晶圓cmp加工信息管理系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提出一種晶圓CMP加工信息管理系統(tǒng)，用于科學地管理每一片晶圓的CMP加工信息，方便工藝人員登錄和訪問數(shù)據(jù)庫，包括：客戶端，用于向服務(wù)器端發(fā)出訪問請求建立連接并要求各項服務(wù)；以及服務(wù)器端，用于響應客戶端的訪問請求與客戶端建立連接，并提供服務(wù)。客戶端運行在上位機IPC中。服務(wù)器端，利用MySQL數(shù)據(jù)庫管理系統(tǒng)建立數(shù)據(jù)庫，用于記錄和保存被提交的數(shù)據(jù)。數(shù)據(jù)庫中，根據(jù)晶圓編號、晶圓狀態(tài)、加工時間和工藝配方名稱等主要字段，建立一系列完整的晶圓CMP加工信息數(shù)據(jù)表格。對于MySQL數(shù)據(jù)庫的訪問方法，本發(fā)明利用Qt的數(shù)據(jù)庫訪問接口，自行編譯MySQL數(shù)據(jù)庫驅(qū)動。數(shù)據(jù)庫登陸成功后，客戶端使用標準的SQL來對數(shù)據(jù)庫進行操作。
【專利說明】晶圓CMP加工信息管理系統(tǒng)【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及化學機械拋光【技術(shù)領(lǐng)域】，特別涉及一種晶圓CMP加工信息管理系統(tǒng)?！颈尘凹夹g(shù)】
[0002]化學機械拋光技術(shù)(ChemicalMechanical Planarization,簡稱CMP)是當前ULSI時代最廣泛使用的全局平坦化技術(shù)。與現(xiàn)有的一些平坦化技術(shù)相比，CMP技術(shù)在有效兼顧表面的局部和全局平坦度的同時，滿足了制造特征尺寸更小、金屬互連層數(shù)更多的芯片的要求。本CMP系統(tǒng)針對銅CMP工藝而設(shè)計，用于去除晶圓表面多余的銅。在工藝實踐中，工藝人員需及時掌握每一片晶圓的工藝信息，包括晶圓編號，晶圓狀態(tài)，加工時間及其拋光時使用的工藝配方名稱等，從而科學管理晶圓的加工過程。
[0003]然而，現(xiàn)有的一些數(shù)據(jù)庫管理系統(tǒng)不適合本CMP控制系統(tǒng)，不便于晶圓CMP加工信息管理系統(tǒng)的開發(fā)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明的目的旨在至少解決上述的技術(shù)缺陷之一。
[0005]為此，本發(fā)明需要提供一種晶圓CMP加工信息管理系統(tǒng)，用于科學管理晶圓的CMP加工信息，并方便工藝人員登錄和訪問晶圓加工信息數(shù)據(jù)庫。
[0006]有鑒于此，本發(fā)明的實施例提出一種晶圓CMP加工信息管理系統(tǒng)，包括:客戶端，用于向服務(wù)器端發(fā)出訪問請求建立連接，并要求服務(wù)器端提供服務(wù)；以及服務(wù)器端，用于響應所述訪問請求與所述客戶端建立連接，并提供服務(wù)，所述客戶端通過所述服務(wù)器端登錄和訪問數(shù)據(jù)庫，以對所述數(shù)據(jù)庫中的晶圓CMP加工信息進行讀取或刪除操作。
[0007]根據(jù)本發(fā)明實施例的系統(tǒng)，服務(wù)器端利用MySQL開源數(shù)據(jù)庫管理系統(tǒng)，建立數(shù)據(jù)庫，用于記錄和保存被提交的數(shù)據(jù)，方便了數(shù)據(jù)訪問過程，提高了處理效率。另外，客戶端利用Qt OpenSource實現(xiàn)其圖形用戶界面的開發(fā)和數(shù)據(jù)庫的訪問驅(qū)動，降低了其開發(fā)難度。
[0008]在本發(fā)明的一個實施例中，所述服務(wù)器端通過MySQL開源數(shù)據(jù)庫管理系統(tǒng)建立所述數(shù)據(jù)庫，所述數(shù)據(jù)庫用于記錄和保存所述晶圓CMP加工信息。
