具有緩沖功能的晶圓傳送盒的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種具有緩沖功能的晶圓傳送盒。
【背景技術(shù)】
[0002]現(xiàn)有晶圓盒用以放置多個片晶圓，且可于廠區(qū)內(nèi)的半導(dǎo)體制造過程間傳輸。現(xiàn)有晶圓盒可為前開式標(biāo)準(zhǔn)盒(Front Opening Unified Pod, F0UP)。當(dāng)于不同廠區(qū)間傳送晶圓時，通常將現(xiàn)有晶圓盒再以塑料袋真空包裝后傳送?，F(xiàn)有僅以塑料袋真空包裝的方式不能提供現(xiàn)有晶圓盒在傳送時的防震效果，可能造成現(xiàn)有晶圓盒內(nèi)晶圓的損壞或使現(xiàn)有晶圓盒內(nèi)微粒(Particle)掉落至晶圓表面而造成晶圓良率下降。并且，上述現(xiàn)有方式不能提供現(xiàn)有晶圓盒在傳送時的良好環(huán)境，例如不能控制現(xiàn)有晶圓盒傳送時的周圍環(huán)境溫度、濕度或特殊氣體含量，使得現(xiàn)有晶圓盒的晶圓易受周圍環(huán)境的變化而受損。
【實用新型內(nèi)容】
[0003]為了解決上述問題，本實用新型的目的在于提供一種具有緩沖功能的晶圓傳送合
ΙΤΓΤ.Ο
[0004]為達上述目的，本實用新型的主要技術(shù)方案為:在一實施例中，具有緩沖功能的晶圓傳送盒包括一盒體、一承載座、多個第一緩沖元件及一蓋體。該盒體具有一開口及一容納空間。該承載座設(shè)置于該容納空間內(nèi)，該承載座用以承載一晶圓盒。所述第一緩沖元件設(shè)置于該承載座，且所述第一緩沖元件接觸該盒體。該蓋體覆蓋該開口，且接觸該晶圓盒的一頂部。
[0005]優(yōu)選地，所述第一緩沖元件具有多個橫向緩沖元件及縱向緩沖元件，所述橫向緩沖元件設(shè)置于該承載座的側(cè)邊，且所述橫向緩沖元件接觸該盒體的側(cè)面；所述縱向緩沖元件設(shè)置于該承載座的角落，且所述縱向緩沖元件接觸該盒體的底部。
[0006]優(yōu)選地，所述橫向緩沖元件為一外螺紋定位珠，該承載座包括多個第一固定件，該橫向緩沖元件設(shè)置于該承載座的該第一固定件，該第一固定件具有內(nèi)螺紋，以與該外螺紋定位珠配合。
[0007]優(yōu)選地，所述縱向緩沖元件為一外螺紋定位柱，該承載座包括多個第二固定件，該縱向緩沖元件設(shè)置于該承載座的該第二固定件，該第二固定件具有內(nèi)螺紋，以與該外螺紋定位珠配合。
[0008]優(yōu)選地，所述承載座具有多個導(dǎo)塊，用以引導(dǎo)該晶圓盒設(shè)置于該承載座上。
[0009]優(yōu)選地，所述導(dǎo)塊具有一引導(dǎo)斜面及一夾制面，該引導(dǎo)斜面朝向該晶圓傳送盒的內(nèi)部，用以引導(dǎo)該晶圓盒設(shè)置于該承載座上；該夾制面用以夾制固定該晶圓盒于該承載座上。
[0010]優(yōu)選地，所述承載座具有多個孔洞，貫穿該承載座。
[0011]優(yōu)選地，所述盒體還包括多個氣體輸入孔及多個氣體輸出孔。
[0012]優(yōu)選地，所述氣體輸入孔包括多個第一氣體輸入孔及多個第二氣體輸入孔；所述氣體輸出孔包括多個第一氣體輸出孔及多個第二氣體輸出孔。
[0013]優(yōu)選地，所述具有緩沖功能的晶圓傳送盒還包括多個氣體傳遞裝置，連通該盒體的所述第一氣體輸入孔。
[0014]優(yōu)選地，所述具有緩沖功能的晶圓傳送盒還包括多個氣體傳輸裝置，連通該晶圓盒的氣體輸入口及該盒體的所述第二氣體輸入孔。
