行了上述圖8的示教處理之后，對(duì)應(yīng)于被檢查基板1T的基板名和檢查開始命令等的輸入而開始。作為最初的步驟的ST21中，從上述示教表19讀出對(duì)應(yīng)的基板的判定文件，存到存儲(chǔ)器13中。
當(dāng)在ST22中在Y軸工作臺(tái)部7上運(yùn)入被檢查基板1T時(shí)，在ST23中，首先使用上述定位標(biāo)記，修正相對(duì)于被檢查基板1T的照相機(jī)3A的初始位置。在該修正處理中，使照相機(jī)3A的視野與包含對(duì)應(yīng)于上述基準(zhǔn)點(diǎn)的定位標(biāo)記105或106的區(qū)域重合而進(jìn)行拍攝，提取出所生成的圖像上的定位標(biāo)記，求得與在上述示教處理中登錄的基準(zhǔn)點(diǎn)對(duì)應(yīng)的定位標(biāo)記的位置偏差量。而且，將該位置偏差量換算為X軸工作臺(tái)部6以及Y軸工作臺(tái)部7的移動(dòng)量，根據(jù)該換算后的移動(dòng)量移動(dòng)各工作臺(tái)部6、7，調(diào)整照相機(jī)3A和基板1T的位置關(guān)系。另外，在后述其他的實(shí)施例中同樣，使用和上述相同的順序調(diào)整照相機(jī)3A的位置。
當(dāng)上述的位置修正處理結(jié)束時(shí)，以下，按順序關(guān)注所登錄的拍攝對(duì)象區(qū)域，按每個(gè)拍攝對(duì)象區(qū)域執(zhí)行ST24-31。
首先，ST24中，驅(qū)動(dòng)X軸工作臺(tái)部6以及Y軸工作臺(tái)部7，使照相機(jī)3A對(duì)位于關(guān)注中的拍攝對(duì)象區(qū)域。接著在ST25中，進(jìn)行上述照相機(jī)3A的拍攝而作成處理對(duì)象圖像。ST26中，在上述全體圖像上，將含有關(guān)注中的拍攝對(duì)象區(qū)域及其周圍的圖像的規(guī)定大小的區(qū)域設(shè)定為上述處理對(duì)象圖像的掃描對(duì)象。在接著的ST27中，在該掃描對(duì)象區(qū)域按一個(gè)個(gè)像素掃描處理對(duì)象圖像，在各掃描位置執(zhí)行相關(guān)匹配處理，提取向著處理對(duì)象圖像的對(duì)應(yīng)區(qū)域。進(jìn)一步接著在ST28中，對(duì)于在ST27中提取出的對(duì)應(yīng)區(qū)域，計(jì)算出相對(duì)于上述關(guān)注中的拍攝對(duì)象區(qū)域的偏差量Δx、Δy。
ST29中，將從上述示教表19讀出并存儲(chǔ)于存儲(chǔ)器13內(nèi)的檢查區(qū)域的設(shè)定位置，通過(guò)上述偏差量Δx、Δy進(jìn)行修正。另外，在該修正處理中，首先，將所登錄的檢查區(qū)域的設(shè)定位置的坐標(biāo)(基于上述全體圖像的坐標(biāo)系)置換為與上述登錄了的拍攝對(duì)象區(qū)域?qū)?yīng)的相對(duì)坐標(biāo)(例如，由拍攝對(duì)象區(qū)域的右下頂點(diǎn)看到的坐標(biāo))后，將該變換后的坐標(biāo)通過(guò)上述偏差量Δx、Δy進(jìn)行修正。
修正后進(jìn)到ST30，進(jìn)行涉及檢查的一系列的處理。
該ST30中，根據(jù)在上述ST29修正的設(shè)定位置，在上述處理對(duì)象圖像上設(shè)定檢查區(qū)域。而且，按每個(gè)檢查區(qū)域，使用從上述示教表19讀出的檢查數(shù)據(jù)，進(jìn)行相對(duì)于被檢查部位的計(jì)測(cè)處理和良否判定處理。另外，每個(gè)檢查區(qū)域的良否判定結(jié)果積存在存儲(chǔ)器13內(nèi)。
當(dāng)ST30的檢查結(jié)束時(shí)，通過(guò)ST31返回ST24，對(duì)于下一個(gè)拍攝對(duì)象區(qū)域進(jìn)行與上述相同的處理。
當(dāng)針對(duì)所有的拍攝對(duì)象區(qū)域，執(zhí)行上述ST24-30后，ST31為“是”，進(jìn)入到ST32。該ST32中，將積存于上述存儲(chǔ)器13內(nèi)的各檢查區(qū)域的良否判定結(jié)果綜合在一起，判別被檢查基板1T是否為良品，輸出該判別結(jié)果。
然后，在ST33中運(yùn)出上述被檢查基板1T，結(jié)束對(duì)該基板的檢查。還有，在有檢查對(duì)象的基板的情況下，通過(guò)ST34返回ST22，以下對(duì)下一個(gè)被檢查基板1T進(jìn)行同樣的處理。
<實(shí)施例2>
該實(shí)施例2以下的各實(shí)施例中，將檢查部件的焊接部分(角焊縫)作為前提，更具體的說(shuō)明拍攝對(duì)象區(qū)域、檢查區(qū)域的設(shè)定方法、處理對(duì)象圖像與拍攝對(duì)象區(qū)域之間的偏差量的檢出方法等。
