基板對(duì)準(zhǔn)裝置及基板對(duì)準(zhǔn)裝置的控制方法
【專利摘要】基板對(duì)準(zhǔn)裝置(1)，具備：多個(gè)旋轉(zhuǎn)臺(tái)(4)，將多片基板水平且上下保持，且繞軸線旋轉(zhuǎn)；旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置(2)，使多個(gè)旋轉(zhuǎn)臺(tái)(4)同步旋轉(zhuǎn)；傳感器(13)，檢測(cè)分別保持在多個(gè)旋轉(zhuǎn)臺(tái)(4)的基板的切口(90)；多個(gè)支承爪(50)，支承旋轉(zhuǎn)臺(tái)(4)上的基板的周緣部；支承爪驅(qū)動(dòng)構(gòu)造體(70)，使多個(gè)支承爪(50)在內(nèi)方位置與外方位置之間個(gè)別地水平移動(dòng)；以及升降裝置(30)，使多個(gè)支承爪驅(qū)動(dòng)構(gòu)造體在高位置與低位置之間一起升降。基板對(duì)準(zhǔn)裝置(1)根據(jù)由傳感器(13)分別檢測(cè)的切口(90)的位置使旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置(2)、支承爪驅(qū)動(dòng)構(gòu)造體(70)、及升降裝置(30)進(jìn)行既定的動(dòng)作，該既定的動(dòng)作包括僅將完成對(duì)準(zhǔn)的基板從所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)舉起的基板舉起動(dòng)作，藉此使多個(gè)基板的切口(90)位于基準(zhǔn)旋轉(zhuǎn)角度位置。
【專利說(shuō)明】
基板對(duì)準(zhǔn)裝置及基板對(duì)準(zhǔn)裝置的控制方法
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明是關(guān)于一種使多片基板的旋轉(zhuǎn)角度位置一致的基板對(duì)準(zhǔn)裝置及基板對(duì)準(zhǔn)裝置的控制方法。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體制造工程中，為了對(duì)齊半導(dǎo)體晶圓的結(jié)晶方向，使用使多片半導(dǎo)體晶圓的旋轉(zhuǎn)角度位置與基準(zhǔn)旋轉(zhuǎn)角度位置一致的基板對(duì)準(zhǔn)裝置(對(duì)準(zhǔn)器)。因此，在半導(dǎo)體晶圓設(shè)有作為半導(dǎo)體晶圓的結(jié)晶方向的標(biāo)記的切口(notch)。此基板對(duì)準(zhǔn)裝置的一例揭示在專利文獻(xiàn)I;
專利文獻(xiàn)I的基板對(duì)準(zhǔn)裝置，從一臺(tái)旋轉(zhuǎn)臺(tái)的周緣沿著周方向豎設(shè)三根支持桿，在各支持桿設(shè)有彼此以等間隔在上下分離的五個(gè)支持銷。以位于三根支持桿的相同高度的三個(gè)支持銷支持一片半導(dǎo)體晶圓的周緣部。在三根支持桿的外側(cè)，設(shè)有三根可升降自如且接近/離開旋轉(zhuǎn)臺(tái)的旋轉(zhuǎn)中心軸的升起桿，在各升起桿設(shè)有彼此以等間隔在上下分離的五個(gè)升起銷。相鄰的升起銷的上下間隔設(shè)定成比相鄰的支持銷的上下間隔小。在三根支持桿的外側(cè)設(shè)有傳感器桿，該傳感器桿設(shè)有檢測(cè)支持銷所支持的五片半導(dǎo)體晶圓的切口的傳感器。
[0003]—開始，各半導(dǎo)體晶圓被相同高度的三個(gè)支持銷支持。在基板對(duì)準(zhǔn)動(dòng)作時(shí)，首先使旋轉(zhuǎn)臺(tái)旋轉(zhuǎn)一次，以傳感器檢測(cè)切口，藉此檢測(cè)所有半導(dǎo)體晶圓的切口的旋轉(zhuǎn)角度位置、即自基準(zhǔn)旋轉(zhuǎn)角度位置的偏移角度，將旋轉(zhuǎn)角度位置儲(chǔ)存在內(nèi)存。根據(jù)儲(chǔ)存在內(nèi)存的旋轉(zhuǎn)角度位置使旋轉(zhuǎn)臺(tái)旋轉(zhuǎn)，使位于最下方的半導(dǎo)體晶圓的旋轉(zhuǎn)角度位置與基準(zhǔn)旋轉(zhuǎn)角度位置一致。接著，使三根升起桿朝向旋轉(zhuǎn)臺(tái)向內(nèi)移動(dòng)，以升起銷舉起對(duì)準(zhǔn)已結(jié)束的位于最下方的半導(dǎo)體晶圓的形式使各升起桿上升。如上述，由于相鄰的升起銷的上下間隔比相鄰的支持銷的上下間隔小，因此能在僅升起位于最下方的半導(dǎo)體晶圓的狀況下使其余四片半導(dǎo)體晶圓載置于支持銷上。根據(jù)下一個(gè)儲(chǔ)存的旋轉(zhuǎn)角度位置，使旋轉(zhuǎn)臺(tái)旋轉(zhuǎn)，進(jìn)行從下數(shù)來(lái)第二片半導(dǎo)體晶圓對(duì)基準(zhǔn)旋轉(zhuǎn)角度位置的對(duì)準(zhǔn)，與上述相同地用升起銷升起半導(dǎo)體晶圓。以上述方式，依序使五片半導(dǎo)體晶圓的旋轉(zhuǎn)角度位置與基準(zhǔn)旋轉(zhuǎn)角度位置一致。
[0004]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn):
專利文獻(xiàn):
專利文獻(xiàn)1:日本特許公開2000-294619號(hào)公報(bào)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]發(fā)明要解決的問(wèn)題:在專利文獻(xiàn)I的裝置，多片半導(dǎo)體晶圓從位于最下方者依序?qū)?zhǔn)旋轉(zhuǎn)角度位置。即，在專利文獻(xiàn)I的裝置，無(wú)法以任意順序進(jìn)行半導(dǎo)體晶圓的旋轉(zhuǎn)角度位置的對(duì)準(zhǔn)；
然而，實(shí)際上多片半導(dǎo)體晶圓的偏移角度具有偏差。因此，在專利文獻(xiàn)I的裝置，針對(duì)多片半導(dǎo)體晶圓，會(huì)有從對(duì)準(zhǔn)動(dòng)作開始至結(jié)束為止耗時(shí)的情形；
本發(fā)明的目的在于提供一種能以任意順序進(jìn)行基板的旋轉(zhuǎn)角度位置的對(duì)準(zhǔn)的基板對(duì)準(zhǔn)裝置及基板對(duì)準(zhǔn)裝置的控制方法。
[0006]解決問(wèn)題的手段:本發(fā)明某形態(tài)的基板對(duì)準(zhǔn)裝置，具備:多個(gè)旋轉(zhuǎn)臺(tái)，以將多個(gè)基板分別保持成水平且在上下方向彼此分離排列的方式在上下方向彼此分離配置，且設(shè)置為能繞著上下方向延伸的一個(gè)軸線旋轉(zhuǎn);旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置，使多個(gè)所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)同步旋轉(zhuǎn);多個(gè)標(biāo)記位置檢測(cè)部，檢測(cè)分別保持在多個(gè)所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)并旋轉(zhuǎn)的多個(gè)基板的標(biāo)記的旋轉(zhuǎn)角度位置;多個(gè)支持爪組，支持應(yīng)分別保持在多個(gè)所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)的多個(gè)基板的周緣部;多個(gè)支持爪組驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)體，將多個(gè)所述支持爪組個(gè)別地支持且在位于比所述基板的外周靠近內(nèi)側(cè)的內(nèi)方位置與位于比所述基板的外周靠近外側(cè)的外方位置之間個(gè)別地移動(dòng);升降機(jī)構(gòu)，使多個(gè)所述支持爪組驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)體在既定高度范圍中的高位置與低位置之間一起升降;所述高位置及低位置分別是比多個(gè)所述支持爪組分別對(duì)應(yīng)的旋轉(zhuǎn)臺(tái)所保持的基板高的位置及低的位置，且基于由多個(gè)所述標(biāo)記位置檢測(cè)部分別檢測(cè)出的多個(gè)所述基板的標(biāo)記位置，使所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置、所述支持爪組驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)體及所述升降機(jī)構(gòu)工作，以使多個(gè)所述基板的標(biāo)記位于基準(zhǔn)旋轉(zhuǎn)角度位置。
