專(zhuān)利名稱(chēng)：一種硅片傳送機(jī)的取片和定位裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉硅片的制造設(shè)備，特別涉及一種硅片傳送機(jī)的取片和定位裝置。
背景技術(shù)：
硅片傳送機(jī)是硅片產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程中的重要設(shè)備，其可將散亂的硅片準(zhǔn)確定位，對(duì)于保護(hù)硅片在生產(chǎn)過(guò)程不受損壞、控制生產(chǎn)成本非常重要。現(xiàn)有的硅片傳送機(jī)主要分為兩類(lèi)基于全視覺(jué)定位的傳送機(jī)和基于全機(jī)械定位的傳送機(jī)。基于全視覺(jué)定位的傳送機(jī)是利用計(jì)算機(jī)視覺(jué)定位技術(shù)實(shí)現(xiàn)取片和定位，其智能化程度高，在光線(xiàn)穩(wěn)定、電磁干擾小的環(huán)境中，性能非常穩(wěn)定，但是存在成本太高、容易受光線(xiàn)和電磁干擾影響的缺點(diǎn)?；谌珯C(jī)械定位的傳送機(jī)，由圓振、直振和平臺(tái)構(gòu)成，工作時(shí)，硅片由圓振振動(dòng)旋轉(zhuǎn)到直振上，再由直振振動(dòng)到平臺(tái)上，雖然有效降低了成本，但是，硅片在振動(dòng)轉(zhuǎn)移過(guò)程中容易造成磨損，成品率也隨之下降。如何研制一種成本較低，取片效率高，性能穩(wěn)定，定位準(zhǔn)確且可降低硅片磨損的新型結(jié)構(gòu)的硅片傳送機(jī)取片和定位裝置，是本領(lǐng)域當(dāng)前的極需改進(jìn)的目標(biāo)。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的缺陷，提供一種新型結(jié)構(gòu)的硅片傳送機(jī)的取片和定位裝置，所要解決的技術(shù)問(wèn)題是使其成本較低，取片效率高，性能穩(wěn)定，定位準(zhǔn)確且可降低硅片磨損，從而更加適于實(shí)用。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型的技術(shù)方案是設(shè)計(jì)一種硅片傳送機(jī)的取片和定位裝置，其特征在于，所述裝置包括基板、控制電路和受控于控制電路的載盤(pán)、光電傳感器、旋轉(zhuǎn)吸嘴、轉(zhuǎn)盤(pán)、翻轉(zhuǎn)吸嘴、曲線(xiàn)定位器，其中載盤(pán)可沿中心線(xiàn)滑動(dòng)的固定在基板上；光電傳感器位于載盤(pán)的上方，所述光電傳感器的中心軸與載盤(pán)的中心線(xiàn)垂直相交；旋轉(zhuǎn)吸嘴可滑動(dòng)的固定在載盤(pán)和轉(zhuǎn)盤(pán)的上方；轉(zhuǎn)盤(pán)、翻轉(zhuǎn)吸嘴和曲線(xiàn)定位器均固定在基板上，所述翻轉(zhuǎn)吸嘴的兩個(gè)翻轉(zhuǎn)位置分別與轉(zhuǎn)盤(pán)、曲線(xiàn)定位器相對(duì)應(yīng)。作為優(yōu)選的技術(shù)方案，所述的載盤(pán)可沿中心線(xiàn)滑動(dòng)的固定在基板上是指載盤(pán)與載盤(pán)軸可滑動(dòng)連接，載盤(pán)軸與基板固定連接、并與控制電路電連接。作為優(yōu)選的技術(shù)方案，所述光電傳感器控制電路電連接、并與連接板固定連接，連接板固定在基板上的光電傳感器的立柱固定連接。作為優(yōu)選的技術(shù)方案，所述的旋轉(zhuǎn)吸嘴通過(guò)聯(lián)軸器與旋轉(zhuǎn)電機(jī)連接，所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)可滑動(dòng)的固定在旋轉(zhuǎn)電機(jī)軸上，所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)軸位于載盤(pán)的上方、并與載盤(pán)的中心線(xiàn)垂直，所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)軸的兩端分別與兩個(gè)固定在基板上的軸立柱固定連接，所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)、旋轉(zhuǎn)電機(jī)軸均與控制電路電連接。