[0009]在本發(fā)明的一個實施例中，所述晶圓CMP加工信息包括晶圓編號、晶圓狀態(tài)、加工時間和工藝配方名稱。
[0010]在本發(fā)明的一個實施例中，所述數(shù)據(jù)庫根據(jù)所述每片晶圓的所述晶圓CMP加工信息建立數(shù)據(jù)表格，使所述晶圓CMP加工信息以數(shù)據(jù)表格的形式存儲在所述數(shù)據(jù)庫中。
[0011]在本發(fā)明的一個實施例中，所述服務(wù)器端通過監(jiān)聽端口監(jiān)聽所述客戶端的請求，如果所述客戶端有請求，則根據(jù)所述客戶端的要求進行服務(wù)，所述客戶端根據(jù)所述服務(wù)器端的IP地址和所述監(jiān)聽端口與所述服務(wù)器端建立連接，并要求服務(wù)。
[0012]在本發(fā)明的一個實施例中，在所述客戶端連接到所述服務(wù)器端之后，所述服務(wù)器端對所述客戶端的用戶身份進行驗證，并在驗證通過后，所述客戶端在所述用戶權(quán)限內(nèi)對所述數(shù)據(jù)庫中的所述晶圓CMP加工信息進行讀取或刪除操作。[0013]在本發(fā)明的一個實施例中，在所述客戶端與所述服務(wù)器端的連接失敗次數(shù)大于預設(shè)次數(shù)時，所述服務(wù)器端向所述客戶端發(fā)出提示信息。
[0014]在本發(fā)明的一個實施例中，在所述服務(wù)器端與所述客戶端的連接失敗次數(shù)不大于預設(shè)次數(shù)時，所述客戶端與所述服務(wù)器端繼續(xù)建立連接。
[0015]在本發(fā)明的一個實施例中，所述客戶端通過Qt的數(shù)據(jù)庫訪問接口訪問所述數(shù)據(jù)庫。
[0016]在本發(fā)明的一個實施例中，在所述客戶端登錄到所述數(shù)據(jù)庫后，所述客戶端使用標準的SQL語句發(fā)送指令，并利用函數(shù)value從讀取到的每條所述晶圓CMP加工信息的記錄中依次獲取各項數(shù)據(jù)，再轉(zhuǎn)化為對應的數(shù)據(jù)類型以進行后續(xù)的數(shù)據(jù)處理。
[0017]本發(fā)明附加的方面和優(yōu)點將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過本發(fā)明的實踐了解到。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0018]本發(fā)明上述的和/或附加的方面和優(yōu)點從下面結(jié)合附圖對實施例的描述中將變得明顯和容易理解，其中:
[0019]圖1為根據(jù)本發(fā)明一個實施例的晶圓CMP加工信息管理系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)框圖；
[0020]圖2為根據(jù)本發(fā)明一個實施例的客戶端登陸數(shù)據(jù)庫的流程圖；
[0021]圖3為根據(jù)本發(fā)明一個實施例的加工信息主要內(nèi)容的示意圖；以及
[0022]圖4為根據(jù)本發(fā)明一個實施例的客戶端的訪問過程示意圖。
【具體實施方式】
[0023]下面詳細描述本發(fā)明的實施例，實施例的示例在附圖中示出，其中自始至終相同或類似的標號表示相同或類似的元件或具有相同或類似功能的元件。下面通過參考附圖描述的實施例是示例性的，僅用于解釋本發(fā)明，而不能理解為對本發(fā)明的限制。
[0024]在本發(fā)明的描述中，需要理解的是，術(shù)語“中心”、“縱向”、“橫向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“頂”、“底”、“內(nèi)”、“外”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本發(fā)明和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對本發(fā)明的限制。此外，術(shù)語“第一”、“第二”僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對重要性。