根據(jù)上述的圖1的結(jié)構(gòu)，由于來(lái)自投光部4的各光源8、9、10的彩色光在角焊縫的表面正射、反射，所以對(duì)應(yīng)于角焊縫的傾斜狀態(tài)，能得到紅、綠、藍(lán)的色彩以規(guī)定的比例分布的圖像。角焊縫的檢查中，通過(guò)分別提取這些色彩，與判定基準(zhǔn)值比較其位置、面積，從而判別傾斜狀態(tài)的良否。
圖10是表示基板的全體圖像。該實(shí)施例的全體圖像103也與上述圖4、5的例子一樣，在橫方向(x方向)上有3張，縱方向(y方向)上有2張，將共計(jì)6張圖像重合而構(gòu)成。另外，該實(shí)施例中，為了使說(shuō)明簡(jiǎn)單，圖像間的重合部分省略表示。
該實(shí)施例2中，在檢查時(shí)，也拍攝與作成上述的全體圖像103相同條件的拍攝對(duì)象區(qū)域。因此，該實(shí)施例2中，按與各拍攝對(duì)象區(qū)域?qū)?yīng)的每個(gè)區(qū)域r切分全體圖像103，把各區(qū)域r的圖像G0-G5分別作為基準(zhǔn)圖像進(jìn)行登錄。還有，作為表示將照相機(jī)3A的視野與各拍攝對(duì)象區(qū)域?qū)ξ挥玫腦軸工作臺(tái)部6以及Y軸工作臺(tái)部7的移動(dòng)量的數(shù)據(jù)，將上述區(qū)域r的縱橫的尺寸xp、yp登錄。
還有，在作成全體圖像103之后，將各基準(zhǔn)圖像G0-G5切分是為了消除進(jìn)行基準(zhǔn)圖像的生成用的拍攝時(shí)產(chǎn)生的機(jī)械誤差。
圖10中，構(gòu)成全體圖像103的圖像G0-G5中，只有上段中央的圖像G4中示出兩個(gè)部件50。這些部件50是兩側(cè)具有電極部的芯片部件，51表示上述的角焊縫，52表示相對(duì)于該角焊縫51的檢查區(qū)域。
該實(shí)施例中，作為檢查區(qū)域52的設(shè)定位置，登錄該檢查區(qū)域52的右下頂點(diǎn)的坐標(biāo)。該坐標(biāo)表示為將含有上述檢查區(qū)域52的圖像的右下頂點(diǎn)作為基準(zhǔn)的相對(duì)坐標(biāo)(xp、yp)。另外，在圖10雖然沒(méi)有示出，但作為表示各檢查區(qū)域52的大小的數(shù)據(jù)，登錄上述檢查區(qū)域52的縱幅以及橫幅的長(zhǎng)度。
圖11表示使用上述圖像G4特定檢查區(qū)域52的設(shè)定位置的處理的具體例子。
該處理中，從上述基板的CAD數(shù)據(jù)將與各基準(zhǔn)圖像對(duì)應(yīng)的區(qū)域內(nèi)的數(shù)據(jù)提取出，從所提取出的數(shù)據(jù)中特定表示角焊縫51的數(shù)據(jù)，對(duì)應(yīng)于該被檢查部位的位置和大小確定檢查區(qū)域的設(shè)定條件。
在圖11中，表示上述全體圖像103的上段中央部的基準(zhǔn)圖像G4、和表示該基準(zhǔn)圖像G4的檢查區(qū)域的分布狀態(tài)的映像圖像M4。與上述圖2所示的例子相同，通過(guò)使映像圖像M4與基準(zhǔn)圖像G4對(duì)位，使得映像圖像M4上的檢查區(qū)域52的位置和大小適用于基準(zhǔn)圖像G4，能夠在上述基準(zhǔn)圖像G4上的各角焊縫51上分別設(shè)定適當(dāng)?shù)臋z查區(qū)域52。
另外，該實(shí)施例中，為了作成與各基準(zhǔn)圖像G0-G5對(duì)應(yīng)的映像圖像，將基板的右下角部的定位標(biāo)記105的中心點(diǎn)P作為基準(zhǔn)點(diǎn)，通過(guò)該基準(zhǔn)點(diǎn)P，使全體圖像103與CAD數(shù)據(jù)的坐標(biāo)系對(duì)位。CAD數(shù)據(jù)也含有定位標(biāo)記的數(shù)據(jù)，還有，由于實(shí)際的基板上的定位標(biāo)記的形成位置的精度高，因此根據(jù)一個(gè)定位標(biāo)記105特定基準(zhǔn)點(diǎn)P。
上述全體圖像103上的各點(diǎn)的位置都可以表示為相對(duì)于基準(zhǔn)點(diǎn)P的相對(duì)坐標(biāo)。例如，如圖10所示，對(duì)于含有基準(zhǔn)點(diǎn)P的圖像G0和與其相鄰的圖像G1、G5的邊界線，當(dāng)分別距基準(zhǔn)點(diǎn)的距離為x0、y0時(shí)，上述基準(zhǔn)圖像G4上的檢查區(qū)域51的右下頂點(diǎn)的坐標(biāo)能夠表示為(x0+xn、y0+yn)。
該實(shí)施例2中，檢查時(shí)，和作成上述全體圖像103時(shí)相同，將照相機(jī)3A與拍攝對(duì)象區(qū)域?qū)ξ唬膳c各基準(zhǔn)圖像G0-G5對(duì)應(yīng)的處理對(duì)象圖像，但由于機(jī)械誤差，照相機(jī)3A的視野不能和對(duì)位于正確的拍攝對(duì)象區(qū)域，所登錄的基準(zhǔn)圖像與處理對(duì)象圖像之間有產(chǎn)生位置偏差的可能性。因而，該實(shí)施例2中也和實(shí)施例1同樣提取處理對(duì)象圖像的位置偏差，修正檢查區(qū)域。