作為優(yōu)選的技術(shù)方案，所述的轉(zhuǎn)盤(pán)通過(guò)聯(lián)軸器與轉(zhuǎn)盤(pán)電機(jī)連接，所述轉(zhuǎn)盤(pán)電機(jī)與基板固定連接、并與控制電路電連接。作為優(yōu)選的技術(shù)方案，所述的翻轉(zhuǎn)吸嘴通過(guò)聯(lián)軸器與翻轉(zhuǎn)電機(jī)連接，所述翻轉(zhuǎn)電機(jī)與基板固定連接、并與控制電路電連接。[0010]作為優(yōu)選的技術(shù)方案，所述的曲線(xiàn)定位器通過(guò)聯(lián)軸器與定位電機(jī)連接，所述定位電機(jī)與基板固定連接、并與控制電路電連接。作為優(yōu)選的技術(shù)方案，所述的曲線(xiàn)定位器包括與定位電機(jī)連接的曲線(xiàn)連接件，以及與曲線(xiàn)連接件固定連接的定位爪，在所述定位爪的前端設(shè)有直角定位部。進(jìn)一步優(yōu)選的技術(shù)方案，所述的固定連接為螺紋接。作為優(yōu)選的技術(shù)方案，在所述轉(zhuǎn)盤(pán)上設(shè)有多個(gè)U型槽。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)和有益效果在于1、本實(shí)用新型硅片傳送機(jī)的取片和定位裝置，采用光電傳感器自動(dòng)識(shí)別，再由旋轉(zhuǎn)吸嘴吸取硅片并將其放到轉(zhuǎn)盤(pán)的U型槽中，有效解決了全機(jī)械定位傳送機(jī)硅片磨損嚴(yán)重的問(wèn)題，有效地保護(hù)了硅片，大大提高了成品率。2、本實(shí)用新型硅片傳送機(jī)的取片和定位裝置，采用電機(jī)帶動(dòng)定位器曲線(xiàn)運(yùn)動(dòng)并進(jìn)行精確定位，有效解決了全視覺(jué)定位傳送機(jī)成本高、環(huán)境要求嚴(yán)格的問(wèn)題。3、本實(shí)用新型硅片傳送機(jī)的取片和定位裝置，僅是對(duì)現(xiàn)有技術(shù)略作改進(jìn)，即可達(dá)到上述實(shí)用功效，確實(shí)具有產(chǎn)業(yè)上的利用價(jià)值，適于廣泛推廣使用。綜上所述，本實(shí)用新型硅片傳送機(jī)的取片和定位裝置，成本較低，取片效率高，性能穩(wěn)定，定位準(zhǔn)確且可降低硅片磨損。本實(shí)用新型具有上述諸多優(yōu)點(diǎn)及實(shí)用價(jià)值，其不論在裝置結(jié)構(gòu)或功能上皆有較大的改進(jìn)，在技術(shù)上有顯著的進(jìn)步，并產(chǎn)生了好用及實(shí)用的效果， 且較現(xiàn)有的硅片傳送機(jī)具有突出的功效，從而更加適于實(shí)用。

圖1是本實(shí)用新型硅片傳送機(jī)的取片和定位裝置的組合結(jié)構(gòu)示意圖。圖2是本實(shí)用新型硅片傳送機(jī)的取片和定位裝置曲線(xiàn)定位器的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖和實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
作進(jìn)一步描述。以下實(shí)施例僅用于更加清楚地說(shuō)明本實(shí)用新型的技術(shù)方案，而不能以此來(lái)限制本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。如圖1所示，本實(shí)用新型較佳的實(shí)施方案是，一種硅片傳送機(jī)的取片和定位裝置， 主要由控制電路、基板1、載盤(pán)2、光電傳感器3、旋轉(zhuǎn)吸嘴4、轉(zhuǎn)盤(pán)5、翻轉(zhuǎn)吸嘴6和曲線(xiàn)定位器7組成，載盤(pán)2、光電傳感器3、旋轉(zhuǎn)吸嘴4、轉(zhuǎn)盤(pán)5、翻轉(zhuǎn)吸嘴6和曲線(xiàn)定位器7均受控于控制電路。其中，載盤(pán)2可沿中心線(xiàn)滑動(dòng)的固定在基板1上，待取硅片散放在載盤(pán)2上?？扇鐖D所示，在基板1上固定連接載盤(pán)軸21，載盤(pán)2與該載盤(pán)軸21可滑動(dòng)連接，控制電路通過(guò)與載盤(pán)軸21的電連接控制裁盤(pán)2的滑動(dòng)。光電傳感器3位于載盤(pán)2的上方并直接與控制電路連接，且光電傳感器3的中心軸與載盤(pán)2的中心線(xiàn)垂直相交。隨著載盤(pán)2的滑動(dòng)，光電傳感器3可識(shí)別載盤(pán)2上所有硅片的位置和角度，并將光電信息傳送到控制電路，由控制電路進(jìn)行采集和分析。