[0025]在本發(fā)明的描述中，需要說明的是，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語“安裝”、“相連”、“連接”應做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或一體地連接；可以是機械連接，也可以是電連接；可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連，可以是兩個元件內(nèi)部的連通。對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以具體情況理解上述術(shù)語在本發(fā)明中的具體含義。
[0026]圖1為根據(jù)本發(fā)明一個實施例的晶圓CMP加工信息管理系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)框圖。如圖1所示，根據(jù)本發(fā)明實施例的晶圓CMP加工信息管理系統(tǒng)包括:客戶端100和服務(wù)器端200。
[0027]具體地，客戶端100用于向服務(wù)器端200發(fā)出訪問請求建立連接，并要求服務(wù)器端200提供服務(wù)。服務(wù)器端200用于響應訪問請求與客戶端建立連接，并提供服務(wù)。客戶端100通過服務(wù)器端200登錄和訪問數(shù)據(jù)庫，以對數(shù)據(jù)庫中的晶圓CMP加工信息進行讀取或刪除操作。在客戶端100/服務(wù)器端200的架構(gòu)下，系統(tǒng)需保持客戶端100和服務(wù)器端200兩個進程，并且應先啟動服務(wù)器端的應用程序。由于實時性的需要，數(shù)據(jù)庫需要不斷更新與補充，所以服務(wù)器端200的應用程序應在工作階段持續(xù)運行。
[0028]MySQL是瑞典MySQL AB公司開發(fā)的開源數(shù)據(jù)庫管理系統(tǒng)，源代碼開放并可免費使用。目前，在眾多的數(shù)據(jù)庫管理系統(tǒng)中，MySQL以其開源特性和卓越性能成為很多人建立信息管理系統(tǒng)的首選。作為一種關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)庫管理系統(tǒng)，它將數(shù)據(jù)間的關(guān)系以數(shù)據(jù)庫表的形式加以表達，并將數(shù)據(jù)存儲在表格中以便查詢。
[0029]根據(jù)本發(fā)明實施例的系統(tǒng)，服務(wù)器端利用MySQL開源數(shù)據(jù)庫管理系統(tǒng)，建立數(shù)據(jù)庫，用于記錄和保存被提交的數(shù)據(jù)，方便了數(shù)據(jù)訪問過程，提高了處理效率。另外，客戶端利用Qt OpenSource實現(xiàn)其圖形用戶界面的開發(fā)和數(shù)據(jù)庫的訪問驅(qū)動，降低了其開發(fā)難度。
