專利名稱：設(shè)備控制過(guò)程中的日志記錄方法、裝置及系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及日志記錄技術(shù)，特別是涉及一種設(shè)備控制過(guò)程中的日志記錄方法、裝置及系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
在計(jì)算機(jī)系統(tǒng)或各種網(wǎng)絡(luò)系統(tǒng)中，日志記錄非常必要。而在半導(dǎo)體制造的工藝控制過(guò)程中，各種工藝設(shè)備的控制系統(tǒng)也常常進(jìn)行日志記錄。這些日志記錄了受控設(shè)備在運(yùn)行時(shí)的各種信息，且這些信息是跟蹤設(shè)備運(yùn)行過(guò)程和事故追憶的主要依據(jù)。日志記錄的信息通常以固定的文件格式來(lái)保存，每條記錄通常包含記錄時(shí)間、記錄該日志的模塊(或子系統(tǒng))的名稱、級(jí)別和內(nèi)容等信息。參照?qǐng)D1，展示了一條典型的設(shè)備控制系統(tǒng)的日志。其中，該日志的記錄時(shí)間是2009-07-22 09:18:46. 334，記錄該日志的模塊名稱是CONTROL，該日志的級(jí)別是EVENT，日志內(nèi)容是WiyValvel is open。雖然每條日志記錄的信息量不大，但由于生產(chǎn)線上的設(shè)備需要長(zhǎng)期不間斷運(yùn)行， 因此控制系統(tǒng)會(huì)產(chǎn)生大量日志文件。如果沒(méi)有一種有效的方式管理這些日志文件，很可能導(dǎo)致運(yùn)行控制系統(tǒng)的工控機(jī)硬盤被寫(xiě)滿，最終導(dǎo)致死機(jī)等嚴(yán)重后果。因此，目前需要解決的技術(shù)問(wèn)題是在日志記錄過(guò)程中，如何管理設(shè)備控制過(guò)程中產(chǎn)生的大量日志文件。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提供一種設(shè)備控制過(guò)程中的日志記錄方法、裝置及系統(tǒng)，以解決日志管理的問(wèn)題。為了解決上述問(wèn)題，本發(fā)明公開(kāi)了一種設(shè)備控制過(guò)程中的日志記錄方法，包括步驟1，讀取日志配置文件并進(jìn)行解析，獲得所述日志配置文件中預(yù)設(shè)的日志文件數(shù)量門限值；步驟2，新建日志文件或打開(kāi)已有的日志文件；步驟3，檢測(cè)已創(chuàng)建的日志文件的數(shù)量是否超出所述日志文件數(shù)量門限值，如果超出，則按照預(yù)置策略進(jìn)行刪除，直到所述已創(chuàng)建的日志文件的數(shù)量小于或等于所述日志文件數(shù)量門限值；步驟4，獲得待記錄的日志信息，并將所述待記錄的日志信息記錄到所述新建的日志文件或打開(kāi)的已有的日志文件中。優(yōu)選的，所述新建日志文件或打開(kāi)已有的日志文件之前，還包括獲得所述日志配置文件中預(yù)設(shè)的日志文件存放路徑；讀取所述日志文件存放路徑下各已創(chuàng)建的日志文件所對(duì)應(yīng)的日志文件名稱，日志文件名稱中記錄了其所對(duì)應(yīng)日志文件的創(chuàng)建日期；按照創(chuàng)建日期的先后順序依次將所讀取的各日志文件名稱保存到日志文件名稱隊(duì)列中。優(yōu)選的，所述新建日志文件或打開(kāi)已有的日志文件，包括判斷所述日志文件名稱隊(duì)列是否為空，如果為空，則根據(jù)當(dāng)前日期新建日志文件并打開(kāi)；如果不為空，則，提取所述日志文件名稱隊(duì)列中記錄最晚創(chuàng)建日期的日志文件名稱，判斷該最晚創(chuàng)建日期是否與當(dāng)前日期相同，如果不同，則根據(jù)當(dāng)前日期新建日志文件并打開(kāi)；如果相同，則，判斷所述記錄最晚創(chuàng)建日期的日志文件名稱所對(duì)應(yīng)日志文件的大小是否達(dá)到預(yù)設(shè)值，如果達(dá)到，則根據(jù)當(dāng)前日期新建日志文件并打開(kāi)；如果未達(dá)到，則打開(kāi)該日志文件。優(yōu)選的，所述步驟3中按照預(yù)置策略進(jìn)行刪除，包括循環(huán)刪除所述日志文件名稱隊(duì)列中記錄最早創(chuàng)建日期的日志文件名稱及其對(duì)應(yīng)的日志文件。優(yōu)選的，所述步驟4包括獲得一條待記錄的日志信息，并將所述待記錄的日志信息記錄到所述新建的日志文件或打開(kāi)的已有的日志文件中；所述方法還包括判斷記錄所述待記錄的日志信息的日志文件的大小是否達(dá)到預(yù)設(shè)值，如果達(dá)到，則根據(jù)當(dāng)前日期新建日志文件并打開(kāi)，并返回步驟3 ；如果未達(dá)到，則返回步驟4，繼續(xù)獲得下一條待記錄的日志信息，并記錄下一條所述待記錄的日志信息。優(yōu)選的，所述方法還包括獲得所述日志配置文件中預(yù)設(shè)的日志級(jí)別限制信息，所述日志級(jí)別限制信息包括對(duì)應(yīng)各模塊預(yù)設(shè)的日志級(jí)別限制；根據(jù)所述日志級(jí)別限制信息判斷是否將模塊生成的日志信息放入消息隊(duì)列，如果模塊生成的日志信息的日志級(jí)別低于對(duì)應(yīng)該模塊預(yù)設(shè)的日志級(jí)別限制，則丟棄該條日志，否則放入消息隊(duì)列；所述步驟4從所述消息隊(duì)列中獲得待記錄的日志信息。優(yōu)選的，所述根據(jù)日志級(jí)別限制信息判斷是否將模塊生成的日志信息放入消息隊(duì)列之前，還包括獲得所述日志配置文件中對(duì)應(yīng)各模塊預(yù)設(shè)的是否需要記錄日志的標(biāo)識(shí)信息；根據(jù)所述標(biāo)識(shí)信息判斷模塊生成的日志信息是否需要記錄，如果需要，則繼續(xù)判斷對(duì)應(yīng)該模塊的日志級(jí)別限制；如果不需要，則丟棄該條日志。