片的轉(zhuǎn)速為2140rpm、風(fēng)量為1.3m3/分鐘的條件 下，對(duì)該軟磁性顆粒粉末送風(fēng)、將重量輕的顆粒吹跑、收集重量大的顆粒，由此得到實(shí)施例1 的軟磁性顆粒粉末。
[0142] 該實(shí)施例1的軟磁性顆粒粉末的粒徑D1Q和D5Q的測(cè)定通過(guò)激光衍射式的粒度分布 測(cè)定器(Sympatec公司制造、HEL0S&R0D0S)來(lái)實(shí)施。將其結(jié)果示于表1。
[0143] (軟磁性薄膜）
[0144] 接著，通過(guò)以軟磁性樹(shù)脂組合物中的軟磁性顆粒的含有比率（固體成分）為60體 積％的方式混合實(shí)施例1的軟磁性顆粒粉末900質(zhì)量份(90質(zhì)量％ )、丙烯酸酯類聚合物50質(zhì) 量份、雙酸A型環(huán)氧樹(shù)脂（1)20質(zhì)量份、雙酚A型環(huán)氧樹(shù)脂(2)12質(zhì)量份、苯酚芳烷基樹(shù)脂18質(zhì) 量份和熱固化催化劑0.5質(zhì)量份，從而得到軟磁性樹(shù)脂組合物。
[0145] 通過(guò)將該軟磁性樹(shù)脂組合物溶解于甲乙酮而制得固體成分濃度12質(zhì)量％的軟磁 性樹(shù)脂組合物溶液。
[0146] 使用涂膜機(jī)將該軟磁性樹(shù)脂組合物溶液涂布在經(jīng)有機(jī)硅脫模處理的由聚對(duì)苯二 甲酸乙二醇酯薄膜形成的隔離體(平均厚度為50μπι)上，然后，在130Γ下干燥2分鐘。
[0147] 由此，制得層疊有隔離體的半固化狀態(tài)的軟磁性薄膜(軟磁性薄膜單獨(dú)的平均厚 度為 35μπι)。
[0148] 制造2張?jiān)撥洿判员∧?半固化狀態(tài)），將這些軟磁性薄膜(除去隔離體)層疊。將該 2張經(jīng)層疊的軟磁性薄膜在10010^、175°(：、30分鐘的條件下熱壓，從而制得厚度6(^111的軟磁 性薄膜(固化狀態(tài)）。
[0149] 實(shí)施例2
[0150] 在干式分級(jí)器中，變更至旋轉(zhuǎn)葉片的轉(zhuǎn)速為1700rpm、風(fēng)量為1.5m3/分鐘的條件， 除此之外與實(shí)施例1同樣地進(jìn)行分級(jí)，得到實(shí)施例2的軟磁性顆粒粉末。使用該實(shí)施例2的軟 磁性顆粒粉末，除此之外與實(shí)施例1同樣進(jìn)行，制得軟磁性薄膜。該結(jié)果示于表1。
[0151] 實(shí)施例3
[0152] 在干式分級(jí)器中，變更至旋轉(zhuǎn)葉片的轉(zhuǎn)速為1190rpm、風(fēng)量為1.2m3/分鐘的條件， 除此之外與實(shí)施例1同樣地進(jìn)行分級(jí)，得到實(shí)施例3的軟磁性顆粒粉末。使用該實(shí)施例3的軟 磁性顆粒粉末，除此之外與實(shí)施例1同樣進(jìn)行，制得軟磁性薄膜。該結(jié)果示于表1。
[0153] 實(shí)施例4
[0154] 在干式分級(jí)器中，變更至旋轉(zhuǎn)葉片的轉(zhuǎn)速為850rpm、風(fēng)量為1.4m3/分鐘的條件，除 此之外與實(shí)施例1同樣地進(jìn)行分級(jí)，得到實(shí)施例4的軟磁性顆粒粉末。使用該實(shí)施例4的軟磁 性顆粒粉末，除此之外與實(shí)施例1同樣進(jìn)行，制得軟磁性薄膜。該結(jié)果示于表1。
[0155] 實(shí)施例5
[0156] 在干式分級(jí)器中，變更至旋轉(zhuǎn)葉片的轉(zhuǎn)速為2500rpm、風(fēng)量為1.4m3/分鐘的條件， 除此之外與實(shí)施例1同樣地進(jìn)行分級(jí)，得到實(shí)施例5的軟磁性顆粒粉末。使用該實(shí)施例5的軟 磁性顆粒粉末，除此之外與實(shí)施例1同樣進(jìn)行，制得軟磁性薄膜。該結(jié)果示于表1。
[0157] 實(shí)施例6
