一種晶圓盒的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體相關(guān)設(shè)備領(lǐng)域，特別涉及一種晶圓盒。
【背景技術(shù)】
[0002]在集成電路生產(chǎn)制造過(guò)程中，為確保晶圓片的安全儲(chǔ)存、搬運(yùn)，避免破損和污染，半導(dǎo)體生產(chǎn)以及運(yùn)輸過(guò)程中都是將晶圓裝在晶圓盒內(nèi)，這種方式很好的保護(hù)了晶圓，同時(shí)也有利于半導(dǎo)體生產(chǎn)機(jī)臺(tái)抽取晶圓。
[0003]晶圓盒的盒體中設(shè)置有多個(gè)放置晶圓的卡槽，晶圓盒的盒體上設(shè)置有對(duì)應(yīng)每個(gè)卡槽的卡槽刻度線，每5個(gè)卡槽對(duì)應(yīng)一個(gè)編號(hào)，例如第5個(gè)卡槽旁設(shè)置有編號(hào)5，第10個(gè)卡槽旁設(shè)置有編號(hào)10，以此類(lèi)推。
[0004]通常晶圓盒的盒體由透明的塑料制成，當(dāng)操作人員透過(guò)盒體讀取晶圓盒卡槽的編號(hào)以辨別晶圓位置時(shí)，需要讓眼睛與卡槽保持水平且要人為排除其他干擾，但是由于晶圓盒內(nèi)放置晶圓的卡槽之間的距離較小，因此這種方法在讀取晶圓位置的時(shí)候容易發(fā)生錯(cuò)誤，從而造成操作的錯(cuò)誤。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0005]本實(shí)用新型提供了一種晶圓盒，所述晶圓盒的盒體上具有方便讀取卡槽位置的裝置，以降低操作人員讀取卡槽位置錯(cuò)誤的概率。
[0006]為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提供一種具有讀取卡槽位置的裝置的晶圓盒，包括:盒體，所述盒體內(nèi)的卡槽區(qū)域設(shè)置有多個(gè)可放置晶圓的卡槽；所述盒體背面設(shè)置有與所述卡槽位置對(duì)應(yīng)的卡槽刻度線；還包括具有讀取卡槽位置的裝置，所述讀取卡槽位置的裝置設(shè)置于所述盒體的背面，所述的讀取卡槽位置的裝置包括:滑軌及可沿所述滑軌滑動(dòng)的滑塊，所述滑軌的延伸方向與所述多個(gè)卡槽的排列方向平行。所述讀取卡槽位置的裝置在卡槽讀取中可指示出需讀取的卡槽位置，從而防止讀取錯(cuò)誤晶圓。
[0007]可選的，滑軌的數(shù)量為兩根。
[0008]可選的，滑軌位于所述盒體背面的邊緣位置。
[0009]可選的，滑軌位于所述盒體背面的中間位置。
[0010]可選的，滑軌的長(zhǎng)度大于或等于所述卡槽區(qū)域的高度。
[0011 ] 可選的，滑塊為中間開(kāi)孔的結(jié)構(gòu)。
[0012]可選的，滑塊的中間開(kāi)孔的高度大于或等于所述卡槽的高度，且小于兩個(gè)卡槽的高度之和。
[0013]可選的，滑塊的中間開(kāi)孔的形狀為矩形。
[0014]可選的，滑軌的材質(zhì)為邵氏硬度D大于74的塑料。
[0015]可選的，滑塊的材質(zhì)為邵氏硬度D大于74的塑料。
[0016]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型所提供的晶圓盒具有一讀取卡槽位置的裝置，所述讀取卡槽位置的裝置包括滑軌及滑動(dòng)滑塊，操作人員讀取卡槽位置時(shí)，可根據(jù)盒體上的卡槽刻度線，滑動(dòng)所述滑塊至需選取的卡槽位置，根據(jù)滑塊的指示準(zhǔn)確讀取卡槽的位置，避免操作失誤。
【附圖說(shuō)明】
[0017]圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例一的晶圓盒的背面結(jié)構(gòu)的示意圖；