本發(fā)明還提供了一種用于設(shè)備控制過(guò)程中的日志記錄裝置，包括配置解析單元，用于讀取日志配置文件并進(jìn)行解析，獲得日志配置文件中預(yù)設(shè)的日志文件數(shù)量門限值；新建或打開(kāi)單元，用于新建日志文件或打開(kāi)已有的日志文件；文件數(shù)量檢測(cè)單元，用于檢測(cè)已創(chuàng)建的日志文件的數(shù)量是否超出所述日志文件數(shù)量門限值，如果超出，則按照預(yù)置策略進(jìn)行刪除，直到所述已創(chuàng)建的日志文件的數(shù)量小于或等于所述日志文件數(shù)量門限值；日志記錄單元，用于獲得待記錄的日志信息，并將所述待記錄的日志信息記錄到所述新建的日志文件或打開(kāi)的已有的日志文件中。優(yōu)選的，所述配置解析單元還用于獲得所述日志配置文件中預(yù)設(shè)的日志文件存放路徑；則所述裝置還包括文件名保存單元，用于讀取所述日志文件存放路徑下各已創(chuàng)建的日志文件所對(duì)應(yīng)的日志文件名稱，日志文件名稱中記錄了其所對(duì)應(yīng)日志文件的創(chuàng)建日期；按照創(chuàng)建時(shí)間的先后順序依次將所讀取的各日志文件名稱保存到日志文件名稱隊(duì)列中。優(yōu)選的，所述新建或打開(kāi)單元包括新文件創(chuàng)建子單元，用于根據(jù)當(dāng)前日期新建日志文件并打開(kāi)；舊文件打開(kāi)子單元，用于打開(kāi)已有的日志文件；第一判斷子單元，用于判斷所述日志文件名稱隊(duì)列是否為空，如果為空，則觸發(fā)新文件創(chuàng)建子單元；如果不為空，則觸發(fā)日期比較子單元；日期比較子單元，用于提取所述日志文件名稱隊(duì)列中記錄最晚創(chuàng)建日期的日志文件名稱，判斷該最晚創(chuàng)建日期是否與當(dāng)前日期相同，如果不同，則觸發(fā)新文件創(chuàng)建子單元；如果相同，則觸發(fā)第二判斷子單元；第二判斷子單元，用于判斷所述記錄最晚創(chuàng)建日期的日志文件名稱所對(duì)應(yīng)日志文件的大小是否達(dá)到預(yù)設(shè)值，如果達(dá)到，則觸發(fā)新文件創(chuàng)建子單元；如果未達(dá)到，則觸發(fā)舊文件打開(kāi)子單元打開(kāi)該日志文件。優(yōu)選的，所述文件數(shù)量檢測(cè)單元循環(huán)刪除所述日志文件名稱隊(duì)列中記錄最早創(chuàng)建日期的日志文件名稱及其對(duì)應(yīng)的日志文件，直到小于或等于所述日志文件數(shù)量門限值。優(yōu)選的，所述日志記錄單元獲得一條待記錄的日志信息，并將所述待記錄的日志信息記錄到所述新建的日志文件或打開(kāi)的已有的日志文件中，然后觸發(fā)第二判斷子單元； 第二判斷子單元判斷記錄所述待記錄的日志信息的日志文件的大小是否達(dá)到預(yù)設(shè)值，如果達(dá)到，則觸發(fā)新文件創(chuàng)建子單元；如果未達(dá)到，則觸發(fā)日志記錄單元繼續(xù)獲得下一條待記錄的日志信息，并記錄下一條所述待記錄的日志信息。優(yōu)選的，所述配置解析單元還用于獲得所述日志配置文件中預(yù)設(shè)的日志級(jí)別限制信息，所述日志級(jí)別限制信息包括對(duì)應(yīng)各模塊預(yù)設(shè)的日志級(jí)別限制；則所述裝置還包括 日志級(jí)別判斷單元，用于根據(jù)所述日志級(jí)別限制信息判斷是否將模塊生成的日志信息放入消息隊(duì)列，如果模塊生成的日志信息的日志級(jí)別低于對(duì)應(yīng)該模塊預(yù)設(shè)的日志級(jí)別限制，則丟棄該條日志，否則放入消息隊(duì)列；所述日志記錄單元從所述消息隊(duì)列中獲得待記錄的日志fn息ο優(yōu)選的，所述配置解析單元還用于獲得所述日志配置文件中對(duì)應(yīng)各模塊預(yù)設(shè)的是否需要記錄日志的標(biāo)識(shí)信息；則所述裝置還包括是否記錄的判斷單元，用于根據(jù)所述標(biāo)識(shí)信息判斷模塊生成的日志信息是否需要記錄，如果需要，則觸發(fā)日志級(jí)別判斷單元；如果不需要，則丟棄該條日志。本發(fā)明還提供了一種半導(dǎo)體加工系統(tǒng)，包括半導(dǎo)體加工設(shè)備和半導(dǎo)體控制系統(tǒng)， 所述半導(dǎo)體控制系統(tǒng)包括上述的日志記錄裝置。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明具有以下優(yōu)點(diǎn)首先，本發(fā)明提出了一種改進(jìn)的日志記錄方法，通過(guò)在日志配置文件中預(yù)設(shè)日志文件數(shù)量門限值，并且在日志記錄過(guò)程中實(shí)時(shí)檢測(cè)已創(chuàng)建的日志文件數(shù)量是否超出所述日志文件數(shù)量門限值，如果超出則進(jìn)行刪除直至數(shù)量小于或等于門限值，從而實(shí)現(xiàn)了日志文件數(shù)量的自動(dòng)管理與維護(hù)，從根本上避免了日志文件寫(xiě)滿硬盤導(dǎo)致工控機(jī)死機(jī)的嚴(yán)重后^ ο其次，由于工程師在分析日志內(nèi)容進(jìn)行事故追憶時(shí)，可能只關(guān)注特定模塊(或子系統(tǒng))記錄的特定級(jí)別的日志信息，因此本發(fā)明通過(guò)在日志配置文件中預(yù)設(shè)對(duì)應(yīng)各模塊的日志級(jí)別限制信息，可以為具體的模塊指定日志記錄的級(jí)別限制，實(shí)現(xiàn)了更靈活的日志級(jí)別設(shè)置方式，使日志信息的記錄更加靈活、有效，減少了大量無(wú)用信息的記錄，從而提高了設(shè)備控制系統(tǒng)的性能并且降低了工程師篩選、分析日志信息的難度。再次，本發(fā)明通過(guò)在日志配置文件中預(yù)設(shè)日志文件存放路徑，可以靈活地更改日志文件的存放目錄。


圖1是現(xiàn)有技術(shù)中典型的設(shè)備控制系統(tǒng)的日志信息示意圖；圖2是本發(fā)明實(shí)施例一所述一種設(shè)備控制過(guò)程中的日志記錄方法流程圖3是本發(fā)明實(shí)施例二中日志配置文件的示意圖；圖4是本發(fā)明實(shí)施例二中日志線程A的執(zhí)行流程圖；圖5是本發(fā)明實(shí)施例二中日志線程B的執(zhí)行流程圖；圖6是本發(fā)明實(shí)施例三所述一種設(shè)備控制過(guò)程中的日志記錄裝置結(jié)構(gòu)圖。
