專利名稱：一種加熱電動擴(kuò)開半導(dǎo)體片膜的裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及ー種擴(kuò)開半導(dǎo)體片膜的設(shè)備，具體地說，涉及ー種加熱電動擴(kuò)開半導(dǎo)體片膜的裝置。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體加工的后エ序中，首先，需要將半導(dǎo)體晶圓粘貼到片膜上，然后，在劃片機(jī)中半導(dǎo)體晶圓被切割成彼此獨立的芯片，為了能夠在自動粘片機(jī)中將這些芯片粘貼到框架上，必須將片膜擴(kuò)開，使芯片之間產(chǎn)生一定的間距，并且固定在箍上。目前，在片膜擴(kuò)開的裝置中，一般是將半導(dǎo)體片膜平整地鋪在ー個不銹鐵環(huán)形支架上，再在片膜上疊放ー個同樣的不銹鐵環(huán)形支架，然后整個放在一個空心圓柱筒上，空心筒的上端放置ー個內(nèi)箍，下側(cè)有ー個電吹風(fēng)，不停地吹向片膜，使片膜發(fā)軟，并且ー個氣缸控制壓環(huán)運(yùn)動，使壓環(huán)壓住不 銹鐵環(huán)形支架，并繼續(xù)向著空心圓柱筒運(yùn)動，半導(dǎo)體片膜被擴(kuò)開，加上外箍鎖緊，從而完成整個擴(kuò)片的過程。上述片膜擴(kuò)開的裝置的缺點是由于氣缸的行程固定，片膜的擴(kuò)片率不能隨意調(diào)整，對于不同尺寸的晶圓，如3英寸、6英寸的晶圓，擴(kuò)出來的片膜，其芯片之間的間距是不同的，如果片膜擴(kuò)得太開，片膜有可能爛；如果片膜擴(kuò)得不夠開，則可能在自動粘片機(jī)上工作吋，自動粘片機(jī)不能自動識別芯片，或者拾起芯片時損傷其旁邊的芯片。

實用新型內(nèi)容本實用新型所要解決的技術(shù)問題在于針對現(xiàn)有片膜擴(kuò)開的裝置的不足，提供ー種加熱電動擴(kuò)開半導(dǎo)體片膜的裝置，該裝置結(jié)構(gòu)簡單實用，片膜擴(kuò)開均勻，片膜擴(kuò)開程度能夠隨機(jī)調(diào)整。本實用新型所要解決的技術(shù)問題是通過如下技術(shù)方案實現(xiàn)的一種加熱電動擴(kuò)開半導(dǎo)體片膜的裝置，該裝置包括一個電動加熱升降臺、ー個片膜鎖緊機(jī)構(gòu)和ー副箍，片膜鎖緊機(jī)構(gòu)包括ー個帶密封圈的平臺、一個可以轉(zhuǎn)動的壓環(huán)和一對鎖扣，一副箍包括內(nèi)箍和外箍，在內(nèi)箍中嵌有密封圈，內(nèi)箍放置在在電動加熱升降臺的平臺上。擴(kuò)片前，將內(nèi)箍放進(jìn)電動加熱升降臺的平臺上，然后在平臺上鋪上半導(dǎo)體片膜，轉(zhuǎn)動壓環(huán)，使之壓住半導(dǎo)體片膜，鎖扣動作，鎖緊壓環(huán)，電動加熱升降臺升起，半導(dǎo)體片膜逐漸被擴(kuò)開，當(dāng)達(dá)到設(shè)定的要求后，升降臺停止，然后用外箍在密封圈處鎖緊內(nèi)箍，擴(kuò)開的半導(dǎo)體片膜便被固定在箍上，用刀片沿壓環(huán)的內(nèi)沿切割片膜一周，取出擴(kuò)開片膜的箍，送后エ序作業(yè)。具體的，電動加熱升降臺的加熱板設(shè)置在電動加熱升降臺的平臺下，加熱板的加熱溫度設(shè)定在室溫與100°c之間。優(yōu)選地，加熱溫度為40_60°C。整個電動加熱升降臺的平臺由ー個電機(jī)驅(qū)動，上下垂直運(yùn)動，其側(cè)面有兩個傳感器，第一傳感器用于設(shè)定升降臺的平臺起始位置，使升降臺的平臺表面與帶密封圈的平臺的表面在同一個水平面上；計數(shù)器設(shè)置在該裝置的操作面板上，扇形旗桿設(shè)置在電動加熱升降臺的轉(zhuǎn)動絲桿上，第二傳感器與扇形旗桿、計數(shù)器一起，用于設(shè)定升降臺的平臺的升起高度，從而控制半導(dǎo)體片膜的擴(kuò)開程度。