光電傳感器 3的具體固定方式可以圖1所示結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)，將光電傳感器3與連接板31固定連接，連接板 31與固定在基板1上的光電傳感器的立柱32固定連接。[0025]旋轉(zhuǎn)吸嘴4通過(guò)聯(lián)軸器與旋轉(zhuǎn)電機(jī)41連接，旋轉(zhuǎn)電機(jī)41可滑動(dòng)的固定在旋轉(zhuǎn)電機(jī)軸42上，旋轉(zhuǎn)電機(jī)軸42位于載盤(pán)2的上方、與載盤(pán)2的中心線(xiàn)垂直，旋轉(zhuǎn)電機(jī)軸42的兩端分別與固定在基板上的兩根軸立柱43、44固定連接，本實(shí)用新型也可采用其他具體結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)旋轉(zhuǎn)吸嘴4可滑動(dòng)的固定在載盤(pán)2和轉(zhuǎn)盤(pán)5上方。旋轉(zhuǎn)電機(jī)41和旋轉(zhuǎn)電機(jī)軸42均與控制電路電連接。工作中，旋轉(zhuǎn)電機(jī)軸42根據(jù)控制電路的指示，將旋轉(zhuǎn)吸嘴4帶動(dòng)至載盤(pán) 2的上方，取得相應(yīng)硅片，并根據(jù)角度參數(shù)將硅片旋轉(zhuǎn)至水平方向，最后在旋轉(zhuǎn)電機(jī)軸42的帶動(dòng)下將硅片釋放到轉(zhuǎn)盤(pán)5上。轉(zhuǎn)盤(pán)5通過(guò)聯(lián)軸器與轉(zhuǎn)盤(pán)電機(jī)51連接，其上設(shè)有多個(gè)U型槽，用于盛放旋轉(zhuǎn)吸嘴 4釋放的硅片并將硅片旋轉(zhuǎn)傳送至翻轉(zhuǎn)吸嘴6下方。翻轉(zhuǎn)吸嘴6通過(guò)聯(lián)軸器與翻轉(zhuǎn)電機(jī)61連接，如圖2所示，翻轉(zhuǎn)電機(jī)61帶動(dòng)翻轉(zhuǎn)吸嘴6翻轉(zhuǎn)18°度，兩個(gè)翻轉(zhuǎn)位置分別與轉(zhuǎn)盤(pán)5和曲線(xiàn)定位器7相對(duì)應(yīng)，將自轉(zhuǎn)盤(pán)5上吸取的硅片9'翻轉(zhuǎn)至靠近曲線(xiàn)定位器一側(cè)。曲線(xiàn)定位器7包括曲線(xiàn)連接件72和定位爪73，曲線(xiàn)連接件72通過(guò)聯(lián)軸器與定位電機(jī)71連接，定位爪73與曲線(xiàn)連接件72固定連接，定位爪73的前端設(shè)有直角定位部74。 在定位電機(jī)71的帶動(dòng)下，直角定位部74靠近并相應(yīng)移動(dòng)翻轉(zhuǎn)吸嘴6上的硅片9，從而實(shí)現(xiàn)硅片9的精確定位，以利于后續(xù)裝片設(shè)備的吸取。上述轉(zhuǎn)盤(pán)電機(jī)51、翻轉(zhuǎn)電機(jī)61和定位電機(jī)71分別與基板1固定連接，并與載盤(pán)軸 21、光電傳感器3、旋轉(zhuǎn)電機(jī)41、旋轉(zhuǎn)電機(jī)軸42共同接受控制電路的指令，以實(shí)現(xiàn)各部件的自動(dòng)化統(tǒng)控制。為了便于組裝、更換、維護(hù)，上述的固定、固定連接均可采用螺紋接方式。以上所述僅是本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本實(shí)用新型技術(shù)原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和潤(rùn)飾，這些改進(jìn)和潤(rùn)飾也應(yīng)視為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求1.一種硅片傳送機(jī)的取片和定位裝置，其特征在于，所述裝置包括基板、控制電路和受控于控制電路的載盤(pán)、光電傳感器、旋轉(zhuǎn)吸嘴、轉(zhuǎn)盤(pán)、翻轉(zhuǎn)吸嘴、曲線(xiàn)定位器，其中載盤(pán)可沿中心線(xiàn)滑動(dòng)的固定在基板上；光電傳感器位于載盤(pán)的上方，所述光電傳感器的中心軸與載盤(pán)的中心線(xiàn)垂直相交；旋轉(zhuǎn)吸嘴可滑動(dòng)的固定在載盤(pán)和轉(zhuǎn)盤(pán)的上方；轉(zhuǎn)盤(pán)、翻轉(zhuǎn)吸嘴和曲線(xiàn)定位器均固定在基板上，所述翻轉(zhuǎn)吸嘴的兩個(gè)翻轉(zhuǎn)位置分別與轉(zhuǎn)盤(pán)、曲線(xiàn)定位器相對(duì)應(yīng)。