具體實(shí)施例方式為使本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更加明顯易懂，下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式
對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)的說(shuō)明。本發(fā)明提出一種改進(jìn)的日志記錄方法，能夠有效管理系統(tǒng)中產(chǎn)生的大量日志文件。下面將以工藝設(shè)備控制過(guò)程的日志記錄為例進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。實(shí)施例一參照?qǐng)D2，是本發(fā)明實(shí)施例一所述一種設(shè)備控制過(guò)程中的日志記錄方法流程圖。在各種工藝設(shè)備的運(yùn)行過(guò)程中，由設(shè)備控制系統(tǒng)進(jìn)行日志記錄。設(shè)備控制系統(tǒng)一般包括IO (輸入輸出)、Control (控制)、Alarm (報(bào)警)、Interlock (互鎖)、Recipe (工藝配方)、ktup (配置)等功能模塊，針對(duì)每個(gè)功能模塊都會(huì)產(chǎn)生大量的日志信息，下面的流程將完成這些日志信息的記錄。在啟動(dòng)日志記錄流程之前，首先需要在日志配置文件中對(duì)日志記錄方式進(jìn)行配置，具體配置的內(nèi)容有日志文件數(shù)量門限值、哪些模塊需要記錄日志、日志級(jí)別限制等信息。配置完成后，啟動(dòng)下面的日志記錄流程步驟201，讀取日志配置文件并進(jìn)行解析，獲得日志配置文件中預(yù)設(shè)的日志文件數(shù)量門限值；此外，還可以獲得日志配置文件中的其他配置信息，如對(duì)應(yīng)各模塊預(yù)設(shè)的是否需要記錄日志的標(biāo)識(shí)信息、以及預(yù)設(shè)的日志級(jí)別限制信息等。步驟202，新建日志文件或打開(kāi)已有的日志文件；這里有兩種操作，一種是新建一個(gè)日志文件，另一種是打開(kāi)已創(chuàng)建的日志文件。其中，新建一個(gè)日志文件通常需要滿足以下兩個(gè)條件，否則就打開(kāi)已有的日志文件第一，日志文件是間隔一定的時(shí)間段而創(chuàng)建，例如一天，因此每一天都需要新建一個(gè)日志文件；第二，對(duì)日志文件的大小進(jìn)行了規(guī)定，如果文件大小超過(guò)預(yù)設(shè)值，如1M，也需要新建一個(gè)日志文件?；谝陨蟽牲c(diǎn)，本實(shí)施例提供了一種判斷是否新建日志文件或打開(kāi)已有日志文件的具體方法，如下先確定出文件命名規(guī)則，S卩所有創(chuàng)建的日志文件名稱中都記錄創(chuàng)建日期，以 "syslog+ 日期”來(lái)命名，如 syslog20080428. txt,syslog20080429. txt ；如果日志文件的大小超過(guò)1M，則新建一個(gè)文件；如果新文件是在同一天內(nèi)創(chuàng)建，則文件名要在前面命名的基礎(chǔ)上加上數(shù)字編號(hào)，如 syslog20080428-l. txt、syslog20080428_2. txt。基于此命名規(guī)則，進(jìn)行日志記錄時(shí)，在判斷之前首先將已創(chuàng)建的日志文件名稱按照日志文件創(chuàng)建的先后順序依次保存到一個(gè)日志文件名稱隊(duì)列中；然后，判斷日志文件名稱隊(duì)列是否為空，如果為空，表示沒(méi)有已經(jīng)存在的日志文件，需要根據(jù)當(dāng)前日期新建日志文件；如果不為空，則提取所述日志文件名稱隊(duì)列中記錄最晚創(chuàng)建日期的日志文件名稱，判斷該日志文件名稱記錄的創(chuàng)建日期是否與當(dāng)前日期相同，如果不同，則根據(jù)當(dāng)前日期新建日志文件；如果相同，則繼續(xù)判斷所述記錄最晚創(chuàng)建日期的日志文件名稱所對(duì)應(yīng)日志文件的大小是否達(dá)到預(yù)設(shè)值1M，如果達(dá)到，則根據(jù)當(dāng)前日期新建日志文件；如果未達(dá)到，則打開(kāi)該日志文件。在此過(guò)程中，如果判斷需要新建日志文件，則新建的日志文件名稱也會(huì)放入所述隊(duì)列中。其中，所述當(dāng)前日期可以是當(dāng)前的系統(tǒng)日期，而且所述日期包含了年、月和日的信息，因此上述判斷該日志文件名稱記錄的創(chuàng)建日期是否與當(dāng)前日期相同時(shí)，可以天為單位進(jìn)行判斷，即如果該日志文件名稱記錄的創(chuàng)建日期與當(dāng)前日期是同一天，則為相同；如果不是同一天，則為不同。需要說(shuō)明的是，本實(shí)施例中，所有創(chuàng)建的日志文件可以統(tǒng)一存放在固定的目錄 (或路徑)下，這樣日志記錄過(guò)程中就可以直接從固定的路徑下讀取日志文件名稱并按照日志文件創(chuàng)建的先后順序依次保存到隊(duì)列中。但是，這種保存方式無(wú)法更改日志文件的存放目錄，不夠靈活?；诖?，本實(shí)施例還提出了一種改進(jìn)的處理方法，可以在日志配置文件中預(yù)設(shè)日志文件存放路徑，即日志文件的存放路徑可配置，這樣就允許靈活地更改存放路徑。在日志記錄過(guò)程中，首先解析日志配置文件獲得日志文件存放路徑，然后從該路徑下讀取各已創(chuàng)建的日志文件所對(duì)應(yīng)的日志文件名稱，并按照創(chuàng)建日期的先后順序依次將所讀取的各日志文件名稱保存到日志文件名稱隊(duì)列中。步驟203，檢測(cè)已創(chuàng)建的日志文件的數(shù)量是否超出所述日志文件數(shù)量門限值，如果超出，則按照預(yù)置策略進(jìn)行刪除，直到所述已創(chuàng)建的日志文件的數(shù)量小于或等于所述日志文件數(shù)量門限值，再繼續(xù)步驟204 ；為了控制系統(tǒng)中的日志文件數(shù)量，可以檢測(cè)上述日志文件名稱隊(duì)列中的名稱數(shù)量，如果超過(guò)了日志配置文件中設(shè)定的日志文件數(shù)量門限值，可通過(guò)刪除隊(duì)列中的一部分文件名稱及其對(duì)應(yīng)的日志文件，來(lái)滿足所述日志文件數(shù)量門限值的要求。