專利名稱：Pecvd鍍膜專用硅片承載器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及太陽能電池硅片PECVD鍍膜用的一種硅片承載器。背景技術(shù)：
PECVD是太陽能電池片等離子體化學(xué)沉積鍍膜工藝的簡稱，在太陽能電池的生產(chǎn) 過程中，對硅片鍍膜是提高太陽能電池吸收效率的關(guān)鍵技術(shù)，根據(jù)硅片的光電轉(zhuǎn)換發(fā)電原 理，光線照射到硅片上會產(chǎn)生反射，硅片的光學(xué)損失會使太陽能電池的輸出低于理想值，硅 片鍍膜技術(shù)是提高太陽能電池吸收效率的成熟技術(shù)，已在太陽能電池工業(yè)化生產(chǎn)中得到廣 泛應(yīng)用，通過PECVD能在硅片表面形成一層減反射膜。在PECVD鍍膜過程中必須使用硅片承載器，現(xiàn)用的硅片承載器如圖1所示，它由承 載框架1、單面掛鉤2和雙面掛鉤3組成，承載框架1由縱向桿和橫向桿拼合而成，單面掛鉤 2安裝在左右兩側(cè)的縱向桿上，雙面掛鉤3則安裝在其它縱向桿上，將待鍍膜的硅片5逐塊 平放在硅片承載器上，靠單面掛鉤2和雙面掛鉤3將硅片5水平托起，對硅片5向下的擴(kuò)散 面進(jìn)行鍍膜。雙面掛鉤如圖2A所示，單面掛鉤如圖2B所示，它們均為片狀結(jié)構(gòu)，所述雙面 掛鉤3由托鉤31、鉤身32、定位槽33和扎帶34組成，托鉤31對稱地設(shè)置在鉤身32下端的 外側(cè)，定位槽33位于鉤身32的上方，且處于兩根扎帶34之間，雙面掛鉤3通過定位槽33 安裝在縱向桿上；單面掛鉤2的結(jié)構(gòu)與雙面掛鉤3相似，只比雙面掛鉤3少一個托鉤。單 面掛鉤和雙面掛鉤的安裝固定方式都是相同的，都是靠定位槽卡裝在縱向桿上，然后用鉗 子將兩根扎帶鉸接起來，從而使掛鉤固定在縱向桿上，在鉸接緊固時，兩根扎帶必然會對縱 向桿產(chǎn)生收緊力和磨擦力，由于硅片承載框架由碳素復(fù)合纖維材料制成，在掛鉤的安裝收 緊和拆除過程中，扎帶對縱向桿的損傷較大，這必然加速硅片承載器的損壞，縮短其使用壽 命。目前，硅片承載器一般的使用壽命為二個月，生產(chǎn)消耗較大，由于硅片承載器的價格較 高，所以硅片承載器消耗成本在鍍膜成本中的比例較高。在鍍膜的過程中，待鍍膜的硅片是平放在硅片承載器上，并由四個托鉤水平托起， 由于掛鉤固定的松緊程度會直接影響托鉤的頂尖與縱向桿底面之間的距離，從而改變硅片 與硅片承載器之間的間隙，這樣就增大了等離子體擴(kuò)散到硅片背面產(chǎn)生沉積的機(jī)率，電池 背面存有氮化硅層對后道工序鋁背場的印刷燒結(jié)將產(chǎn)生不良影響。同時，在鍍膜過程中，在 硅片承載框架和掛鉤表面都會沉積氮化硅，根據(jù)鍍膜工藝要求，在鍍膜結(jié)束后必須將硅片 承載框架上的掛鉤拆除，然后用低濃度的HF溶液(5%)浸泡以清除附著其上的氮化硅，否 則掛鉤就會在浸泡過程中被HF溶液腐蝕掉，這樣不僅要消耗HF溶液，而且還需要拆除掛 鉤，同時也增大了后道對HF溶液環(huán)保處理的成本和難度。

發(fā)明內(nèi)容為了克服現(xiàn)有硅片承載器存在的不足，本發(fā)明提供了一種PECVD鍍膜專用硅片承 載器，這種硅片承載器上的掛鉤不僅能快速安裝和拆除，而且對硅片承載框架不會產(chǎn)生損 傷，還能大幅度降低太陽能電池片背面沉積氮化硅層的機(jī)率。