圖12表示與上述基準(zhǔn)圖像G4對(duì)應(yīng)的處理對(duì)象圖像。該處理對(duì)象圖像54相對(duì)于基準(zhǔn)圖像G4而具有位置偏差。還有，處理對(duì)象圖像54上的四個(gè)被檢查部位51中的一個(gè)(在該圖中為51K)中產(chǎn)生不良。
該實(shí)施例中，相對(duì)于處理對(duì)象圖像54，將基準(zhǔn)圖像G4按一個(gè)個(gè)像素進(jìn)行掃描的同時(shí)，針對(duì)兩個(gè)圖像間的重合部分計(jì)算出相關(guān)值，將相關(guān)值最高時(shí)的兩個(gè)圖像間的位置偏差量Δx、Δy判斷為相對(duì)于上述基準(zhǔn)圖像G4的處理對(duì)象圖像54的偏差量。這是因?yàn)槿鐖D12的例子所示，即使處理對(duì)象圖像54的一部分存在不良的情況下，該不良部分51K以外的部分也與基準(zhǔn)圖像G4相同，因此基準(zhǔn)圖像G4移動(dòng)到最適合的位置時(shí)，相關(guān)值最大。
圖13表示針對(duì)上述處理對(duì)象圖像54，將以與上述基準(zhǔn)圖像G4相同的條件設(shè)定的檢查區(qū)域52(用點(diǎn)劃線表示)的位置，根據(jù)上述偏差量Δx、Δy來(lái)修正的例子。通過(guò)這樣的處理，在任意的角焊縫51、51K也能設(shè)定適當(dāng)?shù)臋z查區(qū)域，能夠確保檢查精度。
該實(shí)施例2中，也可以取代全體圖像，將每個(gè)圖像G0-G5作為基準(zhǔn)圖像進(jìn)行登錄，除了這一點(diǎn)以外，能夠以與上述圖8相同的順序進(jìn)行示教處理。
因而，對(duì)于示教處理的流程，省略圖示以及詳細(xì)的說(shuō)明，用圖14說(shuō)明檢查時(shí)的處理。
在圖14中，在作為最初的步驟的ST41中，從上述示教表19讀出對(duì)應(yīng)的基板的檢查數(shù)據(jù)并存儲(chǔ)在存儲(chǔ)器13中。接著在ST42中，當(dāng)運(yùn)入被檢查基板1T時(shí)，在ST43中，使照相機(jī)3A與包含對(duì)應(yīng)于上述基準(zhǔn)點(diǎn)P的定位標(biāo)記105的拍攝對(duì)象區(qū)域(與基準(zhǔn)圖像G0對(duì)應(yīng)的拍攝對(duì)象區(qū)域)對(duì)位。
在接著的ST44中，通過(guò)上述照相機(jī)3A進(jìn)行拍攝，在所生成的圖像上將定位標(biāo)記105的中心點(diǎn)提取出，求取相對(duì)于該提取位置的上述基準(zhǔn)點(diǎn)P的位置偏差量。而且，通過(guò)對(duì)應(yīng)于該位置偏差量移動(dòng)x軸工作臺(tái)部6以及Y軸工作臺(tái)部7，調(diào)整上述照相機(jī)3A的位置。但是該調(diào)整時(shí)也會(huì)產(chǎn)生機(jī)械誤差，照相機(jī)3A的視野相對(duì)于拍攝對(duì)象區(qū)域有可能發(fā)生位置偏差。因此，該實(shí)施例中，在接著的ST45中，由上述位置調(diào)整后的照相機(jī)3A進(jìn)行再次拍攝，生成與基準(zhǔn)圖像G0對(duì)應(yīng)的處理對(duì)象圖像之后，通過(guò)進(jìn)行ST46、ST47的處理，在對(duì)象處理圖像上，不受上述機(jī)械誤差帶來(lái)的偏差的影響而設(shè)定檢查區(qū)域。
ST46中，在所生成的處理對(duì)象圖像與基準(zhǔn)圖像G0之間進(jìn)行相關(guān)匹配處理，檢測(cè)出偏差量Δx、Δy。該處理與先前使用圖12而作為檢測(cè)出相對(duì)于基準(zhǔn)圖像G4的處理對(duì)象圖像54的偏差量的方法而說(shuō)明的情況相同。
還有，在ST47中，用這些偏差量Δx、Δy修正檢查區(qū)域的設(shè)定位置之后，在ST48中，進(jìn)行使用修正后的檢查區(qū)域的圖像數(shù)據(jù)的檢查。
然后從ST49進(jìn)到ST50，使照相機(jī)3A與下一個(gè)拍攝對(duì)象區(qū)域?qū)ξ?。例如，在使照相機(jī)3A與對(duì)應(yīng)于基準(zhǔn)圖像G1的拍攝對(duì)象區(qū)域?qū)ξ坏那闆r下，使上述X軸工作臺(tái)部6僅移動(dòng)與上述xp對(duì)應(yīng)的量。還有，在使照相機(jī)3A與對(duì)應(yīng)于基準(zhǔn)圖像G5的拍攝對(duì)象區(qū)域?qū)ξ粫r(shí)，使上述Y軸工作臺(tái)部7僅移動(dòng)與上述yp對(duì)應(yīng)的量。然后，返回ST45，在新定位的地方通過(guò)照相機(jī)3A進(jìn)行拍攝。還有，相對(duì)于所生成的圖像，與上述同樣執(zhí)行ST46-48。