[0007]根據(jù)此結(jié)構(gòu)，藉由旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置使多個(gè)旋轉(zhuǎn)臺(tái)同步旋轉(zhuǎn)且藉由多個(gè)標(biāo)記位置檢測(cè)部檢測(cè)分別保持在多個(gè)旋轉(zhuǎn)臺(tái)的多個(gè)基板的切口或定向平面等標(biāo)記的旋轉(zhuǎn)角度位置，首先使一個(gè)基板的標(biāo)記的旋轉(zhuǎn)角度位置與基準(zhǔn)旋轉(zhuǎn)角度位置一致(以下，稱為對(duì)準(zhǔn))。將此已對(duì)準(zhǔn)的基板對(duì)應(yīng)的支持爪組藉由其對(duì)應(yīng)的支持爪組驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)體位于內(nèi)方位置，且將未對(duì)準(zhǔn)的所有基板對(duì)應(yīng)的支持爪組藉由分別對(duì)應(yīng)的支持爪組驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)體分別位于外方位置。之后，藉由升降機(jī)構(gòu)使多個(gè)支持爪組驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)體一起位于高位置后，僅對(duì)準(zhǔn)已結(jié)束的基板從旋轉(zhuǎn)臺(tái)被舉起(以下，稱為基板舉起)。之后，針對(duì)其余基板依序進(jìn)行此對(duì)準(zhǔn)及基板舉起后，所有基板對(duì)準(zhǔn)。以上述方式，針對(duì)多個(gè)基板，能以任意順序進(jìn)行標(biāo)記的對(duì)準(zhǔn)。因此，依據(jù)由多個(gè)標(biāo)記位置檢測(cè)部檢測(cè)出的多個(gè)基板的標(biāo)記的旋轉(zhuǎn)角度位置選擇對(duì)準(zhǔn)的最佳順序，藉此能以最短時(shí)間進(jìn)行多個(gè)基板的標(biāo)記的對(duì)準(zhǔn)。
[0008]再者，也可具備被輸入由該標(biāo)記位置檢測(cè)部檢測(cè)的基板的標(biāo)記的旋轉(zhuǎn)角度位置、控制該旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置與該支持爪組驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)體與該升降機(jī)構(gòu)的控制部與記憶部；該控制部，進(jìn)行:標(biāo)記位置檢測(cè)動(dòng)作，藉由該旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置使該多個(gè)旋轉(zhuǎn)臺(tái)同步旋轉(zhuǎn)，且將藉由該多個(gè)標(biāo)記位置檢測(cè)部檢測(cè)出的分別保持在該多個(gè)旋轉(zhuǎn)臺(tái)的多個(gè)基板的標(biāo)記的旋轉(zhuǎn)角度位置儲(chǔ)存在該記憶部；以及基板依序?qū)?zhǔn)動(dòng)作，針對(duì)該多個(gè)基板依序進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)與基板舉起，該對(duì)準(zhǔn)是使用儲(chǔ)存在該記憶部的基板的標(biāo)記的旋轉(zhuǎn)角度位置，藉由該旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置使該多個(gè)旋轉(zhuǎn)臺(tái)同步旋轉(zhuǎn)，以使某個(gè)基板的標(biāo)記的旋轉(zhuǎn)角度位置位于該基準(zhǔn)旋轉(zhuǎn)角度位置，該基板舉起是將此已對(duì)準(zhǔn)的基板對(duì)應(yīng)的支持爪組藉由其對(duì)應(yīng)的支持爪組驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)體位于該內(nèi)方位置，且將未對(duì)準(zhǔn)的所有基板對(duì)應(yīng)的支持爪組藉由分別對(duì)應(yīng)的支持爪組驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)體分別位于該外方位置，之后，藉由該升降機(jī)構(gòu)使該多個(gè)支持爪組驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)體一起位于該高位置，僅將已對(duì)準(zhǔn)的基板從該旋轉(zhuǎn)臺(tái)舉起。
[0009]依據(jù)此結(jié)構(gòu)，藉由控制部的控制，可依序自動(dòng)進(jìn)行多片基板的旋轉(zhuǎn)角度對(duì)準(zhǔn)；
再者，也可該控制部進(jìn)行基板承接動(dòng)作與基板保持動(dòng)作，在該基板保持動(dòng)作之后進(jìn)行該標(biāo)記位置檢測(cè)動(dòng)作與該基板依序?qū)?zhǔn)動(dòng)作，該基板承接動(dòng)作是藉由該升降機(jī)構(gòu)使該多個(gè)支持爪組驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)體位于該高位置，且將該多個(gè)支持爪組藉由分別對(duì)應(yīng)的該支持爪組驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)體位于該內(nèi)方位置，該基板保持動(dòng)作是在多個(gè)基板分別搬送載置于該基板承接動(dòng)作結(jié)束后的狀態(tài)下的該多個(gè)支持爪組后，藉由該升降機(jī)構(gòu)使該多個(gè)支持爪組驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)體位于該低位置，將該多個(gè)基板分別保持在該多個(gè)旋轉(zhuǎn)臺(tái)。
[0010]依據(jù)此結(jié)構(gòu)，藉由控制部的控制，可自動(dòng)進(jìn)行基板的承接及基板對(duì)旋轉(zhuǎn)臺(tái)的配置。
[0011]再者，也可該控制部基于儲(chǔ)存在該記憶部的多個(gè)基板的標(biāo)記的旋轉(zhuǎn)角度位置運(yùn)算進(jìn)行所有基板的該對(duì)準(zhǔn)所需的該旋轉(zhuǎn)臺(tái)的旋轉(zhuǎn)量成為最小的該多個(gè)基板的對(duì)準(zhǔn)順序，在該基板依序?qū)?zhǔn)動(dòng)作，以該運(yùn)算后的順序?qū)υ摱鄠€(gè)基板進(jìn)行該對(duì)準(zhǔn)。
[0012]根據(jù)此結(jié)構(gòu)，關(guān)于多個(gè)基板的順序，能以最小時(shí)間進(jìn)彳丁基板的對(duì)準(zhǔn)。
[0013]再者，也可以是，該升降機(jī)構(gòu)具備設(shè)置為在以所述一個(gè)軸線為中心的假想圓上在周方向隔著間隔往上下方向延伸的多個(gè)支柱、在各所述支柱分別設(shè)在與多個(gè)所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)對(duì)應(yīng)的高度位置的多個(gè)個(gè)別支持爪驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)體、及使多個(gè)所述支柱同步升降的升降裝置；
各所述支持爪組包含分別支持應(yīng)保持在分別對(duì)應(yīng)的所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)的基板的周方向的多個(gè)周緣部構(gòu)成的多個(gè)支持爪；
各所述支持爪組驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)體，是由將分別對(duì)應(yīng)的構(gòu)成所述支持爪組的多個(gè)支持爪個(gè)別地支持且在所述內(nèi)方位置與所述外方位置之間彼此同步分別移動(dòng)的多個(gè)所述個(gè)別支持爪驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)體構(gòu)成。
[0014]根據(jù)此結(jié)構(gòu)，與上述相同，能以最短時(shí)間進(jìn)行多個(gè)基板的標(biāo)記的對(duì)準(zhǔn)；
再者，也可具備:基體，以如下形式支持多個(gè)所述旋轉(zhuǎn)臺(tái):使多個(gè)所述基板分別保持成水平且在上下方向彼此分離排列的方式在上下方向彼此分離且能使所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)繞著上下方向延伸的一個(gè)軸線旋轉(zhuǎn);一個(gè)旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源；以及旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)力傳達(dá)機(jī)構(gòu)，設(shè)置于所述基體，將所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)力傳達(dá)至多個(gè)所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)，以使多個(gè)所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)彼此同步旋轉(zhuǎn)。
[0015]根據(jù)此結(jié)構(gòu)，藉由設(shè)置旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)力傳達(dá)機(jī)構(gòu)，能將旋轉(zhuǎn)臺(tái)的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源配置在與旋轉(zhuǎn)臺(tái)分離的空間位置。藉此，能有充分的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源設(shè)置空間。換言之，設(shè)置旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源時(shí)的設(shè)計(jì)自由度提尚；