扇形旗桿包括至少I扇形葉片，優(yōu)選地，扇形葉片數(shù)量是1-10個。帶密封圈的平臺表面上開有ー個圓形的半圓槽，密封圈設(shè)置在圓形的半圓槽，以便壓環(huán)合上吋，能夠緊緊地壓住半導(dǎo)體片膜。壓環(huán)通過兩側(cè)的短軸安裝在ー個可以轉(zhuǎn)動的轉(zhuǎn)動架上，并且相對轉(zhuǎn)動架沿著兩側(cè)的短軸在±10°的范圍內(nèi)轉(zhuǎn)動。一對鎖扣分別為第一鎖扣和第二鎖扣，用于鎖緊壓環(huán)。氣缸安裝在該裝置的基座上，當(dāng)準(zhǔn)備擴(kuò)片吋，氣缸動作，氣缸中的閥芯推動第一鎖扣轉(zhuǎn)動，使第一鎖扣壓住第二鎖扣，完成鎖緊壓環(huán)的動作。一副箍包括內(nèi)箍和外箍，在內(nèi)箍中嵌有密封圏。當(dāng)需要擴(kuò)片時，將內(nèi)箍放到電動加熱升降臺的平臺上，然后再放上半導(dǎo)體片膜，合上壓環(huán)，鎖緊，接著電機(jī)轉(zhuǎn)動，將半導(dǎo)體片膜慢慢擴(kuò)開，達(dá)到要求的擴(kuò)張度后，電機(jī)自動停止，套上外箍，固定擴(kuò)開的晶圓，使得半導(dǎo)體片膜不會收縮，最后沿著壓環(huán)的邊緣切割半導(dǎo)體片膜，使擴(kuò)好的半導(dǎo)體晶圓與該裝置分開。本實用新型結(jié)構(gòu)簡單實用，易于操作，故障率低，而且能夠準(zhǔn)確地控制半導(dǎo)體片膜的擴(kuò)張率。
以下結(jié)合附圖和具體實施例對本實用新型的技術(shù)方案進(jìn)行詳細(xì)地說明。

圖I為本實用新型加熱電動擴(kuò)開半導(dǎo)體片膜的裝置的整體結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是圖I的俯視圖；圖3為本實用新型加熱電動擴(kuò)開半導(dǎo)體片膜的裝置工作示意圖；圖4是圖3的俯視圖；圖5A內(nèi)箍的主視圖；圖5B是內(nèi)箍(帶密封圈)俯視圖；圖5C是外箍主視圖；圖6為半導(dǎo)體片膜的示意圖；圖7為扇形旗桿示意圖。附圖標(biāo)記I.半導(dǎo)體晶圓 2.半導(dǎo)體片膜 3.內(nèi)箍4.密封圈5.外箍6.電機(jī)7.轉(zhuǎn)動絲桿 8.第一傳感器9.第二傳感器 10.扇形旗桿 11.電動加熱升降臺的平臺12.加熱板13.平臺密封圈 14.帶密封圈的平臺15.第一鎖扣 16.短軸17.轉(zhuǎn)動架 18.壓環(huán)19.第二鎖扣 20.氣缸
具體實施方式
圖I為本實用新型加熱電動擴(kuò)開半導(dǎo)體片膜的裝置的整體結(jié)構(gòu)示意圖。如圖1-2所示，本實用新型提供一種加熱電動擴(kuò)開半導(dǎo)體片膜的裝置，該裝置包括一個電動加熱升降臺、一個片膜鎖緊機(jī)構(gòu)和ー副箍。擴(kuò)片前，內(nèi)箍3放進(jìn)電動加熱升降臺的平臺11中，平臺11是ー個階梯式平臺，將內(nèi)箍3放進(jìn)平臺11的下沉臺階后，當(dāng)平臺11的上表面、內(nèi)箍3的上側(cè)面與平臺14的上表面處于同一水平面時，將半導(dǎo)體片膜2放在平臺14的正中位置，轉(zhuǎn)動壓環(huán)18，使壓環(huán)18沿密封圈13均勻地壓住半導(dǎo)體片膜2，鎖扣動作，鎖緊壓環(huán)18，電動加熱升降臺升起，半導(dǎo)體片膜逐漸被擴(kuò)開，當(dāng)達(dá)到設(shè)定的要求后，電動加熱升降臺停止上升，然后用外箍5在密封圈4處鎖緊內(nèi)箍3，擴(kuò)開的半導(dǎo)體片膜2便被固定在內(nèi)箍3上，此時，內(nèi)箍3、片膜2與外箍5固定在一起，用刀片沿壓環(huán)18的內(nèi)沿切割半導(dǎo)體片膜2 —周，取出擴(kuò)開半導(dǎo)體片膜的箍，送后エ序作業(yè)。