1.一種多路徑電感結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括：底部、半刻蝕結(jié)構(gòu)和連接結(jié)構(gòu)，所述半刻蝕結(jié)構(gòu)和連接結(jié)構(gòu)均位于所述底部上，所述半刻蝕結(jié)構(gòu)為多條在第一方向平行排列的條形，所述連接結(jié)構(gòu)為多條平行排列在第二方向的條形，所述連接結(jié)構(gòu)連接所述半刻蝕結(jié)構(gòu)。
2.如權(quán)利要求1所述的多路徑電感結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述半刻蝕結(jié)構(gòu)為三條平行排列的條形。
3.如權(quán)利要求2所述的多路徑電感結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述連接結(jié)構(gòu)連接在所述三條半刻蝕結(jié)構(gòu)之間。
4.如權(quán)利要求1所述的多路徑電感結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述多路徑電感結(jié)構(gòu)的材質(zhì)為銅或鋁。
5.如權(quán)利要求1所述的多路徑電感結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述多路徑電感結(jié)構(gòu)為螺旋狀。
6.一種多路徑電感結(jié)構(gòu)的形成方法，用于制造如權(quán)利要求1至5中所述的多路徑電感結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括步驟：
提供襯底；
在所述襯底上形成電感材料；
對(duì)所述電感材料進(jìn)行部分刻蝕，形成底部、半刻蝕結(jié)構(gòu)及連接結(jié)構(gòu)。
7.如權(quán)利要求6所述的多路徑電感結(jié)構(gòu)的形成方法，其特征在于，所述刻蝕采用干法刻蝕。
8.如權(quán)利要求6所述的多路徑電感結(jié)構(gòu)的形成方法，其特征在于，所述半刻蝕結(jié)構(gòu)通過一步刻蝕形成。