本發(fā)明某形態(tài)的基板對(duì)準(zhǔn)裝置的控制方法，是用于基板對(duì)準(zhǔn)裝置，該基板對(duì)準(zhǔn)裝置具備:多個(gè)旋轉(zhuǎn)臺(tái)，以將多個(gè)基板分別保持成水平且在上下方向彼此分離排列的方式在上下方向彼此分離配置，且設(shè)置為能繞著上下方向延伸的一個(gè)軸線旋轉(zhuǎn);旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置，使多個(gè)所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)同步旋轉(zhuǎn)；多個(gè)標(biāo)記位置檢測(cè)部，檢測(cè)分別保持在多個(gè)所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)并旋轉(zhuǎn)的多個(gè)基板的標(biāo)記的旋轉(zhuǎn)角度位置;多個(gè)支持爪組，支持應(yīng)分別保持在多個(gè)所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)的多個(gè)基板的周緣部；多個(gè)支持爪組驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)體，將多個(gè)所述支持爪組個(gè)別地支持且在位于比所述基板的外周靠近內(nèi)側(cè)的內(nèi)方位置與位于比所述基板的外周靠近外側(cè)的外方位置之間個(gè)別地移動(dòng);升降機(jī)構(gòu)，使多個(gè)所述支持爪組驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)體在既定高度范圍中的高位置與低位置之間一起升降；控制部，被輸入由所述標(biāo)記位置檢測(cè)部檢測(cè)的基板的標(biāo)記的旋轉(zhuǎn)角度位置，控制所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置、所述支持爪組驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)體和所述升降機(jī)構(gòu)；以及記憶部;所述高位置及低位置分別是比多個(gè)所述支持爪組分別對(duì)應(yīng)的旋轉(zhuǎn)臺(tái)所保持的基板高的位置及低的位置；
所述控制部，進(jìn)行:
標(biāo)記位置檢測(cè)動(dòng)作，藉由所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置使多個(gè)所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)同步旋轉(zhuǎn)，且將藉由多個(gè)所述標(biāo)記位置檢測(cè)部檢測(cè)出的分別保持在多個(gè)所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)的多個(gè)基板的標(biāo)記的旋轉(zhuǎn)角度位置儲(chǔ)存在所述記憶部；以及
基板依序?qū)?zhǔn)動(dòng)作，針對(duì)多個(gè)所述基板依序進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)與基板舉起，所述對(duì)準(zhǔn)是使用儲(chǔ)存在所述記憶部的基板的標(biāo)記的旋轉(zhuǎn)角度位置，藉由所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置使多個(gè)所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)同步旋轉(zhuǎn)，以使某個(gè)基板的標(biāo)記的旋轉(zhuǎn)角度位置位于所述基準(zhǔn)旋轉(zhuǎn)角度位置，所述基板舉起是將此已對(duì)準(zhǔn)的基板對(duì)應(yīng)的支持爪組藉由其對(duì)應(yīng)的支持爪組驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)體位于所述內(nèi)方位置，且將未對(duì)準(zhǔn)的所有基板對(duì)應(yīng)的支持爪組藉由分別對(duì)應(yīng)的支持爪組驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)體分別位于所述外方位置，之后，藉由所述升降機(jī)構(gòu)使多個(gè)所述支持爪組驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)體一起位于所述高位置，僅將已對(duì)準(zhǔn)的基板從所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)舉起。
[0016]發(fā)明效果:從以上說(shuō)明可明白，根據(jù)本發(fā)明，依據(jù)由多個(gè)標(biāo)記位置檢測(cè)部檢測(cè)出的多個(gè)基板的標(biāo)記的旋轉(zhuǎn)角度位置選擇對(duì)準(zhǔn)的最佳順序，藉此能以最短時(shí)間進(jìn)行多個(gè)基板的標(biāo)記的對(duì)準(zhǔn)。
【附圖說(shuō)明】
[0017]
圖1是示出使用本發(fā)明第I實(shí)施形態(tài)的基板對(duì)準(zhǔn)裝置的基板處理系統(tǒng)的整體結(jié)構(gòu)的俯視圖；
圖2 (a )、( b)是示出半導(dǎo)體晶圓的標(biāo)記的例的俯視圖；
圖3是示出基板對(duì)準(zhǔn)裝置的整體結(jié)構(gòu)的俯視圖；
圖4是旋轉(zhuǎn)臺(tái)的立體圖；
圖5是從圖3的Al方向觀察支持桿的側(cè)視圖；
圖6是支柱及旋轉(zhuǎn)臺(tái)的側(cè)視圖；
圖7(a)、(b)是支持爪的放大圖；
圖8(a)、(b)是示出支柱及支持爪與旋轉(zhuǎn)臺(tái)的上下位置關(guān)系的放大圖；
圖9是傳感器桿的放大側(cè)視圖；
圖10是示出控制部的周邊結(jié)構(gòu)的方塊圖；
圖11是支柱及旋轉(zhuǎn)臺(tái)的側(cè)視圖，示出基板舉起動(dòng)作；
圖12是支柱及旋轉(zhuǎn)臺(tái)的側(cè)視圖，示出基板保持動(dòng)作；
圖13是支柱及旋轉(zhuǎn)臺(tái)的側(cè)視圖，示出再次的基板舉起動(dòng)作；
圖14是示出第2實(shí)施形態(tài)的基板對(duì)準(zhǔn)裝置的動(dòng)作的流程圖；
圖15是示出支持爪的變形例的圖。
【具體實(shí)施方式】
[0018]以下，使用圖詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)。此外，在以下的記載，對(duì)相同或?qū)?yīng)的要素在所有圖標(biāo)賦予相同的符號(hào)，以省略重復(fù)說(shuō)明。又，在以下的記載，上下方向是指鉛垂方向；
再者，作為基板雖例示圓盤狀的半導(dǎo)體晶圓，但此基板并不限于半導(dǎo)體晶圓。例如，基板也可為半導(dǎo)體加工處理的薄型液晶顯示器、有機(jī)EL顯示器用的玻璃基板。又，半導(dǎo)體晶圓是半導(dǎo)體組件的基板材料，包含硅晶圓、碳化硅晶圓、藍(lán)寶石晶圓等。在半導(dǎo)體晶圓具有結(jié)晶方向，欲由半導(dǎo)體加工處理必須使結(jié)晶方向?qū)R一定方向。在半導(dǎo)體晶圓處理時(shí)作為基準(zhǔn)的旋轉(zhuǎn)角度位置稱為基準(zhǔn)旋轉(zhuǎn)角度位置；
(第I實(shí)施形態(tài))
(基板處理系統(tǒng)的整體結(jié)構(gòu))
圖1是示出使用本發(fā)明第I實(shí)施形態(tài)的基板對(duì)準(zhǔn)裝置的基板處理系統(tǒng)100的整體結(jié)構(gòu)的俯視圖；
如圖1所不，基板處理系統(tǒng)100具備收納多片半導(dǎo)體晶圓9的收納部110、使半導(dǎo)體晶圓9的旋轉(zhuǎn)角度位置與基準(zhǔn)旋轉(zhuǎn)角度位置一致的基板對(duì)準(zhǔn)裝置1、對(duì)半導(dǎo)體晶圓9施加熱處理、薄膜形成處理等既定處理的處理裝置120、及在收納部110與基板對(duì)準(zhǔn)裝置I與處理裝置120之間搬送半導(dǎo)體晶圓9的搬送機(jī)械臂130。搬送機(jī)械臂130與基板對(duì)準(zhǔn)裝置I是配置在處理裝置120與收納部110之間。收納部110內(nèi)的半導(dǎo)體晶圓9一開始旋轉(zhuǎn)角度位置未一致，且也未施加既定處理。
[0019]搬送機(jī)械臂130的結(jié)構(gòu)具備基臺(tái)140、將多個(gè)可相互旋轉(zhuǎn)的臂部連結(jié)而構(gòu)成且可在水平面內(nèi)旋轉(zhuǎn)地設(shè)在基臺(tái)140的臂體150、及設(shè)在臂體150的前端部且將多片半導(dǎo)體晶圓9以上下分離的狀態(tài)保持的手部160。搬送機(jī)械臂130使臂體150旋轉(zhuǎn)，以手部160從收納部110內(nèi)取出未處理的多片半導(dǎo)體晶圓9，將多片半導(dǎo)體晶圓9搬送至基板對(duì)準(zhǔn)裝置I。之后，搬送機(jī)械臂130使手部160從基板對(duì)準(zhǔn)裝置I退出。在多片半導(dǎo)體晶圓9以上下相隔間隔的狀態(tài)收納在基板對(duì)準(zhǔn)裝置I后，基板對(duì)準(zhǔn)裝置I使半導(dǎo)體晶圓9旋轉(zhuǎn)，使多片半導(dǎo)體晶圓9的旋轉(zhuǎn)角度位置與基準(zhǔn)旋轉(zhuǎn)角度位置一致。搬送機(jī)械臂130以手部160將旋轉(zhuǎn)角度位置一致的多片半導(dǎo)體晶圓9從基板對(duì)準(zhǔn)裝置I取出，搬送至處理裝置120。在處理裝置120對(duì)半導(dǎo)體晶圓9施加處理后，搬送機(jī)械臂130以手部160取出半導(dǎo)體晶圓9，放回收納部110。在以下的記載，雖例示基板對(duì)準(zhǔn)裝置I使五片半導(dǎo)體晶圓9的旋轉(zhuǎn)角度位置與基準(zhǔn)旋轉(zhuǎn)角度位置一致，但半導(dǎo)體晶圓9的片數(shù)并不限于五片。
