專利名稱：基板檢查裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及例如在晶片和液晶玻璃基板等的檢查中所使用的基板檢查裝置。
背景技術(shù)：
以往，在晶片和液晶玻璃基板等的宏觀檢查中，通過對(duì)基板表面照射照明光，取入與該反射光或者透射光的光學(xué)變化對(duì)應(yīng)的表面的圖像，并對(duì)其進(jìn)行圖像處理，從而確認(rèn)涂敷于表面的保護(hù)膜的膜不均、氣孔等的缺陷和有無塵埃附著等。另外，當(dāng)確認(rèn)到在基板表面有缺陷或者塵埃附著等(缺陷)的情況下，用顯微鏡等微觀檢查裝置對(duì)該缺陷進(jìn)行擴(kuò)大以進(jìn)行詳細(xì)的觀察。
在這種基板檢查裝置中，存在如下的裝置對(duì)基板照射線狀的照明光，并使基板在一軸方向上恒速移動(dòng)，由此用線性傳感相機(jī)(line sensorcamera)獲取基板整個(gè)表面的圖像。作為該基板的搬運(yùn)裝置，例如存在輥式輸送機(jī)，該輥式輸送機(jī)具有旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置，該旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置在以與移動(dòng)方向正交的方式按預(yù)定間隔排列的多個(gè)旋轉(zhuǎn)軸上固定設(shè)置多個(gè)滾柱，并使旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)。在該基板搬運(yùn)裝置中，可以通過旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置的驅(qū)動(dòng)來使旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)，使載置于滾柱上的基板在一軸方向上移動(dòng)。
具有該輥式輸送機(jī)的檢查平臺(tái)部一般被稱作輥式輸送機(jī)平臺(tái)，固定于各旋轉(zhuǎn)軸上的各滾柱的高度被配置為處于同一水平面上，在搬運(yùn)基板時(shí)可以高度保持基板的平坦度(例如參照專利文獻(xiàn)1)。
另一方面，在基板檢查裝置中，也存在如下的裝置，即，該裝置具備缺陷檢測(cè)部，該缺陷檢測(cè)部在基板的搬入側(cè)和搬出側(cè)配置將滾柱旋轉(zhuǎn)自如地設(shè)置在軸上的輥式輸送機(jī)平臺(tái)，在這些輥式輸送機(jī)平臺(tái)之間的檢查區(qū)域配置使基板浮起的氣浮平臺(tái)，一邊把持浮起的基板的端部一邊使基板在一軸方向上移動(dòng)，同時(shí)檢測(cè)基板的缺陷；以及詳細(xì)觀察缺陷的缺陷復(fù)查(review)部(例如參照專利文獻(xiàn)2)。在這種基板檢查裝置中，基板的端部被把持機(jī)構(gòu)保持，該把持機(jī)構(gòu)可以在一軸方向上移動(dòng)，由此，可以使基板在平臺(tái)部上以浮起的狀態(tài)進(jìn)行恒速移動(dòng)。該氣浮平臺(tái)通過在檢查時(shí)以非接觸的方式支撐基板，從而消除基板的變形，可以防止因變形的影響帶來的缺陷的誤認(rèn)。
專利文獻(xiàn)1日本特開2003-263627號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2日本特開2000-9661號(hào)公報(bào)但是，在專利文獻(xiàn)1所示的具有輥式輸送機(jī)平臺(tái)的基板檢查裝置中，基板的移動(dòng)只能在與基板的搬運(yùn)方向正交的一軸方向上進(jìn)行。因此，無法將搬入到輥式輸送機(jī)平臺(tái)上的基板向與一軸方向正交的方向移動(dòng)，如果基板的尺寸變大則難以通過與各輥之間的摩擦阻力來進(jìn)行基板的定位。這樣，在無法正確地將基板定位在基準(zhǔn)位置的情況下，所檢測(cè)出的缺陷的坐標(biāo)就包含基板相對(duì)于基準(zhǔn)位置偏移的那部分誤差，存在不能正確地特定缺陷位置的問題。
另外，在用輥式輸送機(jī)平臺(tái)(檢查平臺(tái)部)支撐基板并對(duì)其進(jìn)行檢查時(shí)，因來自電動(dòng)機(jī)等驅(qū)動(dòng)部的振動(dòng)或輥之間的基板的撓曲，而存在對(duì)基板的檢查精度降低的問題。
另一方面，在專利文獻(xiàn)2所示的基板檢查裝置中，通過在檢查區(qū)域配置以非接觸的方式支撐基板的氣浮平臺(tái)，從而難以受到基板的撓曲和振動(dòng)的影響。但是，如果為了將基板搬入到氣浮平臺(tái)上，而在氣浮平臺(tái)的兩側(cè)設(shè)置輥搬運(yùn)部，則檢查裝置會(huì)大型化，存在占有空間變大的問題。
進(jìn)而，為了實(shí)現(xiàn)檢查裝置的小型化，考慮到可以從氣浮平臺(tái)的兩側(cè)去掉輥搬運(yùn)部，從生產(chǎn)線的搬運(yùn)用輥式輸送機(jī)直接將基板搬入到氣浮平臺(tái)上，但由于在氣浮平臺(tái)上與基板的接觸阻力變小，所以基板在轉(zhuǎn)移到氣浮平臺(tái)上的瞬間會(huì)產(chǎn)生失控的問題。