[0030]在本發(fā)明的一個實施例中，所述服務(wù)器端通過MySQL開源數(shù)據(jù)庫管理系統(tǒng)建立所述數(shù)據(jù)庫，所述數(shù)據(jù)庫用于記錄和保存所述晶圓CMP加工信息。服務(wù)器端200實時獲取CMP主控制系統(tǒng)提交的晶圓CMP加工信息，并將晶圓CMP加工信息添加到數(shù)據(jù)庫中，其中CMP主控制系統(tǒng)具有最高的數(shù)據(jù)訪問權(quán)限。具體地，工藝人員每選定一批次晶圓進行CMP工藝后，控制系統(tǒng)自動將本批次的晶圓CMP加工信息填加到數(shù)據(jù)庫中。該晶圓CMP加工信包括晶圓編號、晶圓狀態(tài)、加工時間和工藝配方名稱等數(shù)據(jù)。圖3為根據(jù)本發(fā)明一個實施例的晶圓CMP加工信主要內(nèi)容的示意圖。如圖3所示，服務(wù)器端200的資源管理器連接到MySQL數(shù)據(jù)庫后，將每片晶圓CMP加工信息，即晶圓編號、晶圓狀態(tài)、加工時間和工藝配方名稱等建立一系列完整的數(shù)據(jù)表格。其中，晶圓狀態(tài)表示晶圓已完成工藝處理或未完成工藝處理。當客戶端100連接服務(wù)器端200，并驗證用戶身份正確后便可以獲取當前用戶權(quán)限內(nèi)的全部信息。服務(wù)器端200以各晶圓CMP加工信息為參數(shù)項建立數(shù)據(jù)表格，使晶圓CMP加工信以數(shù)據(jù)表格的形式存儲在數(shù)據(jù)庫中。表格中的每一行對應一條完整的晶圓CMP加工信記錄。
[0031]在本發(fā)明的一個實施例中，服務(wù)器端200通過監(jiān)聽端口(例如端口號為3306)監(jiān)聽客戶端100的連接請求，如果客戶端有請求，則按照客戶端的要求進行服務(wù)。客戶端100根據(jù)服務(wù)器端200的IP地址和監(jiān)聽端口與客戶端100建立連接，并要求服務(wù)。在客戶端100連接到服務(wù)器端200之后，客戶端進一步提供當前用戶的用戶名和密碼。服務(wù)器端200對客戶端100的用戶身份驗證正確后，客戶端100在用戶權(quán)限內(nèi)對數(shù)據(jù)庫操作，服務(wù)器端200則根據(jù)用戶的操作向數(shù)據(jù)庫提交SQL指令。如果身份驗證失敗，則服務(wù)器端200向客戶端100發(fā)出提示信息，例如“密碼錯誤”等提示信息。在客戶端與服務(wù)器端連接過程中，如果服務(wù)器端200與客戶端100的連接失敗次數(shù)大于預設(shè)次數(shù)時，服務(wù)器端200向客戶端100發(fā)出提示信息，例如“服務(wù)器不存在”或“ IP地址錯誤”等，否則客戶端100根據(jù)服務(wù)器端200名稱和監(jiān)聽端口與服務(wù)器端200繼續(xù)建立連接。該預設(shè)次數(shù)可以為3次。
[0032]圖2為根據(jù)本發(fā)明一個實施例的客戶端登陸數(shù)據(jù)庫的流程圖。如圖2所示，客戶端100通過服務(wù)器的IP地址，及監(jiān)聽端口號與服務(wù)器端200建立連接。如果連接成功，根據(jù)用戶通過客戶端100提供的用戶名和密碼進行身份驗證。身份驗證正確后，允許客戶端100登陸到數(shù)據(jù)庫，進而允許客戶端100在用戶權(quán)限以內(nèi)進行操作數(shù)據(jù)。如果身份驗證失敗，則向客戶端100發(fā)出提示信息，例如“驗證失敗”等提示信息。如果客戶端100與服務(wù)器端200連接失敗，首先判斷其連接次數(shù)是否大于預設(shè)次數(shù)，如果不大于預設(shè)次數(shù)，則繼續(xù)根據(jù)服務(wù)器的IP地址和監(jiān)聽端口號與服務(wù)器端200建立連接，否則向客戶端100發(fā)送錯誤信息或提示信息，例如“服務(wù)器不存在”或“IP地址錯誤”等信息。如果客戶端100登陸數(shù)據(jù)庫成功，服務(wù)器端200根據(jù)用戶的操作或指令向數(shù)據(jù)庫提交SQL指令，并把返回結(jié)果反饋給客戶端100。