以下，也按順序取得與各基準(zhǔn)圖像對(duì)應(yīng)的圖像，以與上述相同的順序，執(zhí)行對(duì)基準(zhǔn)圖像的偏差量的檢出、檢查區(qū)域的修正、以及檢查。當(dāng)對(duì)于所有的拍攝對(duì)象區(qū)域處理結(jié)束時(shí)，就從ST49進(jìn)到ST51輸出檢查結(jié)果，在ST52運(yùn)出被檢查基板1T。還有，如果有其他的被檢查基板，則從ST53返回到ST42，執(zhí)行同樣的順序。
<實(shí)施例3>
上述實(shí)施例2中，將基板上的被檢查部位包含于構(gòu)成全體圖像的任意的圖像中作為前提，但如圖15所示，也有檢查對(duì)象的部件56(圖中所示的部件為QFP)橫跨位于圖像間的情況。在這樣的情況下，與實(shí)施例1同樣，最好在全體圖像103上的任意位置設(shè)定拍攝對(duì)象區(qū)域。
實(shí)施例3中，作成基準(zhǔn)基板1S的全體圖像103之后，設(shè)定拍攝對(duì)象區(qū)域57，使得在該圖像103上包含部件56的全體，登錄該設(shè)定位置，同時(shí)切開拍攝對(duì)象區(qū)域57內(nèi)的圖像，作為基準(zhǔn)圖像而登錄。
另外，拍攝對(duì)象區(qū)域57的設(shè)定可以使用上述基板的映像圖像來(lái)進(jìn)行，但并不限于此，例如將上述全體圖像103在顯示部22顯示，在該顯示畫面上通過(guò)接受用戶的設(shè)定操作也可以進(jìn)行設(shè)定。
還有，毫無(wú)疑問(wèn)，該拍攝對(duì)象區(qū)域57也是橫幅為xp、縱幅為yp。
圖16表示從上述全體圖像103上的處理對(duì)象區(qū)域57切出的基準(zhǔn)圖像G11、以及在該基準(zhǔn)圖像G11上分布的檢查區(qū)域的映像圖像M11。還有，圖中59表示相對(duì)于上述部件的一個(gè)導(dǎo)線的角焊縫，58表示相對(duì)于該角焊縫的檢查區(qū)域。
該實(shí)施例的映像圖像M11也與實(shí)施例2的情況相同，在使全體圖像103的坐標(biāo)系與CAD數(shù)據(jù)的坐標(biāo)系重合的基礎(chǔ)上，通過(guò)從CAD數(shù)據(jù)提取與上述基準(zhǔn)圖像G11對(duì)應(yīng)的區(qū)域的數(shù)據(jù)而作成。還有，映像圖像M11上的各檢查區(qū)域58的設(shè)定位置也與實(shí)施例2相同，將該檢查區(qū)域58的右下頂點(diǎn)表示為從圖像的右下頂點(diǎn)所見的相對(duì)坐標(biāo)(xn、yn)。
上述全體圖像103上的拍攝對(duì)象區(qū)域57的設(shè)定位置是將該區(qū)域的右下頂點(diǎn)作為從上述基準(zhǔn)點(diǎn)P所見的相對(duì)坐標(biāo)(xT、yT)來(lái)設(shè)定的(參照?qǐng)D15)。
為了確定檢查區(qū)域的設(shè)定條件而在CAD數(shù)據(jù)上特定與上述的基準(zhǔn)圖像G11對(duì)應(yīng)的區(qū)域時(shí)，只要根據(jù)基準(zhǔn)點(diǎn)P，使全體圖像與CAD數(shù)據(jù)的坐標(biāo)系重合之后，設(shè)定將存在于上述坐標(biāo)(xT、yT)的點(diǎn)作為右下頂點(diǎn)的橫幅xp、縱幅yp的區(qū)域即可。
還有，為了在檢查時(shí)使照相機(jī)3A與基板上的拍攝對(duì)象區(qū)域57對(duì)位，首先通過(guò)與上述圖14的ST43、44相同的處理，根據(jù)基準(zhǔn)點(diǎn)P調(diào)整基板和照相機(jī)3A之間的位置關(guān)系之后，使X軸工作臺(tái)部6以及Y軸工作臺(tái)部7分別僅移動(dòng)與在xT、yT上加上基準(zhǔn)點(diǎn)P的坐標(biāo)的值的距離即可。
根據(jù)上述要領(lǐng)，將照相機(jī)3A對(duì)位之后，通過(guò)與上述實(shí)施例2相同的方法，提取相對(duì)于基準(zhǔn)圖像的拍攝對(duì)象區(qū)域的偏差量Δx、Δy，使用該偏差量Δx、Δy能修正檢查區(qū)域的位置。
另外，由于實(shí)施例3中的涉及示教和檢查的處理也與實(shí)施例1和2相同，所以省略對(duì)此的詳細(xì)說(shuō)明。
另外，上述實(shí)施例2、3中，作成基準(zhǔn)基板1S的全體圖像103后，從該全體圖像103將與拍攝對(duì)象區(qū)域?qū)?yīng)的圖像切出并作為基準(zhǔn)圖像登錄。但并不限于此，也可以與實(shí)施例1同樣登錄全體圖像103。這時(shí)，檢測(cè)出檢查時(shí)相對(duì)于基準(zhǔn)圖像的處理對(duì)象圖像的偏差量時(shí)，從所登錄的全體圖像103切出基準(zhǔn)圖像，在該切出的基準(zhǔn)圖像與處理對(duì)象圖像之間進(jìn)行上述相關(guān)匹配處理也可以。
<實(shí)施例4>