另外，以往，由于利用搬運(yùn)機(jī)械手使基板移動(dòng)到設(shè)置于生產(chǎn)線之外的檢查裝置中進(jìn)行檢查，所以存在從制成基板到得到檢查結(jié)果為止花費(fèi)時(shí)間的問題。近些年來，漸漸要求在生產(chǎn)線內(nèi)設(shè)置基板檢查裝置，盡快將所制造的基板的檢查結(jié)果反饋給制造工序，進(jìn)行制造工序的控制。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于上述情況而完成的，其目的在于提供一種基板檢查裝置，該基板檢查裝置具有通過壓力氣體使基板浮起的浮起平臺(tái)部并能實(shí)現(xiàn)小型化，并且可以設(shè)置在生產(chǎn)線內(nèi)。
為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明提供以下的手段。
本發(fā)明的基板檢查裝置的特征在于，該基板檢查裝置具有浮起平臺(tái)部，該浮起平臺(tái)部使基板浮起并對(duì)其進(jìn)行水平支撐；第1基板搬運(yùn)裝置，該第1基板搬運(yùn)裝置保持上述基板的端部，在使上述基板在上述浮起平臺(tái)部上方浮起的狀態(tài)下，搬運(yùn)上述基板；檢查部，該檢查部對(duì)由上述第1基板搬運(yùn)裝置搬運(yùn)來的上述基板進(jìn)行檢查；以及第2基板搬運(yùn)裝置，該第2基板搬運(yùn)裝置在上述浮起平臺(tái)部的端部配置有多個(gè)可進(jìn)行旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)的旋轉(zhuǎn)體，上述旋轉(zhuǎn)體被設(shè)置成可出沒于上述浮起平臺(tái)部的搬運(yùn)面，并支撐上述基板的背面，以將上述基板搬入到上述浮起平臺(tái)部?jī)?nèi)。
即，在本發(fā)明的基板檢查裝置中，除了使基板浮起的浮起平臺(tái)部和在使該基板浮起的狀態(tài)對(duì)基板強(qiáng)行進(jìn)行搬運(yùn)的第1基板搬運(yùn)裝置之外，還在浮起平臺(tái)部的端部設(shè)置出沒自如地進(jìn)行旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)的旋轉(zhuǎn)體，從而可以使基板檢查裝置自身將基板搬入浮起平臺(tái)部?jī)?nèi)或者從浮起平臺(tái)部?jī)?nèi)搬出基板。
根據(jù)本發(fā)明，不需要在基板檢查裝置中將基板搬入、搬出的搬運(yùn)機(jī)械手等其他的基板搬運(yùn)裝置，從而可以使基板檢查裝置小型化，同時(shí)，能夠節(jié)省基板檢查所需的空間。


圖1是表示本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的基板檢查裝置的側(cè)面圖。
圖2是表示圖1所示的基板檢查裝置的基板搬運(yùn)裝置的俯視圖。
圖3是圖2所示的基板搬運(yùn)裝置的正面圖。
圖4是圖2所示的基板搬運(yùn)裝置的左側(cè)面圖。
圖5是表示本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的基板檢查裝置的第2基板搬運(yùn)裝置的立體圖。
圖6是表示向本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的基板檢查裝置的第2基板搬運(yùn)裝置的旋轉(zhuǎn)軸施加旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)力的例子的側(cè)面圖。
符號(hào)說明1基板；1b基板的下表面；3檢查平臺(tái)；6氣浮平臺(tái)部；6b精密浮起塊；6c平臺(tái)部的一個(gè)端部；6d平臺(tái)部的另一個(gè)端部；6e氣浮塊；6h孔；8第2基板搬運(yùn)裝置；8a旋轉(zhuǎn)軸；8b旋轉(zhuǎn)體；8c旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置；9第1基板搬運(yùn)裝置；A基板檢查裝置；O1軸線。
具體實(shí)施例方式
下面，參照?qǐng)D1至圖5說明本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的基板檢查裝置。
本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的基板檢查裝置A用于圖1所示那樣的例如液晶玻璃基板等的檢查。該基板檢查裝置A分為進(jìn)行基板1的觀察的檢查部2和為了進(jìn)行觀察而保持基板1并使其移動(dòng)的檢查平臺(tái)3。圖1所示的檢查部2具有宏觀檢查部4，其通過向基板1的表面1a照射照明光，取入與其反射光的光學(xué)變化所對(duì)應(yīng)的表面1a的圖像，并對(duì)該圖像進(jìn)行圖像處理，從而確認(rèn)涂敷于表面1a的保護(hù)膜的膜不均、氣孔等的缺陷和有無塵埃附著等；以及微觀檢查部5，其利用顯微鏡部5a對(duì)由宏觀檢查部4檢測(cè)出的缺陷進(jìn)行詳細(xì)觀察。
