本技術涉及半導體制造，特別是涉及一種晶圓夾取裝置。

背景技術：

1、傳統(tǒng)的關于槽式清洗機晶圓傳輸機械手的夾取裝置，如圖1所示，為夾取裝置的結構示意圖，包括夾取機構01、第一夾取部011、第二夾取部012、調節(jié)機構02、第一調節(jié)單元021、第二調節(jié)單元022、驅動機構03、驅動單元031以及活動單元032，調節(jié)機構通常采用凸輪設計，由于凸輪的非線性特性，很難精確調控夾取裝置中的夾爪角度，且因為凸輪設計在工作過程中會不斷地磨損，就會導致夾取裝置的壽命很低，進而夾取晶圓時的偏移量會有很大區(qū)別，夾取裝置的夾取角度也沒有重復性，導致無法持續(xù)準確的夾取晶圓。

2、鑒于此，急需一種能夠增加晶圓夾取裝置壽命且精確調控夾取機構角度的晶圓夾取裝置。

技術實現(xiàn)思路

1、鑒于以上所述現(xiàn)有技術的缺點，本實用新型的目的在于提供一種晶圓夾取裝置，用于解決現(xiàn)有技術中晶圓夾取裝置壽命低且無法精確調控夾取機構角度的問題。

2、為實現(xiàn)上述目的及其他相關目的，本實用新型提供一種晶圓夾取裝置，包括：

3、夾取機構，包括第一夾取部及第二夾取部；

4、調節(jié)機構，包括第一調節(jié)單元及第二調節(jié)單元，所述第一調節(jié)單元至少包括與所述第一夾取部連接的第一連接桿及與所述第一連接桿連接的第二連接桿，所述第二調節(jié)單元至少包括與所述第二夾取部連接的第三連接桿及與所述第三連接桿連接的第四連接桿；

5、驅動機構，位于所述第二連接桿及所述第四連接桿靠近所述夾取機構的一側且與所述調節(jié)機構相連接，所述第二連接桿與所述驅動機構沿y方向的中心線之間的角度隨所述驅動機構沿y方向的位移量變化而變化，所述第四連接桿與所述驅動機構沿y方向的中心線之間的角度隨所述驅動機構沿y方向的位移量變化而變化。

6、可選地，所述第一夾取部和所述第二夾取部關于所述第一夾取部與所述第二夾取部之間沿y方向的中心線對稱設置。

7、可選地，所述第一調節(jié)單元和所述第二調節(jié)單元關于所述第一調節(jié)單元與所述第二調節(jié)單元之間沿y方向的中心線對稱設置。

8、可選地，所述第一夾取部與所述第一連接桿之間角度隨所述第二連接桿與所述調節(jié)機構沿y方向的中心線之間的角度減小而減??；所述第二夾取部與所述第三連接桿之間角度隨所述第四連接桿與所述調節(jié)機構沿y方向的中心線之間的角度減小而減??；所述第一夾取部與所述第一連接桿之間角度隨所述第二連接桿與所述調節(jié)機構沿y方向的中心線之間的角度增大而增大；所述第二夾取部與所述第三連接桿之間角度隨所述第四連接桿與所述調節(jié)機構沿y方向的中心線之間的角度增大而增大。

9、可選地，所述第一連接桿與所述第二連接桿之間還設置有第一活動部，所述第一連接桿與所述第二連接桿通過所述第一活動部活動連接；所述第三連接桿與所述第四連接桿之間還設置有第二活動部，所述第三連接桿與所述第四連接桿通過所述第二活動部活動連接。

10、可選地，所述第一調節(jié)單元中還設有第三活動部，所述第二連接桿與所述驅動結構之間通過所述第三活動部活動連接；所述第二調節(jié)單元中還設有第四活動部，所述第四連接桿與所述驅動結構之間通過所述第四活動部活動連接。

11、可選地，所述第一連接桿長度范圍為160mm～180mm；所述第二連接桿的長度范圍為87mm～107mm；所述第三連接桿長度范圍為160mm～180mm；所述第四連接桿的長度范圍為87mm～107mm。

12、可選地，所述驅動機構中包括沿y方向對應設置的驅動單元及活動單元，所述驅動單元帶動所述活動單元沿y方向運動，所述夾取機構夾取晶圓；所述驅動單元帶動所述活動單元沿背離y方向運動，所述夾取機構釋放所述晶圓。

13、可選地，所述第一調節(jié)單元中還設有第一連接部，所述第一連接桿與所述第一夾取部之間通過第一連接部活動連接；所述第二調節(jié)單元中還設有第二連接部，所述第三連接桿與所述第二夾取部之間通過第二連接部活動連接。

14、可選地，所述第二連接桿與所述調節(jié)機構沿y方向的中心線之間的角度y1與所述驅動機構沿y方向的位移量x1之間的變化關系為y1＝1.3625x12-2.9535x1+1.3075；所述第四連接桿與所述調節(jié)機構沿y方向的中心線之間的角度y2與所述驅動機構沿y方向的位移量x2之間的變化關系為y2＝1.3625x22-2.9535x2+1.3075。