該實(shí)施例4也是將與上述圖15同樣結(jié)構(gòu)的基板作為對(duì)象，設(shè)定包含有部件56的全體這樣的拍攝對(duì)象區(qū)域57，將該拍攝對(duì)象區(qū)域57內(nèi)的圖像作為基準(zhǔn)圖像G11進(jìn)行登錄。但是，該實(shí)施例4中，不作成全體圖像103，而是在CAD數(shù)據(jù)上特定包含上述部件56的拍攝對(duì)象區(qū)域57的設(shè)定位置，使照相機(jī)3A與基準(zhǔn)基板1S的上述特定的拍攝對(duì)象區(qū)域?qū)ξ?，取得作為基?zhǔn)圖像G11的圖像。但是，用這樣的方法生成基準(zhǔn)圖像時(shí)，必須考慮X軸工作臺(tái)部6以及Y軸工作臺(tái)部7的機(jī)械誤差帶來(lái)的影響。因此，實(shí)施例4中，根據(jù)接著的圖17所示的步驟執(zhí)行示教處理。
在圖17中，在作為最初的步驟的ST61中，讀出檢查對(duì)象的基板的CAD數(shù)據(jù)，使用該數(shù)據(jù)作成基板全體的檢查區(qū)域的映像圖像。在接著的ST62中，在上述映像圖像中，在包含所有與上述部件56對(duì)應(yīng)的檢查區(qū)域58的位置上設(shè)定拍攝對(duì)象區(qū)域57。另外，該拍攝對(duì)象區(qū)域57的設(shè)定位置也與上述實(shí)施例3的全體圖像103中的情況相同，通過(guò)與上述基準(zhǔn)點(diǎn)P相對(duì)應(yīng)的該區(qū)域57的右下頂點(diǎn)的相對(duì)坐標(biāo)(xT、yT)來(lái)表示。
接著在ST63中，運(yùn)入基準(zhǔn)基板1S。接著在ST64中，調(diào)整基準(zhǔn)基板1S與照相機(jī)3A的位置關(guān)系，使得上述基準(zhǔn)基板1S的圖像上的定位標(biāo)記105位于預(yù)定的坐標(biāo)。該對(duì)位結(jié)束后，進(jìn)到ST65，根據(jù)xT、yT，使X軸工作臺(tái)部6以及Y軸工作臺(tái)部7分別移動(dòng)，使照相機(jī)3A與在上述ST62中設(shè)定的拍攝對(duì)象區(qū)域57對(duì)位。還有，ST66中，通過(guò)上述照相機(jī)3A進(jìn)行拍攝，生成成為基準(zhǔn)圖像的圖像。
ST67中，使用上述相對(duì)坐標(biāo)(xT、yT)，從上述基板全體的映像圖像將上述拍攝對(duì)象區(qū)域57內(nèi)的圖像提取出，使該映像圖像與上述基準(zhǔn)圖像重合。進(jìn)而，按一個(gè)個(gè)像素掃描映像圖像，直到上述基準(zhǔn)圖像和映像圖像成為適合的位置關(guān)系為止，檢測(cè)出處于該適合的位置關(guān)系時(shí)的基準(zhǔn)圖像與映像圖像的位置偏差量dx、dy。
在此，使用圖18，具體說(shuō)明該ST67的處理。
圖18(1)表示將上述拍攝對(duì)象區(qū)域57的映像圖像M11初始設(shè)定為基準(zhǔn)圖像G11的狀態(tài)。因?yàn)樵搶?shí)施例的基準(zhǔn)圖像G11相對(duì)于拍攝對(duì)象區(qū)域57處于位置偏差的狀態(tài)，所以圖像上的角焊縫59也相對(duì)于檢查區(qū)域58發(fā)生位置偏差。圖18(2)為使映像圖像M11移動(dòng)到成為各角焊縫59包含于對(duì)應(yīng)的檢查區(qū)域58中的位置的狀態(tài)。如果變成這種狀態(tài)，則能認(rèn)為基準(zhǔn)圖像G11與映像圖像M11是相適合的。相對(duì)于這時(shí)的映像圖像的基準(zhǔn)圖像的橫方向的偏差量為上述dx，縱方向的偏差量為上述dy。
另外，為了求得基準(zhǔn)圖像G11與映像圖像M11的相適合的位置關(guān)系，首先在基準(zhǔn)圖像G11上將紅、綠、藍(lán)的各色彩分布的區(qū)域提取出，進(jìn)而將所提取出的區(qū)域與其他區(qū)域相區(qū)別而2值化。還有，對(duì)于映像圖像，也將檢查區(qū)域58和其他區(qū)域加以區(qū)別并2值化。然后，在使上述兩個(gè)2值化圖像相對(duì)發(fā)生偏差的同時(shí)，求得相關(guān)值為最高的位置關(guān)系。該位置關(guān)系為上述基準(zhǔn)圖像G11與映像對(duì)應(yīng)圖像M11相適合的位置關(guān)系，這時(shí)兩圖像間的偏差為上述dx、dy。
返回圖17，當(dāng)通過(guò)上述ST67的處理求得相對(duì)于映像圖像M11的基準(zhǔn)圖像G11的偏差量dx、dy時(shí)，在接著的ST68中，就用這些位置偏差量dx、dy，修正上述映像圖像上的檢查區(qū)域58的設(shè)定位置。接著在ST69中，在上述ST62設(shè)定的拍攝對(duì)象區(qū)域57的設(shè)定位置也同樣使用位置偏差量dx、dy進(jìn)行修正。
ST70中，與上述圖8的ST11相同，作成檢查區(qū)域以外的檢查數(shù)據(jù)。此后，ST71中，作成包含有在上述ST66生成的基準(zhǔn)圖像、拍攝對(duì)象區(qū)域的修正后的設(shè)定位置、檢查區(qū)域的修正后的設(shè)定位置以及大小、在ST70作成的其他的檢查數(shù)據(jù)等的判定文件，將其登錄在示教表13中。然后進(jìn)到ST72運(yùn)出上述基準(zhǔn)基板1S，然后示教處理結(jié)束。