由于平臺11的上表面、內(nèi)箍3的上側(cè)面與平臺14的上表面處于同一水平面上，因此在平臺11的上表面、內(nèi)箍3的上側(cè)面與平臺14的上表面平整地鋪上半導(dǎo)體片膜2，并且半導(dǎo)體片膜2必須大于密封圈13的外徑，使得擴(kuò)片時壓環(huán)18能夠沿密封圈13均勻地壓住半導(dǎo)體片膜2。電動加熱升降臺的加熱板12埋設(shè)在電動加熱升降臺的平臺11的下面，加熱溫度可以在室溫與100°c之間自由設(shè)定。電動加熱升降臺的平臺11由一個電機(jī)6驅(qū)動，能夠上下垂直運(yùn)動，其側(cè)面有兩個傳感器，即第一傳感器8和第二傳感器9，第一傳感器8用于設(shè)定電動加熱升降臺的平臺11的起始位置，使電動加熱升降臺的平臺11的上表面與帶密封圈的平臺14的上表面在同一個水平面上；計數(shù)器(圖中未示)與其它控制開關(guān)一起，安裝在加熱電動擴(kuò)開半導(dǎo)體片膜的裝置的操作面板上，扇形旗桿10安裝在電動加熱升降臺的轉(zhuǎn)動絲桿7上，第二傳感器9與扇形旗桿10、計數(shù)器一起，用于設(shè)定電動加熱升降臺的平臺11的升起高度，從而控制半導(dǎo)體片膜2的擴(kuò)開程度。片膜鎖緊機(jī)構(gòu)包括ー個帶密封圈的平臺14、ー個可以轉(zhuǎn)動的壓環(huán)18和ー對鎖扣，一對鎖扣分別為第一鎖扣15和第二鎖扣19。平臺14面上開有ー個圓形的半圓槽，預(yù)先埋設(shè)平臺密封圈13，以便壓環(huán)18合上吋，能夠緊緊地壓住半導(dǎo)體片膜2。壓環(huán)18通過兩側(cè)的兩個短軸16安裝在一個可以轉(zhuǎn)動的轉(zhuǎn)動架17上，并且相對轉(zhuǎn)動架17沿著兩側(cè)的短軸16能夠在±10°以內(nèi)轉(zhuǎn)動，以便壓環(huán)18能夠均勻地壓緊半導(dǎo)體片膜2。當(dāng)壓環(huán)18均勻地壓住半導(dǎo)體片膜2時，氣缸20動作，氣缸20中的閥芯推動第一鎖扣15轉(zhuǎn)動，使第一鎖扣15扣住第二鎖扣19，完成鎖緊壓環(huán)的動作，將半導(dǎo)體片膜2鎖緊，然后開始擴(kuò)片。如圖5A-5C所不，一副箍由內(nèi)箍3、密封圈4和外箍5組成。當(dāng)需要擴(kuò)片時，將內(nèi)箍3放到電動加熱升降臺的平臺11上，將半導(dǎo)體片膜2放在平臺14的正中位置，合上壓環(huán)18，使壓環(huán)18沿密封圈13均勻地壓住半導(dǎo)體片膜2，鎖緊，接著電機(jī)6轉(zhuǎn)動，將半導(dǎo)體片膜2慢慢擴(kuò)開，達(dá)到要求的擴(kuò)張度后，電機(jī)6自動停止，套上外箍5，固定擴(kuò)開的半導(dǎo)體片膜2，使得半導(dǎo)體片膜2不會收縮，最后沿著壓環(huán)18的邊緣切割半導(dǎo)體片膜2，使擴(kuò)好的半導(dǎo)體晶圓I與本實用新型加熱電動擴(kuò)開半導(dǎo)體片膜的裝置分開。本實用新型的工作過程是這樣實現(xiàn)的如圖3-4所示，第一歩，設(shè)定溫控器的溫度，一般為40-60°C，只有電動加熱升降臺的平臺11表面達(dá)到了設(shè)定的溫度才能進(jìn)行下ー個步驟。接著設(shè)定計數(shù)器的計數(shù)值，圖7為扇形旗桿10，每ー個扇形葉片通過第二傳感器9時，第二傳感器的電平就會發(fā)生一次變化，計數(shù)器就自動計數(shù)加1，因此，扇形葉片的數(shù)量與轉(zhuǎn)動絲桿7的螺距決定半導(dǎo)體片膜2擴(kuò)開的控制精度，扇形旗桿的扇形葉片越多，控制精度也越高，扇形葉片的數(shù)量一般不大于10個。