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      一種電子產品內置芯片生產用晶圓清洗設備的制作方法

      文檔序號:12129371閱讀:334來源:國知局
      一種電子產品內置芯片生產用晶圓清洗設備的制作方法與工藝

      本發(fā)明涉及一種晶圓清洗設備,尤其涉及一種電子產品內置芯片生產用晶圓清洗設備。



      背景技術:

      電子產品,是指供日常消費者生活使用之電子產品。它屬于特定的家用電器,內有電子元件,通常會應用于娛樂、通訊以及文書用途,例如電話、音響器材、電視機、DVD播放機甚至電子鐘等。消費電子產品于世界各地均有制造。從工業(yè)和信息化部運行監(jiān)測協(xié)調局了解到,2012年1~11月,我國電子信息產品進出口總額10685億美元,同比增長4.1%,增速比1~10月提高0.8個百分點。

      芯片或稱微電路、微芯片、集成電路,在電子學中是一種把電路(主要包括半導體設備,也包括被動組件等)小型化的方式,并通常制造在半導體晶圓表面上。在電子學中是一種把電路(主要包括半導體設備,也包括被動組件等)小型化的方式,并通常制造在半導體晶圓表面上。前述將電路制造在半導體芯片表面上的集成電路又稱薄膜集成電路。另有一種厚膜混成集成電路是由獨立半導體設備和被動組件,集成到襯底或線路板所構成的小型化電路。本文是關于單片集成電路,即薄膜集成電路。

      晶圓是指硅半導體集成電路制作所用的硅芯片,由于其形狀為圓形,故稱為晶圓。晶圓是生產集成電路所用的載體,一般意義晶圓多指單晶硅圓片。晶圓是最常用的半導體材料,按其直徑分為4英寸、5英寸、6英寸、8英寸等規(guī)格,近來發(fā)展出12英寸甚至研發(fā)更大規(guī)格(14英吋、15英吋、16英吋……20英吋以上等)。晶圓越大,同一圓片上可生產的IC就越多,可降低成本;但對材料技術和生產技術的要求更高,例如均勻度等等的問題。一般認為硅晶圓的直徑越大,代表著這座晶圓廠有更好的技術,在生產晶圓的過程當中,良品率是很重要的條件。

      電子產品主要靠其內的芯片來實現對其的控制,芯片若質量差,會導致理療儀在工作時不穩(wěn)定,所以芯片是電子產品內極其重要的部分,芯片主要載體即為晶圓,所以晶圓的質量會影響到芯片的質量,晶圓在制作集成電路之前首先需要進行清洗,目前的晶圓清洗設備存在清洗效果差、清洗速度慢的缺點,因此亟需研發(fā)一種清洗效果好、清洗速度快的理療儀內置芯片生產用晶圓清洗設備。



      技術實現要素:

      (1)要解決的技術問題

      本發(fā)明為了克服目前的晶圓清洗設備存在清洗效果差、清洗速度慢的缺點,本發(fā)明要解決的技術問題是提供一種清洗效果好、清洗速度快的理療儀內置芯片生產用晶圓清洗設備。

