專利名稱：直曲動馬達(dá)系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種直曲動馬達(dá)系統(tǒng)，其被用作半導(dǎo)體制造裝置、液晶制造裝置等所 搭載的定位裝置，可使滑臺沿由直線軌道和曲線軌道構(gòu)成的直曲動導(dǎo)向裝置順暢地滑動， 并實(shí)現(xiàn)精確的定位。
背景技術(shù)：
以往，作為用作半導(dǎo)體制造裝置、液晶制造裝置等所搭載的定位裝置的直曲動馬 達(dá)系統(tǒng)，提出有如下系統(tǒng)，通過動子相對于具有直線部和圓弧部的定子產(chǎn)生推力，動子即可 在具有由直線軌道和曲線軌道構(gòu)成的導(dǎo)軌的直曲動導(dǎo)向裝置上滑動(例如參照專利文獻(xiàn) 1、2)。在上述直曲動馬達(dá)系統(tǒng)中，動子僅由直線部構(gòu)成，由作為電樞的繞組構(gòu)成。另一方 面，定子由定子直線部和定子圓弧部構(gòu)成，而分別設(shè)置于使截面為半工字形的磁軛內(nèi)側(cè)的 多個(gè)永久磁鐵被配置為與相鄰的磁極為異極。因此，由于在可動側(cè)配置有繞組，所以成為可 動繞組型的結(jié)構(gòu)。在這種結(jié)構(gòu)中，如果使電流流過繞組，則其與永久磁鐵生成的磁場發(fā)生作用，對動 子產(chǎn)生推力。由于沿直線軌道配設(shè)有定子直線部的永久磁鐵，而沿圓弧軌道配設(shè)有定子圓 弧部的永久磁鐵，所以動子能夠在各個(gè)軌道方向上產(chǎn)生推力，從而進(jìn)行滑動。專利文獻(xiàn)1 日本國特開2001-251841號公報(bào)(說明書第3_第4頁，圖3)專利文獻(xiàn)2 日本國特開2006-174605號公報(bào)(說明書第6_第8頁，圖1)但是，由于以往的直曲動馬達(dá)系統(tǒng)不具備霍爾傳感器、編碼器等檢測磁極及位置 的位置檢測裝置，所以無法參照磁極、位置等信息來進(jìn)行直線軌道和圓弧軌道的電流控制、 位置控制等。結(jié)果無法實(shí)現(xiàn)順暢的滑動、精確的定位。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于上述問題而進(jìn)行的，其目的在于提供一種直曲動馬達(dá)系統(tǒng)，能夠在 由直線軌道和圓弧軌道構(gòu)成的軌道上順暢地滑動，并進(jìn)行精確的定位。為了解決上述問題，本發(fā)明是如下構(gòu)成的。方案1所述的發(fā)明是一種直曲動馬達(dá)系統(tǒng)，其具備左右一對直曲動導(dǎo)向裝置，自 由移動地對與固定臺相對配置的滑臺左右進(jìn)行導(dǎo)向支撐，同時(shí)具有由直線軌道和曲線軌道 構(gòu)成的導(dǎo)軌和滑塊；及馬達(dá)單元，具有定子和動子以便使所述滑臺相對于所述固定臺沿所 述直曲動導(dǎo)向裝置的長度方向往復(fù)運(yùn)動，其中所述定子具有配置于所述固定臺的直線部和 曲線部雙方，而所述動子具有與所述定子隔著空隙配置于所述滑臺的直線部，其特征在于， 具備檢測所述直線軌道和所述圓弧軌道位置的位置檢測裝置，當(dāng)使所述定子直線部的極距 為距離λ m，并使所述定子圓弧部的極距為角度Ym時(shí)，所述圓弧軌道的位置檢測點(diǎn)的半徑 r 為 r = λ m/ γ m。方案2所述的發(fā)明的特征為，在方案1所述的直曲動馬達(dá)系統(tǒng)中，在所述左右一對直曲動導(dǎo)向裝置之間配置有所述位置檢測裝置。