一種氣浮式旋轉(zhuǎn)工作臺工位切換的控制方法及裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及全自動晶圓減薄機(jī)的控制系統(tǒng)，尤其是涉及一種氣浮式旋轉(zhuǎn)工作臺工位切換的控制方法及裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在全自動晶圓減薄機(jī)的控制系統(tǒng)中，工作臺的定位和工位切換是一個保證控制系統(tǒng)自動運行和磨削精度的關(guān)鍵問題。在工作臺的旋轉(zhuǎn)過程中，由于放置和取下晶圓、粗磨及精磨等工藝的位置固定，因此需要旋轉(zhuǎn)工作臺并切換工位，以使工作臺上的同一工位能夠同時完成放置和取下晶圓、粗磨及精磨等工藝流程。由此可以看出，工作臺上工位切換的定位精度直接影響到晶圓中心位置的磨削質(zhì)量。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]為了保證工作臺旋轉(zhuǎn)時工位切換的精準(zhǔn)度和可靠度，本發(fā)明提供了一種氣浮式旋轉(zhuǎn)工作臺工位切換的控制方法及裝置。
[0004]為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供了一種氣浮式旋轉(zhuǎn)工作臺工位切換的控制方法，應(yīng)用于氣浮式旋轉(zhuǎn)工作臺，所述氣浮式旋轉(zhuǎn)工作臺包括:工作臺，所述工作臺上設(shè)置有零位傳感器；位于所述工作臺上的旋轉(zhuǎn)盤，所述旋轉(zhuǎn)盤上設(shè)置有多個工位，并且其中一工位處設(shè)置有零位開關(guān)遮光片；用于驅(qū)動所述旋轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)動的伺服電機(jī)；用于控制所述旋轉(zhuǎn)盤升降的氣源控制機(jī)構(gòu)；用于讀取工位位置的伺服電機(jī)編碼器；用于控制伺服電機(jī)和氣源控制機(jī)構(gòu)的控制器，且控制器的輸入端分別與零位傳感器和伺服電機(jī)編碼器連接；所述控制方法包括:
[0005]檢測零位開關(guān)遮光片的位置，當(dāng)所述零位開關(guān)遮光片與所述零位傳感器的位置對應(yīng)時，將所述零位開關(guān)遮光片的對應(yīng)位置設(shè)定為基準(zhǔn)位置；
[0006]獲取旋轉(zhuǎn)盤上一工位相對于所述基準(zhǔn)位置的當(dāng)前絕對位置；
[0007]根據(jù)所述工位的當(dāng)前絕對位置，計算所述工位轉(zhuǎn)動至預(yù)設(shè)工位的轉(zhuǎn)動角度；
[0008]根據(jù)所述轉(zhuǎn)動角度，向伺服電機(jī)發(fā)送第一控制信號，使所述伺服電機(jī)驅(qū)動旋轉(zhuǎn)盤上的所述工位旋轉(zhuǎn)所述轉(zhuǎn)動角度切換至所述預(yù)設(shè)工位。
[0009]可選的，所述獲取旋轉(zhuǎn)盤上一工位相對于所述基準(zhǔn)位置的當(dāng)前絕對位置，具體為:接收所述伺服電機(jī)編碼器實時讀取的旋轉(zhuǎn)盤上的工位相對于所述基準(zhǔn)位置的當(dāng)前絕對位置。