2.如權(quán)利要求1所述的硅片傳送機(jī)的取片和定位裝置，其特征在于，所述的載盤(pán)可沿中心線(xiàn)滑動(dòng)的固定在基板上是指載盤(pán)與載盤(pán)軸可滑動(dòng)連接，載盤(pán)軸與基板固定連接、并與控制電路電連接。
3.如權(quán)利要求1所述的硅片傳送機(jī)的取片和定位裝置，其特征在于，所述光電傳感器控制電路電連接、并與連接板固定連接，連接板固定在基板上的光電傳感器的立柱固定連接。
4.如權(quán)利要求1所述的硅片傳送機(jī)的取片和定位裝置，其特征在于，所述的旋轉(zhuǎn)吸嘴通過(guò)聯(lián)軸器與旋轉(zhuǎn)電機(jī)連接，所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)可滑動(dòng)的固定在旋轉(zhuǎn)電機(jī)軸上，所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)軸位于載盤(pán)的上方、并與載盤(pán)的中心線(xiàn)垂直，所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)軸的兩端分別與兩個(gè)固定在基板上的軸立柱固定連接，所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)、旋轉(zhuǎn)電機(jī)軸均與控制電路電連接。
5.如權(quán)利要求1所述的硅片傳送機(jī)的取片和定位裝置，其特征在于，所述的轉(zhuǎn)盤(pán)通過(guò)聯(lián)軸器與轉(zhuǎn)盤(pán)電機(jī)連接，所述轉(zhuǎn)盤(pán)電機(jī)與基板固定連接、并與控制電路電連接。
6.如權(quán)利要求1所述的硅片傳送機(jī)的取片和定位裝置，其特征在于，所述的翻轉(zhuǎn)吸嘴通過(guò)聯(lián)軸器與翻轉(zhuǎn)電機(jī)連接，所述翻轉(zhuǎn)電機(jī)與基板固定連接、并與控制電路電連接。
7.如權(quán)利要求1所述的硅片傳送機(jī)的取片和定位裝置，其特征在于，所述的曲線(xiàn)定位器通過(guò)聯(lián)軸器與定位電機(jī)連接，所述定位電機(jī)與基板固定連接、并與控制電路電連接。
8.如權(quán)利要求7所述的硅片傳送機(jī)的取片和定位裝置，其特征在于，所述的曲線(xiàn)定位器包括與定位電機(jī)連接的曲線(xiàn)連接件，以及與曲線(xiàn)連接件固定連接的定位爪，在所述定位爪的前端設(shè)有直角定位部。
9.如權(quán)利要求2-8中任一權(quán)利要求所述的硅片傳送機(jī)的取片和定位裝置，其特征在于，所述的固定連接為螺紋接。
10.如權(quán)利要求1所述的硅片傳送機(jī)的取片和定位裝置，其特征在于，在所述轉(zhuǎn)盤(pán)上設(shè)有多個(gè)U型槽。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種硅片傳送機(jī)的取片和定位裝置，該裝置包括基板、控制電路和受控于控制電路的載盤(pán)、光電傳感器、旋轉(zhuǎn)吸嘴、轉(zhuǎn)盤(pán)、翻轉(zhuǎn)吸嘴、曲線(xiàn)定位器，其中載盤(pán)可沿中心線(xiàn)滑動(dòng)的固定在基板上；光電傳感器位于載盤(pán)的上方，光電傳感器的中心軸與載盤(pán)的中心線(xiàn)垂直相交；旋轉(zhuǎn)吸嘴可滑動(dòng)的固定在載盤(pán)和轉(zhuǎn)盤(pán)的上方；轉(zhuǎn)盤(pán)、翻轉(zhuǎn)吸嘴和曲線(xiàn)定位器均固定在基板上，翻轉(zhuǎn)吸嘴的兩個(gè)翻轉(zhuǎn)位置分別與轉(zhuǎn)盤(pán)、曲線(xiàn)定位器相對(duì)應(yīng)。該硅片傳送機(jī)的取片和定位裝置具有成本較低，取片效率高，性能穩(wěn)定，定位準(zhǔn)確且可降低硅片磨損諸多優(yōu)點(diǎn)及實(shí)用價(jià)值，其不論在裝置結(jié)構(gòu)或功能上皆有較大的改進(jìn)，在技術(shù)上有顯著的進(jìn)步，并產(chǎn)生了好用及實(shí)用的效果。
文檔編號(hào)H01L21/68GK202189770SQ20112026316
公開(kāi)日2012年4月11日 申請(qǐng)日期2011年7月22日 優(yōu)先權(quán)日2011年7月22日
發(fā)明者李向清, 沈彪, 胡德良 申請(qǐng)人:江陰市愛(ài)多光伏科技有限公司