方案3所述的發(fā)明的特征為，在方案1或2所述的直曲動馬達(dá)系統(tǒng)中，在所述滑臺 下部設(shè)置有K個(gè)所述直曲動導(dǎo)向裝置的滑塊，K為3以上的奇數(shù)，在K-I個(gè)所述滑塊和所述 滑臺之間分別設(shè)置有滑臺導(dǎo)向裝置，具有使所述滑臺在與所述導(dǎo)軌的直線軌道或圓弧軌 道正交的方向上移動的機(jī)構(gòu)；及回轉(zhuǎn)導(dǎo)向裝置，具有使所述滑塊在與所述導(dǎo)軌的圓弧軌道 方向相同的方向上回轉(zhuǎn)的機(jī)構(gòu)。方案4所述的發(fā)明的特征為，在方案1或2所述的直曲動馬達(dá)系統(tǒng)中，在所述滑臺 左右的下部分別設(shè)置有K個(gè)所述直曲動導(dǎo)向裝置的滑塊，K為2以上的偶數(shù)，在所述滑塊和 所述滑臺之間，在設(shè)置于所述滑臺左右的一對所述導(dǎo)軌中的一側(cè)設(shè)置第1回轉(zhuǎn)導(dǎo)向裝置， 其具有使所述滑塊在與所述導(dǎo)軌的圓弧軌道方向相同的方向上回轉(zhuǎn)的機(jī)構(gòu)，同時(shí)在所述左 右一對導(dǎo)軌中的另一側(cè)設(shè)置有滑臺導(dǎo)向裝置，具有使所述滑臺在與所述導(dǎo)軌的直線軌道 或圓弧軌道正交的方向上移動的機(jī)構(gòu)；及第2回轉(zhuǎn)導(dǎo)向裝置，具有使所述滑塊在與所述導(dǎo) 軌的圓弧軌道方向相同的方向上回轉(zhuǎn)的機(jī)構(gòu)。方案5所述的發(fā)明的特征為，在方案1或2所述的直曲動馬達(dá)系統(tǒng)中，在所述滑臺 下部設(shè)置有K個(gè)所述直曲動導(dǎo)向裝置的滑塊，K為4以上的整數(shù)，在所述滑塊和所述滑臺之 間，在設(shè)置于所述滑臺左右的一對所述導(dǎo)軌中的一側(cè)的所述滑塊中的2個(gè)上分別設(shè)置有 滑臺導(dǎo)向裝置，具有使所述滑臺在與所述導(dǎo)軌的直線軌道或圓弧軌道正交的方向上移動的 機(jī)構(gòu)；及回轉(zhuǎn)導(dǎo)向裝置，具有使所述滑塊在與所述導(dǎo)軌的圓弧軌道方向相同的方向上回轉(zhuǎn) 的機(jī)構(gòu)。方案6所述的發(fā)明的特征為，在方案5所述的直曲動馬達(dá)系統(tǒng)中，在所述滑塊上設(shè)
置有預(yù)壓調(diào)節(jié)裝置。方案7所述的發(fā)明的特征為，在方案1所述的直曲動馬達(dá)系統(tǒng)中，所述馬達(dá)單元構(gòu) 成為，使所述動子或所述定子的一方為場磁鐵，其沿平板磁性體磁軛的長度方向以極性交 替不同的方式等間距地配置有多個(gè)永久磁鐵，并使另一方為電樞，其配置有多個(gè)電樞繞組。方案8所述的發(fā)明的特征為，在方案1或2所述的直曲動馬達(dá)系統(tǒng)中，所述位置檢 測裝置由檢測所述永久磁鐵的磁場的霍爾傳感器構(gòu)成。方案9所述的發(fā)明的特征為，在方案1或2所述的直曲動馬達(dá)系統(tǒng)中，所述位置檢 測裝置由編碼器構(gòu)成，所述編碼器具備標(biāo)尺，具有所述直線軌道和所述圓弧軌道的位置信 息；及編碼器讀頭，檢測出所述位置信息。方案10所述的發(fā)明的特征為，在方案1或2所述的直曲動馬達(dá)系統(tǒng)中，設(shè)置有多 臺所述滑臺，同時(shí)使多臺所述滑臺個(gè)別地移動。