800的上側(cè)。盡管未圖示，但真空泵連接到腔室100以在腔室100中產(chǎn)生真空壓力。
[0029]掩模M包含:由玻璃或石英作為光透射材料形成的基部部件；及用于阻隔激光束的薄膜，所述薄膜彼此間隔開(kāi)以形成圖案。因此，從圖案當(dāng)中發(fā)射到掩模M的區(qū)的激光經(jīng)由掩模M到達(dá)襯底S，且發(fā)射到圖案的激光并未穿過(guò)掩模M。掩模M的圖案可選擇性地在襯底上形成發(fā)射層。
[0030]掩模支撐模塊600安置于腔室100上方在圖像形成系統(tǒng)800與線產(chǎn)生器500之間，且支撐掩模M。另外，掩模支撐模塊600在X軸及Y軸方向上水平地移動(dòng)掩模M,且旋轉(zhuǎn)掩模M以對(duì)準(zhǔn)掩模M。參看圖2及3，掩模支撐模塊600包含基部610 ;—對(duì)第一導(dǎo)軌621，其在基部610上在X軸方向上且彼此平行地延伸；第一平臺(tái)622，其安裝于第一導(dǎo)軌621上以沿著第一導(dǎo)軌621滑動(dòng)；一對(duì)第二導(dǎo)軌631，其在第一平臺(tái)622上在Y軸方向上且彼此平行地延伸；第二平臺(tái)632，其安裝于第二導(dǎo)軌631上以沿著第二導(dǎo)軌631滑動(dòng)；旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部分641，其可旋轉(zhuǎn)地安裝于第二平臺(tái)632上；第三平臺(tái)642，其安裝于旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部分641上；及掩模支架650，其安裝于第三平臺(tái)642上且具有其上置放有掩模M的上部部分。此外，掩模支撐模塊600包含支撐部件680，所述支撐部件的一端連接到基部610的下部部分，且其另一端由腔室100的上壁支撐。
[0031]掩模支撐模塊600由不脹鋼形成，所述不脹鋼為耐熱沖擊材料。至少基部610、第一到第三平臺(tái)622、632及642以及掩模支架650可由不脹鋼形成。因此，防止掩模支撐模塊600 (且更具體來(lái)說(shuō)，基部610、第一到第三平臺(tái)622、632及642以及掩模支架650)因由從圖像形成系統(tǒng)800反射的激光產(chǎn)生的高溫?zé)岫冃巍?br>[0032]不僅第一到第三平臺(tái)622、632及642及掩模支架650而且第一及第二導(dǎo)軌621及632可由不脹鋼形成。
[0033]掩模支撐模塊600通過(guò)支撐掩模M且同時(shí)在X軸及Y軸方向上水平地移動(dòng)掩模M或旋轉(zhuǎn)掩模M而對(duì)準(zhǔn)掩模M。更特定來(lái)說(shuō)，第一平臺(tái)622沿著第一導(dǎo)軌621滑動(dòng)，從而在X軸方向上水平地移動(dòng)掩模支架650，且第二平臺(tái)632沿著第二導(dǎo)軌631滑動(dòng)，從而在Y軸方向上水平地移動(dòng)掩模支架650，且旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部分641旋轉(zhuǎn)第三平臺(tái)642，從而旋轉(zhuǎn)掩模支架650。
[0034]掩模支架650支撐掩模M，如上文所描述。參看圖3，掩模支架650具有開(kāi)口(下文中被稱作支架開(kāi)口 654)(發(fā)射到掩模M的激光束穿過(guò)所述開(kāi)口)，且支撐掩模M以使得掩模M的下部邊緣被置于支架開(kāi)口 654周圍的壁上，也就是說(shuō)，在梯級(jí)部分上。然而，其中掩模支架650支撐掩模M的結(jié)構(gòu)并不限于此，且因此可選自支撐掩模M且具有穿過(guò)掩模M的激光束所穿過(guò)的支架開(kāi)口 654的各種配置或形狀。
[0035]安置于掩模支架650之下的基部610及第一到第三平臺(tái)622、632及642分別具備開(kāi)口 614、624、634及644，且開(kāi)口 614、624、634及644安置于對(duì)應(yīng)于支架開(kāi)口 654的位置的位置中。下文中，設(shè)置于基部610及第一到第三平臺(tái)622、632及642中的開(kāi)口 614、624、634及644分別被稱作第一到第四開(kāi)口。因此，穿過(guò)掩模M線狀激光束順序地穿過(guò)支架開(kāi)口654、第四開(kāi)口 644、第三開(kāi)口 634、第二開(kāi)口 624、第一開(kāi)口 614、圖像形成系統(tǒng)800及設(shè)置于腔室100中的透射窗口 110，且接著到達(dá)襯底S。
[0036]光束切割器910安裝于掩模支撐模塊600上以使得防止從圖像形成系統(tǒng)800反射及散射的激光束入射到掩模支撐模塊600。熱屏蔽部件920安裝于掩模支撐模塊600與光束切割器910之間以使得防止由入射到光束切割器910的激光束產(chǎn)生的熱轉(zhuǎn)移到掩模支撐模塊600。光束切割器910由吸收激光的材料(例如，鋁(Al))形成，且熱屏蔽部件920由具有低導(dǎo)熱性的陶瓷形成。
