26、兩個(gè)第一氣體輸出孔27及兩個(gè)第二氣體輸出孔28。兩個(gè)第一氣體輸入孔25及兩個(gè)第一氣體輸出孔27用以提供該晶圓傳送盒10的氣體循環(huán)；兩個(gè)第二氣體輸入孔26及兩個(gè)第二氣體輸出孔28用以提供該晶圓盒70的氣體循環(huán)。所述氣體輸入孔25、26連接氣體供給裝置，以輸入氣體，例如氮?dú)狻?br>[0079]圖4顯示本實(shí)用新型的晶圓傳送盒的氣體傳遞裝置及氣體傳輸裝置的一實(shí)施例的示意圖；圖5顯示本實(shí)用新型的晶圓傳送盒的氣體傳輸裝置的一實(shí)施例的放大示意圖。配合參考圖2、圖3、圖4及圖5，該晶圓傳送盒10還包括多個(gè)氣體傳遞裝置11，連通該盒體20的所述第一氣體輸入孔25。在一實(shí)施例中，該晶圓傳送盒10包括兩個(gè)氣體傳遞裝置11，連通該盒體20的兩個(gè)第一氣體輸入孔25。該氣體傳遞裝置11可為一多孔性管，使氣體由該多孔性管的外側(cè)面輸出。該承載座30具有多個(gè)孔洞33、34，貫穿該承載座30的上下表面，使得該晶圓傳送盒10內(nèi)的氣體得以流通。該多孔性管的外側(cè)面輸出的氣體，可經(jīng)由所述孔洞33、34，由所述第一氣體輸出孔27排出。因此，在傳送時(shí)，本實(shí)用新型的晶圓傳送盒10內(nèi)的氣體可流通循環(huán)，以控制本實(shí)用新型的晶圓傳送盒10內(nèi)的溫度及濕度。
[0080]該晶圓傳送盒10還包括多個(gè)氣體傳輸裝置12，連通該晶圓盒70的氣體輸入口 71及該盒體20的所述第二氣體輸入孔26，使得所述第二氣體輸入孔26輸入的氣體可輸入至該晶圓盒70內(nèi)，且該晶圓盒70排出的氣體可由第二氣體輸出孔28排出。因此，在傳送時(shí)，該晶圓盒70內(nèi)的氣體可流通循環(huán)，以控制該晶圓盒70內(nèi)的溫度、濕度或特殊氣體含量。
[0081]該氣體傳輸裝置12包括一第一傳輸管121、多個(gè)第二間隔件122及一第一墊圈123。該第一傳輸管121連通該晶圓盒70的氣體輸入口 71及該盒體20的所述第二氣體輸入孔26。所述第二間隔件122及該第一墊圈123設(shè)置于該盒體20的所述第二氣體輸入孔26夕卜，形成一通氣空間，部分該第一傳輸管121設(shè)置于該通氣空間，且該第一傳輸管121與該第二氣體輸入孔26間具有一空隙124，以提供該氣體傳輸裝置12的避震緩沖。該第一墊圈123可為硅膠材料，亦具有相當(dāng)?shù)膹椥浴?br>[0082]該氣體供給裝置13連接所述第二氣體輸入孔26，該氣體供給裝置13包括多個(gè)第二墊圈131、多個(gè)第二傳輸管132及一管路133。所述第二墊圈131設(shè)置于所述第二氣體輸入孔26內(nèi)，所述第二傳輸管132連接所述第二墊圈131，且該管路133連接所述第二傳輸管132，該管路133輸入氣體，例如氮?dú)?。因此，利用所述氣體傳輸裝置12，可輸入氣體至該晶圓盒70，以控制該晶圓盒70內(nèi)的溫度、濕度或特殊氣體含量。
[0083]圖6顯示本實(shí)用新型的晶圓傳送盒的蓋體的一實(shí)施例的示意圖；圖7顯示本實(shí)用新型的晶圓傳送盒的蓋體及晶圓盒的一實(shí)施例的示意圖。配合參考圖1、圖6及圖7，該蓋體50覆蓋該開口 21，且接觸該晶圓盒70的一頂部。
[0084]在一實(shí)施例中，該蓋體50包括一蓋板51、一固定框52、一緩沖板53、一止擋板54及多個(gè)第二緩沖元件55。該固定框52設(shè)置于該蓋板51的底面。該緩沖板53活動(dòng)式地設(shè)置于該固定框52內(nèi)，且該緩沖板53呈凹槽狀，配合該晶圓盒70的該頂部的形狀，使該晶圓盒70的該頂部容納至該緩沖板53內(nèi)。該止擋板54固定至該固定框52，且該止擋板54呈方形環(huán)狀，其寬度延伸至足以限制該緩沖板53向下移動(dòng)。
[0085]所述第二緩沖元件55具有多個(gè)橫向緩沖元件56及縱向緩沖元件57。所述橫向緩沖元件56設(shè)置于該固定框52的側(cè)邊，且所述橫向緩沖元件56接觸該緩沖板53的側(cè)面。在一實(shí)施例中，該固定框52的每一側(cè)邊設(shè)置兩個(gè)橫向緩沖元件56，該橫向緩沖元件56可為一外螺紋定位珠，其包括一外螺紋軸管561、一彈簧(圖中未示出)及一鋼珠563，該彈簧設(shè)置于該外螺紋軸管561內(nèi)，該鋼珠563設(shè)置于該外螺紋軸管561的一端，該彈簧抵頂該鋼珠563。該橫向緩沖元件56設(shè)置于該固定框52，且該固定框52具有內(nèi)螺紋，以與該外螺紋軸管561配合。該鋼珠563接觸該緩沖板53的側(cè)面，以提供該晶圓盒70的該頂部的橫向及側(cè)面的緩沖避震。