[0010]可選的，當(dāng)工位的個數(shù)為三個，且三個工位以間隔120度的角度分布在旋轉(zhuǎn)盤上時，所述根據(jù)所述工位的當(dāng)前絕對位置，計算所述工位轉(zhuǎn)動至預(yù)設(shè)工位的轉(zhuǎn)動角度，具體包括:當(dāng)所述工位的當(dāng)前絕對位置為所述基準(zhǔn)位置時，計算所述工位轉(zhuǎn)動至預(yù)設(shè)工位的轉(zhuǎn)動角度為順時針120度；當(dāng)所述工位的當(dāng)前絕對位置為以所述基準(zhǔn)位置為基準(zhǔn)順時針旋轉(zhuǎn)120度對應(yīng)的第一位置時，計算所述工位轉(zhuǎn)動至預(yù)設(shè)工位的轉(zhuǎn)動角度為順時針120度；當(dāng)所述工位的當(dāng)前絕對位置為以所述基準(zhǔn)位置為基準(zhǔn)順時針旋轉(zhuǎn)240度對應(yīng)的第二位置時，計算所述工位轉(zhuǎn)動至預(yù)設(shè)工位的轉(zhuǎn)動角度為逆時針240度。
[0011]可選的，在所述根據(jù)所述轉(zhuǎn)動角度，向伺服電機(jī)發(fā)送第一控制信號，使所述伺服電機(jī)驅(qū)動旋轉(zhuǎn)盤上的所述工位切換至所述預(yù)設(shè)工位之前，所述控制方法還包括:向所述氣源控制機(jī)構(gòu)發(fā)送第二控制信號，使所述氣源控制機(jī)構(gòu)控制所述旋轉(zhuǎn)盤從所述工作臺上浮起。
[0012]可選的，在所述根據(jù)所述轉(zhuǎn)動角度，向伺服電機(jī)發(fā)送第一控制信號，使所述伺服電機(jī)驅(qū)動旋轉(zhuǎn)盤上的所述工位切換至所述預(yù)設(shè)工位之后，所述控制方法還包括:向所述氣源控制機(jī)構(gòu)發(fā)送第三控制信號，使所述氣源控制機(jī)構(gòu)停止工作；向所述氣源控制機(jī)構(gòu)發(fā)送第四控制信號，使所述氣源控制機(jī)構(gòu)控制所述旋轉(zhuǎn)盤降回至所述工作臺上。
[0013]依據(jù)本發(fā)明的另一個方面，本發(fā)明還提供了一種氣浮式旋轉(zhuǎn)工作臺工位切換的控制裝置，應(yīng)用于氣浮式旋轉(zhuǎn)工作臺，所述氣浮式旋轉(zhuǎn)工作臺包括:工作臺，所述工作臺上設(shè)置有零位傳感器；位于所述工作臺上的旋轉(zhuǎn)盤，所述旋轉(zhuǎn)盤上設(shè)置有多個工位，并且其中一工位處設(shè)置有零位開關(guān)遮光片；用于驅(qū)動所述旋轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)動的伺服電機(jī)；用于控制所述旋轉(zhuǎn)盤升降的氣源控制機(jī)構(gòu)；用于讀取工位位置的伺服電機(jī)編碼器；用于控制伺服電機(jī)和氣源控制機(jī)構(gòu)的控制器，且控制器的輸入端分別與零位傳感器和伺服電機(jī)編碼器連接；所述控制裝置包括:
[0014]檢測模塊，用于檢測零位開關(guān)遮光片的位置，當(dāng)所述零位開關(guān)遮光片與所述零位傳感器的位置對應(yīng)時，將所述零位開關(guān)遮光片的對應(yīng)位置設(shè)定為基準(zhǔn)位置；
[0015]獲取模塊，用于獲取旋轉(zhuǎn)盤上一工位相對于所述基準(zhǔn)位置的當(dāng)前絕對位置；
[0016]計算模塊，用于根據(jù)所述工位的當(dāng)前絕對位置，計算所述工位轉(zhuǎn)動至預(yù)設(shè)工位的轉(zhuǎn)動角度；
[0017]第一發(fā)送模塊，用于根據(jù)所述轉(zhuǎn)動角度，向伺服電機(jī)發(fā)送第一控制信號，使所述伺服電機(jī)驅(qū)動旋轉(zhuǎn)盤上的所述工位旋轉(zhuǎn)所述轉(zhuǎn)動角度切換至所述預(yù)設(shè)工位。
[0018]可選的，所述獲取模塊具體用于，接收所述伺服電機(jī)編碼器實時讀取的旋轉(zhuǎn)盤上的工位相對于所述基準(zhǔn)位置的當(dāng)前絕對位置。