第二步，將內(nèi)箍3放進(jìn)電動加熱升降臺的平臺11，接著將半導(dǎo)體片膜2平整地放在電動加熱升降臺的平臺11的正中位置，將轉(zhuǎn)動架17放下，使壓環(huán)18壓住半導(dǎo)體片膜2，然后氣缸20動作，使第一鎖扣15壓住第二鎖扣19，半導(dǎo)體片膜2被緊緊地固定在電動加熱升降臺的平臺11上。啟動電機(jī)6，電動加熱升降臺的平臺11緩緩升起，由于電動加熱升降臺的平臺11的表面溫度較高，因此，其上面的半導(dǎo)體片膜2被烘軟，井隨著電動加熱升降臺的平臺11的升起而被擴(kuò)開，原來晶圓I的芯片之間是緊密相連，當(dāng)半導(dǎo)體片膜2被擴(kuò)開吋，芯片之間將隨之產(chǎn)生“井”字形的溝槽，電動加熱升降臺的平臺11升得越高，溝槽就越大，直到扇形旗桿10的葉片通過第二傳感器9的次數(shù)達(dá)到計數(shù)器設(shè)定的數(shù)字吋，電機(jī)6自動停止。第三步，將外箍5套在密封圈4上，鎖緊內(nèi)箍3，擴(kuò)開的半導(dǎo)體片膜2將不會再發(fā)生伸縮，這時內(nèi)箍3、半導(dǎo)體片膜2與外箍5在密封圈4處已經(jīng)鎖緊，它們之間已經(jīng)成為一體， 用刀沿著壓環(huán)18的內(nèi)沿一圈切割半導(dǎo)體片膜2，使擴(kuò)好半導(dǎo)體片膜2上的箍能夠從電動擴(kuò)片裝置中取出來。第四步，取出擴(kuò)好半導(dǎo)體片膜片膜2上的箍后，再接一下開關(guān)，電機(jī)6反轉(zhuǎn)，電動加熱升降臺的平臺11下降，直到電動加熱升降臺的平臺11與帶密封圈的平臺14的表面處于同一水平面上，這時第一傳感器8也感應(yīng)到扇形旗桿10,電機(jī)6自動停止,氣缸20反向動作，第一鎖扣15彈開，反轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)動架17，將擴(kuò)片的裝置中殘余的半導(dǎo)體片膜2撿走，丟棄到規(guī)定的廢物筒中，這樣就完成了一次半導(dǎo)體片膜的擴(kuò)片。在控制電機(jī)6轉(zhuǎn)動中,還有ー個手動按鍵,按住按鍵，電機(jī)6轉(zhuǎn)動，電動加熱升降臺的平臺11升起，松開按鍵，電機(jī)6立即停止，其作用在于當(dāng)不知道設(shè)置計數(shù)器多大數(shù)值合適時，可以通過人工干預(yù)的辦法達(dá)到要求——用手按住按鍵，直到觀察到半導(dǎo)體片膜擴(kuò)開達(dá)到認(rèn)定的要求吋，才松開按鍵。圖5A-圖5C為ー副箍的結(jié)構(gòu)不意圖，內(nèi)箍3的中間嵌有ー個密封圈4,擴(kuò)片前需要將內(nèi)箍3、外箍5分開，擴(kuò)好半導(dǎo)體片膜2后，用外箍5鎖在密封圈4的位置上，使半導(dǎo)體片膜2不再發(fā)生伸縮。圖6為半導(dǎo)體片膜示意圖，未擴(kuò)開時，半導(dǎo)體晶圓I內(nèi)的芯片緊密相連，擴(kuò)開后，芯片之間將產(chǎn)生“井”字形的溝槽。綜上所述，本實用新型結(jié)構(gòu)簡單、工作可靠、穩(wěn)定，能夠擴(kuò)開半導(dǎo)體片膜，使之達(dá)到自動粘片機(jī)的要求。最后應(yīng)說明的是以上實施例僅用以說明本發(fā)明的技術(shù)方案而非限制。盡管參照上述實施例對本發(fā)明進(jìn)行了詳細(xì)說明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解，依然可以對本發(fā)明的技術(shù)方案進(jìn)行修改和等同替換，而不脫離本技術(shù)方案的精神和范圍，其均應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的權(quán)利要求范圍當(dāng)中。
