本實用新型涉及掃描顯微鏡，特別涉及一種帶自動定位裝置的掃描電鏡樣品臺。

背景技術(shù)：

掃描電子顯微鏡可用來觀察和檢測非均相有機材料、無機材料及微米、亞微米局部范圍內(nèi)的表面特征。由于圖像景深大，故所得掃描電子圖像富有立體感，具有三維形態(tài)，能夠提供比其他光學顯微鏡多得多的表面信息，這個特點能夠提供給使用者更有價值的形貌信息，有利于對宏觀形貌的理解。

現(xiàn)代的掃描電鏡都具有大腔體，基本都配備100mm直徑樣品交換室，可使用直徑100mm以內(nèi)的樣品臺，這意味著可以用導電膠貼很多粉末或塊狀樣品上去，樣品一多，本身就容易混亂，而掃描電鏡最小放大倍數(shù)30倍(SU8010，工作距離8mm)，屏幕可視區(qū)域樣品大小為0.57cm×0.43cm，很難看到所有樣品的全貌，這樣就很難快速尋找到需要觀察的樣品；另外，樣品的尋找是靠來回移動軌跡球(最常規(guī)手段)，這是一個耗時耗力的過程，尤其對于一個樣品臺上粘有20個以上的樣品時，耗時更多。

也有通過位置傳感器對樣品進行定位，授權(quán)公開號為CN102246081A的專利文獻公開了一種掃描顯微鏡包括用于容置樣品的臺子、掃描機構(gòu)、用于探查樣品的區(qū)域的探查系統(tǒng)、位置傳感器和控制器。掃描機構(gòu)被設計成在至少兩個軸向位置之間平移臺子。探查系統(tǒng)包括光學元件和具有讀出區(qū)域的光傳感器，其中，讀出區(qū)域在與臺子的理想取向交叉的方向上延伸。位置傳感器用于測量臺子的橫向位置和/或臺子的取向。控制器用于根據(jù)實，橫向位置和/或?qū)崪y取向調(diào)節(jié)探查系統(tǒng)。

但是采用顯微鏡本身帶有的攝像頭并不能完成定位，而通過傳感器定位不僅要結(jié)構(gòu)更為復雜且定位的精度不高，因此建立一套樣品位置的快速定位系統(tǒng)是非常迫切的。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本實用新型提供了一種帶自動定位裝置的掃描電鏡樣品臺，以解決現(xiàn)有掃描電鏡樣品次序的定位效率低的問題。

一種帶自動定位裝置的掃描電鏡樣品臺，包括：

樣品倉，設有樣品工作位；

掃描單元，安裝在所述樣品倉內(nèi)位于樣品安裝位的正上方，通過馬達系統(tǒng)在X，Y方向上移動；X，Y方向是最常見的xy坐標系中的兩個軸線方向。

交換倉，設有樣品安裝位，與所述樣品倉連通，還設有樣品進出口和交換倉門；

移動導軌，在所述樣品倉和交換倉之間傳輸樣品；

樣品安裝座，安裝在所述移動導軌上，在所述樣品安裝位和樣品工作位之間移動；

交換桿，一端連接所述樣品安裝座，一端伸出交換倉用于推動樣品安裝座在所述移動導軌移動；

攝像頭，安裝在交換倉內(nèi)位于所述樣品安裝位的正上方用于拍攝整個樣品安裝座上的樣品整體；

控制器，設有導航模塊，所述導航模塊根據(jù)在樣品安裝座的圖像上指定位置以控制掃描單元平移到對應的觀察位置上。

攝像頭可以從市場上直接購買，在樣品安裝位拍攝上樣品安裝座的圖像，并將圖像導入導航模塊的定位軟件，然后通過現(xiàn)有的定位軟件進行制樣→拍照→保存→旋轉(zhuǎn)180度→導入→定位(選過樣品臺中心左右兩點)→以導入的圖片為標準，從而可以通過鼠標點選樣品安裝座上的任一樣品，平移機構(gòu)驅(qū)動掃描單元到對應樣品的位置上。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型具有以下優(yōu)點：樣品實現(xiàn)等比例展示，無需來回尋找，實現(xiàn)快速定位，減少馬達系統(tǒng)的磨損，最重要的是減少尋找樣品的時間，提高測試效率。