宏觀檢查部4由下列部分構(gòu)成安裝于被稱為龍門架(gantry)的門型框架的支柱4a上的照明部4b；安裝于一個(gè)支撐臂4c上的鏡4d；以及安裝于另一個(gè)支撐臂4e上的攝像部4f。此處，一對(duì)支柱4a的下端固定于后述的檢查平臺(tái)3的基部7上，在將后述的氣浮平臺(tái)部(浮起平臺(tái)部)6夾在中間而對(duì)置設(shè)置的2根支柱4a的兩個(gè)上端連接并架設(shè)有與基板1的移動(dòng)方向正交的水平臂。照明部4b是例如在棒狀的棒形透鏡的端面上配置了光源的線性照明單元。該照明部4b相對(duì)于與在檢查平臺(tái)3的氣浮平臺(tái)部6上方朝向一軸方向移動(dòng)的基板1的移動(dòng)方向(X方向)，可以在正交方向(Y方向)上，在比基板1的寬度稍長(zhǎng)的范圍內(nèi)，對(duì)基板1的表面1a進(jìn)行線狀的照明。鏡4d用于使從照明部4b照射的線狀的照明光中的從基板1的表面1a反射的反射光朝向攝像部4f偏向。攝像部4f的主要結(jié)構(gòu)要素為接受由鏡4d偏向?yàn)樗椒较虻墓猓?duì)其進(jìn)行聚光的未圖示的成像透鏡；以及對(duì)通過成像透鏡聚光后的光進(jìn)行成像，獲得基板1的表面1a的圖像的未圖示的線性傳感相機(jī)(攝像元件)。
微觀檢查部5相對(duì)于宏觀檢查部4，以不干涉的程度與基板1的搬運(yùn)方向的下游側(cè)接近設(shè)置。通過將該微觀檢查部5和宏觀檢查部4以短于基板1的長(zhǎng)度的間隔接近設(shè)置，從而可以縮短檢查平臺(tái)3，可以實(shí)現(xiàn)基板檢查裝置A的小型化。該微觀檢查部5由以下部分構(gòu)成檢查頭用平臺(tái)5d，其被設(shè)置成可以沿著水平臂移動(dòng)，該水平臂連接并架設(shè)在被稱為龍門架的門型框架的支柱5b之間；設(shè)置在該檢查頭用平臺(tái)5d上的顯微鏡部5a；以及透射照明部5c，其經(jīng)由以與基板1的移動(dòng)方向正交的方式設(shè)置在氣浮平臺(tái)部6上的線狀的間隙部6a，可以從基板1的下表面1b方向照射照明光。
接著，參照?qǐng)D2至圖5說明檢查平臺(tái)3。檢查平臺(tái)3由以下部分構(gòu)成基部7；并列有形成為長(zhǎng)方形板狀的多個(gè)氣浮塊6e和精密氣浮塊6b的氣浮平臺(tái)部6；設(shè)置在氣浮平臺(tái)部6的X方向的一個(gè)端部6c側(cè)和另一個(gè)端部6d側(cè)，并通過輥驅(qū)動(dòng)來搬運(yùn)基板1的第2基板搬運(yùn)裝置(輥式輸送機(jī))8；吸附保持基板1的至少沿著搬運(yùn)方向的一邊強(qiáng)行搬運(yùn)基板1的第1基板搬運(yùn)裝置9；以及與基板1的端部1c、1d、1e抵接來將基板1定位于基準(zhǔn)位置的定位機(jī)構(gòu)10。
氣浮平臺(tái)部6是配置多個(gè)長(zhǎng)方形的氣浮塊6e和精密氣浮塊6b而形成的。各氣浮塊6e和精密氣浮塊6b以各上表面形成水平面的方式支撐于基部7的支撐框架7a上。精密氣浮塊6b被配置成沿著成為微觀檢查部5的檢查區(qū)域(物鏡的掃描線)的間隙部6a而分別在兩側(cè)連接多個(gè)。氣浮塊6e在精密氣浮塊6b的兩側(cè)沿著基板1的搬運(yùn)方向(X方向)隔開預(yù)定的間隔配置有多個(gè)。在通過等間隔設(shè)置各氣浮塊6e而形成的相鄰的氣浮塊6e之間，形成有用于排出空氣的開口部6f。在形成該氣浮平臺(tái)部6的精密氣浮塊6b和氣浮塊6e的上表面上分散配置有噴出氣體的孔6h。精密氣浮塊6b和氣浮塊6e通過未圖示的例如減壓閥或流量計(jì)等的控制裝置和配管，與壓縮機(jī)等的壓力氣體噴出裝置連接，可以通過各孔6h噴出恒壓的壓力氣體。精密氣浮塊6b只要是與氣浮塊6e相比將孔6h配置得更密的部件，或者除了噴出用的孔6h之外還設(shè)置用于吸入空氣的排出用的孔從而能夠通過空氣噴出力(正壓)和空氣抽吸力(負(fù)壓)來高精度地控制基板1的浮起高度的部件即可。
第2基板搬運(yùn)裝置8具有支撐從檢查平臺(tái)3的外部搬入的基板1的背面并將其搬入氣浮平臺(tái)部6的可旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)的旋轉(zhuǎn)體8b，該第2基板搬運(yùn)裝置8配置在氣浮平臺(tái)部6的成為基板1的搬入側(cè)的一個(gè)端部6c側(cè)和成為基板1的搬出側(cè)的另一個(gè)端部6d側(cè)。各個(gè)第2基板搬運(yùn)裝置8由以下部分構(gòu)成旋轉(zhuǎn)軸8a，其并列配置于X方向上，且軸線O1與基板1的移動(dòng)方向(X方向)正交；旋轉(zhuǎn)體8b，其是環(huán)繞安裝于各旋轉(zhuǎn)軸8a上的多個(gè)圓板或滾柱等；旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置8c，其是驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)軸8a旋轉(zhuǎn)的例如電動(dòng)機(jī)等；樞轉(zhuǎn)支撐部件8d，其樞轉(zhuǎn)支撐各旋轉(zhuǎn)軸8a，并能夠上下移動(dòng)地支撐各旋轉(zhuǎn)軸8a，以使旋轉(zhuǎn)體8b出沒于氣浮平臺(tái)部6的上表面(搬運(yùn)面)；以及上下移動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置8e，其使樞轉(zhuǎn)支撐部件8d上下移動(dòng)。