      (2)技術方案

      為了解決上述技術問題,本發(fā)明提供了這樣一種電子產品內置芯片生產用晶圓清洗設備,包括有底板、左架、支撐桿、清洗池、出液管、閥門、網板、軸承座、轉軸、繞線輪、旋轉電機、攪拌葉片、第一定滑輪、第一拉線、支架、第二定滑輪、固定桿、固定板、凸起、滑軌、滑塊、頂板、第一彈簧、L型連桿、支桿、弧形擺動桿、頂塊、第二彈簧、固定環(huán)、第三定滑輪、第二拉線、鉸接部件、清洗箱、箱蓋和合頁,底板頂部左端焊接有左架,底板頂部右側右側對稱焊接有支撐桿,支撐桿頂端焊接有清洗池,清洗池右壁底部設有出液管,出液管上設有閥門,清洗池內下部通過螺釘連接的方式連接有網板,清洗池底部中心通過螺栓連接的方式連接有軸承座,軸承座內的軸承上過盈連接有轉軸,轉軸頂部左右對稱設有攪拌葉片,攪拌葉片位于清洗池內,轉軸下部通過鍵連接的方式連接有繞線輪,繞線輪上繞有第一拉線,底板頂部中間通過螺栓連接的方式連接有旋轉電機,旋轉電機的輸出軸通過聯(lián)軸器與轉軸連接,左架右側下部通過支架焊接有第一定滑輪和第二定滑輪,第二定滑輪位于第一定滑輪上方,左架右側中部對稱焊接有固定桿,固定桿右端焊接有固定板,固定板右側均勻焊接有凸起,左架右側上部通過螺栓連接的方式連接有滑軌,滑軌上滑動式連接有滑塊,滑塊與滑軌配合,第一拉線穿過左側支撐桿,繞過第一定滑輪和第二定滑輪,再穿過固定桿,并通過掛鉤連接的方式與滑塊底部連接,滑塊右側焊接有L型連桿,左架頂端焊接有頂板,頂板底部與L型連桿之間通過掛鉤連接的方式對稱連接有第一彈簧,L型連桿中部左側焊接有支桿,支桿左端通過鉸接部件連接有弧形擺動桿,弧形擺動桿左端焊接有頂塊,頂塊與凸起配合,L型連桿下部右側通過支架焊接有第三定滑輪,L型連桿底端通過鉸接部件連接有清洗箱,清洗箱上均勻開有通孔,清洗箱右壁底部通過螺釘連接的方式連接有合頁,合頁上通過螺釘連接的方式連接有箱蓋,固定環(huán)上固定有第二拉線,第二拉線繞過第三定滑輪,并且與清洗箱連接。

      優(yōu)選地,鉸接部件包括有凹形板、連接軸和旋轉板,連接軸固定安裝在凹形板上,在旋轉板上設置有通孔,連接軸穿過旋轉板上的通孔,并且旋轉板通過連接軸轉動,支桿上的鉸接部件的凹形板焊接在支桿的左端,支桿上的鉸接部件的旋轉板通過焊接的方式連接有弧形擺動桿,L型連桿上的鉸接部件的凹形板焊接在L型連桿的底端,L型連桿上的鉸接部件的旋轉板通過焊接的方式連接有清洗箱。

      優(yōu)選地,還包括有密封圈,清洗池內底部中心設有密封圈,密封圈與軸承座緊密接觸。

      優(yōu)選地,還包括有行程開關,滑軌右側上下兩端通過螺釘連接的方式連接有行程開關,行程開關均通過電路與旋轉電機連接。

      優(yōu)選地,旋轉電機為伺服電機。

      優(yōu)選地,清洗箱的材質為不銹鋼。

      優(yōu)選地,第一拉線和第二拉線的材質為鋼絲繩。

      工作原理:當需要對晶圓進行清洗時,工人首先往清洗池內倒入五分之四的清洗劑,接著打開箱蓋,將需要清洗的晶圓放入到清洗箱內,然后工人控制旋轉電機順時針或逆時針旋轉,當旋轉電機順時針旋轉時,旋轉電機帶動轉軸順時針旋轉,轉軸帶動攪拌葉片和繞線輪順時針旋轉,攪拌葉片順時針旋轉攪動清洗劑,繞線輪順時針旋轉將第一拉線繞起,進而通過第一拉線帶動滑塊向下運動,從而帶動L型支桿及其上裝置向下運動,第一彈簧被拉伸,使得清洗箱浸入清洗劑內,并且因為頂塊與凸起配合,所以頂塊向下運動接觸到凸起時,頂塊會向右運動,帶動弧形擺動桿下端向右運動,第二彈簧被壓縮,進而帶動弧形擺動桿上端向左運動,固定環(huán)通過第二拉線拉動清洗箱向右擺動,當頂塊與凸起的最右端脫離時,弧形擺動桿下端在第二彈簧的彈力作用下向左運動,進而帶動弧形擺動桿上端向右運動,第二拉線被放松,使得清洗箱在慣性作用下向左擺動,當旋轉電機逆時針旋轉時,旋轉電機帶動轉軸逆時針旋轉,轉軸帶動攪拌葉片和繞線輪逆時針旋轉,攪拌葉片逆時針旋轉攪動清洗劑,繞線輪逆時針旋轉將第一拉線放開,L型支桿及其上裝置在第一彈簧的彈力作用下向上運動,使得清洗箱逐步脫離清洗劑,并且清洗箱繼續(xù)左右擺動,如此反復,攪拌葉片不斷攪動清洗劑,并且清洗箱不斷浸入到清洗劑內,使得清洗劑對清洗箱內的晶圓進行清洗,清洗箱不斷左右擺動,使得其內的晶圓不斷翻動,達到了均勻清洗的效果。當晶圓清洗完成,且清洗箱回到初始位置后,工人控制旋轉電機停止工作,接著打開箱蓋將其內的晶圓取出進行下一步工作,然后工人將閥門打開,清洗劑通過出液管流出,工人對其進行收集,因為有網板的作用,清洗過程中產生的垃圾被網板過濾,保證了清洗劑的循環(huán)利用,當清洗劑全部收集完畢后,工人將閥門關閉,并將網板上的垃圾清理干凈。

