一種帶有自動(dòng)檢測(cè)裝置的飛秒激光器的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于激光器領(lǐng)域，尤其涉及一種帶有自動(dòng)檢測(cè)裝置的飛秒激光器。
【背景技術(shù)】
[0002]飛秒是一種時(shí)間單位，I飛秒只有I秒的一千萬(wàn)億分之一，即Ie 15秒或0.001皮秒(I皮秒是，Ie 12秒)。飛秒激光是一種以脈沖形式運(yùn)轉(zhuǎn)的激光，飛秒激光器對(duì)時(shí)間的分辨率可以達(dá)到飛秒的程度，它的脈沖幾乎可以切割任何物品，包括金屬、炸藥、氣溶膠、陶瓷和鉆石。飛秒激光器的切割過(guò)程只有接近于零的熱量被傳遞給被切割的材料，基本上沒(méi)有廢料的產(chǎn)生，開(kāi)創(chuàng)了材料超精細(xì)、低損傷和空間三維加工處理的新領(lǐng)域，而且應(yīng)用越來(lái)越廣泛。目前，市面上使用的飛秒激光器只是單純用于材料加工，并不具備自動(dòng)檢測(cè)裝置，材料加工完畢后還需要通過(guò)其它檢測(cè)裝置或人工手段進(jìn)行檢測(cè)，產(chǎn)品加工效率低。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明針對(duì)上述技術(shù)問(wèn)題，提供了一種產(chǎn)品加工效率高并且?guī)в凶詣?dòng)檢測(cè)裝置的飛秒激光器。
[0004]為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明提供了一種帶有自動(dòng)檢測(cè)裝置的飛秒激光器，包括激光器殼體、光學(xué)諧振腔，所述光學(xué)諧振腔固定于所述激光器殼體的一端，其特征在于:所述激光器殼體的內(nèi)部還固定有光源、折光塊、光軸漂移校正器、光闌、分束鏡、激光放大器、聚焦透鏡A、倍頻晶體、激光輸出耦合鏡、聚焦透鏡B、反射鏡A、擴(kuò)束器、薄透鏡、反射鏡
B、轉(zhuǎn)向棱鏡、聚焦透鏡C、聚焦透鏡D、激光接收器、發(fā)射計(jì)時(shí)器、接收計(jì)時(shí)器，所述激光器殼體的外部設(shè)置有工件運(yùn)輸導(dǎo)軌，所述工件運(yùn)輸導(dǎo)軌上設(shè)置有工件固定夾、工件加工位、工件檢測(cè)位，所述光源位于所述激光器殼體的一側(cè)并且光源與光學(xué)諧振腔平行設(shè)置，所述折光塊固定于所述光源、光學(xué)諧振腔的同一側(cè)，所述光學(xué)諧振腔的兩側(cè)分別固定有全反鏡、半反鏡，所述光軸漂移校正器內(nèi)的中軸線上依次固定有180度反射棱鏡A、光強(qiáng)變換器、光軸漂移校正透鏡、180度反射棱鏡B，所述光軸漂移校正器包括光軸漂移校正器A、光軸漂移校正器B，所述光闌、分束鏡、激光放大器、聚焦透鏡A、倍頻晶體、激光輸出耦合鏡、聚焦透鏡B、反射鏡A、光軸漂移校正器A、擴(kuò)束器依次固定于所述光學(xué)諧振腔的半反鏡側(cè)，所述擴(kuò)束器與所述工件加工位相對(duì)應(yīng)，所述薄透鏡、反射鏡B、轉(zhuǎn)向棱鏡、光軸漂移校正器B、聚焦透鏡
C、聚焦透鏡D、激光接收器依次固定于所述分束鏡的一側(cè)，所述聚焦透鏡C、聚焦透鏡D以工件檢測(cè)位的中軸線為對(duì)稱軸設(shè)置，所述發(fā)射計(jì)時(shí)器與光源相連，所述接收計(jì)時(shí)器與所述激光接收器相連。
[0005]所述光闌、分束鏡、激光放大器、聚焦透鏡A、倍頻晶體、激光輸出耦合鏡、聚焦透鏡B的中心、反射鏡A的鏡面中心均在同一軸線上，所述聚焦透鏡B、光軸漂移校正器A以反射鏡A的垂線為對(duì)稱軸對(duì)稱設(shè)置。
[0006]所述分束鏡的中心、薄透鏡的中心、反射鏡B的鏡面中心均在同一中軸線上，所述聚焦透鏡D、激光接收器的中心均在同一軸線上。
[0007]所述反射鏡A、反射鏡B為正八面鏡。
[0008]本發(fā)明的有益效果為:
1、本發(fā)明中激光器殼體的外部設(shè)置有工件運(yùn)輸導(dǎo)軌，工件運(yùn)輸導(dǎo)軌上設(shè)置有工件固定夾、工件加工位、工件檢測(cè)位，工件固定夾將待加工工件固定于工件運(yùn)輸導(dǎo)軌上并帶動(dòng)工件在工件運(yùn)輸導(dǎo)軌上運(yùn)動(dòng)，工件處于工件加工位上時(shí)，利用激光束對(duì)工件進(jìn)行加工，工件處于工件檢測(cè)位上時(shí)，利用激光束對(duì)工件自動(dòng)進(jìn)行加工精度檢測(cè)，產(chǎn)品加工效率高；