[0020]基板對(duì)準(zhǔn)裝置I為了使半導(dǎo)體晶圓9的旋轉(zhuǎn)角度位置與基準(zhǔn)旋轉(zhuǎn)角度位置一致，在半導(dǎo)體晶圓9設(shè)有表示半導(dǎo)體晶圓9的結(jié)晶方向的標(biāo)記。在此標(biāo)記，例如圖2 (a)所示，有設(shè)在半導(dǎo)體晶圓9的周緣的一個(gè)俯視V字形的缺口即切口90，或如圖2(b)所示，有設(shè)在半導(dǎo)體晶圓9的周緣的直線狀缺口即定向平面91(orientat1n f lat)。一邊使半導(dǎo)體晶圓9在其延伸面內(nèi)旋轉(zhuǎn)一邊在以設(shè)定于基準(zhǔn)旋轉(zhuǎn)角度位置的標(biāo)記檢測(cè)器檢測(cè)出此標(biāo)記的時(shí)點(diǎn)使半導(dǎo)體晶圓9的旋轉(zhuǎn)停止，則半導(dǎo)體晶圓9與基準(zhǔn)旋轉(zhuǎn)角度位置一致。作為標(biāo)記檢測(cè)器，例示例如透光型傳感器或反射型傳感器；
或者，一邊使半導(dǎo)體晶圓9在水平面內(nèi)旋轉(zhuǎn)一次一邊由標(biāo)記傳感器偵測(cè)此標(biāo)記，藉此可知一開始的半導(dǎo)體晶圓9的旋轉(zhuǎn)角度位置從基準(zhǔn)旋轉(zhuǎn)角度位置偏移多少角度。根據(jù)此偏移量，使半導(dǎo)體晶圓9旋轉(zhuǎn)以使各半導(dǎo)體晶圓9的切口 90或定向平面91與基準(zhǔn)旋轉(zhuǎn)角度位置一致。在以下的記載，作為標(biāo)記例示切口 90。此外，基板為半導(dǎo)體晶圓以外的情況下，標(biāo)記只要為表示用以對(duì)基板施加特定處理的旋轉(zhuǎn)方向的既定姿勢(shì)(旋轉(zhuǎn)角度)即可；
(基板對(duì)準(zhǔn)裝置的整體結(jié)構(gòu))
圖3是示出基板對(duì)準(zhǔn)裝置I的整體結(jié)構(gòu)的俯視圖。如圖3所示，基板對(duì)準(zhǔn)裝置I的結(jié)構(gòu)具備載置于地面的基體10、在基體10上設(shè)成在以上下延伸的一個(gè)軸線L為中心的假想圓上在周方向相隔間隔往上下方向延伸的三根支柱3、在上下設(shè)有檢測(cè)半導(dǎo)體晶圓9的切口 90的多個(gè)傳感器的傳感器桿11、設(shè)成能以軸線L為中心旋轉(zhuǎn)且在上下彼此隔著間隔配置的五個(gè)旋轉(zhuǎn)臺(tái)4、位于旋轉(zhuǎn)臺(tái)4的外側(cè)的支持桿6、及使五個(gè)旋轉(zhuǎn)臺(tái)4同步旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置2。在各旋轉(zhuǎn)臺(tái)4上載置有手部160所搬送的半導(dǎo)體晶圓9，在半導(dǎo)體晶圓9正確地載置于旋轉(zhuǎn)臺(tái)4上的狀態(tài)，半導(dǎo)體晶圓9中心與軸線L 一致。支持桿6位于旋轉(zhuǎn)臺(tái)4上的半導(dǎo)體晶圓9的外側(cè)。
[0021]旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置2的結(jié)構(gòu)具備設(shè)在支柱3的外側(cè)且往上下延伸的二根旋轉(zhuǎn)柱20、使二根旋轉(zhuǎn)柱20中的一旋轉(zhuǎn)柱20通過(guò)中間齒輪21旋轉(zhuǎn)的一個(gè)旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源即馬達(dá)M、及分別架設(shè)在二根旋轉(zhuǎn)柱20與各旋轉(zhuǎn)臺(tái)4的無(wú)終端的正時(shí)皮帶22。正時(shí)皮帶22與五個(gè)旋轉(zhuǎn)臺(tái)4對(duì)應(yīng)地上下設(shè)有五條，藉由正時(shí)皮帶22構(gòu)成本發(fā)明的「旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)力傳達(dá)機(jī)構(gòu)」。馬達(dá)M是由例如伺服馬達(dá)構(gòu)成；
圖4是旋轉(zhuǎn)臺(tái)4的立體圖。如圖4所示，在旋轉(zhuǎn)臺(tái)4的下方設(shè)有承載臺(tái)40，旋轉(zhuǎn)臺(tái)4可相對(duì)于承載臺(tái)40旋轉(zhuǎn)。從旋轉(zhuǎn)臺(tái)4的上表面設(shè)有多個(gè)承載突起41，半導(dǎo)體晶圓9載置于承載突起41的上表面。在半導(dǎo)體晶圓9載置于承載突起41的上表面的狀態(tài)下，在半導(dǎo)體晶圓9的背面與旋轉(zhuǎn)臺(tái)4的上表面之間形成上下間隙。
[0022]圖5是從圖3的Al方向觀察支持桿6的側(cè)視圖。為了方便圖標(biāo)，從下方僅示出二個(gè)旋轉(zhuǎn)臺(tái)4，但如前述，旋轉(zhuǎn)臺(tái)4在上下設(shè)有五個(gè)；
如圖5所示，托架60從支持桿6與五個(gè)承載臺(tái)40的各高度對(duì)應(yīng)地朝向承載臺(tái)40突出。在各托架60的前端部安裝有承載臺(tái)40，各承載臺(tái)40及旋轉(zhuǎn)臺(tái)4以懸臂狀態(tài)支持在對(duì)應(yīng)的托架60。由于托架60位于旋轉(zhuǎn)臺(tái)4的下側(cè)，因此不會(huì)與搬送至旋轉(zhuǎn)臺(tái)4的半導(dǎo)體晶圓9干涉；
如圖3所示，由正時(shí)皮帶22將旋轉(zhuǎn)動(dòng)力傳送至旋轉(zhuǎn)臺(tái)4，以此能將馬達(dá)M設(shè)在與旋轉(zhuǎn)臺(tái)4分離的空間位置。藉此，能有充分的馬達(dá)M的設(shè)置空間。即，設(shè)置馬達(dá)M時(shí)的設(shè)計(jì)自由度提高。
[0023]圖6是支柱3及旋轉(zhuǎn)臺(tái)4的側(cè)視圖，為了方便說(shuō)明，示出二根支柱3。如圖6所示，各支柱3的結(jié)構(gòu)具備承載支持應(yīng)分別保持在旋轉(zhuǎn)臺(tái)4的半導(dǎo)體晶圓9的周緣部的支持爪50、及使各支持爪50往水平方向移動(dòng)的支持爪驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)體70。支持爪驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)體70由例如汽缸構(gòu)成。即，各支柱3與旋轉(zhuǎn)臺(tái)4的高度對(duì)應(yīng)地在上下具備五個(gè)支持爪50，各支持爪50藉由與旋轉(zhuǎn)臺(tái)4的高度對(duì)應(yīng)設(shè)置的五個(gè)支持爪驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)體70個(gè)別地水平驅(qū)動(dòng)。支柱3如前述設(shè)有三個(gè)，因此以位于相同高度的三個(gè)支持爪50構(gòu)成一個(gè)支持爪組5，藉由位于相同高度的三個(gè)支持爪驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)體70構(gòu)成一個(gè)支持爪組驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)體7 ；
在各支柱3的下端部設(shè)有升降裝置30，三個(gè)升降裝置30使三根支柱3、五個(gè)支持爪組5及五個(gè)支持爪組驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)體7同步升降。升降裝置30可舉出例如汽缸或內(nèi)設(shè)有齒條機(jī)構(gòu)的馬達(dá)，但并不限于這些。由三根支柱3、支持爪組驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)體7、升降裝置30構(gòu)成本發(fā)明的升降機(jī)構(gòu)300。此外，升降機(jī)構(gòu)300并不限于此。例如，也可構(gòu)成為固定三根支柱3，在三根支柱3個(gè)別設(shè)置使五個(gè)支持爪驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)體70各自升降的升降裝置，這些升降裝置使分別對(duì)應(yīng)的支持爪驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)體70彼此同步升降；
五個(gè)支持爪50雖藉由支持爪驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)體70個(gè)別地水平驅(qū)動(dòng)，但由于安裝在支柱3，因此與支柱3—體地升降。即，即使支持爪50可個(gè)別地水平移動(dòng)，也不會(huì)升降。
[0024]圖7(a)、(b)是藉由個(gè)別的支持爪驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)體70驅(qū)動(dòng)的支持爪50的放大圖。如圖7(a)、(b)所示，支持爪50的結(jié)構(gòu)一體地具備上表面水平且承載半導(dǎo)體晶圓9的周緣部下表面的承載片51、從承載片51的外側(cè)的端部豎設(shè)且抑制半導(dǎo)體晶圓9朝向水平方向外偏移的縱壁52、及在水平方向出沒(méi)自如地嵌入在支持爪驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)體70的爪本體53。支持爪50藉由支持爪驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)體70個(gè)別地驅(qū)動(dòng)于圖7(a)所示的承載片51的前端部位于比半導(dǎo)體晶圓9的外周靠近內(nèi)側(cè)的內(nèi)方位置與圖7(b)所示的承載片51的前端部位于比半導(dǎo)體晶圓9的外周靠近外側(cè)的外方位置之間。