[0018]圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例二的晶圓盒的背面結(jié)構(gòu)的示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0019]下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步說(shuō)明，對(duì)于這些實(shí)施方式的說(shuō)明用于幫助理解本發(fā)明，但并不構(gòu)成對(duì)本實(shí)用新型的限定。附圖均采用非常簡(jiǎn)化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比例，僅用以方便、明晰地輔助說(shuō)明本發(fā)明實(shí)施例的目的。
[0020]實(shí)施例一
[0021]圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例一的晶圓盒的背面結(jié)構(gòu)的示意圖。如圖1所示，晶圓盒包括:盒體100及讀取卡槽位置的裝置200。
[0022]其中，所述盒體100內(nèi)的卡槽區(qū)域設(shè)置有多個(gè)可放置晶圓的卡槽110，所示盒體100的正面具有一個(gè)用于取放晶圓的開(kāi)口，與所述開(kāi)口相對(duì)的一面為盒體100的背面，所述盒體100的背面設(shè)置有與卡槽110位置相對(duì)應(yīng)的卡槽刻度線120。
[0023]繼續(xù)參考圖1，所述讀取卡槽位置的裝置200設(shè)置于盒體100的背面，所述可讀取卡槽位置的裝置200包括滑軌210及可沿滑軌210滑動(dòng)的滑塊220。所述滑軌210的延伸方向與所述多個(gè)卡槽110的排列方向相同。當(dāng)滑塊220沿著滑軌210滑到需讀取的卡槽110的位置時(shí)，滑塊220即可指示出需選取的卡槽的位置，操作人員即可根據(jù)滑塊的指示準(zhǔn)確讀取卡槽內(nèi)的位置，避免操作失誤。
[0024]本實(shí)施例中，滑軌210的數(shù)量為兩根，所述兩根滑軌210分別設(shè)置于盒體100背面的邊緣位置。為使所述讀取卡槽位置的裝置200能夠讀取到盒體內(nèi)的所有卡槽110的位置，優(yōu)選方案中，滑軌210的長(zhǎng)度大于或等于盒體100內(nèi)卡槽區(qū)域的高度。
[0025]具體的，本實(shí)施例中，所述滑塊220為中間開(kāi)孔的結(jié)構(gòu)，所述滑塊220可遮蔽與需選取的卡槽位置相鄰的其他卡槽，并且其中間開(kāi)孔的部分用于露出需選取的卡槽110或與需選取卡槽位置對(duì)應(yīng)的卡槽刻度線120。為了所述滑塊220的中間開(kāi)孔的部分只露出需選取的卡槽，優(yōu)選方案中，所述滑塊220的開(kāi)孔高度大于或等于單個(gè)卡槽的高度，并且小于兩個(gè)相鄰卡槽的高度之和，以使滑塊220更加準(zhǔn)確的指示出卡槽110的位置。
[0026]本實(shí)施例中，滑塊220的中間開(kāi)孔部分的形狀為矩形，然而應(yīng)當(dāng)認(rèn)識(shí)到，本實(shí)用新型并不限定所述中間開(kāi)孔的形狀，其還可以是橢圓形等。
[0027]較佳的，滑軌210和滑塊220的材質(zhì)均為邵氏硬度D大于74的塑料，采用上述較硬的材料，可防止滑軌210和滑塊220變形。
[0028]實(shí)施例二
[0029]圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例二的晶圓盒的背面結(jié)構(gòu)的示意圖。本實(shí)例中，讀取卡槽位置的裝置包括滑軌210及滑塊220。
[0030]本實(shí)施例中，滑軌210的數(shù)量為一根。所述一根滑軌210既可以安裝于盒體100背面的中間位置，位置也可以安裝于盒體100的背面的邊緣位置。