方案11所述的發(fā)明的特征為，在方案10所述的直曲動馬達(dá)系統(tǒng)中，將所述多臺滑 臺連結(jié)起來使其整體移動。根據(jù)方案1、2所述的發(fā)明，由于在左右一對直曲動導(dǎo)向裝置之間具備檢測直線軌 道和圓弧軌道的位置的位置檢測裝置，同時(shí)在使極距的距離在直線軌道和圓弧軌道變?yōu)橄?同的半徑上檢測出位置，所以在直線軌道和圓弧軌道上極距變?yōu)橄嗤?，并且在直線軌道和 圓弧軌道上動子中心位置、移動量等變?yōu)橄嗤?。因此，能夠解決現(xiàn)有技術(shù)的問題，能夠在由 直線軌道和圓弧軌道構(gòu)成的軌道上順暢地滑動，并且實(shí)現(xiàn)精確的定位。根據(jù)方案3所述的發(fā)明，通過組合多個(gè)直曲動導(dǎo)向裝置、回轉(zhuǎn)導(dǎo)向裝置、滑臺導(dǎo)向裝置，能夠?qū)?個(gè)直曲動導(dǎo)向裝置限制在半徑方向上，并能夠使位置檢測裝置沿著極距的 距離在直線部和圓弧部變?yōu)橄嗤陌霃蕉苿?。因此，作為位置檢測裝置能夠使用高精度 的編碼器，能夠在由直線軌道和圓弧軌道構(gòu)成的所有的軌道上精確地進(jìn)行定位。根據(jù)方案4所述的發(fā)明，能夠?qū)?個(gè)直曲動導(dǎo)向裝置的中心限制在半徑方向上，并 能夠使位置檢測裝置沿著磁極的距離在直線部和圓弧部變?yōu)橄嗤陌霃蕉苿?。因此，?夠得到與方案2所述的同樣的效果。根據(jù)方案5所述的發(fā)明，由于在直曲動導(dǎo)向裝置的滑塊和滑臺之間的設(shè)置于滑臺 左右的一對導(dǎo)軌中的一側(cè)的滑塊中的2個(gè)上，在與直線軌道正交的直線上分別配置滑臺導(dǎo) 向裝置和回轉(zhuǎn)導(dǎo)向裝置，且在左右一對直曲動導(dǎo)向裝置之間配置有位置檢測裝置，所以可 消除因直曲動導(dǎo)向裝置的搖動而引起的位置檢測裝置的變動。因此，能夠在由直線軌道和 圓弧軌道構(gòu)成的軌道上順暢地滑動，并且實(shí)現(xiàn)精確的定位。根據(jù)方案6所述的發(fā)明，由于在直曲動導(dǎo)向裝置的滑塊上設(shè)置有預(yù)壓調(diào)節(jié)裝置， 所以能夠利用預(yù)壓力來調(diào)節(jié)直曲動導(dǎo)向裝置的搖動和摩擦阻力。因此，能夠在由直線軌道 和圓弧軌道構(gòu)成的所有軌道上實(shí)現(xiàn)順暢的滑動和精確的定位。根據(jù)方案7所述的發(fā)明，在直曲動馬達(dá)系統(tǒng)中，通過使馬達(dá)單元構(gòu)成為，使動子或 定子的一方為場磁鐵，其沿平板磁性體磁軛的長度方向以極性交替不同的方式等間距地配 置有多個(gè)永久磁鐵，并使另一方為電樞，其配置有多個(gè)電樞繞組，能夠使動子即滑臺在軌道 方向上產(chǎn)生推力，并順暢地滑動。因此，能夠得到與方案1所述的同樣的效果。根據(jù)方案8所述的發(fā)明，由于由霍爾傳感器構(gòu)成位置檢測裝置，所以能夠準(zhǔn)確地 檢測出磁極。由于根據(jù)該磁極信息進(jìn)行電流控制，所以即使在圓弧軌道上也能夠順暢地滑 動。而且，通過由霍爾傳感器檢測出作為場磁鐵的永久磁鐵的磁通密度的正弦波分布，可生 成位置的正弦波信號并進(jìn)行位置控制。因此，在不需要高精度定位的用途中，不使用高價(jià)的 編碼器而是通過廉價(jià)的霍爾傳感器，即可在由直線軌道和圓弧軌道構(gòu)成的所有的軌道上進(jìn) 行定位。