[0025]圖8(a)、(b)是示出藉由升降裝置30升降的支柱3及支持爪50與旋轉(zhuǎn)臺(tái)4的上下位置關(guān)系的放大圖，示出位于最下方的支持爪50。然而，其他支持爪50與旋轉(zhuǎn)臺(tái)4的上下位置關(guān)系也相同；
如圖8(a)、(b)所示，支持爪50，藉由升降裝置30使支柱3升降的動(dòng)作，在承載片51的上表面位于比各支持爪50對(duì)應(yīng)的旋轉(zhuǎn)臺(tái)4所保持的半導(dǎo)體晶圓9的下表面靠近下側(cè)的低位置(參照?qǐng)D8(a))與承載片51的上表面位于比旋轉(zhuǎn)臺(tái)4所保持的半導(dǎo)體晶圓9的下表面靠近上側(cè)的高位置(參照?qǐng)D8(b))之間移動(dòng)。因此，在支持爪驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)體70對(duì)應(yīng)的支持爪50設(shè)定在內(nèi)方位置的狀態(tài)下，若升降裝置30使支持爪50上升至高位置，則如圖8(b)所示，支持爪50從旋轉(zhuǎn)臺(tái)4舉起對(duì)應(yīng)的旋轉(zhuǎn)臺(tái)4上的半導(dǎo)體晶圓9。藉此，即使旋轉(zhuǎn)臺(tái)4旋轉(zhuǎn)，半導(dǎo)體晶圓9也不會(huì)旋轉(zhuǎn)；
相對(duì)于此，在支持爪驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)體70對(duì)應(yīng)的支持爪50設(shè)定在外方位置的狀態(tài)下，由于承載片51的前端部位于比半導(dǎo)體晶圓9的外周靠近外側(cè)，因此即使升降裝置30使支持爪50上升至高位置，支持爪50也不會(huì)從旋轉(zhuǎn)臺(tái)4舉起對(duì)應(yīng)的半導(dǎo)體晶圓9。半導(dǎo)體晶圓9仍載置于旋轉(zhuǎn)臺(tái)4;
即，藉由同步驅(qū)動(dòng)支持爪驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)體70與升降裝置30，在支柱3上升時(shí)，能切換任意的支持爪50從對(duì)應(yīng)的旋轉(zhuǎn)臺(tái)4將半導(dǎo)體晶圓9舉起的狀態(tài)與不舉起的狀態(tài)。
[0026]圖9是傳感器桿11的放大側(cè)視圖。如圖9所示，在傳感器桿11的側(cè)面，半導(dǎo)體晶圓9的周緣部嵌入的五個(gè)凹口 12與半導(dǎo)體晶圓9的高度對(duì)應(yīng)地在上下挖開設(shè)置。各凹口 12的開口朝向軸線L，以使藉由手部160搬送至旋轉(zhuǎn)臺(tái)4的半導(dǎo)體晶圓9能進(jìn)入。在凹口 12設(shè)有檢測(cè)半導(dǎo)體晶圓9的切口 90(參照?qǐng)D2(a))的傳感器13。傳感器13構(gòu)成為例如具備隔著半導(dǎo)體晶圓9的周緣部彼此位于上下的發(fā)光組件14與受光組件15的透光型傳感器。在半導(dǎo)體晶圓9旋轉(zhuǎn)時(shí)，若來(lái)自發(fā)光組件14的光到達(dá)受光組件15，可知切口 90通過(guò)傳感器13。切口 90被傳感器13偵測(cè)的位置是切口 90的旋轉(zhuǎn)角度位置；
即，藉由檢測(cè)從一開始半導(dǎo)體晶圓9載置于旋轉(zhuǎn)臺(tái)4的狀態(tài)至傳感器13檢測(cè)切口90為止的旋轉(zhuǎn)臺(tái)4的旋轉(zhuǎn)角度，可知一開始的半導(dǎo)體晶圓從基準(zhǔn)旋轉(zhuǎn)角度位置偏移多少角度。傳感器13構(gòu)成本發(fā)明的「標(biāo)記位置檢測(cè)部」，發(fā)光組件14與受光組件15的上下位置也可與圖9所示的位置相反。又，傳感器13也可構(gòu)成為在一方具備發(fā)光部與受光部、在另一方設(shè)置反射板結(jié)構(gòu)的反射型傳感器。又，凹口 12的上下長(zhǎng)度是設(shè)定成即使半導(dǎo)體晶圓9在低位置與高位置之間升降也不會(huì)與發(fā)光組件14或受光組件15接觸的長(zhǎng)度。
[0027]圖10是示出掌控基板對(duì)準(zhǔn)裝置I的控制動(dòng)作的控制部8的周邊結(jié)構(gòu)的方塊圖?？刂撇?例如以一個(gè)CPU構(gòu)成，但也可為多個(gè)CPU的組合，例如配置在基體10內(nèi)。又，控制部8也可組合使用CPU與ASIC(Applicat1n Specific Integrated Circuit)；
在控制部8，除了傳感器13、升降裝置30、支持爪驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)體70、馬達(dá)M以外，連接有儲(chǔ)存半導(dǎo)體晶圓9的旋轉(zhuǎn)角度位置的內(nèi)存即記憶部80、儲(chǔ)存有動(dòng)作程序的R0M81、作為暫時(shí)記錄信息的工作內(nèi)存的RAM82。對(duì)五個(gè)旋轉(zhuǎn)臺(tái)4分別賦予識(shí)別號(hào)碼，此識(shí)別號(hào)碼儲(chǔ)存在例如RAM82?？刂撇?使馬達(dá)M工作，使所有旋轉(zhuǎn)臺(tái)4暫時(shí)旋轉(zhuǎn)，針對(duì)所有半導(dǎo)體晶圓9，檢測(cè)從一開始載置于旋轉(zhuǎn)臺(tái)4的狀態(tài)至傳感器13檢測(cè)切口 90為止的旋轉(zhuǎn)臺(tái)4的旋轉(zhuǎn)角度。旋轉(zhuǎn)角度是藉由例如安裝在馬達(dá)M的主軸的旋轉(zhuǎn)編碼器等的旋轉(zhuǎn)角度傳感器檢測(cè)，該檢測(cè)值輸入至控制部8。接著，控制部8就旋轉(zhuǎn)臺(tái)4分別將一開始載置于旋轉(zhuǎn)臺(tái)4的半導(dǎo)體晶圓9從基準(zhǔn)旋轉(zhuǎn)角度位置偏移多少角度的值儲(chǔ)存在記憶部80。此值在后述對(duì)準(zhǔn)動(dòng)作時(shí)使用；
(基板對(duì)準(zhǔn)裝置的動(dòng)作)
首先，參照?qǐng)D6及圖8(a)、(b)說(shuō)明基板承接動(dòng)作。如圖8(b)所示，控制部8使升降裝置30工作，使所有支持爪組驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)體7—起位于高位置，且將所有支持爪組5藉由分別對(duì)應(yīng)的支持爪組驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)體7位于內(nèi)方位置(參照?qǐng)D8(b))。以下，將此動(dòng)作稱為基板承接動(dòng)作。在此基板承接動(dòng)作結(jié)束的狀態(tài)下，搬送機(jī)械臂130使手部160進(jìn)入基板對(duì)準(zhǔn)裝置1，將多個(gè)半導(dǎo)體晶圓9(此處為五片)分別搬送載置于多個(gè)(此處為五個(gè))支持爪組5;
之后，如圖6所示，控制部8使升降裝置30工作，使所有支持爪組驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)體7—起位于低位置，將多個(gè)基板分別保持在多個(gè)(此處為五臺(tái))旋轉(zhuǎn)臺(tái)4。以下，將此動(dòng)作稱為基板保持動(dòng)作；
接著，參照?qǐng)D6及圖11至圖13說(shuō)明對(duì)準(zhǔn)。在以上述方式將半導(dǎo)體晶圓9載置于所有旋轉(zhuǎn)臺(tái)4的圖6所示的初始狀態(tài)，半導(dǎo)體晶圓9的旋轉(zhuǎn)角度位置具有偏差，S卩，半導(dǎo)體晶圓9未對(duì)齊基準(zhǔn)旋轉(zhuǎn)角度位置。在本實(shí)施形態(tài)的基板對(duì)準(zhǔn)裝置I，能使任意識(shí)別號(hào)碼的旋轉(zhuǎn)臺(tái)4上的半導(dǎo)體晶圓9的旋轉(zhuǎn)角度位置與基準(zhǔn)旋轉(zhuǎn)角度位置一致。將此半導(dǎo)體晶圓9的旋轉(zhuǎn)角度位置與基準(zhǔn)旋轉(zhuǎn)角度位置一致的動(dòng)作稱為「對(duì)準(zhǔn)」。在以下的說(shuō)明，說(shuō)明從圖6所示的位于最上方的半導(dǎo)體晶圓9起依序使旋轉(zhuǎn)角度位置與基準(zhǔn)旋轉(zhuǎn)角度位置一致的對(duì)準(zhǔn)動(dòng)作；
從圖6所示的狀態(tài)，控制部8使馬達(dá)M工作，使所有旋轉(zhuǎn)臺(tái)4旋轉(zhuǎn)一次，以所有傳感器13檢測(cè)所有半導(dǎo)體晶圓9的切口90。接著，在檢測(cè)出切口90的時(shí)點(diǎn)，根據(jù)旋轉(zhuǎn)角度傳感器檢測(cè)的馬達(dá)M的旋轉(zhuǎn)角度，檢測(cè)切口 90的旋轉(zhuǎn)角度位置。之后，控制部8使所有旋轉(zhuǎn)臺(tái)4停止，針對(duì)所有半導(dǎo)體晶圓9運(yùn)算基準(zhǔn)旋轉(zhuǎn)角度位置與檢測(cè)出切口 90的旋轉(zhuǎn)角度位置的偏移，將此角度偏移量連同各半導(dǎo)體晶圓9對(duì)應(yīng)的旋轉(zhuǎn)臺(tái)4的識(shí)別號(hào)碼分別儲(chǔ)存在記憶部80。將此稱為「標(biāo)記位置檢測(cè)動(dòng)作」。接著，控制部8從記憶部80讀出位于最上方的半導(dǎo)體晶圓9的一開始的旋轉(zhuǎn)角度位置與基準(zhǔn)旋轉(zhuǎn)角度位置的角度偏移量，使所有旋轉(zhuǎn)臺(tái)4僅旋轉(zhuǎn)此角度偏移量。藉此，僅位于最上方的半導(dǎo)體晶圓9的旋轉(zhuǎn)角度位置與基準(zhǔn)旋轉(zhuǎn)角度位置一致。即，位于最上方的半導(dǎo)體晶圓9「對(duì)準(zhǔn)」。