      因為鉸接部件包括有凹形板、連接軸和旋轉板,連接軸固定安裝在凹形板上,在旋轉板上設置有通孔,連接軸穿過旋轉板上的通孔,并且旋轉板通過連接軸轉動,支桿上的鉸接部件的凹形板焊接在支桿的左端,支桿上的鉸接部件的旋轉板通過焊接的方式連接有弧形擺動桿,L型連桿上的鉸接部件的凹形板焊接在L型連桿的底端,L型連桿上的鉸接部件的旋轉板通過焊接的方式連接有清洗箱,該鉸接部件擺動靈活,使裝置的使用壽命更長。

      因為還包括有密封圈,清洗池內底部中心設有密封圈,密封圈與軸承座緊密接觸,防止清洗劑泄漏。

      因為還包括有行程開關,滑軌右側上下兩端通過螺釘連接的方式連接有行程開關,行程開關均通過電路與旋轉電機連接,當滑塊向下運動觸碰到下側行程開關時,下側行程開關控制旋轉電機逆時針旋轉,當滑塊向上運動觸碰到上側行程開關時,上側行程開關控制旋轉電機順時針旋轉,如此,使得操作更加方便、準確,避免了誤操作導致裝置損壞。

      因為旋轉電機為伺服電機,伺服電機能更好的控制其轉速,方便調節(jié)清洗使得頻率。

      因為清洗箱的材質為不銹鋼,不銹鋼耐腐蝕,有效延長了裝置的使用壽命。

      因為第一拉線和第二拉線的材質為鋼絲繩,鋼絲繩不易斷裂,有效延長了裝置的使用壽命。

      (3)有益效果

      本發(fā)明達到了清洗效果好、清洗速度快的效果,并且結構簡單、操作方便,減小了工人的勞動強度,提高了工人的工作效率,晶圓表面清洗徹底,提高了芯片生產的質量,進而提升了企業(yè)的效益。

      附圖說明

      圖1為本發(fā)明的第一種主視結構示意圖。

      圖2為本發(fā)明鉸接部件的立體結構示意圖。

      圖3為本發(fā)明的第二種主視結構示意圖。

      圖4為本發(fā)明的第三種主視結構示意圖。

      附圖中的標記為:1-底板,2-左架,3-支撐桿,4-清洗池,5-出液管,6-閥門,7-網板,8-軸承座,9-轉軸,10-繞線輪,11-旋轉電機,12-攪拌葉片,13-第一定滑輪,14-第一拉線,15-支架,16-第二定滑輪,17-固定桿,18-固定板,19-凸起,20-滑軌,21-滑塊,22-頂板,23-第一彈簧,24-L型連桿,25-支桿,26-弧形擺動桿,27-頂塊,28-第二彈簧,29-固定環(huán),30-第三定滑輪,31-第二拉線,32-鉸接部件,321-凹形板,322-連接軸,323-旋轉板,33-清洗箱,34-通孔,35-箱蓋,36-合頁,37-密封圈,38-行程開關。