根據(jù)方案9所述的發(fā)明，由于通過由標(biāo)尺和編碼器讀頭構(gòu)成的編碼器來構(gòu)成位置 檢測裝置，所以能夠得到高精度的位置?？筛鶕?jù)該位置信息生成動子的電氣位置并進(jìn)行電 流控制，或者進(jìn)行位置控制。因此，能夠在由直線軌道和圓弧軌道構(gòu)成的軌道上順暢地滑 動，并且實(shí)現(xiàn)精確的定位。根據(jù)方案10所述的發(fā)明，由于能夠使多臺滑臺個(gè)別地滑動及進(jìn)行定位，所以能夠 實(shí)現(xiàn)使用多臺滑臺的并列作業(yè)、滑臺間的協(xié)調(diào)作業(yè)等。根據(jù)方案11所述的發(fā)明，由于將多臺滑臺連結(jié)起來使其整體移動，所以能夠進(jìn)行 大負(fù)荷的搬運(yùn)、多個(gè)負(fù)荷的同時(shí)搬運(yùn)等。


圖1是表示本實(shí)施方式中通用的直曲動馬達(dá)系統(tǒng)的整體結(jié)構(gòu)的俯視圖。圖2是圖1的A-A‘的主剖視圖。圖3是從上面觀察本實(shí)施方式中通用的繞組、永久磁鐵、標(biāo)尺和編碼器讀頭、霍爾 傳感器的配置的圖，(a)是說明直線軌道滑動時(shí)的狀態(tài)的圖，(b)是說明圓弧軌道滑動時(shí)的 狀態(tài)的圖。
圖4是從上面觀察表示第1實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)的直曲動馬達(dá)系統(tǒng)的滑臺的透視圖， (a)是說明直線軌道滑動時(shí)的狀態(tài)的圖，(b)是說明圓弧軌道滑動時(shí)的狀態(tài)的圖。圖5是從上面觀察表示第2實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)的直曲動馬達(dá)系統(tǒng)的滑臺的透視圖， (a)是說明直線軌道滑動時(shí)的狀態(tài)的圖，(b)是說明圓弧軌道滑動時(shí)的狀態(tài)的圖。圖6是從上面觀察表示第3實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)的直曲動馬達(dá)系統(tǒng)的滑臺的透視圖， (a)是說明直線軌道滑動時(shí)的狀態(tài)的圖，(b)是說明圓弧軌道滑動時(shí)的狀態(tài)的圖。圖7是從上面觀察表示第4實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)的直曲動馬達(dá)系統(tǒng)的滑臺的透視圖， (a)是說明直線軌道滑動時(shí)的狀態(tài)的圖，(b)是說明圓弧軌道滑動時(shí)的狀態(tài)的圖。圖8是從上面觀察表示第5實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)的直曲動馬達(dá)系統(tǒng)的滑臺的透視圖， (a)是說明直線軌道滑動時(shí)的狀態(tài)的圖，(b)是說明圓弧軌道滑動時(shí)的狀態(tài)的圖。圖9是從上面觀察表示第6實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)的直曲動馬達(dá)系統(tǒng)的滑臺的透視圖， (a)是說明直線軌道滑動時(shí)的狀態(tài)的圖，(b)是說明圓弧軌道滑動時(shí)的狀態(tài)的圖。