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      硅片外延線性缺陷的測定方法

      文檔序號:6871072閱讀:875來源:國知局
      專利名稱:硅片外延線性缺陷的測定方法
      技術(shù)領(lǐng)域
      本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體制造工藝中的測量方法,特別是硅片外延的缺陷測定方法。

      背景技術(shù)
      在半導(dǎo)體制造工藝中,當(dāng)硅片的生長外延溫度分布不均勻時(shí),在硅片與缺角水平或垂直處會產(chǎn)生缺陷。在產(chǎn)生線性缺陷(Slip)的同時(shí),會在缺陷處將成長時(shí)所蓄積的應(yīng)力釋放。在現(xiàn)有的技術(shù)中,測定硅片生長外延處的缺陷的方法主要有 目檢方法,即在強(qiáng)光燈下對外延表面線缺陷進(jìn)行檢查,這這種方法對于較細(xì)微的或內(nèi)部的缺陷不能感知,且隨操作人員有差異; 采用顆粒測試機(jī)進(jìn)行檢查,這種方法對內(nèi)部的缺陷同樣不能感知,而且新型能感知內(nèi)部缺陷的顆粒測試儀器價(jià)格較貴; 采用鉻酸對外延片進(jìn)行腐蝕處理,在缺陷處和非缺陷處采用一樣的刻蝕速率,通過外延殘留來觀察缺陷,這種方法對于硅片會造成損傷,且花費(fèi)時(shí)間長。
      因此在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中,為檢測硅片線性外延的缺陷,迫切需要一種便捷的無損測量方法。


      發(fā)明內(nèi)容
      本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是提供一種硅片外延線性缺陷的測定方法,用以測定硅片與缺角水平或垂直處所產(chǎn)生的線性缺陷,能測定硅片內(nèi)部和外部的線性缺陷,并在測定過程中保持硅片的完整。
      為解決上述技術(shù)問題,本發(fā)明硅片外延線性缺陷的測定方法包括如下步驟步驟一,在硅片外延薄膜生長前,選取多點(diǎn)測量外延薄膜成膜前襯底的曲率半徑;步驟二,在外延生長完成后,測量外延膜厚;步驟三,測量外延薄膜成膜后襯底的曲率半徑;步驟四,根據(jù)前述外延薄膜成膜前襯底的曲率半徑、外延膜厚和外延薄膜成膜后襯底的曲率半徑,計(jì)算硅片外延部分的應(yīng)力;步驟五,根據(jù)硅片外延部分的應(yīng)力變化判定是否存在線性缺陷。
      本發(fā)明通過對硅片外延生長后應(yīng)力的測量來判定硅片是否存在線性缺陷,可使用半導(dǎo)體工廠常用的應(yīng)力儀完成,便捷而準(zhǔn)確。



      圖1是硅片外延應(yīng)力測試結(jié)果的示意圖,無線性缺陷(slip)產(chǎn)生時(shí),應(yīng)力值非常穩(wěn)定,而當(dāng)某一點(diǎn)應(yīng)力的絕對值有突然下降時(shí),則該點(diǎn)有線性缺陷發(fā)生; 圖2是外延中線性缺陷示意圖,當(dāng)生長外延溫度分布不均衡,在硅片與缺角水平或垂直處會產(chǎn)生線性缺陷,在微觀下,線性缺陷也就是本來應(yīng)該非常有序的晶格分布會變的有斷裂不連續(xù),在產(chǎn)生線性缺陷(Slip)的同時(shí)會在缺陷處將成長時(shí)所蓄積的應(yīng)力釋放; 圖3是光學(xué)應(yīng)力測定儀的工作原理圖; 圖4是應(yīng)力儀掃描長度和反射光線與反射光線夾角的一半的關(guān)系圖。