[0019]可選的，當(dāng)工位的個數(shù)為三個，且三個工位以間隔120度的角度分布在旋轉(zhuǎn)盤上時，所述計算模塊具體用于，當(dāng)所述工位的當(dāng)前絕對位置為所述基準(zhǔn)位置時，計算所述工位轉(zhuǎn)動至預(yù)設(shè)工位的轉(zhuǎn)動角度為順時針120度；當(dāng)所述工位的當(dāng)前絕對位置為以所述基準(zhǔn)位置為基準(zhǔn)順時針旋轉(zhuǎn)120度對應(yīng)的第一位置時，計算所述工位轉(zhuǎn)動至預(yù)設(shè)工位的轉(zhuǎn)動角度為順時針120度；當(dāng)所述工位的當(dāng)前絕對位置為以所述基準(zhǔn)位置為基準(zhǔn)順時針旋轉(zhuǎn)240度對應(yīng)的第二位置時，計算所述工位轉(zhuǎn)動至預(yù)設(shè)工位的轉(zhuǎn)動角度為逆時針240度。
[0020]可選的，所述控制裝置還包括:第二發(fā)送模塊，用于向所述氣源控制機(jī)構(gòu)發(fā)送第二控制信號，使所述氣源控制機(jī)構(gòu)控制所述旋轉(zhuǎn)盤從所述工作臺上浮起。
[0021]可選的，所述控制裝置還包括:第三發(fā)送模塊，用于向所述氣源控制機(jī)構(gòu)發(fā)送第三控制信號，使所述氣源控制機(jī)構(gòu)停止工作；第四發(fā)送模塊，用于向所述氣源控制機(jī)構(gòu)發(fā)送第四控制信號，使所述氣源控制機(jī)構(gòu)控制所述旋轉(zhuǎn)盤降回至所述工作臺上。
[0022]本發(fā)明的有益效果是:
[0023]本發(fā)明提供的氣浮式旋轉(zhuǎn)工作臺工位切換的控制方法，應(yīng)用于氣浮式旋轉(zhuǎn)工作臺，在控制氣浮式旋轉(zhuǎn)工作臺工位切換時，首先檢測零位開關(guān)遮光片的位置，當(dāng)零位開關(guān)遮光片與零位傳感器的位置對應(yīng)時，將零位開關(guān)遮光片的對應(yīng)位置設(shè)定為基準(zhǔn)位置，然后根據(jù)獲取的工位相對于基準(zhǔn)位置的當(dāng)前絕對位置，計算工位轉(zhuǎn)動至預(yù)設(shè)工位的轉(zhuǎn)動角度，最后根據(jù)轉(zhuǎn)動角度，向伺服電機(jī)發(fā)送第一控制信號，使伺服電機(jī)驅(qū)動旋轉(zhuǎn)盤上的工位旋轉(zhuǎn)計算得到的轉(zhuǎn)動角度后，切換至預(yù)設(shè)工位。本發(fā)明通過設(shè)定基準(zhǔn)位置，并依據(jù)基準(zhǔn)位置和一工位的當(dāng)前絕對位置，向伺服電機(jī)發(fā)送驅(qū)動旋轉(zhuǎn)盤上的工位旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)動角度的第一控制信號，使工位切換至預(yù)設(shè)工位，保證了氣浮式旋轉(zhuǎn)工作臺旋轉(zhuǎn)時工位切換的精準(zhǔn)度和可靠度。
【附圖說明】
[0024]圖1表示本發(fā)明的實施例中氣浮式旋轉(zhuǎn)工作臺的結(jié)構(gòu)框圖；
[0025]圖2表示本發(fā)明的實施例中氣浮式旋轉(zhuǎn)工作臺工位切換的控制方法的步驟流程圖；
[0026]圖3表示本發(fā)明的實施例中氣浮式旋轉(zhuǎn)工作臺的工位分布圖；
[0027]圖4表示本發(fā)明的實施例中旋轉(zhuǎn)盤上工位的切換示意圖；
[0028]圖5表示本發(fā)明的實施例中氣浮式旋轉(zhuǎn)工作臺工位切換的控制裝置的結(jié)構(gòu)框圖。
[0029]其中圖中:
[0030]1、伺服電機(jī)；2、氣源控制機(jī)構(gòu)；3、控制器；4、伺服電機(jī)編碼器；5、零位傳感器；6、旋轉(zhuǎn)盤；7、上下工件工位、8、粗磨工位、9、精磨工位；
【具體實施方式】
[0031]下面將參照附圖更詳細(xì)地描述本公開的示例性實施例。雖然附圖中顯示了本公開的示例性實施例，然而應(yīng)當(dāng)理解，可以以各種形式實現(xiàn)本公開