本實用新型涉及LED芯片制作技術領域，尤其涉及在圖形化藍寶石襯底上生長氮化鎵外延層的加工裝置。

背景技術：

LED外延片襯底材料是半導體照明產業(yè)技術發(fā)展的基石，不同的襯底材料，需要不同的LED外延片生長技術、芯片加工技術和器件封裝技術，襯底材料決定了半導體照明技術的發(fā)展路線，LED外延片生長的基本原理是：在一塊熱至適當溫度的襯底基片(主要有藍寶石和、SiC、Si)上，氣態(tài)物質InGaAlP有控制的輸送到襯底表面，生長出特定單晶薄膜，目前LED外延片生長技術主要采用有機金屬化學氣相沉積方法，現有的在藍寶石襯底上生長氮化鎵外延層的裝置，結構復雜，成本高，不能快速的調節(jié)藍寶石襯底上生長氮化鎵外延層的溫度條件，為此我們提出一種在圖形化藍寶石襯底上生長氮化鎵外延層的加工裝置。

技術實現要素：

本實用新型的目的是為了解決現有技術中存在的缺點，而提出的在圖形化藍寶石襯底上生長氮化鎵外延層的加工裝置。

為了實現上述目的，本實用新型采用了如下技術方案：

在圖形化藍寶石襯底上生長氮化鎵外延層的加工裝置，包括第一箱體和第二箱體，第二箱體位于第一箱體的內部，且第一箱體和第二箱體之間連接有支架，第一箱體和第二箱體之間構成冷卻腔，所述第一箱體的外側壁上設有冷卻液存儲箱和液泵，冷卻液存儲箱位于液泵的下方，液泵的輸出端通過導管延伸至冷卻腔的內部，液泵的輸入端通過導管連接有冷卻液存儲箱，冷卻液存儲箱的底端連接有導液管，導液管與冷卻腔相連通，導液管上設有閥門，所述第一箱體上設有三個進氣管，進氣管均延伸至第二箱體的內部，第二箱體內部側壁上設有多個加熱管，第二箱體的內壁底端設有固定座，固定座內設有電動機，電動機的輸出軸連接有旋轉臺，旋轉臺上設有固定裝置，所述固定裝置包括旋轉軸，旋轉軸的底端焊接在旋轉臺上，旋轉軸的四周設有三個陣列排布的第一連接桿，第一連接桿遠離旋轉軸的一側側壁上開凹槽，凹槽內滑動連接有第二連接桿，第二連接桿與凹槽的底端側壁之間連接有彈簧，第二連接桿遠離第一連接桿的一側設有夾塊。

優(yōu)選的，所述進氣管的底端連接有導向管和萬向管，導向管位于萬向管的內部，導向管與萬向管的底端均連接有噴頭。

優(yōu)選的，所述加熱管在第二箱體的內壁上均勻排布，加熱管的外部設有防護罩，防護罩通過螺釘固定在第二箱體的內壁上，且防護罩與第二箱體的連接處設有密封圈。

優(yōu)選的，所述旋轉臺底端設有環(huán)形滑塊，固定座的頂端設有環(huán)形滑軌，環(huán)形滑塊與環(huán)形滑軌相配合。

優(yōu)選的，所述夾塊焊接在第二連接桿上，且夾塊的外部包裹有橡膠套。

優(yōu)選的，所述第一箱體和第二箱體的一側設有開口，開口處鉸接有密封板。

本實用新型的有益效果：通過第一箱體、第二箱體、加熱管、液泵和冷卻液存儲箱的設置，能夠在藍寶石襯底上生長氮化鎵外延層時提供合適的溫度環(huán)境，實現高溫加熱和快速冷卻，滿足不同的溫度需求，提高其生長工作效率，通過固定裝置的設置，能后對不同大小的藍寶石襯底進行夾持固定，通過電動機以及萬向管的設置，能夠帶動藍寶石襯底旋轉，使得藍寶石襯底上的氮化鎵外延層生長更加均勻，同時能夠調節(jié)其通入氣體的噴射角度，且本裝置結構簡單、成本低。

附圖說明

圖1為本實用新型提出的在圖形化藍寶石襯底上生長氮化鎵外延層的加工裝置的結構示意圖；

圖2為本實用新型提出的在圖形化藍寶石襯底上生長氮化鎵外延層的加工裝置的固定裝置的結構示意圖。

圖中：1固定座、2電動機、3第二箱體、4旋轉臺、5第一箱體、6閥門、7冷卻液存儲箱、8液泵、9進氣管、10加熱管、11固定裝置、12支架、13第二連接桿、14彈簧、15第一連接桿、16旋轉軸、17夾塊。

具體實施方式

下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。

參照圖1-2，在圖形化藍寶石襯底上生長氮化鎵外延層的加工裝置，包括第一箱體5和第二箱體3，第二箱體3位于第一箱體5的內部，且第一箱體5和第二箱體3之間連接有支架12，第一箱體5和第二箱體3之間構成冷卻腔，第一箱體5的外側壁上設有冷卻液存儲箱7和液泵8，冷卻液存儲箱7位于液泵8的下方，液泵8的輸出端通過導管延伸至冷卻腔的內部，液泵8的輸入端通過導管連接有冷卻液存儲箱7，冷卻液存儲箱7的底端連接有導液管，導液管與冷卻腔相連通，導液管上設有閥門6，第一箱體5上設有三個進氣管9，進氣管9均延伸至第二箱體3的內部，第二箱體3內部側壁上設有多個加熱管10，第二箱體3的內壁底端設有固定座1，固定座1內設有電動機2，電動機2的輸出軸連接有旋轉臺4，旋轉臺4上設有固定裝置11，固定裝置11包括旋轉軸16，旋轉軸16的底端焊接在旋轉臺4上，旋轉軸16的四周設有三個陣列排布的第一連接桿15，第一連接桿15遠離旋轉軸16的一側側壁上開凹槽，凹槽內滑動連接有第二連接桿13，第二連接桿13與凹槽的底端側壁之間連接有彈簧14，第二連接桿13遠離第一連接桿15的一側設有夾塊17，進氣管9的底端連接有導向管和萬向管，導向管位于萬向管的內部，導向管與萬向管的底端均連接有噴頭，加熱管10在第二箱體3的內壁上均勻排布，加熱管10的外部設有防護罩，防護罩通過螺釘固定在第二箱體3的內壁上，且防護罩與第二箱體3的連接處設有密封圈，旋轉臺4底端設有環(huán)形滑塊，固定座1的頂端設有環(huán)形滑軌，環(huán)形滑塊與環(huán)形滑軌相配合，夾塊17焊接在第二連接桿13上，且夾塊17的外部包裹有橡膠套，第一箱體5和第二箱體3的一側設有開口，開口處鉸接有密封板。

工作原理:打開第一箱體5和第二箱體3上的密封板，將藍寶石襯底放在固定裝置上，通過彈簧14和夾塊17的作用，將藍寶石襯底卡接固定在旋轉臺4上，通過電動機2帶動旋轉臺4旋轉，通過進氣管9加入所需氣體，并通過萬向管調節(jié)其出氣角度，通過電熱管10對其進行加熱，當需要降溫時，通過液泵8帶動冷卻液存儲箱7中的冷卻液在冷卻腔中循環(huán)流動，對箱體進行快速降溫。

以上所述，僅為本實用新型較佳的具體實施方式，但本實用新型的保護范圍并不局限于此，任何熟悉本技術領域的技術人員在本實用新型揭露的技術范圍內，根據本實用新型的技術方案及其實用新型構思加以等同替換或改變，都應涵蓋在本實用新型的保護范圍之內。