另外，該示教處理后的檢查成為與上述實(shí)施例2相同的內(nèi)容，因此省略涉及檢查的說(shuō)明。
根據(jù)上述示教處理，即使不作成基準(zhǔn)基板1S的全體圖像，也可以使用CAD數(shù)據(jù)，在基板上的包含規(guī)定數(shù)量的被檢查部位的任意位置上設(shè)定拍攝對(duì)象區(qū)域，登錄該拍攝對(duì)象區(qū)域的檢查所需要的基準(zhǔn)圖像及檢查區(qū)域。
另外，如圖17所示的示教處理中，根據(jù)上述偏差量dx、dy，除了檢查區(qū)域58的設(shè)定位置之外，還修正拍攝對(duì)象區(qū)域57的設(shè)定位置，但該修正并不是必須的處理。但是，在需要將基板上的被檢查部位的位置作為從上述基準(zhǔn)點(diǎn)P所見的相對(duì)坐標(biāo)而正確求出的情況下，需要修正拍攝對(duì)象區(qū)域57的設(shè)定位置。以下說(shuō)明其理由。
上述拍攝對(duì)象區(qū)域57的設(shè)定數(shù)據(jù)xT、yT為相對(duì)于上述基準(zhǔn)點(diǎn)P的相對(duì)坐標(biāo)。相對(duì)于此，如圖18(1)所示，檢查區(qū)域58的設(shè)定數(shù)據(jù)xn、yn為映像圖像G11、換言之是與拍攝對(duì)象區(qū)域57的右下頂點(diǎn)對(duì)應(yīng)的相對(duì)坐標(biāo)。因?yàn)榛迮c檢查區(qū)域58的位置關(guān)系是固定的，所以相對(duì)于基準(zhǔn)點(diǎn)P的檢查區(qū)域的相對(duì)坐標(biāo)通?？偸侨∫欢ǖ闹?xT+xn、yT+yn)。因此，在xn、yn的值變更時(shí)，當(dāng)然xT、yT的值也必須變更。例如上述檢查區(qū)域的坐標(biāo)xn變更為xn+dx的情況下，拍攝對(duì)象區(qū)域的坐標(biāo)xT必須變更為yT-dy。
另外，像這樣將拍攝對(duì)象區(qū)域57的設(shè)定數(shù)據(jù)xT、yT變更時(shí)，在檢查時(shí)，使照相機(jī)3A與變更后的拍攝對(duì)象區(qū)域?qū)ξ?，但這時(shí)也有產(chǎn)生機(jī)械誤差的可能。因此，需要修正處理對(duì)象圖像的檢查區(qū)域。但為了將該檢查區(qū)域內(nèi)的被檢查部位的位置作為對(duì)應(yīng)于基準(zhǔn)點(diǎn)P的相對(duì)坐標(biāo)來(lái)表示，基于與上述相同的理由，也需要修正拍攝對(duì)象區(qū)域的設(shè)定數(shù)據(jù)。
權(quán)利要求
1.一種基板檢查方法，是使用由拍攝裝置拍攝部件安裝基板而得到的圖像，執(zhí)行相對(duì)于上述基板上的多個(gè)被檢查部位的檢查的方法，其特征在于，包括準(zhǔn)備的步驟和檢查的步驟，在上述準(zhǔn)備的步驟中包括有如下的各步驟獲取上述拍攝裝置的視野與基板上的規(guī)定區(qū)域?qū)?yīng)時(shí)應(yīng)得到的基準(zhǔn)圖像的步驟A；獲取使拍攝裝置與對(duì)應(yīng)于上述基準(zhǔn)圖像的基板上的區(qū)域?qū)ξ凰枰呐臄z裝置與基板的位置關(guān)系的步驟B；在上述基準(zhǔn)圖像上的被檢查部位設(shè)定檢查區(qū)域的步驟C；使在上述步驟A中獲取的基準(zhǔn)圖像、在上述步驟B中獲取的拍攝裝置與基板的位置關(guān)系、以及在步驟C中設(shè)定的檢查區(qū)域的相對(duì)于基準(zhǔn)圖像的位置關(guān)系分別建立對(duì)應(yīng)并進(jìn)行登錄的步驟D，在上述檢查的步驟中包括有如下的各步驟根據(jù)在上述步驟D中登錄的拍攝裝置和基板的位置關(guān)系，使上述拍攝裝置與檢查對(duì)象的基板對(duì)位而執(zhí)行拍攝，作成處理對(duì)象圖像的第一步驟；將在上述第一步驟中作成的處理對(duì)象圖像與在上述步驟D中登錄的基準(zhǔn)圖像進(jìn)行對(duì)照，檢測(cè)出相對(duì)于基準(zhǔn)圖像的處理對(duì)象圖像的偏差量的第二步驟；通過(guò)在上述第二步驟中檢測(cè)出的偏差量修正在上述步驟D中登錄的檢查區(qū)域與基準(zhǔn)圖像的位置關(guān)系，根據(jù)該修正后的位置關(guān)系，在處理對(duì)象圖像上設(shè)定檢查區(qū)域的第三步驟；使用在上述第三步驟中設(shè)定的檢查區(qū)域內(nèi)的圖像數(shù)據(jù)執(zhí)行上述檢查用的圖像處理的第四步驟。
