直立式基板傳送裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本發(fā)明是提供一種基板傳送裝置，尤指一種可有效防止粉塵污染，且具有二階段移動行程的直立式基板傳送裝置。
【背景技術】
[0002]傳統(tǒng)的等離子體系統(tǒng)工藝中，基板一般是利用機械手臂抓取傳送，以及利用載具承載基板再進行傳送等兩種傳送方式。傳統(tǒng)的機械手臂是搭配一組可升降的支撐柱，其缺點為每一個機械手臂僅能抓取一片基板，故較占用系統(tǒng)的機構配置空間，進而導致系統(tǒng)成本的增加。傳統(tǒng)的載具是于裝上基板后，再利用滾輪或推桿驅(qū)動載具，以達到移動基板的功能。然而傳統(tǒng)的載具需留存在工藝腔體內(nèi)，隨著等離子體制備的過程，載具極易因累積粉塵、受熱彎曲變形等因素造成污染，而破壞了載具的預設精度，故大幅增加了載具的維護及建置成本。因此，如何克服傳統(tǒng)基板傳送技術的缺點，以有效降低制造成本并可維持較佳的精密度，即為相關產(chǎn)業(yè)的重點發(fā)展目標之一。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明是提供一種可有效防止粉塵污染，且具有二階段移動行程的直立式基板傳送裝置，以解決上述的問題。
[0004]本發(fā)明的申請專利范圍是揭露一種直立式基板傳送裝置，其包含有一輸送機構、一推進機構以及一動力源。該輸送機構用來輸送一基板。該輸送機構包含有一滾輪以及一限位件。該滾輪是用以承載該基板的一下端，且該限位件限位于該基板的一上端。該推進機構設置于該輸送機構的旁側。該推進機構包含有一基座、至少一夾持單元、一軌道以及推桿。該夾持單元設置于該基座上，用來抓取該基板。該軌道設置于該基座上。該推桿以可滑行方式設置于該軌道內(nèi)，其是用來推動該基板以沿著該滾輪移動。該動力源電連接于該輸送機構與該推進機構。該動力源是驅(qū)動該夾持單元以抓取及松脫該基板，且該動力源另驅(qū)動該滾輪旋轉及該推桿滑行以移動該基板。
[0005]本發(fā)明的申請專利范圍另揭露該限位件是為一被動輪或一擋板。
[0006]本發(fā)明的申請專利范圍另揭露該夾持單元是具有一導引結構，該夾持單元通過該導引結構而抓取該基板。
[0007]本發(fā)明的申請專利范圍另揭露該推進機構另包含有一第一移動單元以及一第二移動單元。該第一移動單元設置于該基座上且電連接于該夾持單元，用以驅(qū)動該夾持單元沿著一第一方向移動。該第二移動單元設置于該基座上且電連接于該夾持單元，用以驅(qū)動該夾持單兀沿著相異該第一方向的一第二方向移動。
[0008]本發(fā)明的申請專利范圍另揭露該推進機構另包含有一轉動單元，設置于該基座上,且電連接于該夾持單元。該轉動單元是驅(qū)動該夾持單元旋轉。
[0009]本發(fā)明的申請專利范圍另揭露該推桿是于該夾持單元未抓取該基板時，推動該基板沿著該輸送機構移動。
[0010]本發(fā)明的申請專利范圍另揭露該直立式基板傳送裝置另包含有一腔體、一卡匣以及至少二儲位槽。該輸送機構、該推進機構與該動力源設置于該腔體。該腔體具有至少一開口。該卡匣以可活動方式設置于該腔體內(nèi)。該儲位槽設置于該卡匣內(nèi)，且該基板設置于該二儲位槽的其中的一儲位槽。該動力源是驅(qū)動該輸送機構與該推進機構，以將該基板自該儲位槽移出該開口。
[0011]本發(fā)明的申請專利范圍另揭露該卡匣電連接于該動力源，且該動力源是驅(qū)動該卡匣相對該腔體移動，以使該至少二儲位槽交替地對齊該開口。
[0012]本發(fā)明的申請專利范圍另揭露該直立式基板傳送裝置應用于等離子體系統(tǒng)的真空鍍膜工藝。
[0013]本發(fā)明的申請專利范圍另揭露該直立式基板傳送裝置是作動于真空環(huán)境。
[0014]本發(fā)明的申請專利范圍另揭露該夾持單元的耐熱溫度范圍實質(zhì)介于攝氏20度到攝氏200度之間。
[0015]本發(fā)明的申請專利范圍另揭露該推進機構以兩段式傳送方式推動該基板。