其中，可采用的刪除策略有多種，例如按照創(chuàng)建時(shí)間的先后順序刪除創(chuàng)建最早的日志文件名稱及其對(duì)應(yīng)的日志文件，等等。步驟204，獲得待記錄的日志信息，并將所述待記錄的日志信息記錄到所述新建的日志文件或打開(kāi)的已有的日志文件中。在滿足步驟203所述的日志文件數(shù)量門限值的基礎(chǔ)上，可以將生成的日志信息記錄到上述新建的日志文件或打開(kāi)的已有日志文件中。本實(shí)施例中，設(shè)備控制系統(tǒng)中的各個(gè)模塊(如10、Control、Alarm、Interlock, Recipe、Setup)都會(huì)產(chǎn)生日志信息，這些日志信息被放入消息隊(duì)列并等待被記錄到日志文件中。而在上述步驟所述的日志記錄過(guò)程中，是從所述消息隊(duì)列中逐條取出日志信息再記錄到日志文件中。在此循環(huán)取出并記錄的過(guò)程中，由于日志文件的大小有所限制，因此每記錄一條日志信息，就需要重新判斷當(dāng)前記錄日志信息的日志文件的大小是否達(dá)到預(yù)設(shè)值 1M，如果達(dá)到，則根據(jù)當(dāng)前日期新建一個(gè)日志文件，并返回步驟203繼續(xù)進(jìn)行文件數(shù)量的判斷；如果未達(dá)到，則繼續(xù)從所述消息隊(duì)列中取出下一條日志信息并記錄到當(dāng)前的日志文件中。此外，各個(gè)模塊產(chǎn)生的日志信息在被放入消息隊(duì)列之前，還需要根據(jù)日志配置文件中哪些模塊需要記錄日志的標(biāo)識(shí)信息(如標(biāo)識(shí)1表示需要記錄日志，標(biāo)識(shí)0表示不記錄) 以及日志級(jí)別限制信息等配置信息進(jìn)行判斷，其中，所述日志級(jí)別限制信息包括對(duì)應(yīng)各模塊預(yù)設(shè)的日志級(jí)別限制。判斷時(shí)，先根據(jù)所述標(biāo)識(shí)信息判斷產(chǎn)生當(dāng)前日志信息的模塊是否需要記錄日志，如果不需要，則丟棄該條日志；如果需要，則繼續(xù)根據(jù)日志級(jí)別限制信息判斷當(dāng)前日志信息的級(jí)別，只有大于等于所配置級(jí)別的日志才會(huì)被放入消息隊(duì)列，而小于所配置級(jí)別的日志也會(huì)被丟棄。經(jīng)過(guò)這樣的篩選，那些被放入消息隊(duì)列的日志都是需要記錄到文件中的日志，因此日志記錄過(guò)程中直接從消息隊(duì)列取出日志信息并記錄到日志文件中即可。需要說(shuō)明的是，本實(shí)施例中，可以對(duì)所有的模塊配置統(tǒng)一的日志級(jí)別限制，但是在實(shí)際應(yīng)用中，工程師在分析日志內(nèi)容進(jìn)行事故追憶時(shí)，可能只關(guān)注特定模塊(或子系統(tǒng))記錄的特定級(jí)別的日志信息，這就要求日志級(jí)別可靈活配置，最大程度減少無(wú)用信息的記錄。 基于此，本實(shí)施例將上述統(tǒng)一的日志級(jí)別配置方式更改為“基于模塊的級(jí)別配置”，即在日志配置文件中還可以針對(duì)不同模塊設(shè)置不同的日志級(jí)別限制。這樣，日志記錄過(guò)程中對(duì)各模塊生成的日志信息進(jìn)行篩選時(shí)，可以根據(jù)日志配置文件獲得日志級(jí)別限制信息，然后判斷模塊生成的日志信息的日志級(jí)別是否低于對(duì)應(yīng)該模塊預(yù)設(shè)的日志級(jí)別限制，如果低于， 則丟棄該條日志，否則放入消息隊(duì)列。這種為具體的模塊指定日志記錄的級(jí)別限制的配置方式，可以使日志信息的記錄更加靈活、有效，并且降低了工程師篩選、分析日志信息的難度。綜上所述，上述日志記錄方法通過(guò)在日志配置文件中增加“日志文件數(shù)量門限值”、“基于模塊的日志級(jí)別配置”、“日志文件存放路徑”的配置項(xiàng)，并基于所述配置而進(jìn)行的日志記錄流程，實(shí)現(xiàn)了日志文件數(shù)量的自動(dòng)管理與維護(hù)，從根本上避免了日志文件寫(xiě)滿硬盤導(dǎo)致工控機(jī)死機(jī)的嚴(yán)重后果；并且，實(shí)現(xiàn)了更靈活的日志級(jí)別設(shè)置方式，減少了大量無(wú)用信息的記錄；而且，還可以靈活地更改日志文件的存放目錄。實(shí)施例二 基于實(shí)施例一的內(nèi)容，本實(shí)施例提供了一種更具體的日志記錄方法，具體如下。本實(shí)施例中，設(shè)備控制系統(tǒng)包括10(輸入輸出)，Control (控制)、Alarm(報(bào)警)、 hterlock (互鎖)、Recipe (工藝配方)、ktup (配置)等功能模塊；日志級(jí)別根據(jù)嚴(yán)重程度從低到高分為VERBOSE (詳細(xì)、冗長(zhǎng)的信息)、EVENT (重要的事件信息)、PR0BLEM(程序運(yùn)行時(shí)出現(xiàn)的問(wèn)題，雖然不屬正常但也不是錯(cuò)誤)、ERROR(錯(cuò)誤信息)和FATAL (致命錯(cuò)誤信息)五個(gè)級(jí)別。日志配置文件中記錄了“日志文件存放路徑”、“日志文件數(shù)量門限值”、“哪些模塊記錄日志”、“記錄日志的模塊的日志級(jí)別”等配置信息。參照?qǐng)D3，是本發(fā)明實(shí)施例二中日志配置文件的示意圖。其中，<Dir>節(jié)點(diǎn)配置了日志文件的存放路徑，設(shè)備控制系統(tǒng)生成的所有日志文件都將保存在該目錄下。 〈Threshold〉節(jié)點(diǎn)配置了日志文件數(shù)量的門限值，一旦文件數(shù)量超出該門限值，日志線程會(huì)按照時(shí)間先后順序刪除最舊的文件直至數(shù)量達(dá)到門限值?！碆ranch〉節(jié)點(diǎn)下配置了有哪些模塊要記錄日志以及每個(gè)模塊的日志級(jí)別限制信息(對(duì)應(yīng)level的配置值)，如圖所示， Control、Alarm、Interlock和App模塊要記錄日志(配置值為1)，它們的日志級(jí)別限制分別是 EVENT、ERROR、PROBLEM 和 EVENT，其余模塊 10、DataLog, Recipe 和 ktup 不記錄日志 (配置值為0)。