[0158] 作為扁平狀的軟磁性顆粒，使用鐵硅鋁合金(Fe-Si-Al合金、商品名"FME3DH"、扁 平狀、真比重6.8g/cm 3、山陽(yáng)特殊制鋼株式會(huì)社制造），在干式分級(jí)器中，變更至旋轉(zhuǎn)葉片的 轉(zhuǎn)速為2900rpm、風(fēng)量為1.4m3/分鐘的條件，除此之外與實(shí)施例1同樣地進(jìn)行分級(jí)，得到實(shí)施 例6的軟磁性顆粒粉末。使用該實(shí)施例6的軟磁性顆粒粉末，除此之外與實(shí)施例1同樣進(jìn)行， 制得軟磁性薄膜。該結(jié)果示于表1。
[0159] 實(shí)施例7
[0160] 在干式分級(jí)器中，變更至旋轉(zhuǎn)葉片的轉(zhuǎn)速為2750rpm、風(fēng)量為1.3m3/分鐘的條件， 除此之外與實(shí)施例6同樣地進(jìn)行分級(jí)，得到實(shí)施例7的軟磁性顆粒粉末。使用該實(shí)施例7的軟 磁性顆粒粉末，除此之外與實(shí)施例1同樣進(jìn)行，制得軟磁性薄膜。該結(jié)果示于表1。
[0161] 比較例1
[0162] 在干式分級(jí)器中，變更至旋轉(zhuǎn)葉片的轉(zhuǎn)速為1850rpm、風(fēng)量為1.5m3/分鐘的條件， 采取重量輕的顆粒，除此之外與實(shí)施例1同樣地進(jìn)行分級(jí)，得到比較例1的軟磁性顆粒粉末。 使用該比較例1的軟磁性顆粒粉末，除此之外與實(shí)施例垌樣進(jìn)行，制得軟磁性薄膜。該結(jié)果 示于表1o
[0163] 比較例2
[0164] 在干式分級(jí)器中，變更至旋轉(zhuǎn)葉片的轉(zhuǎn)速為2800rpm、風(fēng)量為I. Im3/分鐘的條件， 除此之外與實(shí)施例1同樣地進(jìn)行分級(jí)，得到比較例2的軟磁性顆粒粉末。使用該比較例2的軟 磁性顆粒粉末，除此之外與實(shí)施例1同樣進(jìn)行，制得軟磁性薄膜。該結(jié)果示于表1。
[0165] (成膜性）
[0166] 在各實(shí)施例和各比較例中，在涂布軟磁性樹(shù)脂組合物制造軟磁性薄膜時(shí)，將能夠 成膜為薄膜狀且薄膜表面均勻的情況評(píng)價(jià)為?，將雖然能夠成膜為薄膜狀但薄膜表面不均 勻的情況評(píng)價(jià)為Λ，將未能成膜為薄膜狀的情況評(píng)價(jià)為X。該結(jié)果示于表1。
[0167] (相對(duì)磁導(dǎo)率）
[0168] 各實(shí)施例和各比較例中制得的軟磁性薄膜的相對(duì)磁導(dǎo)率通過(guò)使用阻抗分析儀 (Agilent公司制造、商品編號(hào)"4294Α"）測(cè)定IMHz的阻抗來(lái)求出。該結(jié)果示于表1。
[0169] [表 1]
[0170] 【表1】
[0172] 需要說(shuō)明的是，實(shí)施例和比較例中的各成分使用下述材料。
[0173] ?丙烯酸酯類聚合物:商品名"Paracron W-197CM"、以丙烯酸乙酯-甲基丙烯酸甲 酯為主要成分的丙烯酸酯類聚合物、根上工業(yè)株式會(huì)社制造
[0174] ?雙酚A型環(huán)氧樹(shù)脂（1):商品名"ΕΡΙΚ0ΤΕ 1004"、環(huán)氧當(dāng)量875~975g/eq、JER株 式會(huì)社制造
[0175] ?雙酚A型環(huán)氧樹(shù)脂（2):商品名"EPIKOTE YL980"、環(huán)氧當(dāng)量180~190g/eq、JER株 式會(huì)社制造
[0176] ?苯酚芳烷基樹(shù)脂：商品名"MILEX XLC-4L"、羥基當(dāng)量170g/eq、三井化學(xué)株式會(huì) 社制造
[0177] ?熱固化催化劑:商品名"Curezol 2PHZ-PW"、2_苯基-IH-咪唑-4,5-二甲醇、四國(guó) 化成株式會(huì)社制造
