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      置入散色條于微影工藝的方法與流程

      文檔序號(hào):11835994閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

      技術(shù)特征:

      1.一種置入散色條于微影工藝的方法,包括:

      接收包括一第一主要部件的一集成電路設(shè)計(jì)布局;以及

      置入多個(gè)第一散色條于該集成電路設(shè)計(jì)布局,以形成圍繞于該第一主要部件的一第一環(huán)形圖案的散色條,其中該第一主要部件是設(shè)置于該第一環(huán)形圖案的散色條的一中央部分。

      2.如權(quán)利要求1所述的置入散色條于微影工藝的方法,其中該集成電路設(shè)計(jì)布局包括一第二主要部件;以及

      其中,置入該多個(gè)第一散色條于該集成電路設(shè)計(jì)布局,以形成圍繞于該第一主要部件的該第一環(huán)形圖案的散色條,是包括置入多個(gè)第二散色條于該集成電路設(shè)計(jì)布局,以形成圍繞于該第二主要部件的一第二環(huán)形圖案的散色條,其中該第二主要部件是設(shè)置于該第二環(huán)形圖案的散色條的一中央部分。

      3.如權(quán)利要求2所述的置入散色條于微影工藝的方法,其中該第一環(huán)形圖案的散色條以及該第二環(huán)形圖案的散色條共用至少一散色條。

      4.如權(quán)利要求2所述的置入散色條于微影工藝的方法,其中該多個(gè)第一散色條以及該多個(gè)第二散色條的各散色條之間,具備介于兩個(gè)鄰近散色條之間的一相同中央角度;其中該相同中央角度的角度值是等于360/8N,或360/8M。

      5.一種置入散色條于微影工藝的方法,包括:

      接收包括多個(gè)主要部件的一集成電路設(shè)計(jì)布局;以及

      置入多個(gè)散色條于該集成電路設(shè)計(jì)布局;

      其中該多個(gè)主要部件的每一個(gè)主要部件,都被對(duì)應(yīng)的一次群組散色條所圍繞;

      其中上述每一個(gè)次群組散色條皆具備8N個(gè)散色條,N是一整數(shù),其中上述任一個(gè)次群組散色條的散色條是沿著一對(duì)應(yīng)的環(huán)形而均勻設(shè)置,該對(duì)應(yīng)的環(huán)形是將該多個(gè)主要部件的一對(duì)應(yīng)的主要部件,設(shè)置于中央;

      其中上述不同的次群組散色條的散色條,是在各自對(duì)應(yīng)的環(huán)形中做類(lèi)似的設(shè)置;

      其中該多個(gè)散色條具備介于兩個(gè)鄰近散色條之間的一相同中央角度,該 相同中央角度的角度值是等于360/8N。

      6.如權(quán)利要求5所述的置入散色條于微影工藝的方法,其中該多個(gè)主要部件包括一第一主要部件以及一第二主要部件,該第一主要部件以及該第二主要部件具備相同的一正方形寬度w,其中介于該第一主要部件以及該第二主要部件之間的一距離,是介于2w至6w的范圍之中。

      7.如上述權(quán)利要求6所述的置入散色條于微影工藝的方法,其中,

      一第一次群組散色條是沿著一第一環(huán)形而設(shè)置,該第一主要部件是設(shè)置于該第一環(huán)形的中央;

      一第二次群組散色條是沿著一第二環(huán)形而設(shè)置,該第二主要部件是設(shè)置于該第二環(huán)形的中央;

      該多個(gè)散色條的面積對(duì)應(yīng)于該多個(gè)主要部件的面積的比例,是介于0.1至0.5的范圍之中,且該第一環(huán)形以及該第二環(huán)形具備相同的一半徑,該半徑的長(zhǎng)度是介于w至3.5w的范圍之中;

      其中該半徑的選擇,是基于讓該第一環(huán)形以及該第二環(huán)形共用至少一散色條。

      8.如權(quán)利要求5所述的置入散色條于微影工藝的方法,其中該多個(gè)主要部件具備正方形的形狀;

      一第一主要部件具備一第一寬度w1以及一第一面積;

      一第二主要部件具備一第二寬度w2以及一第二面積;