基于圖3所示的日志配置，設(shè)備控制系統(tǒng)啟動(dòng)兩個(gè)日志線程來(lái)配合完成日志記錄，其中一個(gè)線程A用于將系統(tǒng)各個(gè)模塊產(chǎn)生的日志信息篩選后放入消息隊(duì)列，另一個(gè)線程B用于從所述消息隊(duì)列中取出日志信息并進(jìn)行記錄。線程A和線程B可以并行執(zhí)行，從而提高日志記錄的效率。下面通過(guò)圖4和圖5所示流程分別說(shuō)明這兩個(gè)線程的處理過(guò)程。參照?qǐng)D4，是本發(fā)明實(shí)施例二中日志線程A的執(zhí)行流程圖。步驟401，設(shè)備控制系統(tǒng)根據(jù)日志配置文件初始化日志線程A ；具體包括讀取并解析日志配置文件，提取“哪些模塊記錄日志”和“記錄日志的模塊的日志級(jí)別”信息；步驟402，啟動(dòng)日志線程A ；步驟403，線程A接收各模塊的日志記錄請(qǐng)求；當(dāng)設(shè)備控制系統(tǒng)中的某個(gè)模塊(如Control)產(chǎn)生一條日志信息時(shí)，即向線程A發(fā)出記錄該日志的請(qǐng)求；步驟404，線程A判斷是否記錄該模塊的日志，如果不記錄則拒絕請(qǐng)求，否則繼續(xù)下一步判斷；線程A根據(jù)配置信息“哪些模塊記錄日志”可以判斷出請(qǐng)求的模塊是否記錄日志， 參照?qǐng)D3，模塊Control的配置值為1，表示該模塊產(chǎn)生的日志信息需要記錄；步驟405，線程A判斷該模塊的日志級(jí)別是否滿足要求，如果滿足則接受請(qǐng)求，并將日志信息放入消息隊(duì)列；如果不滿足，則拒絕請(qǐng)求。 線程A根據(jù)配置信息“記錄日志的模塊的日志級(jí)別”，判斷當(dāng)前請(qǐng)求模塊的日志級(jí)別是否低于該模塊預(yù)設(shè)的日志級(jí)別限制，如果低于，則拒絕請(qǐng)求；否則，將請(qǐng)求的日志信息放入消息隊(duì)列中。參照?qǐng)D3，配置文件中模塊Control的日志級(jí)別為EVENT，即只有嚴(yán)重程度大于等于EVENT級(jí)別的日志才被記錄。如果模塊Control產(chǎn)生的一條日志信息的級(jí)別為 ERROR,則滿足級(jí)別限制要求，該日志信息可以被放入消息隊(duì)列；如果該日志信息的級(jí)別為 VERBOSE,則低于EVENT級(jí)別，該日志信息將被丟棄。參照?qǐng)D5，是本發(fā)明實(shí)施例二中日志線程B的執(zhí)行流程圖。步驟501，設(shè)備控制系統(tǒng)根據(jù)日志配置文件初始化日志線程B ；具體包括1)讀取并解析日志配置文件，提取“日志文件存放路徑”和“日志文件數(shù)量門限值” fn息；2)檢測(cè)“日志文件存放路徑”所指明的文件夾是否存在，如果不存在或線程B沒(méi)有該文件夾的讀寫(xiě)權(quán)限，則拋出異常并退出；3)讀取“日志文件存放路徑”中已有的日志文件名稱，按照日志文件創(chuàng)建的先后順序依次將這些文件名稱保存到一個(gè)隊(duì)列中(較早的文件在前，如SySlog20100830. txt|syslog20100830-l.txt|syslog20100830-2.txt|syslog20100830-3. txtI syslog20 10083 1. txt | sys1 οg20 1 0090 1. txt | sys1 οg20 1 0090 1 - 1. txtIsyslog20100901-2. txt|syslog20100902. txt)；4)判斷“日志文件數(shù)量門限值”，如果該值等于0則默認(rèn)門限值為無(wú)限大，即沒(méi)有日志文件個(gè)數(shù)限制。
步驟502，啟動(dòng)日志線程B ；步驟503，線程B判斷是否新建日志文件，如果是則繼續(xù)步驟504，如果否則打開(kāi)已存在的日志文件，并繼續(xù)步驟505 ；具體判斷方法是1)判斷日志文件名稱隊(duì)列是否為空，如果空則表示沒(méi)有已經(jīng)存在的日志文件，進(jìn)而需要新建；如果不為空，則執(zhí)行2)；2)提取日志文件名稱隊(duì)列中最后(最新，即創(chuàng)建最晚)的文件名稱，如果該文件名稱記錄的創(chuàng)建日期與當(dāng)前系統(tǒng)日期不同，則需要根據(jù)系統(tǒng)日期新建日志文件；如果相同，則執(zhí)行3)；3)判斷日志文件名稱隊(duì)列中最后(最新)的名稱所對(duì)應(yīng)的日志文件大小是否達(dá)到 1M，如果是則需要新建；如果否則不用新建，而是打開(kāi)所述最后(最新)的日志文件。其中，如果判斷需要新建日志文件，線程B會(huì)新建日志文件并將其名稱追加到日志文件名稱隊(duì)列中。步驟504，創(chuàng)建并打開(kāi)新日志文件；步驟505，檢測(cè)已創(chuàng)建的日志文件數(shù)量是否超出日志文件數(shù)量門限值；如果是，則按照時(shí)間先后順序刪除最舊(即創(chuàng)建最早)的日志文件，直到達(dá)到日志文件數(shù)量門限值；如果否，則繼續(xù)步驟506 ；即檢測(cè)日志文件名稱隊(duì)列，如果文件個(gè)數(shù)超過(guò)“日志文件數(shù)量門限值”，則刪除最前面名稱對(duì)應(yīng)的日志文件，同時(shí)從隊(duì)列中移除該名稱，如此循環(huán)直至文件個(gè)數(shù)等于門限值。步驟506，判斷消息隊(duì)列中是否存在等待被記錄的日志信息，如果是，則繼續(xù)步驟 507 ；如果否，則等待新的日志信息被放入消息隊(duì)列中；其中，所述消息隊(duì)列中等待被記錄的日志信息已經(jīng)過(guò)線程A對(duì)是否記錄和級(jí)別是否滿足要求的篩選；步驟507，從消息隊(duì)列中取出一條日志信息；步驟508，記錄日志到文件中；步驟509，判斷是否退出線程B，如果是，則結(jié)束記錄流程；如果否，則繼續(xù)步驟 510 ；步驟510，判斷是否需要新建日志文件，如果是，則返回步驟504;如果否，則返回步驟506。