      具體實(shí)施例方式 下面結(jié)合附圖對本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)的說明。
      本發(fā)明基于這樣的原理當(dāng)硅片生長外延溫度分布不均衡時(shí),在硅片與缺角水平或垂直處就會產(chǎn)生線性缺陷,在產(chǎn)生線性缺陷(Slip)的同時(shí)會在缺陷處將成長時(shí)所蓄積的應(yīng)力釋放,而當(dāng)應(yīng)力絕對值有突變時(shí),一定有線性缺陷(Slip)產(chǎn)生;所以可以考慮通過應(yīng)力測定儀器,對于給定工藝(給定的生長溫度,壓力,氣體流量等)下生長的外延進(jìn)行應(yīng)力測定,并據(jù)此判定是否存在缺陷,對缺陷的進(jìn)行感知和管理。
      本發(fā)明所提供的方法按照如下步驟執(zhí)行 步驟一,在硅片外延薄膜生長前,選取多點(diǎn)測量外延薄膜成膜前襯底的曲率半徑; 步驟二,在外延生長完成后,測量外延膜厚; 步驟三,測量外延薄膜成膜后襯底的曲率半徑; 步驟四,根據(jù)前述外延薄膜成膜前襯底的曲率半徑、外延膜厚和外延薄膜成膜后襯底的曲率半徑,計(jì)算硅片外延部分的應(yīng)力; 步驟五,根據(jù)硅片外延部分的應(yīng)力變化判定是否存在線性缺陷。
      在生長外延前需要測量外延薄膜成膜前襯底的曲率半徑,可用應(yīng)力測定儀來完成,在應(yīng)力測定儀中需要將相應(yīng)的批次編號輸入,以方便在外延薄膜成膜后襯底的曲率半徑測量時(shí)識別;然后是外延生長,生長完成后需要進(jìn)行外延膜厚測量,這一般是由傅立葉變換紅外吸收光譜儀完成的;最后將測量得知的外延膜厚輸入應(yīng)力測定儀,并進(jìn)行外延薄膜成膜后襯底的曲率半徑測量。
      半導(dǎo)體制造公司通用的光學(xué)應(yīng)力測定儀的工作原理如圖3所示,由激光發(fā)生器發(fā)射出一束激光,通過鏡面反射垂直(與裝載平臺垂直)入射到硅片表面,由于硅片的應(yīng)力彎曲,在硅片表面的入射角和反射角之間會成2θ角度,硅片反射的激光經(jīng)過檢測器檢知以得出θ。通過如圖3的光學(xué)應(yīng)力測試可以得出如圖4掃描長度X與角度θ關(guān)系圖,由于1/R=dθ/dt即曲率半徑是掃描長度X與角度θ關(guān)系曲線的斜率,由此可以得出曲率半徑的值。測量應(yīng)力時(shí)進(jìn)行直線徑直掃描,測量膜厚時(shí)進(jìn)行放射狀多點(diǎn)掃描。
      應(yīng)力可通過外延薄膜成膜前襯底的曲率半徑、外延薄膜厚度和外延薄膜成膜后襯底的曲率半徑計(jì)算得出,計(jì)算按照下述公式進(jìn)行 σ=E/(1-v)(h2/6t)(1/R2-1/R1) 其中σ是外延薄膜的平均應(yīng)力,其單位為Pa; E/(1-v)是襯底的雙軸彈性模數(shù),對于半導(dǎo)體常用的Si(100)來說為1.805×1011Pa; h是襯底的厚度,其單位為m; t是外延薄膜的厚度;其單位為m; R1是外延薄膜成膜前襯底的曲率半徑,其單位為m; R2是外延薄膜成膜后襯底的曲率半徑,其單位為m。
      通過對日常應(yīng)力測試結(jié)果的監(jiān)控發(fā)現(xiàn),如果有應(yīng)力大幅度的變化,一般是大于50MPa時(shí),代表線缺陷一定存在。
      本發(fā)明通過測量硅片的應(yīng)力狀況外延線性缺陷進(jìn)行管理和感知,可以測出硅片內(nèi)部和較輕微的線性缺陷,運(yùn)用半導(dǎo)體工廠常用的應(yīng)力儀即可完成,簡單方便,成本低廉,而且不會損傷硅片。
      權(quán)利要求
      1.一種硅片外延線性缺陷的測定方法,用以測定硅片與缺角水平或垂直處所產(chǎn)生的線性缺陷,其特征是,包括如下步驟
      步驟一,在硅片外延薄膜生長前,選取多點(diǎn)測量外延薄膜成膜前襯底的曲率半徑;
      步驟二,在外延生長完成后,測量外延膜厚;
      步驟三,測量外延薄膜成膜后襯底的曲率半徑;
      步驟四,根據(jù)前述外延薄膜成膜前襯底的曲率半徑、外延膜厚和外延薄膜成膜后襯底的曲率半徑,計(jì)算硅片外延部分的應(yīng)力;
      步驟五,根據(jù)硅片外延部分的應(yīng)力變化判定是否存在線性缺陷。
      2.根據(jù)權(quán)利要求1所述硅片外延線性缺陷的測定方法,其特征是,按照下述公式進(jìn)行所述步驟四中的應(yīng)力計(jì)算
      σ=E/(1-v)(h2/6t)(1/R2-1/R1)
      其中,σ是外延應(yīng)力;
      E/(1-v)是硅片襯底的雙軸彈性模數(shù);
      h是襯底的厚度;
      t外延薄膜的厚度;
      R1是外延薄膜成膜前襯底的曲率半徑;
      R2是外延薄膜成膜后襯底的曲率半徑。
      3.根據(jù)權(quán)利要求1所述硅片外延線性缺陷的測定方法,其特征是,所述步驟五中判定是否存在線性缺陷的判據(jù)為如果硅片外延部分的應(yīng)力在某一點(diǎn)變化幅度超過50MPa,則判定該點(diǎn)存在線性缺陷。
      全文摘要
      本發(fā)明公開了一種硅片外延線性缺陷的測定方法,包括如下步驟在硅片外延薄膜生長前,選取多點(diǎn)測量外延薄膜成膜前襯底的曲率半徑;在外延生長完成后,測量外延膜厚;測量外延薄膜成膜后襯底的曲率半徑;根據(jù)前述外延薄膜成膜前襯底的曲率半徑、外延膜厚和外延薄膜成膜后襯底的曲率半徑,計(jì)算硅片外延部分的應(yīng)力;根據(jù)硅片外延部分的應(yīng)力變化判定是否存在線性缺陷。本發(fā)明通過對硅片外延生長后應(yīng)力的測量來判定硅片是否存在線性缺陷,可使用半導(dǎo)體工廠常用的應(yīng)力儀完成,便捷而準(zhǔn)確。
      文檔編號H01L21/66GK101110379SQ20061002924
      公開日2008年1月23日 申請日期2006年7月21日 優(yōu)先權(quán)日2006年7月21日
      發(fā)明者王劍敏 申請人:上海華虹Nec電子有限公司
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