變距式芯片取放裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種變距式芯片取放裝置，特別涉及一種適用于移載半導(dǎo)體構(gòu)件的取放裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體封裝測試制程中，常見地需要搬運(yùn)和移載芯片，其大部分都通過所謂“取放裝置”來進(jìn)行。然而，公知的取放裝置大多為單個(gè)取放，即，一次移載單一芯片，這種移載過程比較耗時(shí)、耗能，且制程效率較低。
[0003]雖然公知技術(shù)中也出現(xiàn)有同時(shí)移載多個(gè)芯片的取放裝置，這種裝置用于移載起始處和終點(diǎn)處上各芯片放置處之間的間距一致時(shí)，舉例而言，如欲將芯片自承載盤移載至測試座，而承載盤上各芯片槽的間距與測試座間的間距一致時(shí)，此種機(jī)構(gòu)較為簡單，如美國專利第US6，844，717號(hào)的圖10、圖11和圖12所記載的機(jī)構(gòu)。
[0004]然而，如果面對(duì)移載起始處和終點(diǎn)處上各芯片放置處的間距不一致時(shí)，此時(shí)每一取放裝置則需另外設(shè)置位移機(jī)構(gòu)，即如中國臺(tái)灣第1274880號(hào)專利“應(yīng)用于取放組件的變距式取放裝置”所記載。其中，該篇現(xiàn)有技術(shù)僅提供了單一方向的位移調(diào)整，其主要通過齒輪和齒條的驅(qū)動(dòng)，使一對(duì)取放器在單一方向上相對(duì)于另一對(duì)取放器進(jìn)行靠近或遠(yuǎn)離的移動(dòng)，其間距位移方向受限。據(jù)此，此一現(xiàn)有技術(shù)所公開的內(nèi)容，僅提供了取放器間單一軸向的位移，且其通過齒輪和齒條的配合，運(yùn)轉(zhuǎn)速度較慢。
[0005]由此可知，一種可以提供多個(gè)芯片同時(shí)取放，且可以快速調(diào)整各取放器間兩個(gè)方向上的位移間距的變距式芯片取放裝置實(shí)為目前產(chǎn)業(yè)界所迫切期待。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明的主要目的在于提供一種變距式芯片取放裝置，其能同時(shí)移載多個(gè)芯片，且提供至少兩個(gè)方向上的變距位移。
[0007]為達(dá)成上述目的，本發(fā)明的一種變距式芯片取放裝置，包括固定架、第一取放模塊和第二取放模塊。其中，固定架設(shè)有第一方向位移驅(qū)動(dòng)組件和第二方向位移驅(qū)動(dòng)組件；第一取放模塊耦接于固定架的下表面并可相對(duì)滑移，而第一取放模塊與第一方向位移驅(qū)動(dòng)組件連接并受其驅(qū)動(dòng)沿第一方向滑移；另外，第二取放模塊耦接于固定架的下表面并可相對(duì)滑移，而第二取放模塊與第二方向位移驅(qū)動(dòng)組件連接并受其驅(qū)動(dòng)沿第二方向滑移。
[0008]由上可知，本發(fā)明可通過第一方向位移驅(qū)動(dòng)組件來驅(qū)動(dòng)第一取放模塊沿第一方向進(jìn)行往復(fù)位移，并且通過第二方向位移驅(qū)動(dòng)組件來驅(qū)動(dòng)第二取放模塊沿第二方向進(jìn)行往復(fù)位移。據(jù)此，本發(fā)明可以提供取放模塊于至少兩個(gè)方向的位移，借此形成變距取放的功效。