所述判斷是指判斷當(dāng)前日志文件的大小是否達(dá)到預(yù)設(shè)值IM以及是否新的一天到來(lái)，如果滿足其中任何一個(gè)條件，則返回步驟504新建一個(gè)日志文件；否則，返回步驟 506。實(shí)施例三基于上述方法實(shí)施例的內(nèi)容，本實(shí)施例提供了相應(yīng)的裝置和系統(tǒng)實(shí)施例。參照?qǐng)D6，是本發(fā)明實(shí)施例三所述一種設(shè)備控制過(guò)程中的日志記錄裝置結(jié)構(gòu)圖。所述日志記錄裝置可以包括配置解析單元61、新建或打開(kāi)單元62、文件數(shù)量檢測(cè)單元63和日志記錄單元64。其中，配置解析單元61用于讀取日志配置文件并進(jìn)行解析，獲得日志配置文件中預(yù)設(shè)的日志文件數(shù)量門限值；新建或打開(kāi)單元62用于新建日志文件或打開(kāi)已有的日志文件；文件數(shù)量檢測(cè)單元63用于檢測(cè)已創(chuàng)建的日志文件的數(shù)量是否超出所述日志文件數(shù)量門限值，如果超出，則按照預(yù)置策略進(jìn)行刪除，直到所述已創(chuàng)建的日志文件的數(shù)量小于或等于所述日志文件數(shù)量門限值，再觸發(fā)日志記錄單元64 ；日志記錄單元64 用于獲得待記錄的日志信息，并將所述待記錄的日志信息記錄到所述新建的日志文件或打開(kāi)的已有的日志文件中。優(yōu)選的，為了可以靈活地更改日志文件的存放目錄，所述配置解析單元61還用于獲得所述日志配置文件中預(yù)設(shè)的日志文件存放路徑。相應(yīng)的，所述裝置還可以包括文件名保存單元65，用于讀取所述日志文件存放路徑下各已創(chuàng)建的日志文件名稱，日志文件名稱中記錄了其所對(duì)應(yīng)日志文件的創(chuàng)建日期；按照創(chuàng)建時(shí)間的先后順序依次將所讀取的各日志文件名稱保存到日志文件名稱隊(duì)列中。基于所述日志文件名稱隊(duì)列，所述新建或打開(kāi)單元62進(jìn)一步可以包括新文件創(chuàng)建子單元，用于根據(jù)當(dāng)前日期新建日志文件并打開(kāi)；舊文件打開(kāi)子單元，用于打開(kāi)已有的日志文件；第一判斷子單元，用于判斷所述日志文件名稱隊(duì)列是否為空，如果為空，則觸發(fā)新文件創(chuàng)建子單元；如果不為空，則觸發(fā)日期比較子單元；日期比較子單元，用于提取所述日志文件名稱隊(duì)列中記錄最晚創(chuàng)建日期的日志文件名稱，判斷該最晚創(chuàng)建日期是否與當(dāng)前日期相同，如果不同，則觸發(fā)新文件創(chuàng)建子單元； 如果相同，則觸發(fā)第二判斷子單元；第二判斷子單元，用于判斷所述記錄最晚創(chuàng)建日期的日志文件名稱所對(duì)應(yīng)日志文件的大小是否達(dá)到預(yù)設(shè)值，如果達(dá)到，則觸發(fā)新文件創(chuàng)建子單元；如果未達(dá)到，則觸發(fā)舊文件打開(kāi)子單元打開(kāi)該日志文件?；谒鋈罩疚募Q隊(duì)列，所述文件數(shù)量檢測(cè)單元63可采用以下策略刪除文件循環(huán)刪除所述日志文件名稱隊(duì)列中記錄最早創(chuàng)建日期的日志文件名稱及其對(duì)應(yīng)的日志文件，直到小于或等于所述日志文件數(shù)量門限值。此外，所述日志記錄單元64可先獲得一條待記錄的日志信息，并將所述待記錄的日志信息記錄到所述新建的日志文件或打開(kāi)的已有的日志文件中，然后觸發(fā)第二判斷子單元；第二判斷子單元判斷記錄所述待記錄的日志信息的日志文件的大小是否達(dá)到預(yù)設(shè)值， 如果達(dá)到，則觸發(fā)新文件創(chuàng)建子單元；如果未達(dá)到，則觸發(fā)日志記錄單元64繼續(xù)獲得下一條待記錄的日志信息，并記錄下一條所述待記錄的日志信息。優(yōu)選的，為了實(shí)現(xiàn)更靈活的基于模塊的日志級(jí)別配置，所述配置解析單元61還用于獲得所述日志配置文件中預(yù)設(shè)的日志級(jí)別限制信息，所述日志級(jí)別限制信息包括對(duì)應(yīng)各模塊預(yù)設(shè)的日志級(jí)別限制。相應(yīng)的，所述裝置還可以包括日志級(jí)別判斷單元66，用于根據(jù)所述日志級(jí)別限制信息判斷是否將模塊生成的日志信息放入消息隊(duì)列，如果模塊生成的日志信息的日志級(jí)別低于對(duì)應(yīng)該模塊預(yù)設(shè)的日志級(jí)別限制，則丟棄該條日志，否則放入消息隊(duì)列。而所述日志記錄單元64從所述消息隊(duì)列中獲得待記錄的日志信息。優(yōu)選的，所述配置解析單元61還用于獲得日志配置文件中對(duì)應(yīng)各模塊預(yù)設(shè)的是否需要記錄日志的標(biāo)識(shí)信息。相應(yīng)的，所述裝置還可以包括是否記錄的判斷單元67，用于根據(jù)所述標(biāo)識(shí)信息判斷模塊生成的日志信息是否需要記錄，如果需要，則觸發(fā)日志級(jí)別判斷單元66;如果不需要，則丟棄該條日志。綜上所述，本實(shí)施例所述的日志記錄裝置實(shí)現(xiàn)了日志文件數(shù)量的自動(dòng)管理與維護(hù)，從根本上避免了日志文件寫(xiě)滿硬盤導(dǎo)致工控機(jī)死機(jī)的嚴(yán)重后果；并且，實(shí)現(xiàn)了更靈活的日志級(jí)別設(shè)置方式，減少了大量無(wú)用信息的記錄；而且，還可以靈活地更改日志文件的存放目錄。基于上述日志記錄裝置，本發(fā)明還提供了一種半導(dǎo)體加工系統(tǒng)的實(shí)施例。所述半導(dǎo)體加工系統(tǒng)包括半導(dǎo)體加工設(shè)備和半導(dǎo)體控制系統(tǒng)，其中所述半導(dǎo)體加工設(shè)備具體可為 LED刻蝕機(jī)、PECVD刻蝕機(jī)等，所述半導(dǎo)體控制系統(tǒng)用于控制所述半導(dǎo)體加工設(shè)備，所述半導(dǎo)體控制系統(tǒng)中還包括圖6所示的日志記錄裝置，用于記錄半導(dǎo)體加工設(shè)備在運(yùn)行時(shí)產(chǎn)生的日志信息。其中，關(guān)于日志記錄裝置的詳細(xì)內(nèi)容可參照上述圖6的描述，在此不再詳述。