2、光源位于激光器殼體的一側(cè)并且光源與光學(xué)諧振腔平行設(shè)置，折光塊固定于光源、光學(xué)諧振腔的同一側(cè)，光學(xué)諧振腔的兩側(cè)分別固定有全反鏡、半反鏡，折光塊對(duì)光源發(fā)出的光子反射入光學(xué)諧振腔中，光子經(jīng)過(guò)全反鏡、半反鏡的反射在光學(xué)諧振腔內(nèi)不斷往返振蕩，最終發(fā)射出激光束；
3、光軸漂移校正器內(nèi)的中軸線上依次固定有180度反射棱鏡A、光強(qiáng)變換器、光軸漂移校正透鏡、180度反射棱鏡B，180度反射棱鏡A、180度反射棱鏡B將激光束反向180度，光強(qiáng)變換器起到調(diào)節(jié)光強(qiáng)的作用，光軸漂移校正透鏡對(duì)激光軸進(jìn)行校正，方向性好；
4、光軸漂移校正器包括光軸漂移校正器A、光軸漂移校正器B，兩個(gè)光軸漂移校正器分別對(duì)折射激光束和反射激光束進(jìn)行校正，減小誤差，工件加工和檢測(cè)的精度高；
5、增設(shè)了光闌，通過(guò)光闌調(diào)節(jié)激光束的大小，以適用于加工工件的不同部位，加工范圍廣；
6、分束鏡，分束鏡將激光束分為折射激光束和反射激光束，折射激光束用于加工工件，反射激光束用于檢測(cè)工件的加工效果，使用同一光源進(jìn)行檢測(cè)和加工，結(jié)構(gòu)新穎；
7、增設(shè)了激光放大器、倍頻晶體、反射鏡A、擴(kuò)束器依次固定于光學(xué)諧振腔的半反鏡側(cè)，擴(kuò)束器與工件加工位相對(duì)應(yīng)，激光放大器對(duì)激光束實(shí)施放大作用，激光束能量初次提高，倍頻晶體對(duì)激光束產(chǎn)生倍頻效應(yīng)，激光束的能量得到了二次提高，為材料加工提供瞬時(shí)超高功率，材料加工速度快；
8、聚焦透鏡A、聚焦透鏡B對(duì)激光束實(shí)施聚焦作用，激光輸出耦合鏡將兩束不同頻率的激光匯集成平行激光束，反射鏡A、反射鏡B對(duì)激光束實(shí)施反射作用,減小激光器體積；
9、擴(kuò)束器用于擴(kuò)大激光光束的寬度，便于工件加工；
10、轉(zhuǎn)向棱鏡用于調(diào)整激光束的射出角度，以適應(yīng)加工需要，減小激光器體積；
11、聚焦透鏡C將激光束聚焦到工件檢測(cè)位上待檢測(cè)工件，聚焦透鏡D將從待檢測(cè)工件反射出的反射光線聚焦到激光接收器上；
12、發(fā)射計(jì)時(shí)器與光源相連，接收計(jì)時(shí)器與激光接收器相連，發(fā)射計(jì)時(shí)器對(duì)檢測(cè)光線發(fā)射時(shí)間進(jìn)行計(jì)時(shí)，接收計(jì)時(shí)器對(duì)檢測(cè)光線接收時(shí)間進(jìn)行計(jì)時(shí)，用于檢測(cè)工件上開(kāi)設(shè)的溝、槽、孔的標(biāo)準(zhǔn)度，檢測(cè)精度高；
13、光闌、分束鏡、激光放大器、聚焦透鏡A、倍頻晶體、激光輸出耦合鏡、聚焦透鏡B的中心、反射鏡A的鏡面中心均在同一軸線上，聚焦透鏡B、光軸漂移校正器A以反射鏡A的垂線為對(duì)稱軸對(duì)稱設(shè)置，分束鏡的中心、薄透鏡的中心、反射鏡B的鏡面中心均在同一軸線上，聚焦透鏡D、激光接收器的中心均在同一軸線上，激光束傳輸光路暢通，激光束相干性好、方向性好。
[0009]14、反射鏡A、反射鏡B為正八面鏡，當(dāng)反射鏡A、反射鏡B的一面受損后，其它面還可以繼續(xù)使用，并且入射激光束和反射激光束的角度始終保持在45 °，使用壽命長(zhǎng)。
【附圖說(shuō)明】
[0010]圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0011]下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步說(shuō)明:
圖中，1-激光器殼體，2-光學(xué)諧振腔,3-光源,4-折光塊,5-光闌,6-分束鏡,7-激光放大器，8-聚焦透鏡A，9-倍頻晶體，10-激光輸出耦合鏡，11-聚焦透鏡B，12-反射鏡A，13-擴(kuò)束器，14-薄透鏡，15-反射鏡B，16-轉(zhuǎn)向棱鏡，17-聚焦透鏡C，18-聚焦透鏡D，19-激光接收器，20-發(fā)射計(jì)時(shí)器，21-接收計(jì)時(shí)器，22-工件運(yùn)輸導(dǎo)軌，23-工件固定夾，24-工件加工位，25-工件檢測(cè)位，26-全反鏡，27-半反鏡，28-光軸漂移校正器，29-180度反射棱鏡A，30-光強(qiáng)變換器，31-光軸漂移校正透鏡，32-180度反射棱鏡B，33-光軸漂移校正器A，34-光軸漂移校正器B。
實(shí)施例
[0012]如圖1所示，一種帶有自動(dòng)檢測(cè)裝置的飛秒激光器，包括激光器殼體1、光學(xué)諧振腔2,