[0015]優(yōu)選地，所述氣體傳輸裝置包括一第一傳輸管、多個第二間隔件及一第一墊圈，該第一傳輸管連通該晶圓盒的氣體輸入口及該盒體的所述第二氣體輸入孔；所述第二間隔件及該第一墊圈設(shè)置于該盒體的所述第二氣體輸入孔外，形成一通氣空間，部分該第一傳輸管設(shè)置于該通氣空間，且該第一傳輸管與該第二氣體輸入孔間具有一空隙。
[0016]優(yōu)選地，所述蓋體包括一蓋板、一固定框、一緩沖板、一止擋板及多個第二緩沖元件；該固定框設(shè)置于該蓋板的底面；該緩沖板活動式地設(shè)置于該固定框內(nèi)，且該緩沖板呈凹槽狀，使該晶圓盒的該頂部容納至該緩沖板內(nèi)；該止擋板固定至該固定框，且該止擋板呈方形環(huán)狀，該止擋板的寬度延伸至足以限制該緩沖板向下移動；所述第二緩沖元件具有多個橫向緩沖元件及縱向緩沖元件，所述橫向緩沖元件設(shè)置于該固定框的側(cè)邊，且所述橫向緩沖元件接觸該緩沖板的側(cè)面，所述縱向緩沖元件設(shè)置于該緩沖板的側(cè)邊，且所述縱向緩沖元件接觸該蓋板。
[0017]優(yōu)選地，所述第二緩沖元件的所述橫向緩沖元件及所述縱向緩沖元件為外螺紋定位珠。
[0018]優(yōu)選地，所述具有緩沖功能的晶圓傳送盒還包括一感測裝置，設(shè)置于該盒體或該蓋體，該感測裝置用以檢測該晶圓傳送盒內(nèi)的溫度、濕度或壓力。
[0019]本實用新型的有益效果在于:利用本實用新型的晶圓傳送盒，可提供于傳送晶圓盒的避震緩沖，亦提供良好的周圍環(huán)境以避免晶圓盒內(nèi)晶圓的損壞，降低晶圓受掉落微粒(Fall on Particle)的影響而造成良率下降。
【附圖說明】
[0020]圖1顯不本實用新型的晶圓傳送盒容置晶圓盒的一實施例的不意圖；
[0021]圖2顯示本實用新型的晶圓傳送盒的承載座及氣體傳遞裝置的一實施例的示意圖；
[0022]圖3顯示本實用新型的晶圓傳送盒的盒體的一實施例的示意圖；
[0023]圖4顯示本實用新型的晶圓傳送盒的氣體傳遞裝置及氣體傳輸裝置的一實施例的不意圖；
[0024]圖5顯示本實用新型的晶圓傳送盒的氣體傳輸裝置的一實施例的放大示意圖；
[0025]圖6顯示本實用新型的晶圓傳送盒的蓋體的一實施例的示意圖；
[0026]圖7顯示本實用新型的晶圓傳送盒的蓋體及晶圓盒的一實施例的示意圖。
[0027]主要部件符號說明:
[0028]10具有緩沖功能的晶圓傳送盒
[0029]11氣體傳遞裝置
[0030]12氣體傳輸裝置
[0031]13氣體供給裝置
[0032]20盒體
[0033]21開口
[0034]22容納空間
[0035]23第一間隔件
[0036]25第一氣體輸入孔
[0037]26第二氣體輸入孔
[0038]27第一氣體輸出孔
[0039]28第二氣體輸出孔
[0040]30承載座
[0041]31、32 導(dǎo)塊
[0042]33、34 孔洞
[0043]36第一固定件
[0044]37第二固定件
[0045]40第一緩沖元件
[0046]41橫向緩沖元件
[0047]42縱向緩沖元件
[0048]50蓋體
[0049]51蓋板
[0050]52固定框
[0051]53緩沖板
[0052]54止擋板
[0053]55第二緩沖元件
[0054]56橫向緩沖元件
[0055]57縱向緩沖元件
[0056]70晶圓盒
[0057]80感測裝置
[0058]121第一傳輸管
[0059]122第二間隔件
[0060]123第一墊圈
[0061]131第二墊圈
[0062]132第二傳輸管
[0063]133管路
[0064]311引導(dǎo)斜面
[0065]312夾制面
[0066]411外螺紋軸管
[0067]413鋼珠
[0068]421外螺紋軸管
[0069]423定位柱
[0070]561外螺紋軸管
[0071]563 鋼珠
[0072]571外螺紋軸管