圖10是從上面觀察表示第7實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)的直曲動馬達(dá)系統(tǒng)的滑臺的透視圖， (a)是說明直線軌道滑動時(shí)的狀態(tài)的圖，(b)是說明圓弧軌道滑動時(shí)的狀態(tài)的圖。圖11是表示第8實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)的直曲動馬達(dá)系統(tǒng)的俯視圖。圖12是表示第9實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)的直曲動馬達(dá)系統(tǒng)的俯視圖。符號說明10-動子；11-繞組；20-滑臺；21-直曲動導(dǎo)向裝置；22-回轉(zhuǎn)導(dǎo)向裝置；23-滑 臺導(dǎo)向裝置；24-滑塊；25-導(dǎo)軌；25a-軌道直線部(導(dǎo)軌的直線軌道)；25b_軌道圓弧部 (導(dǎo)軌的圓弧軌道)；30-編碼器讀頭(位置檢測裝置)；31-霍爾傳感器(位置檢測裝置)； 35-動子保持架；40-連結(jié)構(gòu)件；50-預(yù)壓調(diào)節(jié)裝置；IlOa-定子直線部；IlOb-定子圓弧部； IllaUllb-永久磁鐵；112a-磁軛；120-固定臺；130-標(biāo)尺(位置檢測裝置)；135-標(biāo)尺保 持架。
具體實(shí)施例方式以下，參照附圖對本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行說明。實(shí)施例1圖1是表示本實(shí)施方式中通用的直曲動馬達(dá)系統(tǒng)的整體結(jié)構(gòu)的俯視圖，圖2是圖 IWA-A'剖視圖。圖3是從上面觀察本實(shí)施方式中通用的繞組、永久磁鐵、標(biāo)尺和編碼器 讀頭、霍爾傳感器的配置的圖，(a)是說明直線軌道滑動時(shí)的狀態(tài)的圖，(b)是說明圓弧軌 道滑動時(shí)的狀態(tài)的圖。圖4是從上面觀察基于第1實(shí)施方式的直曲動馬達(dá)系統(tǒng)的滑臺的透視圖，(a)是 說明直線軌道滑動時(shí)的狀態(tài)的圖，(b)是說明圓弧軌道滑動時(shí)的狀態(tài)的圖。圖1所示的直曲動馬達(dá)系統(tǒng)為在平行的2個(gè)直線軌道之間連接有180度的圓弧軌 道的軌道。在上述圖1至圖3中，120是固定臺；10是動子；11是繞組；20是滑臺，其與固 定臺120平行地相對配置；21是左右一對直曲動導(dǎo)向裝置，其自由移動地對滑臺20左右進(jìn) 行導(dǎo)向支撐并由具備直線軌道和曲線軌道的導(dǎo)軌25及滑塊24構(gòu)成；22是回轉(zhuǎn)導(dǎo)向裝置； 23是滑臺導(dǎo)向裝置；30是編碼器讀頭；31是霍爾傳感器；35是動子保持架；IlOa是定子直 線部；IlOb是定子圓弧部；Illa是定子直線部IlOa的永久磁鐵；Illb是定子圓弧部IlOb的永久磁鐵；112a是定子直線部IlOa的磁軛；25a是軌道直線部(直線軌道)；25b是軌道 圓弧部(圓弧軌道)；130是標(biāo)尺；135是標(biāo)尺保持架。本實(shí)施方式的特征在于，在左右一對直曲動導(dǎo)向裝置之間具備檢測直線軌道和圓 弧軌道位置的位置檢測裝置即編碼器、霍爾傳感器等，在直曲動馬達(dá)極距的距離在直線軌 道和圓弧軌道變?yōu)橄嗤陌霃缴显O(shè)置它們的位置檢測點(diǎn)。