此處，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置8c和上下移動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置8e一起構(gòu)成驅(qū)動(dòng)部8f。第2基板搬運(yùn)裝置8在氣浮平臺(tái)部6的基板搬入側(cè)和基板搬出側(cè)的端部各配置3組，但如果具有足夠搬運(yùn)基板1的驅(qū)動(dòng)力，則配置至少1組即可。另外，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置8c如果能夠通過后述的第1基板搬運(yùn)裝置9將基板1的一部分送出到配置在下游側(cè)的生產(chǎn)線上的搬運(yùn)用輥式輸送機(jī)，則也可以配置于氣浮平臺(tái)部6的一個(gè)端部上。
旋轉(zhuǎn)軸8a以連接氣浮平臺(tái)部6的兩外側(cè)的方式延伸設(shè)置，其一個(gè)端部與旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置8c連接。該旋轉(zhuǎn)軸8a被多個(gè)軸承部8j支撐成可以在一個(gè)端部到另一個(gè)端部之間旋轉(zhuǎn)。
旋轉(zhuǎn)體8b例如利用聚醚醚酮(Poly Ether Ether Ketone，PEEK)、聚酰亞胺(Polyimide，PI)樹脂等的耐磨損性樹脂形成為環(huán)狀，在其外周面8g上包覆有具有適度的彈性和相對(duì)于基板1具有適度的相對(duì)摩擦系數(shù)的例如硅橡膠(Si)等。
5個(gè)旋轉(zhuǎn)體8b用小螺釘?shù)裙潭ㄔ?根旋轉(zhuǎn)軸8a上，這些旋轉(zhuǎn)體8b位于氣浮平臺(tái)部6的開口部6f。此時(shí)，由于在X方向上并列配置有3根旋轉(zhuǎn)軸8a，所以在氣浮平臺(tái)部6的各開口部6f和氣浮平臺(tái)部的兩側(cè)，在X方向上并列配置有3個(gè)旋轉(zhuǎn)體8b。
樞轉(zhuǎn)支撐部件8d由平板狀的支撐框架部8h和從支撐框架部8h的上表面8i垂直地突出設(shè)置的軸承部8j構(gòu)成。支撐框架部8h的端部支撐于與旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置8c一起容納在驅(qū)動(dòng)部8f中的上下移動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置8e上。軸承部8j以與旋轉(zhuǎn)軸8a的軸線O1正交的方向突出設(shè)置于支撐框架部8h的上表面8i，沿著旋轉(zhuǎn)軸8a的軸線O1，具有能夠適當(dāng)?shù)刂涡D(zhuǎn)軸8a的適當(dāng)間隔且被配置多個(gè)。在軸承部8j的旋轉(zhuǎn)軸8a所抵接的部分形成有與旋轉(zhuǎn)軸8a的圓柱形狀卡合的半圓形的凹部8k，旋轉(zhuǎn)軸8a可旋轉(zhuǎn)地支撐在該半圓形的凹部8k中。另外，如果在軸承部8j的前端設(shè)置軸承作為將旋轉(zhuǎn)軸8a支撐成旋轉(zhuǎn)自如的軸承部件，則能夠防止旋轉(zhuǎn)軸8a的晃動(dòng)，為優(yōu)選方案。
驅(qū)動(dòng)部8f的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置8c和上下移動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置8e容納在1個(gè)箱體8l內(nèi)，可以進(jìn)行旋轉(zhuǎn)軸8a的旋轉(zhuǎn)以及支撐框架部8h的上下移動(dòng)，該驅(qū)動(dòng)部8f設(shè)置于氣浮平臺(tái)部6的外側(cè)的基部7上。上下驅(qū)動(dòng)裝置8c也可以設(shè)置在支撐框架部8h的兩端。
如圖2至圖4所示，第1基板搬運(yùn)裝置9由以下部分構(gòu)成設(shè)置于基部7上的2條軌道部9a；矩形板狀的支撐板部9b；連接支撐板部9b和軌道部9a，可以沿軌道部9a自動(dòng)行進(jìn)的線性電動(dòng)機(jī)等的滑動(dòng)部9c；垂直地突出設(shè)置于支撐板部9b的上表面9d，在軌道方向上呈線狀排列的3張矩形板狀的保持部9e；上下移動(dòng)自如地支撐在各個(gè)保持部9e的側(cè)面的矩形箱狀的支撐部9h；以及在支撐部9h的上表面9f上沿著長(zhǎng)度方向呈線狀排列的多個(gè)吸附部9k。圓筒部件9g和吸盤9j一起構(gòu)成吸附部9k。并且，在支撐部9h上，具備可進(jìn)行真空抽吸和負(fù)壓釋放的適當(dāng)?shù)难b置，通過進(jìn)行真空抽吸，吸附部9的吸盤9j吸附在基板1的背面，使基板1下降以成為基準(zhǔn)的浮起高度。
在該結(jié)構(gòu)中，使吸盤9j抵接于配置在吸盤9j上方的基板1上，用吸附部9k進(jìn)行真空抽吸，由此，吸盤9j成為負(fù)壓狀態(tài)而吸附在基板1的下表面1b上，牢牢地保持基板1。上述第1基板搬運(yùn)裝置9通過利用適當(dāng)?shù)难b置在軌道部9a上滑動(dòng)，從而可以使基板1在一軸方向(X方向)上恒速移動(dòng)。由于支撐部9h被支撐成上下移動(dòng)自如，所以在基板1被搬入時(shí)，使支撐部9h上升而將基板1支撐在吸盤9j上。