15、如上所述，本實用新型的晶圓夾取裝置，具有以下有益效果：所述第一連接桿與所述第二連接桿之間通過所述第一活動部活動設置，所述第三連接桿與所述第四連接桿通過所述第二活動部活動設置，所述第一連接桿與所述第一夾取部之間通過第一連接部活動連接，所述第三連接桿與所述第二夾取部之間通過第二連接部活動連接，保證了所述晶圓夾取裝置的剛性，減少了所述夾取機構及所述調節(jié)機構的磨損，延長了所述晶圓夾取裝置的壽命的同時，可使所述第二連接桿與所述驅動機構沿y方向的中心線之間的角度與所述驅動單元的位移量保持一定的數(shù)量關系，所述第四連接桿與所述驅動機構沿y方向的中心線之間的角度與所述驅動單元的位移量保持一定的數(shù)量關系，能夠更精確調控所述夾取機構的角度，使所述晶圓夾取裝置能夠重復批量的完成清洗設備中所述晶圓的夾取，提升了工藝效率，加快了工藝進程。

技術特征：

1.一種晶圓夾取裝置，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權利要求1所述的晶圓夾取裝置，其特征在于：所述第一夾取部和所述第二夾取部關于所述第一夾取部與所述第二夾取部之間沿y方向的中心線對稱設置。

3.根據(jù)權利要求1所述的晶圓夾取裝置，其特征在于：所述第一調節(jié)單元和所述第二調節(jié)單元關于所述第一調節(jié)單元與所述第二調節(jié)單元之間沿y方向的中心線對稱設置。

4.根據(jù)權利要求1所述的晶圓夾取裝置，其特征在于：所述第一夾取部與所述第一連接桿之間角度隨所述第二連接桿與所述調節(jié)機構沿y方向的中心線之間的角度減小而減??；所述第二夾取部與所述第三連接桿之間角度隨所述第四連接桿與所述調節(jié)機構沿y方向的中心線之間的角度減小而減??；所述第一夾取部與所述第一連接桿之間角度隨所述第二連接桿與所述調節(jié)機構沿y方向的中心線之間的角度增大而增大；所述第二夾取部與所述第三連接桿之間角度隨所述第四連接桿與所述調節(jié)機構沿y方向的中心線之間的角度增大而增大。

5.根據(jù)權利要求1所述的晶圓夾取裝置，其特征在于：所述第一連接桿與所述第二連接桿之間還設置有第一活動部，所述第一連接桿與所述第二連接桿通過所述第一活動部活動連接；所述第三連接桿與所述第四連接桿之間還設置有第二活動部，所述第三連接桿與所述第四連接桿通過所述第二活動部活動連接。

6.根據(jù)權利要求1所述的晶圓夾取裝置，其特征在于：所述第一調節(jié)單元中還設有第三活動部，所述第二連接桿與所述驅動機構之間通過所述第三活動部活動連接；所述第二調節(jié)單元中還設有第四活動部，所述第四連接桿與所述驅動機構之間通過所述第四活動部活動連接。

7.根據(jù)權利要求1所述的晶圓夾取裝置，其特征在于：所述第一連接桿長度范圍為160mm～180mm；所述第二連接桿的長度范圍為87mm～107mm；所述第三連接桿長度范圍為160mm～180mm；所述第四連接桿的長度范圍為87mm～107mm。

8.根據(jù)權利要求1所述的晶圓夾取裝置，其特征在于：所述驅動機構中包括沿y方向對應設置的驅動單元及活動單元，所述驅動單元帶動所述活動單元沿y方向運動，所述夾取機構夾取晶圓；所述驅動單元帶動所述活動單元沿背離y方向運動，所述夾取機構釋放所述晶圓。

9.根據(jù)權利要求1所述的晶圓夾取裝置，其特征在于：所述第一調節(jié)單元中還設有第一連接部，所述第一連接桿與所述第一夾取部之間通過第一連接部活動連接；所述第二調節(jié)單元中還設有第二連接部，所述第三連接桿與所述第二夾取部之間通過第二連接部活動連接。

10.根據(jù)權利要求1所述的晶圓夾取裝置，其特征在于：所述第二連接桿與所述調節(jié)機構沿y方向的中心線之間的角度y1與所述驅動機構沿y方向的位移量x1之間的變化關系為y1＝1.3625x12-2.9535x1+1.3075；所述第四連接桿與所述調節(jié)機構沿y方向的中心線之間的角度y2與所述驅動機構沿y方向的位移量x2之間的變化關系為

技術總結
本技術提供一種晶圓夾取裝置，包括：夾取機構、調節(jié)機構及驅動機構，其中，夾取機構包括第一夾取部及第二夾取部；調節(jié)機構包括第一調節(jié)單元及第二調節(jié)單元，第一調節(jié)單元至少包括與第一夾取部連接的第一連接桿及與第一連接桿連接的第二連接桿，第二調節(jié)單元至少包括與第二夾取部連接的第三連接桿及與第三連接桿連接的第四連接桿；驅動機構位于第一連接桿及第三連接桿靠近夾取機構一側且與調節(jié)機構相連接，第一連接桿與驅動機構沿Y方向中心線之間的角度、第三連接桿與驅動機構沿Y方向中心線之間的角度均隨驅動機構沿Y方向的位移量變化而變化。本技術的晶圓夾取裝置延長了夾取裝置的壽命還能實現(xiàn)晶圓批量夾取。

技術研發(fā)人員：馬詩陽
受保護的技術使用者：上海普達特半導體設備有限公司
技術研發(fā)日：20240320
技術公布日：2024/11/14