[0086]縱向緩沖元件57設(shè)置于該緩沖板53的側(cè)邊，且所述縱向緩沖元件57接觸該蓋板51ο在一實(shí)施例中，該緩沖板53的每一側(cè)邊設(shè)置一個(gè)縱向緩沖元件57，該縱向緩沖元件57可為一外螺紋定位珠，其包括一外螺紋軸管571、一彈簧(圖中未示出)及一鋼珠573，該彈簧設(shè)置于該外螺紋軸管571內(nèi)，該鋼珠573設(shè)置于該外螺紋軸管571的一端，該彈簧抵頂該鋼珠573。該縱向緩沖元件57設(shè)置于該緩沖板53的側(cè)邊，且該緩沖板53的側(cè)邊具有內(nèi)螺紋，以與該外螺紋軸管571配合。該鋼珠573接觸該蓋板51，以提供該晶圓盒70的該頂部的縱向的緩沖避震。
[0087]該晶圓傳送盒10還包括一感測(cè)裝置80，設(shè)置于該盒體20或該蓋體50，該感測(cè)裝置80用以檢測(cè)該晶圓傳送盒10內(nèi)的溫度、濕度或壓力。該感測(cè)裝置80還可用以作為一加速度器(Accelerometer)、陀螺儀(Gyroscope)或磁力計(jì)(Magnetometer)等。該感測(cè)裝置80亦可用以檢測(cè)特殊氣體含量，例如:氧氣或氮?dú)獾?。且該感測(cè)裝置80可利用無線或有線方式傳輸所檢測(cè)的信號(hào)。
[0088]利用本實(shí)用新型的晶圓傳送盒，可提供于傳送該晶圓盒時(shí)的頂部、側(cè)面及底面的全方位避震緩沖，以避免晶圓盒內(nèi)晶圓的損壞。本實(shí)用新型的晶圓傳送盒可輸入氣體，以控制本實(shí)用新型的晶圓傳送盒內(nèi)的溫度、濕度或特殊氣體含量，且本實(shí)用新型的晶圓傳送盒可輸入氣體至晶圓盒內(nèi)，以控制晶圓盒內(nèi)的溫度、濕度或特殊氣體含量，避免晶圓盒內(nèi)晶圓受到雜質(zhì)或微粒的污染或受周圍環(huán)境變化而造成晶圓損壞，降低晶圓受掉落微粒的影響而造成良率下降。
[0089]上述實(shí)施例僅為說明本實(shí)用新型的原理及其功效，而非限制本實(shí)用新型。本領(lǐng)域技術(shù)人員對(duì)上述實(shí)施例所做的修改及變化仍不違背本實(shí)用新型的精神。本實(shí)用新型的權(quán)利范圍應(yīng)如所附的權(quán)利要求書的范圍所列。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種具有緩沖功能的晶圓傳送盒，其特征在于:所述具有緩沖功能的晶圓傳送盒包括: 一盒體，所述盒體具有一開口及一容納空間； 一承載座，所述承載座設(shè)置于該容納空間內(nèi)，該承載座承載一晶圓盒； 多個(gè)第一緩沖元件，所述第一緩沖元件設(shè)置于該承載座，且所述第一緩沖元件接觸該盒體；及 一蓋體，所述蓋體覆蓋該開口，且接觸該晶圓盒的一頂部。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有緩沖功能的晶圓傳送盒，其特征在于:所述第一緩沖元件具有多個(gè)橫向緩沖元件及縱向緩沖元件，所述橫向緩沖元件設(shè)置于該承載座的側(cè)邊，且所述橫向緩沖元件接觸該盒體的側(cè)面；所述縱向緩沖元件設(shè)置于該承載座的角落，且所述縱向緩沖元件接觸該盒體的底部。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的具有緩沖功能的晶圓傳送盒，其特征在于:所述橫向緩沖元件為一外螺紋定位珠，該承載座包括多個(gè)第一固定件，該橫向緩沖元件設(shè)置于該承載座的該第一固定件，該第一固定件具有內(nèi)螺紋，以與該外螺紋定位珠配合。4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的具有緩沖功能的晶圓傳送盒，其特征在于:所述縱向緩沖元件為一外螺紋定位柱，該承載座包括多個(gè)第二固定件，該縱向緩沖元件設(shè)置于該承載座的該第二固定件，該第二固定件具有內(nèi)螺紋，以與該外螺紋定位珠配合。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有緩沖功能的晶圓傳送盒，其特征在于:所述承載座具有多個(gè)導(dǎo)塊，所述導(dǎo)塊引導(dǎo)該晶圓盒設(shè)置于該承載座上。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的具有緩沖功能的晶圓傳送盒，其特征在于:所述導(dǎo)塊具有一引導(dǎo)斜面及一夾制面，該引導(dǎo)斜面朝向該晶圓傳送盒的內(nèi)部，所述引導(dǎo)斜面引導(dǎo)該晶圓盒設(shè)置于該承載座上；該夾制面夾制固定該晶圓盒于該承載座上。