由此，氣浮的基板1借助于與吸盤9j之間的小的摩擦力而靜止在氣浮平臺(tái)部6上方，可以通過定位機(jī)構(gòu)10安全地進(jìn)行定位。另外，在搬入或者搬出基板1的時(shí)候，使支撐部9h下降，使吸盤9j離開基板1，由此，基板1與吸盤9j之間的摩擦力變小，因此可以通過第1基板搬運(yùn)裝置9朝向搬運(yùn)方向筆直地搬入/搬出基板1。
如圖2所示，定位機(jī)構(gòu)10由以下部分構(gòu)成基準(zhǔn)銷10b，其外周面10a利用比玻璃柔軟的耐磨損性樹脂包覆；以及按壓銷10e，其具有可以使被耐磨損性樹脂包覆的圓柱狀的抵接部10c向基板1側(cè)移動(dòng)的例如氣缸等的未圖示的移動(dòng)裝置。配置在能夠與基板1的端部1e抵接的位置上的一對(duì)基準(zhǔn)銷10b被設(shè)置成可在上下方向出沒，在搬入基板1時(shí)上升得高于氣浮平臺(tái)部6的上表面，在定位之后下降到比氣浮平臺(tái)部6的上表面更靠下方的位置。另一對(duì)基準(zhǔn)銷10b設(shè)置在可以與基板1的端部1d抵接的位置，一對(duì)按壓銷10e設(shè)置在沿著基板1的端部1c的保持部9e之間。
接著，參照?qǐng)D1至圖5說明使用由上述結(jié)構(gòu)構(gòu)成的基板檢查裝置A進(jìn)行基板1的檢查的步驟。
首先，利用上下移動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置8e使配置在搬入側(cè)的第2基板搬運(yùn)裝置8的支撐框架部8h上升，固定于旋轉(zhuǎn)軸8a的旋轉(zhuǎn)體8b的一部分被調(diào)節(jié)為比氣浮平臺(tái)部6的上表面更向上方突出。
接著，在使壓力氣體從氣浮平臺(tái)部6的孔6h中噴出的狀態(tài)下，利用配置于基板檢查裝置A外的上游的搬運(yùn)用輥式輸送機(jī)搬入基板1。在搬入該基板1時(shí)，驅(qū)動(dòng)驅(qū)動(dòng)部8f的上下移動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置8e而使第2基板搬運(yùn)裝置8上升，使位于氣浮平臺(tái)部6的一個(gè)端部6c側(cè)的第2基板搬運(yùn)裝置8的旋轉(zhuǎn)體8b比氣浮平臺(tái)部6的上表面更向上方突出。在該狀態(tài)下，通過與配置在上游側(cè)的輥式輸送機(jī)同步而利用旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置8c使旋轉(zhuǎn)軸8a旋轉(zhuǎn)，從而由配置在上游側(cè)的輥式輸送機(jī)運(yùn)來的基板1的一部分被搬運(yùn)到氣浮平臺(tái)部6的內(nèi)側(cè)。此時(shí)，通過與上游的輥式輸送機(jī)的旋轉(zhuǎn)同步而利用旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置8c使旋轉(zhuǎn)軸8a旋轉(zhuǎn)，從而用輥式輸送機(jī)和第2基板搬運(yùn)裝置8將基板1搬運(yùn)到氣浮平臺(tái)部6內(nèi)。在基板1完全被搬入到氣浮平臺(tái)部6的同時(shí)，停止第2基板搬運(yùn)裝置8的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置8c。此時(shí)，基板1的后端部借助于與第2基板搬運(yùn)裝置8的各旋轉(zhuǎn)體8b的摩擦力而成為被限制在第2基板搬運(yùn)裝置8上的狀態(tài)。在該限制狀態(tài)下，使第1基板搬運(yùn)裝置9的支撐部9h上升，使吸附部9k的吸盤9j抵接于基板1的背面1b，由此，在氣浮平臺(tái)部6上方浮起的基板1被吸盤9j限制。此時(shí)，基板1雖然在氣浮平臺(tái)部6上方浮起，但由于基板1被其與第1基板搬運(yùn)裝置9的吸盤9j的摩擦力所限制，所以基板1靜止而不在氣浮平臺(tái)部6上方移動(dòng)。此后，利用上下移動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置8e使旋轉(zhuǎn)體8b下降到比氣浮平臺(tái)部6的上表面更靠下方的位置而處于待機(jī)狀態(tài)。此處，例如在把圖1所示的基板檢查裝置A設(shè)置于基板1的生產(chǎn)線內(nèi)的情況下，使與基板檢查裝置A連結(jié)的搬運(yùn)用輥式輸送機(jī)與第2搬運(yùn)裝置8的旋轉(zhuǎn)軸8a的旋轉(zhuǎn)速度同步。由此，被搬運(yùn)用輥式輸送機(jī)所搬運(yùn)來的基板1的前端部1e按原樣過渡到旋轉(zhuǎn)體8b上，從而能夠通過旋轉(zhuǎn)體8b的旋轉(zhuǎn)而將基板1搬入到氣浮平臺(tái)部6內(nèi)。
接著，使定位機(jī)構(gòu)10上升，以使圖2所示的定位機(jī)構(gòu)10的基準(zhǔn)銷10b配置在基板1的水平位置上，同時(shí)，使按壓銷10e水平移動(dòng)，將基板1定位在能夠獲取基板1的原點(diǎn)坐標(biāo)的基準(zhǔn)位置上。