本說(shuō)明書(shū)中的各個(gè)實(shí)施例均采用遞進(jìn)的方式描述，每個(gè)實(shí)施例重點(diǎn)說(shuō)明的都是與其他實(shí)施例的不同之處，各個(gè)實(shí)施例之間相同相似的部分互相參見(jiàn)即可。對(duì)于裝置和系統(tǒng)實(shí)施例而言，由于其與方法實(shí)施例基本相似，所以描述的比較簡(jiǎn)單，相關(guān)之處參見(jiàn)方法實(shí)施例的部分說(shuō)明即可。最后，還需要說(shuō)明的是，在本文中，諸如第一和第二等之類的關(guān)系術(shù)語(yǔ)僅僅用來(lái)將一個(gè)實(shí)體或者操作與另一個(gè)實(shí)體或操作區(qū)分開(kāi)來(lái)，而不一定要求或者暗示這些實(shí)體或操作之間存在任何這種實(shí)際的關(guān)系或者順序。以上對(duì)本發(fā)明所提供的一種設(shè)備控制過(guò)程中的日志記錄方法、裝置及系統(tǒng)，進(jìn)行了詳細(xì)介紹，本文中應(yīng)用了具體個(gè)例對(duì)本發(fā)明的原理及實(shí)施方式進(jìn)行了闡述，以上實(shí)施例的說(shuō)明只是用于幫助理解本發(fā)明的方法及其核心思想；同時(shí)，對(duì)于本領(lǐng)域的一般技術(shù)人員， 依據(jù)本發(fā)明的思想，在具體實(shí)施方式
及應(yīng)用范圍上均會(huì)有改變之處，綜上所述，本說(shuō)明書(shū)內(nèi)容不應(yīng)理解為對(duì)本發(fā)明的限制。
1權(quán)利要求
1.一種設(shè)備控制過(guò)程中的日志記錄方法，其特征在于，包括步驟1，讀取日志配置文件并進(jìn)行解析，獲得所述日志配置文件中預(yù)設(shè)的日志文件數(shù)量門限值；步驟2，新建日志文件或打開(kāi)已有的日志文件；步驟3，檢測(cè)已創(chuàng)建的日志文件的數(shù)量是否超出所述日志文件數(shù)量門限值，如果超出， 則按照預(yù)置策略進(jìn)行刪除，直到所述已創(chuàng)建的日志文件的數(shù)量小于或等于所述日志文件數(shù)量門限值；步驟4，獲得待記錄的日志信息，并將所述待記錄的日志信息記錄到所述新建的日志文件或打開(kāi)的已有的日志文件中。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述新建日志文件或打開(kāi)已有的日志文件之前，還包括獲得所述日志配置文件中預(yù)設(shè)的日志文件存放路徑；讀取所述日志文件存放路徑下各已創(chuàng)建的日志文件所對(duì)應(yīng)的日志文件名稱，日志文件名稱中記錄了其所對(duì)應(yīng)日志文件的創(chuàng)建日期；按照創(chuàng)建日期的先后順序依次將所讀取的各日志文件名稱保存到日志文件名稱隊(duì)列中。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其特征在于，所述新建日志文件或打開(kāi)已有的日志文件，包括判斷所述日志文件名稱隊(duì)列是否為空，如果為空，則根據(jù)當(dāng)前日期新建日志文件并打開(kāi)；如果不為空，則，提取所述日志文件名稱隊(duì)列中記錄最晚創(chuàng)建日期的日志文件名稱，判斷該最晚創(chuàng)建日期是否與當(dāng)前日期相同，如果不同，則根據(jù)當(dāng)前日期新建日志文件并打開(kāi)；如果相同，則，判斷所述記錄最晚創(chuàng)建日期的日志文件名稱所對(duì)應(yīng)日志文件的大小是否達(dá)到預(yù)設(shè)值， 如果達(dá)到，則根據(jù)當(dāng)前日期新建日志文件并打開(kāi)；如果未達(dá)到，則打開(kāi)該日志文件。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其特征在于，所述步驟3中按照預(yù)置策略進(jìn)行刪除，包括循環(huán)刪除所述日志文件名稱隊(duì)列中記錄最早創(chuàng)建日期的日志文件名稱及其對(duì)應(yīng)的日志文件。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或3所述的方法，其特征在于，所述步驟4包括獲得一條待記錄的日志信息，并將所述待記錄的日志信息記錄到所述新建的日志文件或打開(kāi)的已有的日志文件中；所述方法還包括判斷記錄所述待記錄的日志信息的日志文件的大小是否達(dá)到預(yù)設(shè)值，如果達(dá)到，則根據(jù)當(dāng)前日期新建日志文件并打開(kāi)，并返回步驟3 ；如果未達(dá)到，則返回步驟4，繼續(xù)獲得下一條待記錄的日志信息，并記錄下一條所述待記錄的日志信息。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，還包括獲得所述日志配置文件中預(yù)設(shè)的日志級(jí)別限制信息，所述日志級(jí)別限制信息包括對(duì)應(yīng)各模塊預(yù)設(shè)的日志級(jí)別限制；根據(jù)所述日志級(jí)別限制信息判斷是否將模塊生成的日志信息放入消息隊(duì)列，如果模塊生成的日志信息的日志級(jí)別低于對(duì)應(yīng)該模塊預(yù)設(shè)的日志級(jí)別限制，則丟棄該條日志，否則放入消息隊(duì)列；所述步驟4從所述消息隊(duì)列中獲得待記錄的日志信息。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法，其特征在于，所述根據(jù)日志級(jí)別限制信息判斷是否將模塊生成的日志信息放入消息隊(duì)列之前，還包括獲得所述日志配置文件中對(duì)應(yīng)各模塊預(yù)設(shè)的是否需要記錄日志的標(biāo)識(shí)信息； 根據(jù)所述標(biāo)識(shí)信息判斷模塊生成的日志信息是否需要記錄，如果需要，則繼續(xù)判斷對(duì)應(yīng)該模塊的日志級(jí)別限制；如果不需要，則丟棄該條日志。
