1.一種管式PECVD石墨舟工藝點上料裝置，其特征在于：包括工藝點排布裝置和工藝點移送裝置，所述工藝點移送裝置設置在所述工藝點排布裝置的正上方，所述工藝點排布裝置包括底座(1)、安裝板(2)和振動料盤(3)，所述安裝板(2)滑動安裝在所述底座(1)上，所述安裝板(2)通過移動裝置驅動實現往復直線運動，兩個所述振動料盤(3)分別位于所述移動裝置的兩側，所述安裝板(2)上開有若干與石墨舟(10)上的工藝孔相對應的盲孔(4)，兩個所述振動料盤(3)的出料口(5)分別與所述安裝板(2)同一端部的兩個所述盲孔(4)同軸設置，所述工藝點移送裝置包括吸盤(6)、驅動吸盤(6)升降的升降裝置和驅動吸盤(6)移動的移動裝置，所述吸盤(6)固定安裝在所述升降裝置上，所述升降裝置滑動安裝在所述移動裝置上。
2.如權利要求1所述的管式PECVD石墨舟工藝點上料裝置，其特征在于：所述安裝板(2)上盲孔(4)的深度小于工藝點的高度。
3.如權利要求1所述的管式PECVD石墨舟工藝點上料裝置，其特征在于：所述振動料盤(3)的出料口(5)的半徑和盲孔(4)的半徑均與工藝點的半徑相等，所述振動料盤(3)的出料口(5)與所述安裝板(2)的上表面貼合。
4.如權利要求1所述的管式PECVD石墨舟工藝點上料裝置，其特征在于：所述移動裝置為絲桿驅動裝置，包括絲桿(7)，絲桿轉動裝置、具有滑槽的導軌(8)和滑塊，所述絲桿轉動裝置與所述絲桿(7)固定連接，所述滑塊與所述絲桿(7)傳動連接，所述滑塊滑動安裝在所述導軌(8)內。
5.如權利要求1所述的管式PECVD石墨舟工藝點上料裝置，其特征在于：所述升降裝置為推動缸。