[0028]接著，如圖11所示，控制部8驅(qū)動(dòng)支持爪組驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)體7，僅使位于最上方的支持爪組5位于內(nèi)方位置，且使其他支持爪組5位于外方位置。在此狀態(tài)下，使升降裝置30工作，將所有支持爪組5設(shè)定在高位置。由于僅位于最上方的支持爪組5位于內(nèi)方位置，其他支持爪組5位于外方位置，因此僅旋轉(zhuǎn)角度位置與基準(zhǔn)旋轉(zhuǎn)角度位置一致的位于最上方的半導(dǎo)體晶圓9從旋轉(zhuǎn)臺(tái)4被舉起，其他半導(dǎo)體晶圓9保持載置于旋轉(zhuǎn)臺(tái)4的狀態(tài)。將此稱為「基板舉起動(dòng)作」。
[0029]接著，在所有支持爪組5設(shè)定在高位置的狀態(tài)下，控制部8從記憶部80讀出從上數(shù)來(lái)第二個(gè)半導(dǎo)體晶圓9的角度偏移量?？刂撇?將之前旋轉(zhuǎn)的位于最上方的旋轉(zhuǎn)臺(tái)4的旋轉(zhuǎn)量與從上數(shù)來(lái)第二個(gè)半導(dǎo)體晶圓9的角度偏移量進(jìn)行加減，運(yùn)算使從上數(shù)來(lái)第二個(gè)旋轉(zhuǎn)臺(tái)4上的半導(dǎo)體晶圓9與基準(zhǔn)旋轉(zhuǎn)角度位置一致所需的旋轉(zhuǎn)角度量?？刂撇?使馬達(dá)M工作，使所有旋轉(zhuǎn)臺(tái)4僅旋轉(zhuǎn)運(yùn)算后的旋轉(zhuǎn)角度量，以與上述相同的順序，使從上數(shù)來(lái)第二個(gè)旋轉(zhuǎn)臺(tái)4上的半導(dǎo)體晶圓9的旋轉(zhuǎn)角度位置與基準(zhǔn)旋轉(zhuǎn)角度位置一致。即，再次進(jìn)行「對(duì)準(zhǔn)」。由于位于最上方的半導(dǎo)體晶圓9被位于最上方的支持爪組5舉起，因此即使所有旋轉(zhuǎn)臺(tái)4旋轉(zhuǎn)，也不會(huì)旋轉(zhuǎn)。在從上數(shù)來(lái)第二個(gè)半導(dǎo)體晶圓9與基準(zhǔn)旋轉(zhuǎn)角度位置一致后，使所有旋轉(zhuǎn)臺(tái)4停止；在此所有旋轉(zhuǎn)臺(tái)4停止的狀態(tài)下，控制部8使升降裝置30工作，如圖12所示，使三根支柱3下降，將所有支持爪組5設(shè)定在低位置，將位于最上方的半導(dǎo)體晶圓9暫時(shí)載置于位于最上方的旋轉(zhuǎn)臺(tái)4上。將此稱為「基板暫時(shí)保持動(dòng)作」。
[0030]在此狀態(tài)下，控制部8使從上數(shù)來(lái)第二個(gè)支持爪組驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)體7工作，使從上數(shù)來(lái)第二個(gè)支持爪組5位于內(nèi)方位置。位于最上方的支持爪組5仍位于內(nèi)方位置，位于最上方及從上數(shù)來(lái)第二個(gè)支持爪組5以外的支持爪組5仍位于外方位置；
接著，控制部8使升降裝置30工作，如圖13所示，使三根支柱3上升，將所有支持爪組5設(shè)定在高位置。旋轉(zhuǎn)角度位置與基準(zhǔn)旋轉(zhuǎn)角度位置一致的位于最上方的半導(dǎo)體晶圓9及從上數(shù)來(lái)第二個(gè)半導(dǎo)體晶圓9被舉起至高位置。換言之，再次進(jìn)行「基板舉起動(dòng)作」；
以下，反復(fù)相同的順序，使所有半導(dǎo)體晶圓9的旋轉(zhuǎn)角度位置與基準(zhǔn)旋轉(zhuǎn)角度位置一致。即，直至最后的半導(dǎo)體晶圓的旋轉(zhuǎn)角度對(duì)準(zhǔn)動(dòng)作結(jié)束前重復(fù)一個(gè)半導(dǎo)體晶圓的「對(duì)準(zhǔn)」、半導(dǎo)體晶圓的「基板舉起動(dòng)作」、下一個(gè)半導(dǎo)體晶圓的「對(duì)準(zhǔn)」、一個(gè)半導(dǎo)體晶圓的「基板暫時(shí)保持動(dòng)作」、一個(gè)半導(dǎo)體晶圓與下一個(gè)半導(dǎo)體晶圓的「基板舉起動(dòng)作」。之后，搬送機(jī)械臂130藉由手部160從基板對(duì)準(zhǔn)裝置I取出所有半導(dǎo)體晶圓9。
[0031]藉由與多片半導(dǎo)體晶圓9的旋轉(zhuǎn)角度位置對(duì)應(yīng)地選擇「對(duì)準(zhǔn)」的最佳順序，能在短時(shí)間進(jìn)行多片半導(dǎo)體晶圓9的「對(duì)準(zhǔn)」；
此外，在上述實(shí)施形態(tài)，雖例示使上下保持的多片半導(dǎo)體晶圓9從上依序「對(duì)準(zhǔn)」的順序，但也能以任意順序使半導(dǎo)體晶圓9對(duì)準(zhǔn)。此任意順序可由作業(yè)員手動(dòng)輸入，也可由控制部8產(chǎn)生識(shí)別號(hào)碼相關(guān)的隨機(jī)數(shù)來(lái)決定；
(第2實(shí)施形態(tài))
在本發(fā)明第2實(shí)施形態(tài)的基板對(duì)準(zhǔn)裝置1，能從自基準(zhǔn)旋轉(zhuǎn)角度位置的角度偏移量小的半導(dǎo)體晶圓9依序與基準(zhǔn)旋轉(zhuǎn)角度位置一致。藉此，能使所有半導(dǎo)體晶圓9的對(duì)準(zhǔn)動(dòng)作所需時(shí)間為最短。以下，使用圖14的流程圖說(shuō)明此動(dòng)作；
控制部8使馬達(dá)M工作，使所有旋轉(zhuǎn)臺(tái)4暫時(shí)旋轉(zhuǎn)，針對(duì)所有半導(dǎo)體晶圓9，將一開始的旋轉(zhuǎn)角度位置從基準(zhǔn)旋轉(zhuǎn)角度位置偏移多少角度的值連同旋轉(zhuǎn)臺(tái)4的識(shí)別號(hào)碼分別儲(chǔ)存在記憶部80(步驟SI)。即，進(jìn)行「標(biāo)記位置檢測(cè)動(dòng)作」。接著，控制部8根據(jù)儲(chǔ)存在記憶部80的旋轉(zhuǎn)角度位置的偏移量，檢測(cè)載置有旋轉(zhuǎn)角度位置的角度偏移量最小的半導(dǎo)體晶圓9的識(shí)別號(hào)碼的旋轉(zhuǎn)臺(tái)4，以下，依照旋轉(zhuǎn)角度位置的角度偏移量變大的順序排列旋轉(zhuǎn)臺(tái)4的識(shí)別號(hào)碼(步驟S2)。
[0032]控制部8從記憶部80讀出最小的角度偏移量，使所有旋轉(zhuǎn)臺(tái)4僅旋轉(zhuǎn)此角度偏移量。藉此，僅旋轉(zhuǎn)角度位置的角度偏移量最小的半導(dǎo)體晶圓9與基準(zhǔn)旋轉(zhuǎn)角度位置一致。即，被「對(duì)準(zhǔn)」(步驟S3);
接著，控制部8驅(qū)動(dòng)支持爪組驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)體7，僅使與旋轉(zhuǎn)角度位置的角度偏移量最小的半導(dǎo)體晶圓9對(duì)應(yīng)的支持爪組5位于內(nèi)方位置，且使其他支持爪組5位于外方位置。在此狀態(tài)下，使升降裝置30工作，將所有支持爪組5設(shè)定在高位置。即，針對(duì)旋轉(zhuǎn)角度位置的角度偏移量最小的半導(dǎo)體晶圓9進(jìn)行「基板舉起動(dòng)作」(步驟S4)。
[0033]控制部8從記憶部80讀出次小的角度偏移量，在所有支持爪組5設(shè)定在高位置的狀態(tài)下，使馬達(dá)M工作，使所有旋轉(zhuǎn)臺(tái)4僅旋轉(zhuǎn)此角度偏移量。即，再次進(jìn)行「對(duì)準(zhǔn)」(步驟S5)。由于一開始對(duì)準(zhǔn)的半導(dǎo)體晶圓9被對(duì)應(yīng)的支持爪組5舉起，因此即使所有旋轉(zhuǎn)臺(tái)4旋轉(zhuǎn)，半導(dǎo)體晶圓9也不會(huì)旋轉(zhuǎn)；
控制部8在使角度偏移量次小的半導(dǎo)體晶圓9與基準(zhǔn)旋轉(zhuǎn)角度位置一致后，使所有旋轉(zhuǎn)臺(tái)4停止；
在此所有旋轉(zhuǎn)臺(tái)4停止的狀態(tài)下，控制部8驅(qū)動(dòng)升降裝置30，將所有支持爪組5設(shè)定在低位置，將一開始對(duì)準(zhǔn)的半導(dǎo)體晶圓9暫時(shí)載置于對(duì)應(yīng)的旋轉(zhuǎn)臺(tái)4上。即，進(jìn)行「基板暫時(shí)保持動(dòng)作」(步驟S6)。
[0034]在此狀態(tài)下，控制部8驅(qū)動(dòng)與角度偏移量次小的半導(dǎo)體晶圓9對(duì)應(yīng)的支持爪組驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)體7，使與半導(dǎo)體晶圓9對(duì)應(yīng)的支持爪組5位于內(nèi)方位置；
接著，控制部8驅(qū)動(dòng)升降裝置30，將所有支持爪組5設(shè)定在高位置，旋轉(zhuǎn)角度位置與基準(zhǔn)旋轉(zhuǎn)角度位置一致的一開始的半導(dǎo)體晶圓9及第二個(gè)對(duì)準(zhǔn)的半導(dǎo)體晶圓9被舉起至高位置。換言之，再次進(jìn)行「基板舉起動(dòng)作」(步驟S7);
針對(duì)所有半導(dǎo)體晶圓9進(jìn)行上述動(dòng)作(步驟S8)。在所有半導(dǎo)體晶圓9對(duì)準(zhǔn)后，藉由手部160從基板對(duì)準(zhǔn)裝置I取出所有半導(dǎo)體晶圓9。
