專利名稱:芯片轉(zhuǎn)盤式拾取裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本實用新型涉及芯片拾取裝置,尤其涉及一種夾持半導體芯片進行 高速轉(zhuǎn)移的芯片轉(zhuǎn)盤式拾取裝置。
背景技術(shù):
半導體芯片體積微小,并且容易損壞,在測試分選過程中,芯片的 拾取和轉(zhuǎn)移是整個測試分選的基礎(chǔ),能否準確的轉(zhuǎn)移芯片和保護芯片不 致受損是非常重要的。各種芯片轉(zhuǎn)移拾取裝置被用來將芯片從芯片盒轉(zhuǎn)
移到測試的平臺上,再從測試平臺上轉(zhuǎn)移到分BIN臺上,但是目前市場
上的芯片轉(zhuǎn)移裝置的轉(zhuǎn)移速度較慢,工作效率也不高,使得芯片在拾取
轉(zhuǎn)移的過程中受損比較嚴重。
實用新型內(nèi)容
本實用新型要解決的技術(shù)問題是提供一種能迅速準確地將半導體
芯片在芯片供料臺與芯片測試臺、芯片測試臺與芯片分BIN臺之間轉(zhuǎn)移
的芯片轉(zhuǎn)盤式拾取裝置。
本實用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是 一種芯片轉(zhuǎn)盤式 拾取裝置,所述的芯片轉(zhuǎn)盤式拾取裝置具有拾取芯片的機械手組件,所 述的機械手組件轉(zhuǎn)動連接有連桿驅(qū)動裝置,機械手組件升降連接有凸輪 升降裝置。
本實用新型進一步包括所述的機械手組件具有機械手安裝座和機械 手,所述的機械手通過板簧和第一螺釘安裝在機械手安裝座上,機械手 安裝座上還設(shè)置有調(diào)節(jié)擋塊,調(diào)節(jié)擋塊上安裝有第二螺釘,機械手上安裝有第三螺釘,第三螺釘配有螺母,調(diào)節(jié)擋塊與螺母之間設(shè)置有彈簧, 機械手前端還設(shè)置有吸嘴,吸嘴連接有氣管。
本實用新型的有益效果是,解決了背景技術(shù)中存在的缺陷,能準確 的調(diào)定芯片拾取力的大小,有效地避免芯片在拾取轉(zhuǎn)運過程中造成的損 壞,降低了產(chǎn)品的不良率。以下結(jié)合附圖和實施例對本實用新型進一步說明。
圖1是本實用新型的結(jié)構(gòu)示意其中8、機械手安裝座;12、機械手;19、板簧;15、調(diào)節(jié)擋塊;9、 第二螺釘;18、第三螺釘;17、螺母;16、彈簧;10、第四螺釘;13、
吸嘴;14、氣管。
具體實施方式
現(xiàn)在結(jié)合附圖和優(yōu)選實施例對本實用新型作進一步詳細的說明。這 些附圖均為簡化的示意圖,僅以示意方式說明本實用新型的基本結(jié)構(gòu), 因此其僅顯示與本實用新型有關(guān)的構(gòu)成。
如圖1所示, 一種芯片轉(zhuǎn)盤式拾取裝置,其特征在于所述的芯片
轉(zhuǎn)盤式拾取裝置具有拾取芯片的機械手組件,機械手組件具有機械手安
裝座8和機械手12,所述的機械手12通過板簧19和第一螺釘安裝在 機械手安裝座8上,機械手安裝座8上還設(shè)置有調(diào)節(jié)擋塊15,調(diào)節(jié)擋 塊15上安裝有第二螺釘9,機械手12上安裝有第三螺釘18,第三螺釘 18配有螺母17,調(diào)節(jié)擋塊15與螺母17之間設(shè)置有彈簧16,機械手12 前端還設(shè)置有吸嘴13,吸嘴13連接有氣管14。所述的機械手組件轉(zhuǎn)動 連接有連桿驅(qū)動裝置,機械手組件升降連接有凸輪升降裝置。本實用新型工作時,連桿驅(qū)動裝置驅(qū)動機械手12旋轉(zhuǎn)到芯片拾取 點的上方,凸輪升降裝置驅(qū)動機械手12下降到拾取位置。吸嘴13通過 外部接入的真空吸取芯片。然后凸輪升降裝置驅(qū)動機械手12離開拾取 位置上升,連桿驅(qū)動裝置驅(qū)動機械手12旋轉(zhuǎn)到芯片放置點的上方,凸 輪升降裝置驅(qū)動機械手12下降到放置位置。吸嘴13通過外部接入的壓 縮空氣與芯片脫離。然后凸輪升降裝置驅(qū)動機械手12離開拾取位置上 升。
本實用新型能準確調(diào)定芯片拾取力的大小,有效避免了芯片在拾取 轉(zhuǎn)運過程中造成的損壞,降低了產(chǎn)品的不良率。
以上述依據(jù)本實用新型的理想實施例為啟示,通過上述的說明內(nèi) 容,相關(guān)工作人員完全可以在不偏離本項實用新型技術(shù)思想的范圍內(nèi), 進行多樣的變更以及修改。
權(quán)利要求1、一種芯片轉(zhuǎn)盤式拾取裝置,其特征在于所述的芯片轉(zhuǎn)盤式拾取裝置具有拾取芯片的機械手組件,所述的機械手組件轉(zhuǎn)動連接有連桿驅(qū)動裝置,機械手組件升降連接有凸輪升降裝置。
2、 如權(quán)利要求1所述的芯片轉(zhuǎn)盤式拾取裝置,其特征在于所述的機械手組件具有機械手安裝座(8)和機械手(12),所述的機械手(12)通過板簧(19)和第一螺釘安裝在機械手安裝座(8)上,機械手安裝座(8)上還設(shè)置有調(diào)節(jié)擋塊(15),調(diào)節(jié)擋塊(15)上安裝有第二螺釘(9),機械手(12)上安裝有第三螺釘(18),第三螺釘(18)配有螺母(17),調(diào)節(jié)擋塊(15)與螺母(17)之間設(shè)置有彈簧(16),機械手(12)前端還設(shè)置有吸嘴(13),吸嘴(13)連接有氣管(14)。
專利摘要本實用新型涉及一種芯片轉(zhuǎn)盤式拾取裝置,所述的芯片轉(zhuǎn)盤式拾取裝置具有拾取芯片的機械手組件,所述的機械手組件轉(zhuǎn)動連接有連桿驅(qū)動裝置,機械手組件升降連接有凸輪升降裝置。采用本實用新型能準確的調(diào)定芯片拾取力的大小,有效地避免芯片在拾取轉(zhuǎn)運過程中造成的損壞,降低了產(chǎn)品的不良率。
文檔編號H01L21/677GK201369320SQ20092003543
公開日2009年12月23日 申請日期2009年3月23日 優(yōu)先權(quán)日2009年3月23日
發(fā)明者唐國強, 沈國平, 琳 王, 云 陳, 顧方成 申請人:常州新區(qū)愛立德電子有限公司