      具體實施方式

      下面結合附圖和實施例對本發(fā)明作進一步的說明。

      實施例1

      一種電子產品內置芯片生產用晶圓清洗設備,如圖1-4所示,包括有底板1、左架2、支撐桿3、清洗池4、出液管5、閥門6、網板7、軸承座8、轉軸9、繞線輪10、旋轉電機11、攪拌葉片12、第一定滑輪13、第一拉線14、支架15、第二定滑輪16、固定桿17、固定板18、凸起19、滑軌20、滑塊21、頂板22、第一彈簧23、L型連桿24、支桿25、弧形擺動桿26、頂塊27、第二彈簧28、固定環(huán)29、第三定滑輪30、第二拉線31、鉸接部件32、清洗箱33、箱蓋35和合頁36,底板1頂部左端焊接有左架2,底板1頂部右側右側對稱焊接有支撐桿3,支撐桿3頂端焊接有清洗池4,清洗池4右壁底部設有出液管5,出液管5上設有閥門6,清洗池4內下部通過螺釘連接的方式連接有網板7,清洗池4底部中心通過螺栓連接的方式連接有軸承座8,軸承座8內的軸承上過盈連接有轉軸9,轉軸9頂部左右對稱設有攪拌葉片12,攪拌葉片12位于清洗池4內,轉軸9下部通過鍵連接的方式連接有繞線輪10,繞線輪10上繞有第一拉線14,底板1頂部中間通過螺栓連接的方式連接有旋轉電機11,旋轉電機11的輸出軸通過聯(lián)軸器與轉軸9連接,左架2右側下部通過支架15焊接有第一定滑輪13和第二定滑輪16,第二定滑輪16位于第一定滑輪13上方,左架2右側中部對稱焊接有固定桿17,固定桿17右端焊接有固定板18,固定板18右側均勻焊接有凸起19,左架2右側上部通過螺栓連接的方式連接有滑軌20,滑軌20上滑動式連接有滑塊21,滑塊21與滑軌20配合,第一拉線14穿過左側支撐桿3,繞過第一定滑輪13和第二定滑輪16,再穿過固定桿17,并通過掛鉤連接的方式與滑塊21底部連接,滑塊21右側焊接有L型連桿24,左架2頂端焊接有頂板22,頂板22底部與L型連桿24之間通過掛鉤連接的方式對稱連接有第一彈簧23,L型連桿24中部左側焊接有支桿25,支桿25左端通過鉸接部件32連接有弧形擺動桿26,弧形擺動桿26左端焊接有頂塊27,頂塊27與凸起19配合,L型連桿24下部右側通過支架15焊接有第三定滑輪30,L型連桿24底端通過鉸接部件32連接有清洗箱33,清洗箱33上均勻開有通孔34,清洗箱33右壁底部通過螺釘連接的方式連接有合頁36,合頁36上通過螺釘連接的方式連接有箱蓋35,固定環(huán)29上固定有第二拉線31,第二拉線31繞過第三定滑輪30,并且與清洗箱33連接。

      鉸接部件32包括有凹形板321、連接軸322和旋轉板323,連接軸322固定安裝在凹形板321上,在旋轉板323上設置有通孔34,連接軸322穿過旋轉板323上的通孔34,并且旋轉板323通過連接軸322轉動,支桿25上的鉸接部件32的凹形板321焊接在支桿25的左端,支桿25上的鉸接部件32的旋轉板323通過焊接的方式連接有弧形擺動桿26,L型連桿24上的鉸接部件32的凹形板321焊接在L型連桿24的底端,L型連桿24上的鉸接部件32的旋轉板323通過焊接的方式連接有清洗箱33。