[0009]優(yōu)選的是，本發(fā)明還可以包括第三取放模塊以及第四取放模塊。其中，第三取放模塊可固設(shè)于固定架的下表面；第四取放模塊耦接于固定架的下表面并可相對(duì)滑移，且第四取放模塊可分別與第一方向位移驅(qū)動(dòng)組件和第二方向位移驅(qū)動(dòng)組件連接，并受其驅(qū)動(dòng)分別沿第一方向和第二方向滑移。換言之，本發(fā)明可彈性地添加其它固定或活動(dòng)的取放模塊，其中第四取放模塊可以隨著第一取放模塊同步于第一方向滑移，且可以隨著第二取放模塊同步于第二方向滑移。
[0010]再者，本發(fā)明還可包括第一方向滑塊和第二方向滑塊，其可分別耦接于固定架的下表面，并分別與第一方向位移驅(qū)動(dòng)組件和第二方向位移驅(qū)動(dòng)組件連接。其中，第一取放模塊可組設(shè)于第一方向滑塊，而第二取放模塊可組設(shè)于第二方向滑塊。據(jù)此，本發(fā)明的第一取放模塊和第二取放模塊可分別通過第一方向滑塊和第二方向滑塊而滑動(dòng)于固定架的下方。
[0011]另外，本發(fā)明的第一方向位移驅(qū)動(dòng)組件和第二方向位移驅(qū)動(dòng)組件可分別包括驅(qū)動(dòng)馬達(dá)、皮帶以及滾輪。其中，所述驅(qū)動(dòng)馬達(dá)與所述滾輪可分別沿著第一方向以及第二方向而相對(duì)應(yīng)地設(shè)置于固定架上，而所述皮帶可分別套設(shè)于所述驅(qū)動(dòng)馬達(dá)和滾輪之間。據(jù)此，本發(fā)明可以通過皮帶輪組的方式來驅(qū)動(dòng)取放模塊沿第一方向以及第二方向進(jìn)行位移。但是，本發(fā)明的第一方向位移驅(qū)動(dòng)組件以及第二方向位移驅(qū)動(dòng)組件并不以皮帶輪組為限，其它諸如氣壓缸組、螺桿組、齒輪組、線性致動(dòng)器組、或其它等效驅(qū)動(dòng)手段均可適用于本發(fā)明。
[0012]再者，本發(fā)明還可包括第一連接臂以及第二連接臂。其中，第一連接臂的一端可固接于第一方向滑塊，另一端固接于第一方向位移驅(qū)動(dòng)組件的皮帶；而第二連接臂的一端固接于第二方向滑塊，另一端固接于第二方向位移驅(qū)動(dòng)組件的皮帶。據(jù)此，本發(fā)明可以藉由連接臂來連接方向滑塊與方向位移驅(qū)動(dòng)組件，以此構(gòu)成連動(dòng)。
[0013]又，本發(fā)明的第四取放模塊可與第一方向滑塊連接并耦接于第二方向滑塊的下方；當(dāng)?shù)谒娜》拍K受第一方向滑塊的帶動(dòng)時(shí)，可相對(duì)于第二方向滑塊沿著第一方向滑移。此外，本發(fā)明還可包括滑板，其可耦接于第二方向滑塊的下方，而第四取放模塊可組設(shè)于滑板，且滑板可相對(duì)于第二方向滑塊沿著第一方向滑移。
[0014]此外，本發(fā)明的第四取放模塊可通過導(dǎo)軌以及導(dǎo)塊與第一方向滑塊連接，而導(dǎo)軌沿著第二方向固接至第一方向滑塊，導(dǎo)塊耦合于導(dǎo)軌并固接至滑板。據(jù)此，本發(fā)明的第四取放模塊可以受導(dǎo)軌和導(dǎo)塊的導(dǎo)引，隨著第二方向滑塊連動(dòng)而沿第二方向滑移。
[0015]而且，本發(fā)明的第三取放模塊、第一取放模塊、第二取放模塊以及第四取放模塊可分別包括吸嘴和升降組件，而升降組件可驅(qū)使吸嘴上升或下降。此外，升降組件可為氣壓缸組件、馬達(dá)升降組件或其等效升降組件。較優(yōu)選的是，本發(fā)明的每個(gè)升降組件可包括升降馬達(dá)、連接構(gòu)件以及升降滑塊，而升降馬達(dá)可驅(qū)動(dòng)連接構(gòu)件而帶動(dòng)升降滑塊上升或下降。至于本發(fā)明的連接構(gòu)件，可為皮帶輪組、導(dǎo)螺桿組、齒輪組或其它等效的傳動(dòng)構(gòu)件。
【附圖說明】
[0016]圖1A為本發(fā)明一較優(yōu)選實(shí)施例的四個(gè)取放模塊在分離狀態(tài)時(shí)的立體圖。