[0178]需要說(shuō)明的是，雖然以本發(fā)明的例示的實(shí)施方式的形式提供了上述技術(shù)方案，但 這僅僅是單純的例示，不應(yīng)做限定性解釋。該技術(shù)領(lǐng)域的所屬領(lǐng)域技術(shù)人員所清楚的本發(fā) 明的變形例包括在權(quán)利要求的保護(hù)范圍內(nèi)。
[0179] 產(chǎn)業(yè)上的可利用性
[0180] 本發(fā)明的軟磁性顆粒粉末、軟磁性樹(shù)脂組合物、軟磁性薄膜、軟磁性薄膜層疊電路 基板和位置檢測(cè)裝置能夠應(yīng)用于各種工業(yè)產(chǎn)品。例如本發(fā)明的軟磁性顆粒粉末、軟磁性樹(shù) 脂組合物、軟磁性薄膜和軟磁性薄膜層疊電路基板能夠用于位置檢測(cè)裝置等，本發(fā)明的位 置檢測(cè)裝置能夠用于例如智能手機(jī)、平板電腦等便攜式終端、例如數(shù)字化儀等。
[0181] 附圖標(biāo)記說(shuō)明
[0182] 1軟磁性薄膜
[0183] 2電路基板
[0184] 6樹(shù)脂成分
[0185] 7軟磁性顆粒
[0186] 8軟磁性薄膜層疊電路基板
【主權(quán)項(xiàng)】
1. 一種軟磁性顆粒粉末，其特征在于，其為包含扁平狀的軟磁性顆粒的軟磁性顆粒粉 末， 通過(guò)激光衍射式粒度分布測(cè)定器測(cè)定的粒徑D1Q和粒徑D5Q滿足下式:D1Q/D 5Q>0.30。2. -種軟磁性樹(shù)脂組合物，其特征在于，其含有軟磁性顆粒粉末和樹(shù)脂成分，所述軟磁 性顆粒粉末包含扁平狀的軟磁性顆粒且通過(guò)激光衍射式粒度分布測(cè)定器測(cè)定的粒徑D 1〇和 粒徑 D5q 滿足下式:D1()/D5()>0.30。3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的軟磁性樹(shù)脂組合物，其特征在于，所述樹(shù)脂成分含有環(huán)氧樹(shù) 月旨、酚醛樹(shù)脂和丙烯酸類樹(shù)脂。4. 一種軟磁性薄膜，其特征在于，其由含有軟磁性顆粒粉末和樹(shù)脂成分的軟磁性樹(shù)脂 組合物形成，所述軟磁性顆粒粉末包含扁平狀的軟磁性顆粒且通過(guò)激光衍射式粒度分布測(cè) 定器測(cè)定的粒徑D 1Q和粒徑D5q滿足下式:D1Q/D5()>0.30。5. -種軟磁性薄膜層疊電路基板，其特征在于，其通過(guò)將軟磁性薄膜層疊于電路基板 而得到，所述軟磁性薄膜由含有軟磁性顆粒粉末和樹(shù)脂成分的軟磁性樹(shù)脂組合物形成，所 述軟磁性顆粒粉末包含扁平狀的軟磁性顆粒且通過(guò)激光衍射式粒度分布測(cè)定器測(cè)定的粒 徑D 1Q和粒徑D5Q滿足下式:D1Q/D5Q>0.30。6. -種位置檢測(cè)裝置，其特征在于，其具備軟磁性薄膜層疊電路基板，所述軟磁性薄膜 層疊電路基板通過(guò)將軟磁性薄膜層疊于電路基板而得到，所述軟磁性薄膜由含有軟磁性顆 粒粉末和樹(shù)脂成分的軟磁性樹(shù)脂組合物形成，所述軟磁性顆粒粉末包含扁平狀的軟磁性顆 粒且通過(guò)激光衍射式粒度分布測(cè)定器測(cè)定的粒徑D 1Q和粒徑D5Q滿足下式:D1Q/D5Q>0.30。
【專利摘要】一種軟磁性顆粒粉末，其為包含扁平狀的軟磁性顆粒的軟磁性顆粒粉末，通過(guò)激光衍射式粒度分布測(cè)定器測(cè)定的粒徑D10和粒徑D50滿足下式：D10/D50>0.30。
【IPC分類】B22F3/02, H01F1/26, H05K9/00, H05K3/28, B22F1/00, H01F1/147
【公開(kāi)號(hào)】CN105593953
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201480054812
【發(fā)明人】増?zhí)飳⑻? 江部宏史, 土生剛志, 松富亮人
【申請(qǐng)人】日東電工株式會(huì)社
【公開(kāi)日】2016年5月18日
【申請(qǐng)日】2014年9月18日
【公告號(hào)】WO2015049993A1