2.如權(quán)利要求1所述的基板檢查方法，其特征在于，在上述步驟A中包括將品質(zhì)良好的基準(zhǔn)基板分為對(duì)應(yīng)于上述拍攝裝置的視野的大小的多個(gè)區(qū)域，按這些區(qū)域的每一個(gè)執(zhí)行拍攝的步驟A1；合成在步驟A1中生成的每個(gè)區(qū)域的圖像而生成上述基準(zhǔn)基板的全體圖像的步驟A2；在該全體圖像上，設(shè)定包含規(guī)定數(shù)量的被檢查部位、并且對(duì)應(yīng)于上述拍攝裝置的視野的大小的區(qū)域的步驟A3；將在步驟A3中設(shè)定的區(qū)域內(nèi)的圖像設(shè)定為上述基準(zhǔn)圖像的步驟A4，在上述步驟C中包括從與上述基準(zhǔn)基板對(duì)應(yīng)的基板設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)提取與在上述步驟A4中設(shè)定的基準(zhǔn)圖像對(duì)應(yīng)的區(qū)域內(nèi)的基板設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)的步驟C1；使用所提取的基板設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)，確定相對(duì)于上述基準(zhǔn)圖像的檢查區(qū)域的設(shè)定條件的步驟C2。
3.如權(quán)利要求1所述的基板檢查方法，其特征在于，在上述步驟A3中，在上述基準(zhǔn)基板的全體圖像上設(shè)定與在上述步驟A1中拍攝使用的區(qū)域?qū)?yīng)的區(qū)域，在上述步驟A4中，將在上述步驟A3中設(shè)定的每個(gè)區(qū)域的圖像分別設(shè)定為單獨(dú)的基準(zhǔn)圖像。
4.如權(quán)利要求1所述的基板檢查方法，其特征在于，在上述步驟A3中，根據(jù)對(duì)應(yīng)于上述基準(zhǔn)基板的基板設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)，確定相對(duì)于基板上的規(guī)定的被檢查部位的檢查區(qū)域的設(shè)定條件，設(shè)定包含有基于該設(shè)定條件的檢查區(qū)域這樣的區(qū)域。
5.如權(quán)利要求1所述的基板檢查方法，其特征在于，在上述步驟A中包括根據(jù)上述基板的設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)，確定相對(duì)于基板上的規(guī)定的被檢查部位的檢查區(qū)域的設(shè)定條件的步驟A1；相對(duì)于品質(zhì)良好的基準(zhǔn)基板，以使基于在上述步驟A1中確定的設(shè)定條件的檢查區(qū)域包含于視野中的方式使上述拍攝裝置對(duì)位而進(jìn)行拍攝，將得到的圖像作為基準(zhǔn)圖像的步驟A2，在步驟C中包括檢測(cè)出上述基準(zhǔn)圖像上的被檢查部位的步驟C 1；在上述基準(zhǔn)圖像上檢測(cè)出基于在步驟A1中確定的設(shè)定條件而設(shè)定了檢查區(qū)域時(shí)的相對(duì)于該檢查區(qū)域的被檢查部位的偏差量的步驟C2；根據(jù)在步驟C2中檢測(cè)出的偏差量修正上述檢查區(qū)域的設(shè)定位置的步驟C3。
6.如權(quán)利要求1所述的基板檢查方法，其特征在于，在上述步驟D中登錄的拍攝裝置與基板的位置關(guān)系，是將與上述拍攝裝置的視野對(duì)應(yīng)的基板上的區(qū)域內(nèi)的特定位置作為從上述基板上的規(guī)定的基準(zhǔn)點(diǎn)所見的相對(duì)坐標(biāo)來(lái)表示。
7.一種基板檢查裝置，是使用拍攝部件安裝基板而得到的圖像執(zhí)行相對(duì)于上述基板上的多個(gè)被檢查部位的檢查的裝置，其特征在于，具有基板臺(tái)，其將檢查對(duì)象的基板在使上述被檢查部位朝上的狀態(tài)下支承著；拍攝裝置，其用于從上方拍攝上述基板臺(tái)上所支承著的基板；移動(dòng)裝置，其使上述拍攝裝置及基板臺(tái)中的至少一方沿水平方向移動(dòng)；存儲(chǔ)器，其登錄有使上述拍攝裝置的視野與檢查對(duì)象的基板上的規(guī)定區(qū)域?qū)?yīng)時(shí)應(yīng)得到的基準(zhǔn)圖像、得到該基準(zhǔn)圖像時(shí)的拍攝裝置與基板的位置關(guān)系、以及相對(duì)于基準(zhǔn)圖像的檢查區(qū)域的位置關(guān)系；位置調(diào)整裝置，其控制上述移動(dòng)裝置的移動(dòng)量，以使上述拍攝裝置與基板的位置關(guān)系與在存儲(chǔ)器中登錄的位置關(guān)系相同的方式進(jìn)行調(diào)整；處理對(duì)象圖像生成裝置，其在上述位置調(diào)整裝置的調(diào)整后驅(qū)動(dòng)上述拍攝裝置，生成處理對(duì)象圖像；偏差量檢出裝置，其將上述處理對(duì)象圖像與上述基準(zhǔn)圖像對(duì)照，檢測(cè)出相對(duì)于基準(zhǔn)圖像的處理對(duì)象圖像的偏差量；區(qū)域設(shè)定裝置，其根據(jù)上述偏差量檢出裝置檢測(cè)出的偏差量修正在上述存儲(chǔ)器中登錄的檢查區(qū)域與基準(zhǔn)圖像的位置關(guān)系，基于該修正后的位置關(guān)系，在上述處理對(duì)象圖像上設(shè)定檢查區(qū)域；圖像處理裝置，其使用由上述區(qū)域設(shè)定裝置設(shè)定的檢查區(qū)域內(nèi)的圖像數(shù)據(jù)執(zhí)行上述檢查用的圖像處理。