      該第二面積對(duì)應(yīng)于該第一面積的比例,是在大于1且小于1.8的范圍之中;以及

      該第一主要部件以及該第二主要部件之間的一距離,是在大于2w1但小于7w1的范圍之中。

      9.如權(quán)利要求8所述的置入散色條于微影工藝的方法,其中,

      一第一次群組散色條是沿著一第一環(huán)形而設(shè)置,該第一主要部件是設(shè)置于該第一環(huán)形的中央;

      一第二次群組散色條是沿著一第二環(huán)形而設(shè)置,該第二主要部件是設(shè)置于該第二環(huán)形的中央;以及

      該第一次群組散色條的散色條具備一第三面積A3;

      該第二次群組散色條的散色條,具備與該第一次群組散色條的散色條相 同的形狀,且具備一第四面積A4;

      其中該第三面積A3與該第四面積A4的關(guān)系為0.1(w1)2<A3<A4<0.5(w1)2。

      10.如權(quán)利要求9所述的置入散色條于微影工藝的方法,其中該第一環(huán)形以及該第二環(huán)形具備相同的一半徑R,該半徑R的范圍是w2<R<3.5w1;

      其中該半徑R的選擇,是基于讓該第一環(huán)形以及該第二環(huán)形,共用該第一次群組散色條中的至少一散色條,或共用該第二次群組散色條中的至少一散色條。

      11.如權(quán)利要求9所述的置入散色條于微影工藝的方法,其中該第一環(huán)形具備一第一半徑R1,且該第二環(huán)形具備一第二半徑R2,其中該第一半徑R1與該第二半徑R2的關(guān)系為1.3w1<R1<R2<5.5w1;

      其中該第一半徑R1以及該第二半徑R2的選擇,是基于讓該第一環(huán)形以及該第二環(huán)形,共用該第一次群組散色條中的至少一散色條,或共用該第二次群組散色條中的至少一散色條。

      12.一種置入散色條于微影工藝的方法,包括:

      接收包括一第一主要部件以及一第二主要部件的一集成電路設(shè)計(jì)布局,其中該第一主要部件以及該第二主要部件具備相同的一形狀;

      置入一第一次群組散色條于該集成電路設(shè)計(jì)布局,其中該第一次群組散色條是沿著一第一環(huán)形均勻設(shè)置,而該第一主要部件是設(shè)置于該第一環(huán)形的中央;以及

      置入一第二次群組散色條于該集成電路設(shè)計(jì)布局,其中該第二次群組散色條是沿著一第二環(huán)形均勻設(shè)置,而該第二主要部件是設(shè)置于該第二環(huán)形的中央;

      其中該第一次群組散色條以及該第二次群組散色條各自具備8N個(gè)散色條,N是一整數(shù);

      其中該第一次群組散色條的散色條在該第一環(huán)形的設(shè)置位置,是類(lèi)似于該第二次群組散色條的散色條在該第二環(huán)形的設(shè)置位置。

      13.如權(quán)利要求12所述的置入散色條于微影工藝的方法,其中,

      該第一主要部件以及該第二主要部件具備相同的一寬度w;

      介于該第一主要部件以及該第二主要部件之間的一距離,是在2w至6w 的范圍之中;

      上述散色條的面積,對(duì)應(yīng)于該第一主要部件以及該第二主要部件的面積的比例,是介于0.1至0.5的范圍之中;

      該第一環(huán)形以及該第二環(huán)形具備相同的一半徑,該半徑的長(zhǎng)度是介于w至3.5w的范圍之中;以及

      在該第一環(huán)形與該第二環(huán)形重疊的位置,該第一環(huán)形以及該第二環(huán)形共用散色條。

      14.如權(quán)利要求12所述的置入散色條于微影工藝的方法,其中,

      該第一主要部件具備一第一寬度w1以及一第一面積A1;

      該第二主要部件具備一第二寬度w2以及一第二面積A2

      該第二面積A2對(duì)應(yīng)于該第一面積A1的比例,是在大于1且小于1.8的范圍之中;

      該第一主要部件以及該第二主要部件之間的一距離,是在2w1至7w1的范圍之中;

      該第一次群組散色條的散色條具備一第三面積A3;

      該第二次群組散色條的散色條,具備與該第一次群組散色條的散色條相同的形狀,且具備一第四面積A4;

      其中該第三面積A3與該第四面積A4的關(guān)系為0.1(w1)2<A3<A4<0.5(w1)2;

      該第一環(huán)形以及該第二環(huán)形具備相同的一半徑R,該半徑R的范圍是w2<R<3.5w1。

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