      還包括有密封圈37,清洗池4內底部中心設有密封圈37,密封圈37與軸承座8緊密接觸。

      還包括有行程開關38,滑軌20右側上下兩端通過螺釘連接的方式連接有行程開關38,行程開關38均通過電路與旋轉電機11連接。

      旋轉電機11為伺服電機。

      清洗箱33的材質為不銹鋼。

      第一拉線14和第二拉線31的材質為鋼絲繩。

      工作原理:當需要對晶圓進行清洗時,工人首先往清洗池4內倒入五分之四的清洗劑,接著打開箱蓋35,將需要清洗的晶圓放入到清洗箱33內,然后工人控制旋轉電機11順時針或逆時針旋轉,當旋轉電機11順時針旋轉時,旋轉電機11帶動轉軸9順時針旋轉,轉軸9帶動攪拌葉片12和繞線輪10順時針旋轉,攪拌葉片12順時針旋轉攪動清洗劑,繞線輪10順時針旋轉將第一拉線14繞起,進而通過第一拉線14帶動滑塊21向下運動,從而帶動L型支桿25及其上裝置向下運動,第一彈簧23被拉伸,使得清洗箱33浸入清洗劑內,并且因為頂塊27與凸起19配合,所以頂塊27向下運動接觸到凸起19時,頂塊27會向右運動,帶動弧形擺動桿26下端向右運動,第二彈簧28被壓縮,進而帶動弧形擺動桿26上端向左運動,固定環(huán)29通過第二拉線31拉動清洗箱33向右擺動,當頂塊27與凸起19的最右端脫離時,弧形擺動桿26下端在第二彈簧28的彈力作用下向左運動,進而帶動弧形擺動桿26上端向右運動,第二拉線31被放松,使得清洗箱33在慣性作用下向左擺動,當旋轉電機11逆時針旋轉時,旋轉電機11帶動轉軸9逆時針旋轉,轉軸9帶動攪拌葉片12和繞線輪10逆時針旋轉,攪拌葉片12逆時針旋轉攪動清洗劑,繞線輪10逆時針旋轉將第一拉線14放開,L型支桿25及其上裝置在第一彈簧23的彈力作用下向上運動,使得清洗箱33逐步脫離清洗劑,并且清洗箱33繼續(xù)左右擺動,如此反復,攪拌葉片12不斷攪動清洗劑,并且清洗箱33不斷浸入到清洗劑內,使得清洗劑對清洗箱33內的晶圓進行清洗,清洗箱33不斷左右擺動,使得其內的晶圓不斷翻動,達到了均勻清洗的效果。當晶圓清洗完成,且清洗箱33回到初始位置后,工人控制旋轉電機11停止工作,接著打開箱蓋35將其內的晶圓取出進行下一步工作,然后工人將閥門6打開,清洗劑通過出液管5流出,工人對其進行收集,因為有網板7的作用,清洗過程中產生的垃圾被網板7過濾,保證了清洗劑的循環(huán)利用,當清洗劑全部收集完畢后,工人將閥門6關閉,并將網板7上的垃圾清理干凈。

      因為鉸接部件32包括有凹形板321、連接軸322和旋轉板323,連接軸322固定安裝在凹形板321上,在旋轉板323上設置有通孔34,連接軸322穿過旋轉板323上的通孔34,并且旋轉板323通過連接軸322轉動,支桿25上的鉸接部件32的凹形板321焊接在支桿25的左端,支桿25上的鉸接部件32的旋轉板323通過焊接的方式連接有弧形擺動桿26,L型連桿24上的鉸接部件32的凹形板321焊接在L型連桿24的底端,L型連桿24上的鉸接部件32的旋轉板323通過焊接的方式連接有清洗箱33,該鉸接部件32擺動靈活,使裝置的使用壽命更長。

      因為還包括有密封圈37,清洗池4內底部中心設有密封圈37,密封圈37與軸承座8緊密接觸,防止清洗劑泄漏。

      因為還包括有行程開關38,滑軌20右側上下兩端通過螺釘連接的方式連接有行程開關38,行程開關38均通過電路與旋轉電機11連接,當滑塊21向下運動觸碰到下側行程開關38時,下側行程開關38控制旋轉電機11逆時針旋轉,當滑塊21向上運動觸碰到上側行程開關38時,上側行程開關38控制旋轉電機11順時針旋轉,如此,使得操作更加方便、準確,避免了誤操作導致裝置損壞。

      因為旋轉電機11為伺服電機,伺服電機能更好的控制其轉速,方便調節(jié)清洗使得頻率。

      因為清洗箱33的材質為不銹鋼,不銹鋼耐腐蝕,有效延長了裝置的使用壽命。

      因為第一拉線14和第二拉線31的材質為鋼絲繩,鋼絲繩不易斷裂,有效延長了裝置的使用壽命。

      以上所述實施例僅表達了本發(fā)明的優(yōu)選實施方式,其描述較為具體和詳細,但并不能因此而理解為對本發(fā)明專利范圍的限制。應當指出的是,對于本領域的普通技術人員來說,在不脫離本發(fā)明構思的前提下,還可以做出若干變形、改進及替代,這些都屬于本發(fā)明的保護范圍。因此,本發(fā)明專利的保護范圍應以所附權利要求為準。

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