在該定位之后，開始真空抽吸，用第1基板搬運(yùn)裝置9的吸盤9j來吸附保持基板1。在基板1被牢固地吸附保持的階段，定位機(jī)構(gòu)10的基準(zhǔn)銷10b和按壓銷10e返回到原來的位置，離開基板1。由此，利用壓力氣體的噴出而浮起的基板1的端部被保持在吸盤9j上，從而基板1成為被水平支撐的狀態(tài)。此處，定位機(jī)構(gòu)10移動(dòng)到不會(huì)妨礙基板1的檢查的預(yù)定位置，在該階段進(jìn)行基板1的原點(diǎn)坐標(biāo)的獲取。
接著，通過圖1所示的宏觀檢查部4的照明部4b以入射角θ1向基板1的表面1a照射線狀的光束(照明光)，使保持有基板1的第1基板搬運(yùn)裝置9在軌道部9a上以一定速度移動(dòng)。照明光照射到從動(dòng)于第1基板搬運(yùn)裝置9的基板1的表面1a上，從表面1a以反射角θ2反射的反射光被鏡4d向水平方向偏向并取入到攝像部4f。由于基板1通過第1基板搬運(yùn)裝置9在X方向上以一定速度移動(dòng)，所以可以用攝像部4f依次取入基板1的表面1a的圖像，通過對(duì)被取入的圖像進(jìn)行處理，可以檢查基板1整個(gè)表面1a有沒有缺陷。另外，以基板1的原點(diǎn)坐標(biāo)為基礎(chǔ)，可以獲得缺陷的位置坐標(biāo)。
第1基板搬運(yùn)裝置9根據(jù)缺陷的位置坐標(biāo)使基板1移動(dòng)，以使得由宏觀檢查部4檢測(cè)出的基板1的表面1a的缺陷與氣浮平臺(tái)部6的間隙部6a重合。
接著，微觀檢查部5將顯微鏡部5移動(dòng)到能夠觀察缺陷的位置上，利用透射照明部5c從位于間隙部6a的基板1的背面?zhèn)日丈湔彰鞴?。然后，通過顯微鏡部5進(jìn)行缺陷的擴(kuò)大圖像的詳細(xì)觀察。
在結(jié)束了詳細(xì)觀察的階段，使設(shè)于氣浮平臺(tái)部6的另一個(gè)端部6d的第2基板搬運(yùn)裝置8的上下移動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置8e上升，使旋轉(zhuǎn)體8b的一部分比氣浮平臺(tái)部6的上表面更向上方突出。接著，由第1基板搬運(yùn)裝置9所保持的基板1的前端部1e被搬運(yùn)到抵接于旋轉(zhuǎn)體8b上的位置，進(jìn)行吸盤9j的負(fù)壓釋放，使基板1從吸盤9j離開。
最后，通過旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置8c使第2基板搬運(yùn)裝置8的旋轉(zhuǎn)軸8a旋轉(zhuǎn)，將基板1搬出到基板檢查裝置A外?；鍣z查裝置A自動(dòng)進(jìn)行這一系列的從基板1的搬入到檢查、搬出的操作。
從而，在由上述結(jié)構(gòu)構(gòu)成的基板檢查裝置A中，通過設(shè)置于氣浮平臺(tái)部6的一個(gè)端部6c側(cè)的第2基板搬運(yùn)裝置8，可將基板1搬入氣浮平臺(tái)部6內(nèi)。此時(shí)，由于可以用上下移動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置8e將第2基板搬運(yùn)裝置8的旋轉(zhuǎn)體8b的一部分調(diào)節(jié)為比氣浮平臺(tái)部6的上表面所形成的水平面更向上方突出，所以能夠在借助于第2基板搬運(yùn)裝置8的旋轉(zhuǎn)體8b的摩擦力對(duì)利用氣浮平臺(tái)部6浮起的基板1進(jìn)行限制的狀態(tài)下可靠地將基板1搬入氣浮平臺(tái)部6內(nèi)。另外，搬運(yùn)到氣浮平臺(tái)部6上方的基板1利用從孔6h噴出的壓力氣體而浮起，同時(shí)在基板1的一邊1c被第1基板搬運(yùn)裝置9的吸盤9j的摩擦力限制的狀態(tài)下能夠利用定位機(jī)構(gòu)10可靠地定位于基準(zhǔn)位置上。進(jìn)而，結(jié)束了檢查的基板1通過第1基板搬運(yùn)裝置9，可以搬運(yùn)到與設(shè)于氣浮平臺(tái)部6的另一個(gè)端部6d側(cè)的第2基板搬運(yùn)裝置8的旋轉(zhuǎn)體8b抵接的位置，通過該第2基板搬運(yùn)裝置8，可以將基板1搬出到基板檢查裝置A外。此時(shí)，由于可以利用上下移動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置8e調(diào)節(jié)旋轉(zhuǎn)體8b的位置，所以能夠可靠地將浮起狀態(tài)的基板1搬出到基板檢查裝置A外。
由此，在由上述結(jié)構(gòu)構(gòu)成的基板檢查裝置A中，在從氣浮平臺(tái)部6的一個(gè)端部6c到另一個(gè)端部6d的范圍內(nèi)，基板檢查裝置A自身可以將基板1搬入氣浮平臺(tái)部6內(nèi)以及可以從氣浮平臺(tái)部6內(nèi)搬出基板1。
由此，根據(jù)由上述結(jié)構(gòu)構(gòu)成的基板檢查裝置A，將第2基板搬運(yùn)裝置8一體地組裝進(jìn)檢查平臺(tái)3的氣浮平臺(tái)部6，將第2基板搬運(yùn)裝置8的旋轉(zhuǎn)體8b設(shè)置成可出沒于氣浮平臺(tái)部6的搬運(yùn)面，由此，作為基板檢查裝置A，不需要在使基板1浮起并對(duì)其進(jìn)行水平支撐的氣浮平臺(tái)部6的兩側(cè)設(shè)置另外的輥式輸送機(jī)平臺(tái)，從而能夠?qū)崿F(xiàn)基板檢查裝置A的小型化。另外，由于可以將基板檢查裝置A配置在生產(chǎn)線的輥式輸送機(jī)的搬運(yùn)路徑的途中，所以不需要像以往那樣在從基板檢查裝置A中搬出基板1時(shí)所使用的搬運(yùn)機(jī)械手，從而可以實(shí)現(xiàn)檢查所需的空間的節(jié)約。進(jìn)而，基板檢查裝置A被小型化，自身可以進(jìn)行基板1的搬入、搬出，由此可以在生產(chǎn)線的現(xiàn)有的搬運(yùn)裝置等之間原樣串列配置基板檢查裝置A來進(jìn)行使用，能夠利用現(xiàn)有的搬運(yùn)裝置所占有的空間進(jìn)行檢查。