[0033]客戶端100運行在上位機IPC中，客戶端100具有獨立的操作界面，用戶可以根據(jù)該操作界登陸數(shù)據(jù)庫?？蛻舳?00的主要功能包括:(1)用戶可隨時通過客戶端100連接至|J數(shù)據(jù)庫，并訪問該用戶權(quán)限以內(nèi)全部晶圓CMP加工信息。(2)登陸到該數(shù)據(jù)庫之后，用戶可對本權(quán)限以內(nèi)對晶圓CMP加工信記錄進行讀取或刪除操作。其中，數(shù)據(jù)庫運行在服務(wù)器端200上。本發(fā)明中基于Visual Studio2008軟件開發(fā)平臺，利用Qt Designer完成客戶端圖形用戶界面的開發(fā)，并使用Qt的數(shù)據(jù)庫訪問接口，編譯MySQL數(shù)據(jù)庫驅(qū)動。該驅(qū)動在客戶端中以插件的形式應用。在本發(fā)明的客戶端實現(xiàn)中，創(chuàng)建數(shù)據(jù)庫連接需要以下操作:激活驅(qū)動程序，設(shè)置連接信息，打開連接。
[0034]圖4為根據(jù)本發(fā)明一個實施例的客戶端的訪問過程示意圖。如圖4所示，客戶端100的操作過程大致可分為(1)打開客戶端，連接數(shù)據(jù)庫，(2)對數(shù)據(jù)庫操作和(3)退出客戶端，中斷連接。
[0035](1)打開客戶端，連接數(shù)據(jù)庫
[0036]在客戶端100的界面中，輸入服務(wù)器的IP地址、服務(wù)器端的監(jiān)聽端口號、數(shù)據(jù)庫名稱、用戶名以及密碼。如果連接和驗證成功，即可登錄存儲有晶圓CMP加工信的數(shù)據(jù)庫。
[0037](2)數(shù)據(jù)庫的操作
[0038]客戶端100將包含各種操作信息的請求傳送給服務(wù)器端200。該請求操作信息包括讀取和刪除等。其中，讀取操作是根據(jù)當前用戶的權(quán)限，將該用戶權(quán)限內(nèi)的全部記錄反饋給該用戶，而且用戶可進一步設(shè)置過濾條件，查看所需數(shù)據(jù)。該刪除操作為偽刪除操作，即只是將該刪除的信息不再出現(xiàn)在當前用戶的查詢結(jié)果中(并不能從數(shù)據(jù)庫中真正刪除所選記錄，只有具有刪除權(quán)限的用戶才可刪除記錄)。當服務(wù)器端200獲取用戶的操作指令后，可將相應的結(jié)果發(fā)送到客戶端100呈現(xiàn)給用戶。
[0039](3)退出客戶端，中斷連接，即關(guān)閉窗口，釋放客戶端100的進程。
[0040]訪問MySQL數(shù)據(jù)庫的方式有三種。第一種是使用MySQL的C API接口。第二種是使用開放數(shù)據(jù)庫互連接口 MySQL ODBC。第三種是使用基于標準C++的MySQL數(shù)據(jù)庫訪問弓|擎MySQL++。第一種和第二種方式是MySQL早期提供的訪問方式，而MySQL++是一種新的訪問方式，該訪問方式是基于標準C++的源代碼級MySQL數(shù)據(jù)庫訪問引擎，具有功能強大、訪問性能高，還可以跨平臺。
[0041 ] Qt提供了無關(guān)平臺的數(shù)據(jù)庫編程接口，可更好地擴展新的不同的數(shù)據(jù)庫。此外，利用Qt的模型/視圖結(jié)構(gòu)，可方便信息的存儲與瀏覽。因此，在本發(fā)明的一個實施例中，采用Qt提供的數(shù)據(jù)庫訪問接口。由于Qt自身沒有帶MySQL數(shù)據(jù)庫的驅(qū)動，只有源代碼文件，所以本發(fā)明編譯了 MySQL數(shù)據(jù)庫驅(qū)動，使其以插件的形式應用。編譯過程具體如下所示。
[0042]第一步，下載MySQL的安裝程序。在安裝時選擇定制安裝，選中Libs和Include文件，假設(shè)安裝位置是C: \MySQL。
[0043]第二步，進行編譯?？梢园凑諏嶋H情況輸入如下指令:
[0044]a.cd%QTDIR%\src\plugins\sqldrivers\mysql[0045]b.qmake"INCLUDEPATH+=C: \MySQL\include""LIBS+=C: \MYSQL\MySQLServer<version>\lib\opt\libmysql.lib〃mysql.pro
[0046]c.nmake