8.如權(quán)利要求7所述的基板檢查裝置，其特征在于，還具有拍攝控制裝置，其在上述基板臺(tái)上支承著品質(zhì)良好的基準(zhǔn)基板的狀態(tài)下，控制上述移動(dòng)裝置以及拍攝裝置的動(dòng)作，使得將上述基準(zhǔn)基板分為與拍攝裝置的視野對(duì)應(yīng)的大小的多個(gè)區(qū)域而進(jìn)行拍攝；圖像合成裝置，其合成通過(guò)上述拍攝控制裝置的控制而得到的各圖像，生成上述基準(zhǔn)基板的全體圖像；基準(zhǔn)圖像提取裝置，其在上述全體圖像上設(shè)定包含有規(guī)定數(shù)量的被檢查部位、并且與上述拍攝裝置的視野對(duì)應(yīng)的大小的區(qū)域，將該區(qū)域內(nèi)的圖像作為上述基準(zhǔn)圖像而提取出；條件確定裝置，其根據(jù)提取出上述基準(zhǔn)圖像的區(qū)域內(nèi)的基板設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)確定相對(duì)于上述基準(zhǔn)圖像的檢查區(qū)域的設(shè)定條件；登錄裝置，其將上述基準(zhǔn)圖像登錄于上述存儲(chǔ)器中的同時(shí)，提取出基于上述條件確定裝置所確定的設(shè)定條件的檢查區(qū)域與基準(zhǔn)圖像的位置關(guān)系、以及得到該基準(zhǔn)圖像時(shí)的基準(zhǔn)基板與拍攝裝置的位置關(guān)系，將這些位置關(guān)系登錄在上述存儲(chǔ)器中。
9.如權(quán)利要求7所述的基板檢查裝置，其特征在于，還具有條件確定裝置，其根據(jù)上述基板的設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)，確定相對(duì)于基板上的規(guī)定的被檢查部位的檢查區(qū)域的設(shè)定條件；位置關(guān)系確定裝置，其確定上述拍攝裝置與基板的位置關(guān)系，使得基于上述條件確定裝置所確定的條件的檢查區(qū)域包含在拍攝裝置的視野中；拍攝控制裝置，其在上述基板臺(tái)上支承著品質(zhì)良好的基準(zhǔn)基板的狀態(tài)下，控制上述移動(dòng)裝置以及拍攝裝置的動(dòng)作，使得上述基板相對(duì)于拍攝裝置處于由上述位置關(guān)系確定裝置所確定的位置關(guān)系的狀態(tài)下被拍攝；檢出裝置，其在檢測(cè)出通過(guò)上述拍攝控制裝置的控制而得到的圖像上的上述被檢查部位的同時(shí)，檢測(cè)出根據(jù)由上述條件確定裝置所確定的設(shè)定條件在上述圖像上設(shè)定檢查區(qū)域時(shí)的相對(duì)于該檢查區(qū)域的被檢查部位的偏差量；修正裝置，其根據(jù)由上述檢出裝置檢測(cè)出的偏差量修正上述檢查區(qū)域的設(shè)定位置；登錄裝置，其將通過(guò)上述拍攝控制裝置的控制而生成的圖像作為基準(zhǔn)圖像登錄在上述存儲(chǔ)器中的同時(shí)，將上述位置關(guān)系確定裝置所確定的拍攝裝置與基板的位置關(guān)系、以及基于由上述修正裝置修正了的設(shè)定位置的檢查區(qū)域與基準(zhǔn)圖像的位置關(guān)系登錄在上述存儲(chǔ)器中。
全文摘要
本發(fā)明提供一種基板檢查方法以及基板檢查裝置，以高精度進(jìn)行對(duì)被檢查部位的檢查區(qū)域的設(shè)定，提高檢查的精度。針對(duì)檢查對(duì)象的基板，預(yù)先作成全體圖像(103)，預(yù)先使檢查區(qū)域(31)與該全體圖像(103)上的被檢查部位建立對(duì)應(yīng)。檢查時(shí)，將照相機(jī)(3A)定位于與拍攝對(duì)象區(qū)域(30)對(duì)應(yīng)的位置上而進(jìn)行拍攝，獲取處理對(duì)象圖像(40)時(shí)，在全體圖像(103)上提取與該處理對(duì)象圖像(40)對(duì)應(yīng)的區(qū)域(41)，計(jì)算出相對(duì)于該區(qū)域(41)的拍攝對(duì)象區(qū)域(30)的偏差量(Δx、Δy)。另外，使用偏差量(Δx、Δy)修正檢查區(qū)域(31)的設(shè)定位置，根據(jù)該修正后的坐標(biāo)，在處理對(duì)象圖像(40)上設(shè)定檢查區(qū)域。
文檔編號(hào)G06K9/03GK1746667SQ200510099500
公開日2006年3月15日 申請(qǐng)日期2005年9月6日 優(yōu)先權(quán)日2004年9月6日
發(fā)明者村上清, 淺野靖典, 木下崇, 四谷輝久 申請(qǐng)人:歐姆龍株式會(huì)社