下面，如果具體地說明直曲動馬達(dá)系統(tǒng)，則固定側(cè)構(gòu)成為由固定臺120、構(gòu)成直曲 動導(dǎo)向裝置21的導(dǎo)軌25的直線軌道即軌道直線部25a和圓弧軌道即軌道圓弧部25b、構(gòu)成 馬達(dá)單元定子部的定子直線部IlOa和定子圓弧部110b、及構(gòu)成位置檢測裝置并設(shè)置在固 定側(cè)且具有直線軌道和圓弧軌道的位置信息的標(biāo)尺130和標(biāo)尺保持架135組成，在固定臺 120上配置其它的構(gòu)成要素。在2根軌道直線部25a之間配置定子直線部IlOa和標(biāo)尺保持架135，而且，在定子 直線部IlOa上方將標(biāo)尺130安裝于標(biāo)尺保持架135。而且，在2根軌道圓弧部25b之間配 置定子圓弧部IlOb和形成為圓弧狀的標(biāo)尺保持架135，同樣在定子圓弧部IlOb上方將標(biāo)尺 130安裝于標(biāo)尺保持架135。而且，將軌道直線部25a和軌道圓弧部25b、定子直線部IlOa 和定子圓弧部IlOb配置為在直線軌道和圓弧軌道上沒有接縫。而且，標(biāo)尺保持架135和標(biāo)尺130在直線軌道和圓弧軌道上未分離，而形成了整 體。而且，馬達(dá)單元的定子直線部IlOa和定子圓弧部IlOb的截面為半工字形，在磁軛112a、 112b各自的內(nèi)側(cè)朝著長度方向設(shè)置的多個(gè)永久磁鐵IllaUllb配置為與相鄰的磁極為異 極。另一方面，直曲動馬達(dá)系統(tǒng)的可動側(cè)構(gòu)成為由滑臺20、馬達(dá)單元的動子10、位置 檢測裝置的檢測位置信息的編碼器讀頭30、霍爾傳感器31、動子保持架35組成，在滑臺20 上配置其它的構(gòu)成要素。在滑臺20的大致中央安裝有動子保持架35，在動子保持架35上 安裝有動子10、編碼器讀頭30、霍爾傳感器31。在此，將動子10和霍爾傳感器31插入在定 子直線部110a、定子圓弧部1 IOb等的永久磁鐵IllaUl Ib之間所形成的空隙，而且，將編碼 器讀頭30配置在與標(biāo)尺130隔著規(guī)定空隙相對的位置上。而且，如圖4 (a)、(b)所示，在滑臺20的3個(gè)位置(外徑側(cè)2個(gè)位置和內(nèi)徑側(cè)1個(gè) 位置)上配置K = 3個(gè)直曲動導(dǎo)向裝置21，在外徑側(cè)安裝有K-I = 2個(gè)回轉(zhuǎn)導(dǎo)向裝置22和 滑臺導(dǎo)向裝置23。直曲動導(dǎo)向裝置21例如使用THK株式會社制的直曲導(dǎo)軌HMG型。該直 曲動導(dǎo)向裝置21在直線軌道滑動時(shí)可移動地在直線軌道方向上對滑臺20進(jìn)行支撐導(dǎo)向， 在圓弧軌道滑動時(shí)可移動地在圓弧軌道方向上對滑臺20進(jìn)行支撐導(dǎo)向?；_導(dǎo)向裝置23 與軌道直線部25a成直角方向地配置在滑臺20上，在圓弧軌道滑動時(shí)在與圓弧軌道方向的 直角方向(圓弧的徑向)上可移動地對滑臺20進(jìn)行支撐導(dǎo)向。回轉(zhuǎn)導(dǎo)向裝置22配置在滑 臺導(dǎo)向裝置23和直曲動導(dǎo)向裝置21之間，在圓弧軌道滑動時(shí)對直曲動導(dǎo)向裝置21進(jìn)行支 撐導(dǎo)向，可使其沿軌道圓弧部25b回轉(zhuǎn)。通過如此構(gòu)成，滑臺20能夠在直線軌道滑動時(shí)沿直線軌道滑動，并在圓弧軌道滑 動時(shí)沿圓弧軌道滑動。