而且，本發(fā)明不限于上述一個(gè)實(shí)施方式，在不脫離其主旨的范圍內(nèi)可以進(jìn)行適當(dāng)變更。
例如，第2基板搬運(yùn)裝置8設(shè)置在氣浮平臺(tái)部6的一個(gè)端部6c側(cè)和另一個(gè)端部6d側(cè)，但不限于此，也可設(shè)在任一方上，不限制其設(shè)置位置和設(shè)置數(shù)量。
并且，旋轉(zhuǎn)軸8a設(shè)置了3根，但只要至少設(shè)置有1根旋轉(zhuǎn)軸8a即可。
另外，環(huán)繞安裝于旋轉(zhuǎn)軸8a上的旋轉(zhuǎn)體8b形成為塑料制的環(huán)狀，在其外周面8g上包覆有具有適度的彈性和適度的相對(duì)摩擦系數(shù)的例如硅橡膠等，但也可以以抵接于基板1、可以搬運(yùn)基板1的方式例如在外周面8g上形成凹凸形狀，對(duì)材質(zhì)和外周面的形狀沒有特別地限定。
另外，對(duì)于第2基板搬運(yùn)裝置8，將旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置8c和上下移動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置8e容納在1個(gè)箱體8l內(nèi)作為驅(qū)動(dòng)部8f，而且利用該驅(qū)動(dòng)部8f對(duì)旋轉(zhuǎn)軸8a和支撐框架部8h進(jìn)行支撐，但不限于此，只要旋轉(zhuǎn)體8b旋轉(zhuǎn)，能搬運(yùn)與該旋轉(zhuǎn)體8b抵接的基板1即可，因此不限制旋轉(zhuǎn)軸8a的支撐方法和旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置8c的設(shè)置位置。
另外，在1個(gè)第2基板搬運(yùn)裝置8所具有的3根旋轉(zhuǎn)軸8a上，分別連接了旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置8c，但也可以例如圖6所示那樣在1根旋轉(zhuǎn)軸8a上連接旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置，對(duì)于其他的旋轉(zhuǎn)軸8a，例如在旋轉(zhuǎn)軸8a上卷繞8m等的傳動(dòng)帶，將1根旋轉(zhuǎn)軸8a的旋轉(zhuǎn)力傳遞給其他的旋轉(zhuǎn)軸8a，使所有的旋轉(zhuǎn)軸8a旋轉(zhuǎn)。
并且，上述氣浮平臺(tái)部6不限于形成為長(zhǎng)方形的氣浮塊6e，也可以在搬運(yùn)基板1的搬運(yùn)面整體上分散配置用于噴出使基板1浮起的氣體的孔6h，在該搬運(yùn)面上形成多個(gè)使旋轉(zhuǎn)體8b出沒的開口，使旋轉(zhuǎn)體8b通過該開口突出于上述搬運(yùn)面。
另外，第2基板搬運(yùn)裝置8的旋轉(zhuǎn)體8b在其一部分位于氣浮平臺(tái)部6的基板1側(cè)的上表面的上方時(shí)，用上下移動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置8e使旋轉(zhuǎn)體8b上下移動(dòng)，但不限于此，只要旋轉(zhuǎn)體8b的一部分相對(duì)于氣浮平臺(tái)部6的上表面相對(duì)地上下移動(dòng)，并比上表面更向上方突出即可，因此也可以固定旋轉(zhuǎn)體8b，使氣浮平臺(tái)部6上下移動(dòng)。
進(jìn)而，本發(fā)明構(gòu)成為通過壓力氣體推壓基板1的下表面1b而使基板1浮起，但也可以是能使基板1浮起的靜電浮起和超聲波浮起等利用非接觸方式的浮起裝置，用來搬運(yùn)以該非接觸方式浮起的基板1的第1基板搬運(yùn)裝置9也不限于此。
進(jìn)而，上述一個(gè)實(shí)施方式所示的基板檢查裝置A構(gòu)成為具有宏觀檢查部4和微觀檢查部5，但不限于此，只要能用第2基板搬運(yùn)裝置8將基板1搬運(yùn)到氣浮平臺(tái)部6內(nèi)即可，因此也可以應(yīng)用于具備例如宏觀檢查部4和微觀檢查部5中任一方的基板檢查裝置，并且也可以應(yīng)用于具備與一個(gè)實(shí)施方式所示的宏觀檢查部4和微觀檢查部5的結(jié)構(gòu)不同的結(jié)構(gòu)的檢查部和激光修復(fù)機(jī)(laser repair)等的基板檢查裝置。
權(quán)利要求