[0073]573 鋼珠。
【具體實施方式】
[0074]圖1顯不本實用新型的晶圓傳送盒容置晶圓盒的一實施例的不意圖；圖2顯不本實用新型的晶圓傳送盒的承載座及氣體傳遞裝置的一實施例的示意圖；圖3顯示本實用新型的晶圓傳送盒的盒體的一實施例的示意圖。配合參考圖1至圖3，在一實施例中，本實用新型具有緩沖功能的晶圓傳送盒10包括一盒體20、一承載座30、多個第一緩沖元件40及一蓋體50。
[0075]該盒體20具有一開口 21及一容納空間22。該開口 21朝上。該盒體20可為壓克力材料或塑料材料，且可為透明壓克力。該承載座30設(shè)置于該容納空間22內(nèi)，用以承載一晶圓盒70。該晶圓盒70用以放置多片晶圓，可為前開式標(biāo)準(zhǔn)盒(Front Opening UnifiedPod, FOUP)。該承載座30具有多個導(dǎo)塊31、32，用以引導(dǎo)該晶圓盒70設(shè)置于該承載座30上。在一實施例中，該承載座30具有五個導(dǎo)塊31、32，分別設(shè)置于該承載座30的側(cè)邊，每一導(dǎo)塊具有一引導(dǎo)斜面及一夾制面，以導(dǎo)塊31為例，該導(dǎo)塊31具有一引導(dǎo)斜面311及一夾制面312，該引導(dǎo)斜面311朝向該晶圓傳送盒10的內(nèi)部，使該晶圓盒70由該開口 21置入時，能由該引導(dǎo)斜面311順利引導(dǎo)設(shè)置于該承載座30上，避免置入時的震動及搖晃，而影響該晶圓盒70內(nèi)的晶圓；且該晶圓盒70可由該夾制面312夾制固定于該承載座30上。
[0076]所述第一緩沖元件40設(shè)置于該承載座30，且所述第一緩沖元件40接觸該盒體20。所述第一緩沖元件40具有多個橫向緩沖元件41及縱向緩沖元件42。所述橫向緩沖元件41設(shè)置于該承載座30的側(cè)邊，且所述橫向緩沖元件41接觸該盒體20的側(cè)面。在一實施例中，該承載座30的每一側(cè)邊設(shè)置兩個橫向緩沖元件41，該橫向緩沖元件41可為一外螺紋定位珠，其包括一外螺紋軸管411、一彈簧(圖中未示出)及一鋼珠413，該彈簧設(shè)置于該外螺紋軸管411內(nèi)，該鋼珠413設(shè)置于該外螺紋軸管411的一端，該彈簧抵頂該鋼珠413。該橫向緩沖元件41設(shè)置于該承載座30的一第一固定件36，該第一固定件36具有內(nèi)螺紋，以與該外螺紋軸管411配合。該鋼珠413接觸該盒體20的側(cè)面，以提供該承載座30及該晶圓盒70橫向及側(cè)面的緩沖避震。
[0077]所述縱向緩沖元件42設(shè)置于該承載座30的角落，且所述縱向緩沖元件42接觸該盒體20的底面。在一實施例中，所述縱向緩沖元件42設(shè)置于該承載座30的四角落，該縱向緩沖元件42可為一外螺紋定位柱，其包括一外螺紋軸管421、一彈簧(圖中未示出)及一定位柱423，該彈簧設(shè)置于該外螺紋軸管421內(nèi)，該定位柱423設(shè)置于該外螺紋軸管421的一端，該彈簧抵頂該定位柱423。該縱向緩沖元件42設(shè)置于該承載座30的一第二固定件37，該第二固定件37具有內(nèi)螺紋，以與該外螺紋軸管421配合。該定位柱423接觸該盒體20的底面，以提供該承載座30及該晶圓盒70縱向及底面的緩沖避震。
[0078]該盒體20還包括多個氣體輸入孔25、26及多個氣體輸出孔27、28，設(shè)置于該盒體20的底部。所述氣體輸入孔25、26包括多個第一氣體輸入孔25及多個第二氣體輸入孔26，所述氣體輸出孔27、28包括多個第一氣體輸出孔27及多個第二氣體輸出孔28。在一實施例中，該盒體20包括兩個第一氣體輸入孔25、兩個第二氣體輸入孔