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      半導(dǎo)體器件及非易失性存儲器陣列的制作方法

      文檔序號:11592851閱讀:來源:國知局

      技術(shù)特征:

      技術(shù)總結(jié)
      本發(fā)明的實(shí)施例提供一種半導(dǎo)體器件。半導(dǎo)體器件包含第一有源區(qū)、第二有源區(qū)和第三有源區(qū)、第一多晶硅區(qū)、第二多晶硅區(qū)、第三多晶硅區(qū)、第一摻雜區(qū)和第二摻雜區(qū)。第一有源區(qū)、第二有源區(qū)和第三有源區(qū)互相分離且平行。第一多晶硅區(qū)布置在第一有源區(qū)和第二有源區(qū)上方。第二多晶硅區(qū)布置在第一有源區(qū)和第二有源區(qū)上方。第三多晶硅區(qū)布置在第二有源區(qū)和第三有源區(qū)上方。第一摻雜區(qū)在第二有源區(qū)內(nèi)且在第一多晶硅區(qū)和第二多晶硅區(qū)之間。第二摻雜區(qū)在第二有源區(qū)內(nèi)且在第二多晶硅區(qū)和第三多晶硅區(qū)之間。本發(fā)明的實(shí)施例還提供了一種非易失性存儲器陣列。

      技術(shù)研發(fā)人員:盧皓彥;陳世憲;柯鈞耀;徐英杰
      受保護(hù)的技術(shù)使用者:臺灣積體電路制造股份有限公司
      技術(shù)研發(fā)日:2016.12.23
      技術(shù)公布日:2017.08.08
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