[0035]在本實(shí)施形態(tài)的基板對(duì)準(zhǔn)裝置I，藉由控制部8的控制動(dòng)作，能從自基準(zhǔn)旋轉(zhuǎn)角度位置的角度偏移量小的半導(dǎo)體晶圓9依序與基準(zhǔn)旋轉(zhuǎn)角度位置一致。藉此，能使所有半導(dǎo)體晶圓9的對(duì)準(zhǔn)動(dòng)作所需時(shí)間為最短，且不需人為操作即可自動(dòng)進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)動(dòng)作；
此外，將傳感器13設(shè)定在基準(zhǔn)旋轉(zhuǎn)角度位置，在傳感器13檢測(cè)出切口 90的時(shí)點(diǎn)使半導(dǎo)體晶圓9的旋轉(zhuǎn)停止，則半導(dǎo)體晶圓9與基準(zhǔn)旋轉(zhuǎn)角度位置一致。此情形，無(wú)需將半導(dǎo)體晶圓9的角度偏移量?jī)?chǔ)存至記憶部80;
又，在手部160搬送多片半導(dǎo)體晶圓9時(shí)，不將半導(dǎo)體晶圓9載置于位于高位置且內(nèi)方位置的支持爪組5，使支持爪組5位于外方位置，載置于旋轉(zhuǎn)臺(tái)4上亦可；
(支持爪的變形例)
在上述記載，如圖7(a)所示，半導(dǎo)體晶圓9由支持爪50的承載片51支持周緣部下表面。然而，也可替代此，如圖15所示，將承載片51的內(nèi)表面形成為第I斜面58與梯度比第I斜面58緩和的第2斜面59連續(xù)，以兩斜面58，59的邊界SM支持半導(dǎo)體晶圓9的周緣；
若為圖15所示的結(jié)構(gòu)，則在半導(dǎo)體晶圓9保持在承載片51時(shí)，在承載片51的第I斜面58滑動(dòng)而載置于邊界SM。藉此，半導(dǎo)體晶圓9的水平位置及水平姿勢(shì)被校正而穩(wěn)定地保持。又，由于承載片51與半導(dǎo)體晶圓9為線接觸，因此承載片51與半導(dǎo)體晶圓9的接觸面積小。藉此，減少異物附著在半導(dǎo)體晶圓9。
[0036]工業(yè)應(yīng)用性:本發(fā)明適于用于使多片基板的旋轉(zhuǎn)角度位置對(duì)準(zhǔn)的基板對(duì)準(zhǔn)裝置、及基板對(duì)準(zhǔn)裝置的控制方法。
[0037]符號(hào)說(shuō)明:
1:基板對(duì)準(zhǔn)裝置 2:旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置 3:支柱
4:旋轉(zhuǎn)臺(tái) 5:支持爪組7:支持爪組驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)體8:控制部9:半導(dǎo)體晶圓30:升降裝置50:支持爪
70:支持爪驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)體
80:內(nèi)存
300:升降機(jī)構(gòu)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種基板對(duì)準(zhǔn)裝置，具備: 多個(gè)旋轉(zhuǎn)臺(tái)，以將多個(gè)基板分別保持成水平且在上下方向彼此分離排列的方式在上下方向彼此分離配置，且設(shè)置為能繞著上下方向延伸的一個(gè)軸線旋轉(zhuǎn)； 旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置，使多個(gè)所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)同步旋轉(zhuǎn)； 多個(gè)標(biāo)記位置檢測(cè)部，檢測(cè)分別保持在多個(gè)所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)并旋轉(zhuǎn)的多個(gè)基板的標(biāo)記的旋轉(zhuǎn)角度位置； 多個(gè)支持爪組，支持應(yīng)分別保持在多個(gè)所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)的多個(gè)基板的周緣部； 多個(gè)支持爪組驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)體，將多個(gè)所述支持爪組個(gè)別地支持且在位于比所述基板的外周靠近內(nèi)側(cè)的內(nèi)方位置與位于比所述基板的外周靠近外側(cè)的外方位置之間個(gè)別地移動(dòng)； 升降機(jī)構(gòu)，使多個(gè)所述支持爪組驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)體在既定高度范圍中的高位置與低位置之間一起升降； 所述高位置及低位置分別是比多個(gè)所述支持爪組分別對(duì)應(yīng)的旋轉(zhuǎn)臺(tái)所保持的基板高的位置及低的位置，且 基于由多個(gè)所述標(biāo)記位置檢測(cè)部分別檢測(cè)出的多個(gè)所述基板的標(biāo)記位置，使所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置、所述支持爪組驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)體及所述升降機(jī)構(gòu)工作，以使多個(gè)所述基板的標(biāo)記位于基準(zhǔn)旋轉(zhuǎn)角度位置。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板對(duì)準(zhǔn)裝置，其進(jìn)一步具備控制部與記憶部;所述控制部被輸入由所述標(biāo)記位置檢測(cè)部檢測(cè)出的基板的標(biāo)記的旋轉(zhuǎn)角度位置，控制所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置與所述支持爪組驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)體與所述升降機(jī)構(gòu)； 所述控制部，進(jìn)行: 標(biāo)記位置檢測(cè)動(dòng)作，藉由所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置使多個(gè)所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)同步旋轉(zhuǎn)，且將藉由多個(gè)所述標(biāo)記位置檢測(cè)部檢測(cè)出的分別保持在多個(gè)所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)的多個(gè)基板的標(biāo)記的旋轉(zhuǎn)角度位置儲(chǔ)存在所述記憶部；以及 基板依序?qū)?zhǔn)動(dòng)作，針對(duì)多個(gè)所述基板依序進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)與基板舉起，所述對(duì)準(zhǔn)是使用儲(chǔ)存在所述記憶部的基板的標(biāo)記的旋轉(zhuǎn)角度位置，藉由所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置使多個(gè)所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)同步旋轉(zhuǎn)，以使某個(gè)基板的標(biāo)記的旋轉(zhuǎn)角度位置位于所述基準(zhǔn)旋轉(zhuǎn)角度位置，所述基板舉起是將此已對(duì)準(zhǔn)的基板對(duì)應(yīng)的支持爪組藉由其對(duì)應(yīng)的支持爪組驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)體位于所述內(nèi)方位置，且將未對(duì)準(zhǔn)的所有基板對(duì)應(yīng)的支持爪組藉由分別對(duì)應(yīng)的支持爪組驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)體分別位于所述外方位置，之后，藉由所述升降機(jī)構(gòu)使多個(gè)所述支持爪組驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)體一起位于所述高位置，僅將已對(duì)準(zhǔn)的基板從所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)舉起。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板對(duì)準(zhǔn)裝置，其特征在于，所述控制部，在前一次的基板舉起之后，藉由所述升降機(jī)構(gòu)使多個(gè)所述支持爪組驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)體一起位于所述低位置，之后，藉由所述支持爪組驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)體及所述升降機(jī)構(gòu)僅將已對(duì)準(zhǔn)的基板從所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)舉起，以進(jìn)行第2次以后的所述基板舉起。