[0047]第三步，將C: \MySQL\bin目錄下的libmySQL.dll文件復制到Qt Creator安裝目錄下的qt\bin目錄中即可。
[0048]由于Qt的SQL模塊可以通過插件的形式在運行期動態(tài)地裝載新的驅(qū)動程序，所以一旦該插件被建立，Qt就可以自動地裝載它，之后為QSqlDatabase所用。
[0049]在本發(fā)明的客戶端100在運行過程中，創(chuàng)建數(shù)據(jù)庫連接的具體操作為:首先，激活驅(qū)動程序，設(shè)置連接信息，打開連接。在數(shù)據(jù)庫連接成功后，就可以使用標準的SQL對數(shù)據(jù)庫進行讀取和刪除等常規(guī)操作。以下結(jié)合Qt的SQL模塊所提供的主要函數(shù)，簡述查詢過程。
[0050]首先，建立與數(shù)據(jù)庫的連接。所以，可調(diào)用函數(shù)QSqlDatabase::addDatabase創(chuàng)建QSqlDatabase對象。函數(shù)addDatabase的第一個參數(shù)指定了 Qt使用哪一個數(shù)據(jù)庫驅(qū)動程序來訪問這個數(shù)據(jù)庫，本發(fā)明使用的是MySQL數(shù)據(jù)庫。
[0051]然后，需要設(shè)置數(shù)據(jù)庫的服務(wù)器名，端口號，數(shù)據(jù)庫名，用戶名及密碼，并且打開這個連接。一般情況下，常用參數(shù)設(shè)置可進行保存。當用戶二次登陸時，在指定位置讀取已保存參數(shù)即可。
[0052]當建立連接時，可以使用QSqlQuery執(zhí)行底層數(shù)據(jù)庫支持的任何SQL語句。在執(zhí)行SQL語句前,需要創(chuàng)建一個QSqlQuery對象，然后利用函數(shù)QSqlQuery:: exec進行相應處理。其QSqlQuery對象的創(chuàng)建如下。
[0053]QSqlQuery query·;
[0054]query, exec (QString ("SELECT^FROM CMPmsg WHERE cid=’％1’ORDER BYcreatetime DESC〃).arg(parameter::userID));
[0055]通過上述查詢代碼將返回當前用戶權(quán)限下的所有記錄，并按生成日期降序排列。在執(zhí)行完函數(shù)exec后，QSqlQuery的內(nèi)部指針被定位到結(jié)果集的第一個記錄之前,可以使用函數(shù)QSqlQuery::next將指針定位到第一條記錄。隨后每次調(diào)用函數(shù)next,都會把記錄指針移到下一條記錄。這時，利用函數(shù)value將每條記錄中不同數(shù)據(jù)類型的參數(shù)以統(tǒng)一的QVariant類型返回再轉(zhuǎn)化為相應的數(shù)據(jù)類型，從而實現(xiàn)依次提取各項參數(shù)。
[0056]對于獲取到的數(shù)據(jù)，客戶端將其顯示在用戶界面中數(shù)據(jù)表格的指定位置上。對于一般數(shù)據(jù)，可利用Qt提供的QSQlTableModel和QTableView處理數(shù)據(jù)，并對其進行適當渲染。
[0057]根據(jù)本發(fā)明實施例的系統(tǒng)，服務(wù)器端利用MySQL開源數(shù)據(jù)庫管理系統(tǒng)，建立數(shù)據(jù)庫，用于記錄和保存被提交的數(shù)據(jù)，方便了數(shù)據(jù)訪問過程，提高了處理效率。另外，客戶端利用Qt實現(xiàn)其圖形用戶界面的開發(fā)和數(shù)據(jù)庫的訪問驅(qū)動，降低了其開發(fā)難度。
