技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種新型寬束流減速器，包括一減速電極(1)、兩個(gè)抑制電極1(2)、兩個(gè)地電極1(3)、兩個(gè)抑制電極2(4)、兩個(gè)地電極2(5)、兩個(gè)聚焦電極(6)和兩個(gè)地電極3(7)，離子通過減速電極(1)進(jìn)入減速器，在減速電極(1)和抑制電極1(2)之間的電勢差產(chǎn)生一個(gè)加速電場，離子加速，同時(shí)聚焦電極(6)與抑制電極1(2)之間的電勢差形成了一個(gè)水平方向電場，此電場方向使離子向里靠攏，達(dá)到水平方向離子聚焦作用。隨后是兩個(gè)抑制電極2(4)、兩個(gè)地電極1(3)和兩個(gè)地電極2(5)構(gòu)成透鏡，根據(jù)透鏡原理，離子在穿過透鏡過程中，離子先聚焦后發(fā)散，通過減速器之后既達(dá)到減速目的，離子又起到聚焦作用。本發(fā)明裝置與以往裝置相比，寬束流垂直方向聚焦效果更好，并且減少了打火次數(shù)，能很好滿足寬帶束束流要求。

技術(shù)研發(fā)人員：林萍
受保護(hù)的技術(shù)使用者：北京中科信電子裝備有限公司
文檔號碼：201510710240
技術(shù)研發(fā)日：2015.10.28
技術(shù)公布日：2017.05.10