[0016]本發(fā)明的直立式基板傳送裝置是利用夾持單元抓取基板的側邊，以使基板可穩(wěn)定地沿著滾輪及限位件直立式移動而不致傾倒；本發(fā)明的直立式基板傳送裝置使用單一動力源驅(qū)動卡匣于腔體內(nèi)移動，以提高腔體的基板容載量；本發(fā)明的直立式基板傳送裝置另使用單一動力源驅(qū)動輸送機構及推進機構，使得推進機構可由移動單元與推桿分別執(zhí)行第一階段和第二階段的基板傳送。此外，推進機構具有自適應功能，其是通過導引結構、移動單元與轉動單元來調(diào)整夾持單元的角度及位置，以使夾持單元可自適地相對應基板的擺放角度而調(diào)整，由此精確且緊密地抓取基板。相較先前技術，本發(fā)明具有可減少腔體的行走距離的優(yōu)點，并可有效縮小推進機構的體積以節(jié)省腔體的配置空間，且避免了已知技術因置入載具所導致的污染與清潔維護成本。
【附圖說明】
[0017]為使對本發(fā)明的目的、構造、特征、及其功能有進一步的了解，以下配合實施例及附圖詳細說明如后，其中:
[0018]圖1為本發(fā)明實施例的直立式基板傳送裝置的示意圖。
[0019]圖2為本發(fā)明實施例的驅(qū)動組的示意圖。
[0020]圖3為本發(fā)明實施例的直立式基板傳送裝置執(zhí)行第一階段傳送的側視圖。
[0021]圖4為本發(fā)明實施例的直立式基板傳送裝置執(zhí)行第二階段傳送的側視圖。
【具體實施方式】
[0022]請參閱圖1，圖1為本發(fā)明實施例的一直立式基板傳送裝置10的示意圖。直立式基板傳送裝置10是作動于真空環(huán)境，例如較佳地應用在等離子體系統(tǒng)的高溫真空工藝環(huán)境，用來將一基板12自傳輸腔體移動到工藝腔體。其中基板12為五代以上的大尺寸基板。直立式基板傳送裝置10包含有一腔體14、多個卡匣16以及多個儲位槽18。本發(fā)明具有同時容置多片基板12的功能，舉例來說，直立式基板傳送裝置10可包含有十個卡匣16與二十個儲位槽18，各卡匣16以可活動方式設置于腔體14內(nèi)，每一個卡匣16內(nèi)部是設置有二個儲位槽18A及18B，且每一個儲位槽18可僅裝設一片基板12或同時裝設兩片基板12。因此，直立式基板傳送裝置10的腔體14較佳地可最大同時儲存四十片基板12，以提高工藝的操作效率。其中，卡匣16與儲位槽18的數(shù)量可不限于前述實施例所述，端視設計需求而定，于此不再詳加說明。
[0023]此外，腔體14可具有十個開口 141，開口 141的數(shù)量是對應于卡匣16的數(shù)量。每一個卡匣16可于腔體14內(nèi)移動，以使其儲位槽18A或儲位槽18B交替地對齊各相對應開口 141。當各儲位槽18A對齊相對應開口 141時，儲位槽18B是介于兩相鄰開口 141之間的一位置，意即本發(fā)明的直立式基板傳送裝置10可將十個卡匣16的所有儲位槽16A同時對齊十個開口 141，或移動卡匣16以將所有儲位槽16B同時對齊十個開口 141 (此時儲位槽16A是介于兩相鄰開口 141之間的位置)，故可同時自腔體14內(nèi)最大數(shù)量地移出二十片基板12。
[0024]直立式基板傳送裝置10另可包含有多個驅(qū)動組20，例如二十個驅(qū)動組20。各驅(qū)動組20設置于腔體14內(nèi)，且位于各卡匣16的相對應儲位槽18后，使得多個基板12可分別通過相對應的驅(qū)動組20而自儲位槽18移出相對應開口 141。請參閱圖1與圖2，圖2為本發(fā)明實施例的其中一個驅(qū)動組20的示意圖。驅(qū)動組20包含有至少一個輸送機構22，用來輸送基板12。各個輸送機構22包含有一支架24、至少一滾輪26以及一限位件28。滾輪26設置于支架24，用以承載基板12 ;限位件28設置于支架24的上方，用來限位基板12的一上端。其中滾輪26是為一主動輪，限位件28可選擇為一被動輪或一擋板。
[0025]如圖2所示，驅(qū)動組20另包含有一推進機構30，設置于輸送機構22的旁側。推進機構30包含有一基座32、四個夾持單元34、一軌道36、一推桿38、多個第一移動單元40、一第二移動單元42以及一轉動單元44?；?2可為用來支撐附屬零件的主結構件。各夾持單元34設置于相對應第一移動單元40上，以使第一移動單元40可驅(qū)動夾持單元34沿著一第一方向Dl移動。夾持單元34的耐熱溫度范圍實質(zhì)可介于攝氏20度到攝氏200度之間，以配合等離子體系統(tǒng)的高溫真空工藝環(huán)境。多個夾持單元34及第一移動單元40設置于轉動單元44上,轉動單元44可驅(qū)動夾持單元34沿著一轉動方向R順向或逆向旋轉