[0058]盡管上面已經(jīng)示出和描述了本發(fā)明的實施例，可以理解的是，上述實施例是示例性的，不能理解為對本發(fā)明的限制，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員在不脫離本發(fā)明的原理和宗旨的情況下在本發(fā)明的范圍內(nèi)可以對上述實施例進行變化、修改、替換和變型。
【權(quán)利要求】
1.一種晶圓CMP加工信息管理系統(tǒng)，其特征在于，包括:客戶端，用于向服務(wù)器端發(fā)出訪問請求建立連接，并要求服務(wù)器端提供服務(wù)；以及服務(wù)器端，用于響應所述訪問請求與所述客戶端建立連接，并提供服務(wù)，所述客戶端通過所述服務(wù)器端登錄和訪問數(shù)據(jù)庫，以對所述數(shù)據(jù)庫中的晶圓CMP加工信息進行讀取或刪除操作。
2.如權(quán)利要求1所述的晶圓CMP加工信息管理系統(tǒng)，其特征在于，所述服務(wù)器端通過MySQL開源數(shù)據(jù)庫管理系統(tǒng)建立所述數(shù)據(jù)庫，所述數(shù)據(jù)庫用于記錄和保存所述晶圓CMP加工信息。
3.如權(quán)利要求1所述的晶圓CMP加工信息管理系統(tǒng)，其特征在于，所述晶圓CMP加工信息包括晶圓編號、晶圓狀態(tài)、加工時間和工藝配方名稱。
4.如權(quán)利要求1所述的晶圓CMP加工信息管理系統(tǒng)，其特征在于，所述數(shù)據(jù)庫根據(jù)所述每片晶圓的所述晶圓CMP加工信息建立數(shù)據(jù)表格，使所述晶圓CMP加工信息以數(shù)據(jù)表格的形式存儲在所述數(shù)據(jù)庫中。
5.如權(quán)利要求1所述的晶圓CMP加工信息管理系統(tǒng)，其特征在于，所述服務(wù)器端通過監(jiān)聽端口監(jiān)聽所述客戶端的請求，如果所述客戶端有請求，則根據(jù)所述客戶端的要求進行服務(wù)，所述客戶端根據(jù)所述服務(wù)器端的IP地址和所述監(jiān)聽端口與所述服務(wù)器端建立連接，并要求服務(wù)。
6.如權(quán)利要求5所述的晶圓CMP加工信息管理系統(tǒng)，其特征在于，在所述客戶端連接到所述服務(wù)器端之后，所述服務(wù)器端對所述客戶端的用戶身份進行驗證，并在驗證通過后，所述客戶端在所述用戶權(quán)限內(nèi)對所述數(shù)據(jù)庫中的所述晶圓CMP加工信息進行讀取或刪除操作。
7.如權(quán)利要求5所述的晶圓CMP加工信息管理系統(tǒng)，其特征在于，在所述客戶端與所述服務(wù)器端的連接失敗次數(shù)大于預設(shè)次數(shù)時，所述服務(wù)器端向所述客戶端發(fā)出提示信息。
8.如權(quán)利要求7所述的晶圓CMP加工信息管理系統(tǒng)，其特征在于，在所述服務(wù)器端與所述客戶端的連接失敗次數(shù)不大于預設(shè)次數(shù)時，所述客戶端與所述服務(wù)器端繼續(xù)建立連接。
9.如權(quán)利要求2所述的晶圓CMP加工信息管理系統(tǒng)，其特征在于，所述客戶端通過Qt的數(shù)據(jù)庫訪問接口訪問所述數(shù)據(jù)庫。
10.如權(quán)利要求2所述的晶圓CMP加工信息管理系統(tǒng)，其特征在于，在所述客戶端登錄到所述數(shù)據(jù)庫后，所述客戶端使用標準的SQL語句發(fā)送指令，并利用函數(shù)value從讀取到的每條所述晶圓CMP加工信息的記錄中依次獲取各項數(shù)據(jù)，再轉(zhuǎn)化為對應的數(shù)據(jù)類型以進行后續(xù)的數(shù)據(jù)處理。
【文檔編號】G06Q10/06GK103679368SQ201310683737
【公開日】2014年3月26日 申請日期:2013年12月13日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月13日
【發(fā)明者】路新春, 李弘愷, 田芳馨, 王同慶, 趙乾, 何永勇 申請人:清華大學