本發(fā)明所述PECVD鍍膜專用硅片承載器，它包括承載框架、單面掛鉤和雙面掛鉤， 單面掛鉤和雙面掛鉤均安裝在承載框架的掛鉤連接桿上，其特征是，它還包括墊板，所述雙 面掛鉤由托鉤、鉤身、定位槽、扎帶、壓迫凸臺和折彎槽組成，兩個托鉤對稱地位于鉤身的底 部兩側(cè)，定位槽位于鉤身的上方，且處于兩根扎帶之間，壓迫凸臺設(shè)置在扎帶的頂端，在兩 扎帶的外側(cè)等高度地設(shè)有折彎槽，折彎槽的開設(shè)位置要求是當(dāng)壓迫凸臺沿折彎槽向內(nèi)側(cè) 邊折彎90°后，內(nèi)側(cè)邊到定位槽底邊的距離等于兩個墊板厚度與掛鉤連接桿厚度之和；所 述墊板呈“工”字形，在其墊板的兩側(cè)開有扎帶槽，扎帶槽的寬度與扎帶的厚度相當(dāng)，兩扎帶 槽的槽底之間的距離與兩扎帶的內(nèi)側(cè)邊之間的距離相當(dāng)，托鉤的頂尖與掛鉤連接桿底邊的 距離小于或等于硅片的厚度；單面掛鉤的結(jié)構(gòu)與雙面掛鉤相同，只比雙面掛鉤少一只托鉤； 單面掛鉤、雙面掛鉤與掛鉤連接桿的安裝方式相同，在掛鉤連接桿的上端面和下端面均設(shè) 置有墊板，兩扎帶插穿在墊板的兩扎帶槽中，定位槽套裝在掛鉤連接桿上，兩根扎帶上端的 壓迫凸臺通過沿折彎槽向內(nèi)側(cè)邊折彎90°的方式壓在墊板的上端面上，如圖3所示。由于在硅片承載器上增設(shè)了二塊墊板，同時改進(jìn)了掛鉤的連接結(jié)構(gòu)，掛鉤在安裝 時，在掛鉤連接桿的頂面和底面均設(shè)有墊板，掛鉤的兩根扎帶在收緊、拆除過程中都直接 作用在墊板上，因此，不會對掛鉤連接桿產(chǎn)生損傷，從而能大幅度提高硅片承載器的使用壽 命。由于在兩扎帶的外側(cè)等高度地開設(shè)了折彎槽，在扎帶的頂部設(shè)置了壓迫凸臺，在安裝掛 鉤時只要用鉗子將兩根扎帶上端的壓迫凸臺沿折彎槽向內(nèi)側(cè)邊折彎90°即可，此時，壓迫 凸臺的內(nèi)側(cè)邊就能可靠地壓在墊板的上端面上，這樣不僅能使掛鉤穩(wěn)固地固定在掛鉤連接 桿上，而且能使得所有掛鉤的托鉤的頂尖與掛鉤連接桿底面的距離等值，在鍍膜過程中，由 于硅片的上端面不低于掛鉤連接桿的底面，這樣就能大幅度降低在太陽能電池片背面沉積 氮化硅層的機(jī)率。當(dāng)需要拆除掛鉤時，只要用鉗子將壓迫凸臺還原折彎90°即可。這種結(jié) 構(gòu)的硅片承載器，不僅掛鉤能快速安裝和拆除，而且安裝和拆除對硅片承載框架都不會產(chǎn) 生損傷，還能大幅度降低太陽能電池片背面沉積氮化硅層的機(jī)率，能更好地滿足鍍膜工藝 要求。

圖1為硅片承載器的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為現(xiàn)有掛鉤的結(jié)構(gòu)示意圖；其中圖2A為雙面掛鉤結(jié)構(gòu)示意圖，圖2B為單面掛鉤結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本發(fā)明中雙面掛鉤的安裝結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為本發(fā)明中雙面掛鉤的結(jié)構(gòu)示意圖；圖5為本發(fā)明中墊板的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中，1-承載框架；2-單面掛鉤；3-雙面掛鉤；4-墊板；5-硅片；11-掛鉤連接桿；31-托鉤；32-鉤身；33-定位槽；34-扎帶；35-壓迫凸臺；36-折彎槽；37-內(nèi)側(cè)邊；38-底邊；41-扎帶槽；42-槽底。
具體實(shí)施方式下面結(jié)合說明書附圖介紹本發(fā)明的具體實(shí)施方式
。本發(fā)明所述PECVD鍍膜專用硅片承載器，它由承載框架1、單面掛鉤2、雙面掛鉤3和墊板4組成，承載框架1由縱向桿和橫向桿拼合而成，單面掛鉤2和雙面掛鉤3均安裝在 承載框架1的縱向桿上，在本例中，縱向桿就是掛鉤連接桿11，所述雙面掛鉤3由托鉤31、 鉤身32、定位槽33、扎帶34、壓迫凸臺35和折彎槽36組成，兩個托鉤31對稱地位于鉤身 32下端的兩側(cè)，定位槽33位于鉤身32的上方，且處于兩根扎帶34之間，壓迫凸臺35設(shè)置 在扎帶34的頂端，在兩扎帶34的外側(cè)等高度地設(shè)有折彎槽36，折彎槽36的開設(shè)位置要求 是當(dāng)壓迫凸臺35沿折彎槽36向內(nèi)側(cè)邊37折彎90°后，內(nèi)側(cè)邊37到定位槽33底邊38 