專利名稱:晶圓盒把手的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本實(shí)用新型涉及一種握持裝置,尤其涉及一種可穩(wěn)固抓牢晶圓盒,而不會(huì)從手中滑落,避免晶圓盒內(nèi)的晶圓破損的晶圓盒把手。
背景技術(shù):
在晶圓的制作處理流程中,通常都是由多部的制程機(jī)臺(tái)來完成整個(gè)晶圓的制作流程,而每一部制程機(jī)臺(tái)負(fù)責(zé)晶圓在每一階段所需的不同制程處理。但當(dāng)前后制程的制程機(jī)臺(tái)與制程機(jī)臺(tái)之間的距離相距甚遠(yuǎn)時(shí),晶圓盒會(huì)經(jīng)由一套倉儲(chǔ)系統(tǒng)及運(yùn)輸系統(tǒng)來完成晶圓在制程機(jī)臺(tái)與制程機(jī)臺(tái)之間的傳送。
當(dāng)一批晶圓自某一制程機(jī)臺(tái)完成制程時(shí),該批晶圓會(huì)置入晶圓盒中,并通過工作人員用手抓持住該晶圓盒把手的承接部,然后將該晶圓盒從制程機(jī)臺(tái)搬移至倉儲(chǔ)系統(tǒng),接著再借由該倉儲(chǔ)系統(tǒng)以及運(yùn)輸系統(tǒng)互相的搭配,以完成該晶圓盒從一制程機(jī)臺(tái)到另一制程機(jī)臺(tái)之間的傳送。
其中,該晶圓盒把手的承接部為一種符合SEMI規(guī)格的平板設(shè)計(jì),主要設(shè)計(jì)為符合做為倉儲(chǔ)系統(tǒng)及運(yùn)輸系統(tǒng)的機(jī)械手臂的定位及感應(yīng)界面來抓取的承載處。但是當(dāng)工作人員用手去抓持該晶圓盒把手的承接部,并做搬移動(dòng)作時(shí),經(jīng)常會(huì)因?yàn)橥饬Φ囊蛩?,很容易使得工作人員手上所抓持的晶圓盒無法穩(wěn)固抓牢,便從手上滑落,進(jìn)而造成晶圓盒內(nèi)的晶圓破損。
實(shí)用新型內(nèi)容為了克服現(xiàn)有晶圓盒在做搬移動(dòng)作時(shí),由于工作人員無法穩(wěn)固抓牢晶圓盒,易從手上滑落,進(jìn)而造成晶圓破損的缺點(diǎn),本實(shí)用新型提供一種晶圓盒把手,其可讓工作人員的手指伸入弧口并穩(wěn)固地抓持住晶圓盒,同時(shí)又能符合倉儲(chǔ)系統(tǒng)及運(yùn)輸系統(tǒng)的機(jī)械手臂的定位及感應(yīng)界面來抓取晶圓盒,從而可穩(wěn)固抓牢晶圓盒,而不會(huì)從手中滑落,避免晶圓盒內(nèi)的晶圓破損。
本實(shí)用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是一種晶圓盒把手,包括本體、銜接部、承接部;其特征在于,所述本體的中央段向一側(cè)邊方向設(shè)有一由內(nèi)向外凸出形成弧口的抓持部。
本實(shí)用新型的有益效果是,其可讓工作人員的手指伸入弧口并穩(wěn)固地抓持住晶圓盒,同時(shí)又能符合倉儲(chǔ)系統(tǒng)及運(yùn)輸系統(tǒng)的機(jī)械手臂的定位及感應(yīng)界面來抓取晶圓盒。從而可穩(wěn)固抓牢晶圓盒,而不會(huì)從手中滑落,避免晶圓盒內(nèi)的晶圓破損。
以下結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)一步說明。
圖1是本實(shí)用新型的第一實(shí)施例立體示意圖圖2是本實(shí)用新型的第二實(shí)施例立體示意圖圖3是本實(shí)用新型與晶圓盒的組合立體示意圖圖4是本實(shí)用新型與晶圓盒的組合透視立體示意圖圖5是本實(shí)用新型實(shí)施狀態(tài)示意圖圖中標(biāo)號(hào)說明10晶圓盒把手 12銜接部11本體14抓持部13承接部 141弧口20晶圓盒體30手具體實(shí)施方式
請(qǐng)參閱圖1、圖2所示,本實(shí)用新型晶圓盒把手10包括本體11、銜接部12、承接部13及抓持部14;上述本體11為一種長形物,其兩端的適當(dāng)段配合晶圓盒外形為稍彎折狀,并且皆設(shè)有螺孔為銜接部12,該本體10一側(cè)底邊向外延伸一適當(dāng)?shù)钠桨鍨槌薪硬?3,該本體10的一側(cè)邊方向設(shè)為一由內(nèi)向外凸出形成弧口141的抓持部14;請(qǐng)參閱圖3至圖5所示,將該晶圓盒把手10裝設(shè)于該晶圓盒體20的一側(cè)面,該側(cè)面的相對(duì)應(yīng)面也同樣的裝設(shè)一晶圓盒把手10,當(dāng)工作人員要搬運(yùn)該晶圓盒體20時(shí),只要將手30的手指從該抓持部14的弧口141處伸入,并抓持住即可做搬運(yùn)晶圓盒體20的動(dòng)作。
權(quán)利要求1.一種晶圓盒把手,包括本體、銜接部、承接部;其特征在于,所述本體的中央段向一側(cè)邊方向設(shè)有一由內(nèi)向外凸出形成弧口的抓持部。
專利摘要一種晶圓盒把手,包括本體、銜接部、承接部;本體的中央段向一側(cè)邊方向設(shè)有一由內(nèi)向外凸出形成弧口的抓持部。本實(shí)用新型可讓工作人員的手指伸入弧口并穩(wěn)固地抓持住晶圓盒,同時(shí)又能符合倉儲(chǔ)系統(tǒng)及運(yùn)輸系統(tǒng)的機(jī)械手臂的定位及感應(yīng)界面來抓取晶圓盒,從而可穩(wěn)固抓牢晶圓盒,而不會(huì)從手中滑落,避免晶圓盒內(nèi)的晶圓破損。
文檔編號(hào)H01L21/67GK2743969SQ20042009303
公開日2005年11月30日 申請(qǐng)日期2004年9月3日 優(yōu)先權(quán)日2004年9月3日
發(fā)明者李古量 申請(qǐng)人:宜锝企業(yè)有限公司