[0017]圖1B為本發(fā)明一較優(yōu)選實(shí)施例的四個(gè)取放模塊在分離狀態(tài)時(shí)另一角度的立體圖。
[0018]圖1C為本發(fā)明一較優(yōu)選實(shí)施例的四個(gè)取放模塊在分離狀態(tài)時(shí)的仰視圖。
[0019]圖2A為本發(fā)明一較優(yōu)選實(shí)施例的第一、第四取放模塊分別鄰接于第三、第二取放模塊時(shí)的立體圖。
[0020]圖2B為本發(fā)明一較優(yōu)選實(shí)施例的第一、第四取放模塊分別鄰接于第三、第二取放模塊時(shí)另一角度的立體圖。
[0021]圖3A為本發(fā)明一較優(yōu)選實(shí)施例的四個(gè)取放模塊在聚集狀態(tài)時(shí)的立體圖。
[0022]圖3B為本發(fā)明一較優(yōu)選實(shí)施例的四個(gè)取放模塊在聚集狀態(tài)時(shí)的仰視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0023]本發(fā)明變距式芯片取放裝置在本實(shí)施例中進(jìn)行詳細(xì)描述之前，要特別注意的是，以下的說明中，類似的組件將以相同的組件符號(hào)來表示。
[0024]請(qǐng)同時(shí)參閱圖1A、圖1B以及圖1C，圖1A為本發(fā)明變距式芯片取放裝置一較優(yōu)選實(shí)施例的四個(gè)取放模塊在分離狀態(tài)時(shí)的立體圖，圖1B為本發(fā)明變距式芯片取放裝置一較優(yōu)選實(shí)施例的四個(gè)取放模塊在分離狀態(tài)時(shí)另一角度的立體圖，圖1C為本發(fā)明變距式芯片取放裝置一較優(yōu)選實(shí)施例的四個(gè)取放模塊在分離狀態(tài)時(shí)的仰視圖。
[0025]如圖中所示，本實(shí)施例的變距式芯片取放裝置主要包括固定架2以及四個(gè)取放模塊，其分別為第一取放模塊4、第二取放模塊5、第三取放模塊3以及第四取放模塊6。其中，固定架2上方設(shè)置有第一方向位移驅(qū)動(dòng)組件22和第二方向位移驅(qū)動(dòng)組件23，其為馬達(dá)皮帶輪組，其分別包括驅(qū)動(dòng)馬達(dá)221、231，皮帶222、232以及滾輪223、233。所述驅(qū)動(dòng)馬達(dá)221、231與所述滾輪223、233分別沿著第一方向X以及第二方向Y而相對(duì)應(yīng)地設(shè)置于固定架2上，而所述皮帶222、232分別套設(shè)于所述驅(qū)動(dòng)馬達(dá)221、231與所述滾輪223、233之間。雖然本實(shí)施例是使用馬達(dá)皮帶輪組來作為驅(qū)動(dòng)源，但本發(fā)明并不以此為限，其它諸如氣壓缸組、螺桿組、齒輪組、線性致動(dòng)器組或其它等效驅(qū)動(dòng)手段均可適用于本發(fā)明。
[0026]再者，第三取放模塊3固設(shè)于固定架2的下表面的一隅,而第一取放模塊4、第二取放模塊5以及第四取放模塊6是分別耦接于固定架2的下表面的其它三隅并可相對(duì)滑移。其中，如圖所示，第一取放模塊4和第二取放模塊5分別通過第一方向滑塊41以及第二方向滑塊51耦接于該固定架2的下表面，而第一方向滑塊41以及第二方向滑塊51可通過滑軌及滑槽的導(dǎo)引而沿著第一方向X以及第二方向Y滑移。
[0027]另外，圖中還顯示有第一連接臂42以及第二連接臂52。其中，第一連接臂42的一端固接于第一方向滑塊41，而另一端固接于第一方向位移驅(qū)動(dòng)組件22的皮帶222;此外，第二連接臂52的一端固接于第二方向滑塊51，另一端則固接于第二方向位移驅(qū)動(dòng)組件23的皮帶232。換言之，本實(shí)施例通過第一連接臂42以及第二連接臂52使第一方向滑塊41以及第二方向