的距離等于兩個墊板4厚度與掛鉤連接桿11厚度之和；所述墊板4呈“工”字形，在墊板4 的兩側(cè)設(shè)有扎帶槽41，扎帶槽41的寬度與扎帶34的厚度相當(dāng)，兩扎帶槽41的槽底42之 間的距離與兩扎帶34的內(nèi)側(cè)邊37之間的距離相當(dāng)，托鉤31的頂尖與掛鉤連接桿11底邊 的距離等于或略小于硅片5的厚度；單面掛鉤2的結(jié)構(gòu)與雙面掛鉤3相同，只比雙面掛鉤3 少一只托鉤31 ；單面掛鉤2和雙面掛鉤3與掛鉤連接桿11的安裝方式相同，即在掛鉤連接 桿11的上端面和下端面均設(shè)置有墊板4，兩扎帶34插穿在墊板4的兩扎帶槽41中，定位 槽33套裝在掛鉤連接桿11上，兩根扎帶34上端的壓迫凸臺35通過沿折彎槽36向內(nèi)側(cè)邊 37折彎90°的方式壓在墊板4的上端面上，如圖3所示，這樣掛鉤就穩(wěn)固地固定在掛鉤連 接桿11上，使得所有掛鉤的托鉤31的頂尖與掛鉤連接桿11底面的距離等值，將待鍍膜硅 片5平放在托鉤31上，即可按PECVD鍍膜工藝進(jìn)行鍍膜處理。
權(quán)利要求
一種PECVD鍍膜專用硅片承載器，它包括承載框架(1)、單面掛鉤(2)、雙面掛鉤(3)，單面掛鉤(2)和雙面掛鉤(3)均安裝在承載框架(1)上，其特征是它還包括墊板(4)，所述雙面掛鉤(3)由托鉤(31)、鉤身(32)、定位槽(33)、扎帶(34)、壓迫凸臺(35)和折彎槽(36)組成，兩個托鉤(31)對稱地位于鉤身(32)底部的兩側(cè)，定位槽(33)位于鉤身(32)的上方，且處于兩根扎帶(34)之間，壓迫凸臺(35)設(shè)置在扎帶(34)的頂端，在兩扎帶(34)的外側(cè)等高度地設(shè)有折彎槽(36)，折彎槽(36)的開設(shè)位置要求是當(dāng)壓迫凸臺(35)沿折彎槽(36)向內(nèi)側(cè)邊(37)折彎90°后，內(nèi)側(cè)邊(37)到定位槽(33)底邊(38)的距離等于兩個墊板(4)厚度與掛鉤連接桿(11)厚度之和；所述墊板(4)呈“工”字形，在墊板(4)兩側(cè)設(shè)有扎帶槽(41)，扎帶槽(41)的寬度與扎帶(34)的厚度相當(dāng)，兩扎帶槽(41)槽底(42)之間的距離與兩扎帶(34)的內(nèi)側(cè)邊(37)之間的距離相當(dāng)，托鉤(31)的頂尖與掛鉤連接桿(11)底邊的距離小于或等于硅片(5)的厚度；所述單面掛鉤(2)的結(jié)構(gòu)與雙面掛鉤(3)相同，只比雙面掛鉤(3)少一只托鉤(31)；單面掛鉤(2)和雙面掛鉤(3)與掛鉤連接桿(11)的安裝方式相同，在掛鉤連接桿(11)的上端面和下端面均設(shè)置有墊板(4)，兩扎帶(34)插穿在墊板(4)的兩扎帶槽(41)中，定位槽(33)套裝在掛鉤連接桿(11)上，兩根扎帶(34)上端的壓迫凸臺(35)通過沿折彎槽(36)向內(nèi)側(cè)邊(37)折彎90°的方式壓在墊板(4)的上端面上。
全文摘要
一種PECVD鍍膜專用硅片承載器，包括承載框架、單面掛鉤、雙面掛鉤和墊板，單面掛鉤與雙面掛鉤的結(jié)構(gòu)相同，只比后者少一只托鉤；在掛鉤的扎帶上設(shè)有壓迫凸臺和折彎槽，掛鉤的固定和拆除都通過壓迫凸臺沿折彎槽折彎90°方式來實(shí)現(xiàn)，掛鉤固定后，托鉤的頂尖與掛鉤連接桿底邊的距離小于或等于硅片的厚度，由于改進(jìn)了掛鉤的連接結(jié)構(gòu)，扎帶在收緊、拆除過程中只作用于墊板上，不會損傷掛鉤連接桿。這種結(jié)構(gòu)的硅片承載器，不僅掛鉤能快速安裝和拆除，而且安裝和拆除對硅片承載框架都不會產(chǎn)生損傷，還能大幅度降低太陽能電池片背面沉積氮化硅層的幾率，能更好地滿足鍍膜工藝要求。
文檔編號H01L31/20GK101877373SQ201010140438
公開日2010年11月3日 申請日期2010年3月29日 優(yōu)先權(quán)日2010年3月29日
發(fā)明者馮鑫, 劉志剛, 屈瑩 申請人:常州億晶光電科技有限公司