在此，沿圓弧軌道滑動時(shí)的滑臺20通過內(nèi)徑側(cè)的1臺直曲動導(dǎo)向裝 置21而被限制在徑向上并進(jìn)行滑動。因此，動子10的中心、編碼器讀頭30、霍爾傳感器31 等的移動軌跡為圓弧。動子10由作為電樞的多個(gè)繞組11構(gòu)成。繞組11和永久磁鐵IllaUllb的位置關(guān)系如圖3(a)及(b)所示。雖然在直線軌道滑動時(shí)永久磁鐵Illa與繞組11平行地相對， 但是在圓弧軌道滑動時(shí)永久磁鐵Illb與繞組11傾斜地相對。而且，在圓弧軌道上，將標(biāo)尺 130的表面即編碼器的位置檢測點(diǎn)配置在半徑r的位置上。如上所述，由于滑臺20所搭載 的編碼器讀頭30和霍爾傳感器31為圓弧移動軌跡，所以與半徑r隔開可進(jìn)行檢測的間隙 配置編碼器讀頭30，而將霍爾傳感器31配置在半徑r的位置上。而且，使定子直線部IlOa 極距的距離為λ m，定子圓弧部IlOb極距的角度為Ym時(shí)，則設(shè)定為(式1)r = λ m/ Ym。這表示在半徑r的位置上定子直線部IlOa極距的距離為λ m與定子圓弧部IlOb 極距的距離rX Ym相同。通過如此構(gòu)成，可在使極距的距離在直線軌道和圓弧軌道變?yōu)橄?同的半徑上進(jìn)行編碼器和霍爾傳感器的位置檢測。此時(shí)，由于定子圓弧部IlOb極距的角度Ym的單位為弧度，所以如果以實(shí)際的角 度θ (度)來計(jì)算弧度時(shí)，則霍爾傳感器31的半徑r的位置實(shí)際上由r=180XXm/(ji θ) 來進(jìn)行計(jì)算。下面，說明直曲動馬達(dá)系統(tǒng)的動作。在直曲動馬達(dá)系統(tǒng)中，通過根據(jù)由霍爾傳感器31得到的磁極信息向動子10的繞 組11通入電流，而動子10通過與定子直線部IlOa和定子圓弧部IlOb的永久磁鐵111a、 Illb所生成的磁場的作用而在直線軌道或圓弧軌道上產(chǎn)生規(guī)定的推力，由直曲動導(dǎo)向裝置 21、回轉(zhuǎn)導(dǎo)向裝置22、滑臺導(dǎo)向裝置23支撐導(dǎo)向的滑臺20沿由直曲動導(dǎo)向裝置21的軌道 直線部25a和軌道圓弧部25b構(gòu)成的導(dǎo)軌25滑動。S卩，在滑臺20的設(shè)置于滑臺20下部的3個(gè)滑塊24中，組合有回轉(zhuǎn)導(dǎo)向裝置22和 滑臺導(dǎo)向裝置23的導(dǎo)軌外徑側(cè)的2個(gè)滑塊24將設(shè)置在導(dǎo)軌內(nèi)徑側(cè)的1個(gè)直曲動導(dǎo)向裝置 21的滑塊24 (未設(shè)置回轉(zhuǎn)導(dǎo)向裝置22和滑臺導(dǎo)向裝置23)限制在半徑方向上，且能夠使位 置檢測裝置即編碼器讀頭30沿著極距的距離在直線部和圓弧部變?yōu)橄嗤陌霃絩而移動。 此時(shí)，由于滑臺20在軌道的圓弧軌道上移動時(shí)，向滑臺20外側(cè)產(chǎn)生離心力，所以滑臺導(dǎo)向 裝置23在與導(dǎo)軌的直線軌道即軌道直線部25a及導(dǎo)軌的圓弧軌道即導(dǎo)軌圓弧部25b正交 的方向上使滑臺移動，而回轉(zhuǎn)導(dǎo)向裝置22受到滑臺20在導(dǎo)軌的圓弧軌道上移動時(shí)向滑臺 20外側(cè)產(chǎn)生的離心力，使滑塊24在與軌道圓弧部25b的圓弧方向相同的方向上回轉(zhuǎn)。