權(quán)利要求1.一種加熱電動擴(kuò)開半導(dǎo)體片膜的裝置，其特征在于，該裝置包括一個電動加熱升降臺、一個片膜鎖緊機(jī)構(gòu)和ー副箍，片膜鎖緊機(jī)構(gòu)包括ー個帶密封圈的平臺、一個轉(zhuǎn)動的壓環(huán)和一對鎖扣,一副箍包括內(nèi)箍和外箍,在內(nèi)箍中嵌有密封圈，內(nèi)箍放置在電動加熱升降臺的平臺上。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的加熱電動擴(kuò)開半導(dǎo)體片膜的裝置，其特征在干，電動加熱升降臺的平臺下有一個加熱板，加熱板的加熱溫度設(shè)定在室溫與100°C之間。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的加熱電動擴(kuò)開半導(dǎo)體片膜的裝置，其特征在于，加熱溫度為40-60。。。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的加熱電動擴(kuò)開半導(dǎo)體片膜的裝置，其特征在干，電動加熱升降臺由電機(jī)驅(qū)動，上下垂直運(yùn)動，其側(cè)面有兩個傳感器，第一傳感器用于設(shè)定電動加熱升降臺的平臺起始位置，使電動加熱升降臺的平臺表面與帶密封圈的平臺在同一個水平面上；計數(shù)器設(shè)置在該裝置的操作面板上，扇形旗桿設(shè)置在電動加熱升降臺的轉(zhuǎn)動絲桿上，第二傳感器與扇形旗桿、計數(shù)器一起用于控制電動加熱升降臺的升起高度。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的加熱電動擴(kuò)開半導(dǎo)體片膜的裝置，其特征在于，扇形旗桿包括至少I個扇形葉片。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的加熱電動擴(kuò)開半導(dǎo)體片膜的裝置，其特征在于，扇形葉片的數(shù)量是1-10個。
7.根據(jù)權(quán)利要求I所述的加熱電動擴(kuò)開半導(dǎo)體片膜裝置，其特征在于，壓環(huán)通過兩側(cè)的短軸安裝在一個轉(zhuǎn)動的轉(zhuǎn)動架上，壓環(huán)相對轉(zhuǎn)動架沿著兩側(cè)的短軸在±10°轉(zhuǎn)動。
8.根據(jù)權(quán)利要求I所述的加熱電動擴(kuò)開半導(dǎo)體片膜的裝置，其特征在于，帶密封圈的平臺的表面設(shè)有ー個圓形的半圓槽，平臺密封圈設(shè)置在圓形的半圓槽中。
9.根據(jù)權(quán)利要求I至8任一項所述的加熱電動擴(kuò)開半導(dǎo)體片膜的裝置，其特征在于，一對鎖扣分別為第一鎖扣和第二鎖扣，用于鎖緊壓環(huán)。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的加熱電動擴(kuò)開半導(dǎo)體片膜的裝置，其特征在于，該裝置包括設(shè)置在基座上的氣缸，氣缸用于推動所述第一鎖扣轉(zhuǎn)動，使所述第一鎖扣壓住所述第二鎖扣。
專利摘要本實用新型涉及一種加熱電動擴(kuò)開半導(dǎo)體片膜的裝置，該裝置包括一個電動加熱升降臺、一個片膜鎖緊機(jī)構(gòu)和一副箍，片膜鎖緊機(jī)構(gòu)包括一個帶密封圈的平臺、一個可以轉(zhuǎn)動的壓環(huán)和一對鎖扣，一副箍包括內(nèi)箍和外箍，在內(nèi)箍中嵌有密封圈，內(nèi)箍放置在電動加熱升降臺的平臺上。本實用新型結(jié)構(gòu)簡單、故障率低，而且能夠準(zhǔn)確地控制半導(dǎo)體片膜的擴(kuò)張率。
文檔編號H01L21/67GK202601583SQ20122002363
公開日2012年12月12日 申請日期2012年1月17日 優(yōu)先權(quán)日2012年1月17日
發(fā)明者姚劍鋒 申請人:佛山市藍(lán)箭電子股份有限公司