[0037]更特定來(lái)說(shuō)，光束切割器910及熱屏蔽部件920可安裝于掩模支撐模塊600的基部610及第一到第三平臺(tái)622、632及642中的每一者的下部部分上。也就是說(shuō)，參看圖3，第一熱屏蔽部件921安裝于安置于圖像形成系統(tǒng)800上方的基部610的下部表面上，且第一光束切割器911的至少一部分連接到第一熱屏蔽部件921的下部表面，且與基部610的下部表面間隔開(kāi)。第二熱屏蔽部件922安裝于第一平臺(tái)622的下部表面上，且第二光束切割器912的至少一部分連接到第二熱屏蔽部件922的下部表面，且與第一平臺(tái)622的下部表面間隔開(kāi)。第三熱屏蔽部件923安裝于第二平臺(tái)632的下部表面上，且第三光束切割器913的至少一部分連接到第三熱屏蔽部件923的下部表面，且與第二平臺(tái)632的下部表面間隔開(kāi)。第四熱屏蔽部件924安裝于第三平臺(tái)642的下部表面上，且第四光束切割器914的至少一部分連接到第四熱屏蔽部件924的下部表面，且與第三平臺(tái)642的下部表面間隔開(kāi)。
[0038]圖像形成系統(tǒng)800對(duì)應(yīng)于安置于基部610中的第一開(kāi)口 614的下側(cè)，且第二到第四開(kāi)口 624、634及644對(duì)應(yīng)于第一開(kāi)口 614的上側(cè)。也就是說(shuō)，因?yàn)閳D像形成系統(tǒng)800安置于第一到第四開(kāi)口 614、624、634及644的下側(cè)處，所以從圖像形成系統(tǒng)800反射的大部分激光束被散射到基部610及第一到第三平臺(tái)622、632及642的靠近于第一到第四開(kāi)口 614、624,634及644的相應(yīng)下部區(qū)。因此，第一到第四光束切割器911、912、913及914可分別安裝于基部610及第一到第三平臺(tái)622、632及642的靠近于第一到第四開(kāi)口 614、624、634及644的相應(yīng)下部區(qū)中。
[0039]分別由第一到第四熱屏蔽部件921、922、923及924來(lái)防止由分別發(fā)射到第一到第四光束切割器911、912、913及914的激光束產(chǎn)生的熱轉(zhuǎn)移到基部610及第一到第三平臺(tái)622,632及642。舉例來(lái)說(shuō)，第一到第四熱屏蔽部件921、922、923及924可具有具四邊形橫截面的板形狀及比第一到第四光束切割器911、912、913及914的面積小的面積。然而，第一到第四熱屏蔽部件921、922、923及924可具有各種形狀中的一者及比第一到第四光束切割器911、912、913及914的面積大的面積。
[0040]分別由第一到第四光束切割器911、912、913及914防止從圖像形成系統(tǒng)800反射及散射的激光束入射到基部610及第一到第三平臺(tái)622、632及642。因此，防止基部610及第一到第三平臺(tái)622、632及642因散射激光束而熱變形。第一到第四光束切割器911、912、913及914中的每一者可具有板形狀，且由吸收并反射激光束的材料(例如，鋁(Al))形成。第一到第四光束切割器911、912、913及914分別安裝于基部610及第一到第三平臺(tái)622、632及642上，且對(duì)應(yīng)于其中從圖像形成系統(tǒng)800反射的激光束被散射到掩模支撐模塊600的區(qū)。換句話說(shuō)，第一到第四光束切割器911、912、913及914經(jīng)安裝以對(duì)應(yīng)于基部610及第一到第三平臺(tái)622、632及642的相應(yīng)區(qū)，從圖像形成系統(tǒng)800反射及散射的激光束入射或擴(kuò)散到所述相應(yīng)區(qū)。因此，因?yàn)閺膱D像形成系統(tǒng)800反射且散射到掩模支撐模塊600的激光束入射到第一到第四光束切割器911、912、913及914，所以防止激光束分別直接入射到基部610及第一到第三平臺(tái)622、632及642。
[0041]參看圖4(a)及4(b)，第一到第四光束切割器911、912、913及914具有在其下部部分中具有彼此間隔開(kāi)的多個(gè)突起部910a的形狀，且突起部910a之間的間隙被稱作凹口910b。參看圖4(a)，突起部910a及凹口 910b可具有四邊形橫截面。然而，突起部910a及凹口 910b并不限于此，且因此，可具有各種形狀中的一者。舉例來(lái)說(shuō)，參看圖4(b)，突起部910a可具有寬度向下減少的圓錐形狀，且凹口 910b可具有寬度向上減少的圓錐形狀。
[0042]突起部910a及凹口 910b增加第一到第四光束切割器911、912、913及914的激光束所入射到的相應(yīng)表面積，以使得第一到第四光束切割器911、912、913及914可有效地吸收激光束。在突起部910a或凹口 910b周圍的壁進(jìn)一步使入射的激光束散射，從而擴(kuò)展激光束的路徑以防止激光束直接入射到基部610及第一到第三平臺(tái)622、632及642。
[0043]如上文所描述，第一到第四熱屏蔽部件921、922、923及924安裝于基部61