8.一種用于設(shè)備控制過(guò)程中的日志記錄裝置，其特征在于，包括配置解析單元，用于讀取日志配置文件并進(jìn)行解析，獲得日志配置文件中預(yù)設(shè)的日志文件數(shù)量門限值；新建或打開(kāi)單元，用于新建日志文件或打開(kāi)已有的日志文件； 文件數(shù)量檢測(cè)單元，用于檢測(cè)已創(chuàng)建的日志文件的數(shù)量是否超出所述日志文件數(shù)量門限值，如果超出，則按照預(yù)置策略進(jìn)行刪除，直到所述已創(chuàng)建的日志文件的數(shù)量小于或等于所述日志文件數(shù)量門限值；日志記錄單元，用于獲得待記錄的日志信息，并將所述待記錄的日志信息記錄到所述新建的日志文件或打開(kāi)的已有的日志文件中。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的裝置，其特征在于所述配置解析單元還用于獲得所述日志配置文件中預(yù)設(shè)的日志文件存放路徑； 則所述裝置還包括文件名保存單元，用于讀取所述日志文件存放路徑下各已創(chuàng)建的日志文件所對(duì)應(yīng)的日志文件名稱，日志文件名稱中記錄了其所對(duì)應(yīng)日志文件的創(chuàng)建日期；按照創(chuàng)建時(shí)間的先后順序依次將所讀取的各日志文件名稱保存到日志文件名稱隊(duì)列中。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的裝置，其特征在于，所述新建或打開(kāi)單元包括 新文件創(chuàng)建子單元，用于根據(jù)當(dāng)前日期新建日志文件并打開(kāi)；舊文件打開(kāi)子單元，用于打開(kāi)已有的日志文件；第一判斷子單元，用于判斷所述日志文件名稱隊(duì)列是否為空，如果為空，則觸發(fā)新文件創(chuàng)建子單元；如果不為空，則觸發(fā)日期比較子單元；日期比較子單元，用于提取所述日志文件名稱隊(duì)列中記錄最晚創(chuàng)建日期的日志文件名稱，判斷該最晚創(chuàng)建日期是否與當(dāng)前日期相同，如果不同，則觸發(fā)新文件創(chuàng)建子單元；如果相同，則觸發(fā)第二判斷子單元；第二判斷子單元，用于判斷所述記錄最晚創(chuàng)建日期的日志文件名稱所對(duì)應(yīng)日志文件的大小是否達(dá)到預(yù)設(shè)值，如果達(dá)到，則觸發(fā)新文件創(chuàng)建子單元；如果未達(dá)到，則觸發(fā)舊文件打開(kāi)子單元打開(kāi)該日志文件。
11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的裝置，其特征在于所述文件數(shù)量檢測(cè)單元循環(huán)刪除所述日志文件名稱隊(duì)列中記錄最早創(chuàng)建日期的日志文件名稱及其對(duì)應(yīng)的日志文件，直到小于或等于所述日志文件數(shù)量門限值。
12.根據(jù)權(quán)利要求10所述的裝置，其特征在于所述日志記錄單元獲得一條待記錄的日志信息，并將所述待記錄的日志信息記錄到所述新建的日志文件或打開(kāi)的已有的日志文件中，然后觸發(fā)第二判斷子單元；第二判斷子單元判斷記錄所述待記錄的日志信息的日志文件的大小是否達(dá)到預(yù)設(shè)值， 如果達(dá)到，則觸發(fā)新文件創(chuàng)建子單元；如果未達(dá)到，則觸發(fā)日志記錄單元繼續(xù)獲得下一條待記錄的日志信息，并記錄下一條所述待記錄的日志信息。
13.根據(jù)權(quán)利要求8所述的裝置，其特征在于所述配置解析單元還用于獲得所述日志配置文件中預(yù)設(shè)的日志級(jí)別限制信息，所述日志級(jí)別限制信息包括對(duì)應(yīng)各模塊預(yù)設(shè)的日志級(jí)別限制；則所述裝置還包括日志級(jí)別判斷單元，用于根據(jù)所述日志級(jí)別限制信息判斷是否將模塊生成的日志信息放入消息隊(duì)列，如果模塊生成的日志信息的日志級(jí)別低于對(duì)應(yīng)該模塊預(yù)設(shè)的日志級(jí)別限制，則丟棄該條日志，否則放入消息隊(duì)列；所述日志記錄單元從所述消息隊(duì)列中獲得待記錄的日志信息。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的裝置，其特征在于所述配置解析單元還用于獲得所述日志配置文件中對(duì)應(yīng)各模塊預(yù)設(shè)的是否需要記錄日志的標(biāo)識(shí)信息；則所述裝置還包括是否記錄的判斷單元，用于根據(jù)所述標(biāo)識(shí)信息判斷模塊生成的日志信息是否需要記錄，如果需要，則觸發(fā)日志級(jí)別判斷單元；如果不需要，則丟棄該條日志。
15.一種半導(dǎo)體加工系統(tǒng)，包括半導(dǎo)體加工設(shè)備和半導(dǎo)體控制系統(tǒng)，其特征在于，所述半導(dǎo)體控制系統(tǒng)包括權(quán)利要求8-14任意一項(xiàng)所述的日志記錄裝置。
全文摘要
本發(fā)明提供了設(shè)備控制過(guò)程中的日志記錄方法、裝置及系統(tǒng)，以解決日志管理的問(wèn)題。所述方法包括步驟1，讀取日志配置文件并進(jìn)行解析，獲得所述日志配置文件中預(yù)設(shè)的日志文件數(shù)量門限值；步驟2，新建日志文件或打開(kāi)已有的日志文件；步驟3，檢測(cè)已創(chuàng)建的日志文件的數(shù)量是否超出所述日志文件數(shù)量門限值，如果超出，則按照預(yù)置策略進(jìn)行刪除，直到所述已創(chuàng)建的日志文件的數(shù)量小于或等于所述日志文件數(shù)量門限值；步驟4，獲得待記錄的日志信息，并將所述待記錄的日志信息記錄到所述新建的日志文件或打開(kāi)的已有的日志文件中。本發(fā)明實(shí)現(xiàn)了日志文件數(shù)量的自動(dòng)管理與維護(hù)，從根本上避免了日志文件寫(xiě)滿硬盤導(dǎo)致工控機(jī)死機(jī)的嚴(yán)重后果。
文檔編號(hào)G06F17/30GK102467516SQ20101053659
公開(kāi)日2012年5月23日 申請(qǐng)日期2010年11月4日 優(yōu)先權(quán)日2010年11月4日
發(fā)明者楊洋 申請(qǐng)人:北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責(zé)任公司