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有緩沖功能的晶圓傳送盒，其特征在于:所述承載座具有多個(gè)孔洞，貫穿該承載座。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有緩沖功能的晶圓傳送盒，其特征在于:所述盒體還包括多個(gè)氣體輸入孔及多個(gè)氣體輸出孔。9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的具有緩沖功能的晶圓傳送盒，其特征在于:所述氣體輸入孔包括多個(gè)第一氣體輸入孔及多個(gè)第二氣體輸入孔；所述氣體輸出孔包括多個(gè)第一氣體輸出孔及多個(gè)第二氣體輸出孔。10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的具有緩沖功能的晶圓傳送盒，其特征在于:所述具有緩沖功能的晶圓傳送盒還包括多個(gè)氣體傳遞裝置，連通該盒體的所述第一氣體輸入孔。11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的具有緩沖功能的晶圓傳送盒，其特征在于:所述具有緩沖功能的晶圓傳送盒還包括多個(gè)氣體傳輸裝置，連通該晶圓盒的氣體輸入口及該盒體的所述第二氣體輸入孔。12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的具有緩沖功能的晶圓傳送盒，其特征在于:所述氣體傳輸裝置包括一第一傳輸管、多個(gè)第二間隔件及一第一墊圈，該第一傳輸管連通該晶圓盒的氣體輸入口及該盒體的所述第二氣體輸入孔；所述第二間隔件及該第一墊圈設(shè)置于該盒體的所述第二氣體輸入孔外，形成一通氣空間，部分該第一傳輸管設(shè)置于該通氣空間，且該第一傳輸管與該第二氣體輸入孔間具有一空隙。13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有緩沖功能的晶圓傳送盒，其特征在于:所述蓋體包括一蓋板、一固定框、一緩沖板、一止擋板及多個(gè)第二緩沖元件；該固定框設(shè)置于該蓋板的底面；該緩沖板活動(dòng)式地設(shè)置于該固定框內(nèi)，且該緩沖板呈凹槽狀，使該晶圓盒的該頂部容納至該緩沖板內(nèi)；該止擋板固定至該固定框，且該止擋板呈方形環(huán)狀，該止擋板的寬度延伸至足以限制該緩沖板向下移動(dòng)；所述第二緩沖元件具有多個(gè)橫向緩沖元件及縱向緩沖元件，所述橫向緩沖元件設(shè)置于該固定框的側(cè)邊，且所述橫向緩沖元件接觸該緩沖板的側(cè)面，所述縱向緩沖元件設(shè)置于該緩沖板的側(cè)邊，且所述縱向緩沖元件接觸該蓋板。14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的具有緩沖功能的晶圓傳送盒，其特征在于:所述第二緩沖元件的所述橫向緩沖元件及所述縱向緩沖元件為外螺紋定位珠。15.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有緩沖功能的晶圓傳送盒，其特征在于:所述具有緩沖功能的晶圓傳送盒還包括一感測(cè)裝置，設(shè)置于該盒體或該蓋體，該感測(cè)裝置檢測(cè)該晶圓傳送盒內(nèi)的溫度、濕度或壓力。
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種具有緩沖功能的晶圓傳送盒。在一實(shí)施例中，具有緩沖功能的晶圓傳送盒包括一盒體、一承載座、多個(gè)第一緩沖元件及一蓋體。該盒體具有一開口及一容納空間。該承載座設(shè)置于該容納空間內(nèi)，該承載座用以承載一晶圓盒。所述第一緩沖元件設(shè)置于該承載座，且所述第一緩沖元件接觸該盒體。該蓋體覆蓋該開口，且接觸該晶圓盒的一頂部。利用本實(shí)用新型的晶圓傳送盒，可提供于傳送晶圓盒的避震緩沖，除了避免晶圓盒內(nèi)晶圓的損壞之外，亦降低晶圓受掉落微粒(Fall？on？Particle)的影響而造成良率下降。
【IPC分類】H01L21/673
【公開號(hào)】CN205122550
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520778400
【發(fā)明人】楊豐文
【申請(qǐng)人】楊豐文
【公開日】2016年3月30日
【申請(qǐng)日】2015年10月9日