1.一種基板檢查裝置，其特征在于，該基板檢查裝置具有浮起平臺(tái)部，該浮起平臺(tái)部使基板浮起并對(duì)其進(jìn)行水平支撐；第1基板搬運(yùn)裝置，該第1基板搬運(yùn)裝置保持上述基板的端部，在使上述基板在上述浮起平臺(tái)部上方浮起的狀態(tài)下，搬運(yùn)上述基板；檢查部，該檢查部對(duì)由上述第1基板搬運(yùn)裝置搬運(yùn)來的上述基板進(jìn)行檢查；以及第2基板搬運(yùn)裝置，該第2基板搬運(yùn)裝置在上述浮起平臺(tái)部的端部配置有多個(gè)可進(jìn)行旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)的旋轉(zhuǎn)體，上述旋轉(zhuǎn)體被設(shè)置成可出沒于上述浮起平臺(tái)部的搬運(yùn)面，并支撐上述基板的背面，以將上述基板搬入到上述浮起平臺(tái)部?jī)?nèi)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板檢查裝置，其特征在于，上述浮起平臺(tái)部具有多個(gè)以預(yù)定間隔進(jìn)行配置的長(zhǎng)方形形狀的浮起塊，上述第2基板搬運(yùn)裝置的旋轉(zhuǎn)體被設(shè)置成可以出沒于鄰接的各浮起塊之間。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板檢查裝置，其特征在于，在上述浮起平臺(tái)部中，在搬運(yùn)上述基板的整個(gè)搬運(yùn)面上分散配置有用于噴出使上述基板浮起的氣體的孔，在上述搬運(yùn)面上形成有多個(gè)使上述旋轉(zhuǎn)體出沒的開口，上述第2基板搬運(yùn)裝置的旋轉(zhuǎn)體通過上述開口從上述搬運(yùn)面突出。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中的任一項(xiàng)所述的基板檢查裝置，其特征在于，上述第2基板搬運(yùn)裝置具有與上述基板的搬運(yùn)方向正交的旋轉(zhuǎn)軸，在上述旋轉(zhuǎn)軸上以預(yù)定的間隔配置有多個(gè)上述旋轉(zhuǎn)體，上述第2基板搬運(yùn)裝置設(shè)置有旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置，該旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置使上述旋轉(zhuǎn)軸繞軸線旋轉(zhuǎn)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的基板檢查裝置，其特征在于，上述旋轉(zhuǎn)軸由進(jìn)行上下移動(dòng)的樞轉(zhuǎn)支撐部支撐成可以旋轉(zhuǎn)，所述第2基板搬運(yùn)裝置中設(shè)置有使上述樞轉(zhuǎn)支撐部進(jìn)行上下移動(dòng)的上下移動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板檢查裝置，其特征在于，上述第2基板搬運(yùn)裝置在將上述基板搬入上述浮起平臺(tái)部時(shí)，使上述旋轉(zhuǎn)體比上述浮起平臺(tái)部的搬運(yùn)面更向上方突出，在利用上述第1基板搬運(yùn)裝置強(qiáng)行搬運(yùn)基板時(shí)，上述第2基板搬運(yùn)裝置使上述旋轉(zhuǎn)體移動(dòng)到比上述浮起平臺(tái)部的搬運(yùn)面更靠下方的位置。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的基板檢查裝置，其特征在于，在上述基板被搬入到上述浮起平臺(tái)部而由上述第1基板搬運(yùn)裝置限制了上述基板的端部之后，上述第2基板搬運(yùn)裝置使上述旋轉(zhuǎn)體移動(dòng)到比上述浮起平臺(tái)部的搬運(yùn)面更靠下方的位置。
8.根據(jù)權(quán)利要求1至3和權(quán)利要求5至7中的任一項(xiàng)所述的基板檢查裝置，其特征在于，上述第2基板搬運(yùn)裝置的上述旋轉(zhuǎn)體可以相對(duì)于上述浮起平臺(tái)部的上述搬運(yùn)面相對(duì)地上下移動(dòng)。
9.根據(jù)權(quán)利要求4所述的基板檢查裝置，其特征在于，上述第2基板搬運(yùn)裝置的上述旋轉(zhuǎn)體可以相對(duì)于上述浮起平臺(tái)部的上述搬運(yùn)面相對(duì)地上下移動(dòng)。
全文摘要
本發(fā)明提供一種基板檢查裝置，該基板檢查裝置具有浮起平臺(tái)部(6)，該浮起平臺(tái)部(6)使基板(1)浮起并對(duì)其進(jìn)行水平支撐；第1基板搬運(yùn)裝置(9)，其保持基板(1)的端部，在使基板(1)在浮起平臺(tái)部(6)上方浮起的狀態(tài)下對(duì)基板(1)進(jìn)行搬運(yùn)；檢查部，其對(duì)由第1基板搬運(yùn)裝置(9)搬運(yùn)來的基板(1)進(jìn)行檢查；以及第2基板搬運(yùn)裝置(8)，其在浮起平臺(tái)部(6)的端部配置有多個(gè)可進(jìn)行旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)的旋轉(zhuǎn)體(8b)，該旋轉(zhuǎn)體(8b)被設(shè)置成可以出沒于浮起平臺(tái)部(6)的搬運(yùn)面，并支撐基板(1)的背面，以將基板(1)搬入到浮起平臺(tái)部(6)內(nèi)。
文檔編號(hào)H01L21/66GK101038260SQ20071008835
公開日2007年9月19日 申請(qǐng)日期2007年3月16日 優(yōu)先權(quán)日2006年3月16日
發(fā)明者松本勝, 藤崎暢夫 申請(qǐng)人:奧林巴斯株式會(huì)社