[0031]其中，所述滑塊220為一具有尖端的結(jié)構(gòu)，所述尖端用于指示出需選取的卡槽位置或與卡槽位置對(duì)應(yīng)的水平刻度線，滑軌210上還設(shè)置有對(duì)應(yīng)每個(gè)卡槽的卡槽刻度211。具體如圖2所示，所述滑塊220包括一矩形部分221以及與該矩形部分221連接的尖端222，所述尖端222用于指示出需選取的卡槽或卡槽內(nèi)的晶圓。通過(guò)滑軌上的刻度211及滑塊220的指示作用，從而可清楚的確認(rèn)需讀取的卡槽位置。
[0032]本說(shuō)明書(shū)中各個(gè)實(shí)施例采用遞進(jìn)的方式描述，每個(gè)實(shí)施例重點(diǎn)說(shuō)明的都是與其他實(shí)施例的不同之處，各個(gè)實(shí)施例之間相同或相似部分互相參見(jiàn)即可。
[0033]上述描述僅是對(duì)本實(shí)用新型較佳實(shí)施例的描述，并非對(duì)本實(shí)用新型范圍的任何限定，本實(shí)用新型領(lǐng)域的普通技術(shù)人員根據(jù)上述揭示內(nèi)容做的任何變更、修飾，均屬于權(quán)利要求書(shū)的保護(hù)范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種晶圓盒，包括一盒體，所述盒體內(nèi)的卡槽區(qū)域設(shè)置有多個(gè)可放置晶圓的卡槽，所述盒體的背面設(shè)置有與所述卡槽位置對(duì)應(yīng)的卡槽刻度線，其特征在于:還包括一讀取卡槽位置的裝置，所述讀取卡槽位置的裝置設(shè)置于所述盒體的背面，所述讀取卡槽位置的裝置包括滑軌及可沿所述滑軌滑動(dòng)的滑塊，所述滑軌的延伸方向與所述多個(gè)卡槽的排列方向相同。2.如權(quán)利要求1所述的晶圓盒，其特征在于:所述滑軌的數(shù)量為兩根。3.如權(quán)利要求1所述的晶圓盒，其特征在于:所述滑軌位于所述盒體背面的邊緣位置。4.如權(quán)利要求1所述的晶圓盒，其特征在于:所述滑軌位于所述盒體背面的中間位置。5.如權(quán)利要求1所述的晶圓盒，其特征在于:所述滑軌的長(zhǎng)度大于或等于所述卡槽區(qū)域的高度。6.如權(quán)利要求1所述的晶圓盒，其特征在于:所述滑塊為中間開(kāi)孔的結(jié)構(gòu)。7.如權(quán)利要求6所述的晶圓盒，其特征在于:所述滑塊的中間開(kāi)孔的高度大于或等于所述卡槽的高度，且小于兩個(gè)卡槽的高度之和。8.如權(quán)利要求6所述的晶圓盒，其特征在于:所述滑塊的中間開(kāi)孔的形狀為矩形。9.如權(quán)利要求1所述的晶圓盒，其特征在于:所述滑軌材質(zhì)為邵氏硬度D大于74的塑料。10.如權(quán)利要求1所述的晶圓盒，其特征在于:所述滑塊材質(zhì)為邵氏硬度D大于74的塑料。
【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型提供的一種晶圓盒，包括：盒體，所述盒體內(nèi)的卡槽區(qū)域設(shè)置有多個(gè)可放置晶圓的卡槽；盒體背面設(shè)置有與卡槽位置對(duì)應(yīng)的卡槽刻度線；并且，于盒體背面還設(shè)置有可讀取卡槽位置的裝置，所述可讀取卡槽位置的裝置包括滑軌及可沿滑軌滑動(dòng)的滑塊，滑軌的延伸方向平行于卡槽的排列方向。所述讀取卡遭位置的裝置在讀取晶圓時(shí)，可指示出需讀取的晶圓放置的卡槽位置，防止操作人員讀取錯(cuò)誤的晶圓，導(dǎo)致操作失誤。
【IPC分類(lèi)】H01L21/673
【公開(kāi)號(hào)】CN205104474
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520885724
【發(fā)明人】李劍
【申請(qǐng)人】武漢新芯集成電路制造有限公司
【公開(kāi)日】2016年3月23日
【申請(qǐng)日】2015年11月9日