為了防止樣品安裝座滑出移動軌道，優(yōu)選的，所述交換倉內(nèi)設有防止樣品安裝座越出所述移動軌道的第一定位擋板。

為了每次攝像頭拍攝的樣品安裝座都位于同一位置，減少定位軟件的圖像處理時間，優(yōu)選的，所述第一定位擋板與所述樣品安裝座中至少一個在兩者的接觸面上設有第一電磁鐵，另一個在接觸面上設有被第一電磁鐵吸引的第一磁性件。第一電磁鐵通電則定位樣品安裝座。為了防止樣品安裝座滑出移動軌道，優(yōu)選的，所述樣品倉內(nèi)設有防止樣品安裝座越出所述移動軌道的限位傳感器。

使用時，選擇適用于掃描電鏡使用的任一尺寸標準樣品臺，根據(jù)測試者的測試需求制備好樣品。將樣品臺固定在樣品安裝座上，通過攝像頭6拍攝樣品安裝座全貌，存貯成圖像格式，通過定位軟件，導入圖像。選擇過樣品臺中心的左右兩點，分別定位為1st點，2st點。即完成樣品定位。在定位后的樣品安裝座上找樣品時，只要鼠標點擊哪個樣品，可以是樣品安裝座自動移動到需要測試的樣品位置(此時設定的是樣品安裝座移動)，非常直觀方便，大大減少了使用滾輪來回移動尋找樣品的時間，并減少了滾輪的損耗。尤其是現(xiàn)代掃描電鏡基本上都配備能譜儀、波譜儀等分析儀器，而拍攝SEM圖片和測試EDS數(shù)據(jù)時所用的條件基本都是不一樣的。常規(guī)的測試方法就是先做SEM，再做EDS，這就意味著等做EDS時，又得使用滾輪來回找，非常費時費力。有了樣品定位系統(tǒng)，就能輕松快速實現(xiàn)想測哪個就用鼠標點擊哪個樣品的便利。

本實用新型的有益效果：

本實用新型的帶自動定位裝置的掃描電鏡樣品臺，結(jié)構(gòu)簡單，實現(xiàn)樣品的快速定位，提高測試效率。

附圖說明

圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2為圖1的左視示意圖。

圖3為本實用新型的交換倉的內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實施方式

如圖1～3所示，本實施例的帶自動定位裝置的掃描電鏡樣品臺，包括：

樣品倉1，設有樣品工作位；

掃描單元，安裝在樣品倉1內(nèi)位于樣品安裝位的正上方，通過馬達系統(tǒng)在X，Y方向上移動；

交換倉2，設有樣品安裝位21，與樣品倉1連通，還設有樣品進出口22和交換倉門23；

移動軌道3，連通樣品倉1和交換倉2，連通處設有開關門；

樣品安裝座4，安裝在移動軌道3上，在樣品安裝位21和樣品工作位之間移動；

交換桿5，一端連接樣品安裝座4，一端伸出交換倉2用于推動樣品安裝座4在移動軌道移動，還設有與交換桿5平行布置的導向桿51，導向桿滑動安裝在于交換桿5固定連接的固定板52上。

攝像頭6，安裝在交換倉2內(nèi)位于樣品安裝位的正上方用于拍攝整個樣品安裝座4；

控制器，設有導航模塊，導航模塊根據(jù)在樣品安裝座的圖像上指定位置以控制掃描單元平移到對應的觀察位置上。

樣品倉內(nèi)設有防止樣品安裝座越出移動范圍的限位傳感器。

交換倉2內(nèi)設有防止樣品安裝座4越出移動軌道的第一定位擋板7，第一定位擋板7設有兩塊，對稱布置在移動軌道3兩側(cè)；第一定位擋板7在兩者的接觸面上設有第一電磁鐵71，樣品安裝座4在接觸面上設有被第一電磁鐵71吸引的第一磁鐵41。

綜上所述，本實施例的帶自動定位裝置的掃描電鏡樣品臺樣品實現(xiàn)等比例展示，無需來回尋找，實現(xiàn)快速定位，減少馬達系統(tǒng)的磨損，最重要的是減少尋找樣品的時間，提高測試效率。