4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的基板對(duì)準(zhǔn)裝置，其特征在于，所述控制部進(jìn)行基板承接動(dòng)作與基板保持動(dòng)作，在所述基板保持動(dòng)作之后進(jìn)行所述標(biāo)記位置檢測(cè)動(dòng)作與所述基板依序?qū)?zhǔn)動(dòng)作，所述基板承接動(dòng)作是藉由所述升降機(jī)構(gòu)使多個(gè)所述支持爪組驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)體位于所述高位置，且將多個(gè)所述支持爪組藉由分別對(duì)應(yīng)的所述支持爪組驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)體位于所述內(nèi)方位置，所述基板保持動(dòng)作是在多個(gè)基板分別搬送載置在所述基板承接動(dòng)作結(jié)束后的狀態(tài)下的多個(gè)所述支持爪組后，藉由所述升降機(jī)構(gòu)使多個(gè)所述支持爪組驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)體位于所述低位置，將多個(gè)所述基板分別保持在多個(gè)所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)。5.根據(jù)權(quán)利要求2至4中任一項(xiàng)所述的基板對(duì)準(zhǔn)裝置，其特征在于，所述控制部基于儲(chǔ)存在所述記憶部的多個(gè)基板的標(biāo)記的旋轉(zhuǎn)角度位置，運(yùn)算進(jìn)行所有基板的所述對(duì)準(zhǔn)所需的所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)的旋轉(zhuǎn)量為最小的多個(gè)所述基板的對(duì)準(zhǔn)順序，在所述基板依序?qū)?zhǔn)動(dòng)作中，以所運(yùn)算的所述順序?qū)Χ鄠€(gè)所述基板進(jìn)行所述對(duì)準(zhǔn)。6.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的基板對(duì)準(zhǔn)裝置，其特征在于，所述升降機(jī)構(gòu)具備設(shè)置為在以所述一個(gè)軸線為中心的假想圓上在周方向隔著間隔往上下方向延伸的多個(gè)支柱、在各所述支柱分別設(shè)在與多個(gè)所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)對(duì)應(yīng)的高度位置的多個(gè)個(gè)別支持爪驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)體、及使多個(gè)所述支柱同步升降的升降裝置； 各所述支持爪組包含分別支持應(yīng)保持在分別對(duì)應(yīng)的所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)的基板的周方向的多個(gè)周緣部構(gòu)成的多個(gè)支持爪； 各所述支持爪組驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)體，是由將分別對(duì)應(yīng)的構(gòu)成所述支持爪組的多個(gè)支持爪個(gè)別地支持且在所述內(nèi)方位置與所述外方位置之間彼此同步分別移動(dòng)的多個(gè)所述個(gè)別支持爪驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)體構(gòu)成。7.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一項(xiàng)所述的基板對(duì)準(zhǔn)裝置，其具備: 基體，以如下形式支持多個(gè)所述旋轉(zhuǎn)臺(tái):使多個(gè)所述基板分別保持成水平且在上下方向彼此分離排列的方式在上下方向彼此分離且能使所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)繞著上下方向延伸的一個(gè)軸線旋轉(zhuǎn)； 一個(gè)旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源；以及 旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)力傳達(dá)機(jī)構(gòu)，設(shè)置于所述基體，將所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)力傳達(dá)至多個(gè)所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)，以使多個(gè)所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)彼此同步旋轉(zhuǎn)。8.一種基板對(duì)準(zhǔn)裝置的控制方法，所述基板對(duì)準(zhǔn)裝置，具備: 多個(gè)旋轉(zhuǎn)臺(tái)，以將多個(gè)基板分別保持成水平且在上下方向彼此分離排列的方式在上下方向彼此分離配置，且設(shè)置為能繞著上下方向延伸的一個(gè)軸線旋轉(zhuǎn)； 旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置，使多個(gè)所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)同步旋轉(zhuǎn)； 多個(gè)標(biāo)記位置檢測(cè)部，檢測(cè)分別保持在多個(gè)所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)并旋轉(zhuǎn)的多個(gè)基板的標(biāo)記的旋轉(zhuǎn)角度位置； 多個(gè)支持爪組，支持應(yīng)分別保持在多個(gè)所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)的多個(gè)基板的周緣部； 多個(gè)支持爪組驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)體，將多個(gè)所述支持爪組間個(gè)別地支持且在位于比所述基板的外周靠近內(nèi)側(cè)的內(nèi)方位置與位于比所述基板的外周靠近外側(cè)的外方位置之間個(gè)別地移動(dòng)；升降機(jī)構(gòu)，使多個(gè)所述支持爪組驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)體在既定高度范圍中的高位置與低位置之間一起升降； 控制部，被輸入由所述標(biāo)記位置檢測(cè)部檢測(cè)的基板的標(biāo)記的旋轉(zhuǎn)角度位置，控制所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置、所述支持爪組驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)體和所述升降機(jī)構(gòu)；以及記憶部； 所述高位置及低位置分別是比多個(gè)所述支持爪組分別對(duì)應(yīng)的旋轉(zhuǎn)臺(tái)所保持的基板高的位置及低的位置； 其特征在于， 所述控制部，進(jìn)行: 標(biāo)記位置檢測(cè)動(dòng)作，藉由所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置使多個(gè)所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)同步旋轉(zhuǎn)，且將藉由多個(gè)所述標(biāo)記位置檢測(cè)部檢測(cè)出的分別保持在多個(gè)所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)的多個(gè)基板的標(biāo)記的旋轉(zhuǎn)角度位置儲(chǔ)存在所述記憶部；以及 基板依序?qū)?zhǔn)動(dòng)作，針對(duì)多個(gè)所述基板依序進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)與基板舉起，所述對(duì)準(zhǔn)是使用儲(chǔ)存在所述記憶部的基板的標(biāo)記的旋轉(zhuǎn)角度位置，藉由所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置使多個(gè)所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)同步旋轉(zhuǎn)，以使某個(gè)基板的標(biāo)記的旋轉(zhuǎn)角度位置位于所述基準(zhǔn)旋轉(zhuǎn)角度位置，所述基板舉起是將此已對(duì)準(zhǔn)的基板對(duì)應(yīng)的支持爪組藉由其對(duì)應(yīng)的支持爪組驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)體位于所述內(nèi)方位置，且將未對(duì)準(zhǔn)的所有基板對(duì)應(yīng)的支持爪組藉由分別對(duì)應(yīng)的支持爪組驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)體分別位于所述外方位置，之后，藉由所述升降機(jī)構(gòu)使多個(gè)所述支持爪組驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)體一起位于所述高位置，僅將已對(duì)準(zhǔn)的基板從所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)舉起。
【文檔編號(hào)】H01L21/68GK105981155SQ201480068130
【公開日】2016年9月28日
【申請(qǐng)日】2014年12月15日
【發(fā)明人】福島崇行
【申請(qǐng)人】川崎重工業(yè)株式會(huì)社