而且，由于根據(jù)從編碼器讀頭30得到的位置信息來控制動子10的位置，所以還可 實(shí)現(xiàn)位置控制。也就是說，能夠在由直線軌道和圓弧軌道構(gòu)成的所有軌道上實(shí)現(xiàn)順暢的滑 動和精確的定位。如此，通過在位置檢測裝置上設(shè)置霍爾傳感器和編碼器這兩者，能夠?qū)崿F(xiàn)高精度 的電流控制和位置控制。因而，由于第1實(shí)施方式所涉及的直曲動馬達(dá)系統(tǒng)在左右一對直曲動導(dǎo)向裝置之 間具備檢測直線軌道和圓弧軌道位置的位置檢測裝置，同時(shí)在極距的距離在直線軌道和圓 弧軌道變?yōu)橄嗤陌霃缴蠙z測出位置，所以極距在直線軌道和圓弧軌道上變?yōu)橄嗤?，并?動子中心的位置、移動量等在直線軌道和圓弧軌道上變?yōu)橄嗤?，因此，?dāng)動子通過與定子直 線部和定子圓弧部的永久磁鐵所生成的磁場的作用而在由直線軌道、圓弧軌道等構(gòu)成的直 曲動導(dǎo)向裝置上產(chǎn)生規(guī)定的推力時(shí)，在直線軌道滑動時(shí)和圓弧軌道滑動時(shí)推力不會發(fā)生變化，或者速度不會發(fā)生變化，被設(shè)置在滑塊和滑臺之間的回轉(zhuǎn)導(dǎo)向裝置、滑臺導(dǎo)向裝置支撐 導(dǎo)向的滑臺能夠在直曲動導(dǎo)向裝置上順暢地滑動，并且能夠?qū)崿F(xiàn)精確的定位。實(shí)施例2圖5是從上面觀察表示第2實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)的滑臺的透視圖，(a)是說明直線軌 道滑動時(shí)的狀態(tài)的圖，(b)是說明圓弧軌道滑動時(shí)的狀態(tài)的圖。第2實(shí)施方式與第1實(shí)施方式的不同之處在于，直曲動導(dǎo)向裝置21、回轉(zhuǎn)導(dǎo)向裝置 22、滑臺導(dǎo)向裝置23的個(gè)數(shù)不同。另外，在左右一對直曲動導(dǎo)向裝置21之間配置有位置檢 測裝置30、31。具體為，第2實(shí)施方式的特征在于，在滑臺下部設(shè)置有K個(gè)(K為3以上的奇數(shù)) 直曲動導(dǎo)向裝置的滑塊，在K-I個(gè)滑塊和滑臺之間分別設(shè)置有滑臺導(dǎo)向裝置，具有使滑臺 在與導(dǎo)軌的直線軌道或圓弧軌道正交的方向上移動的機(jī)構(gòu)；及回轉(zhuǎn)導(dǎo)向裝置，具有使滑塊 在與導(dǎo)軌的圓弧軌道方向相同的方向上回轉(zhuǎn)的機(jī)構(gòu)。即，在圖5中，在滑臺20下部的5個(gè)位置(導(dǎo)軌外徑側(cè)2個(gè)位置和其內(nèi)徑側(cè)3個(gè) 位置)上配置K = 5個(gè)直曲動導(dǎo)向裝置21的滑塊24，在導(dǎo)軌外徑側(cè)和其內(nèi)徑側(cè)的4個(gè)角上 安裝有K-I = 4個(gè)回轉(zhuǎn)導(dǎo)向裝置22和滑臺導(dǎo)向裝置23。由于第2實(shí)施方式所涉及的直曲動馬達(dá)系統(tǒng)為上述結(jié)構(gòu)，所以與導(dǎo)軌內(nèi)徑側(cè)的直 曲動導(dǎo)向裝置21的滑塊24為1個(gè)的第1實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)相比，在變更為3個(gè)的同時(shí)，可通 過在設(shè)置于該導(dǎo)軌內(nèi)徑側(cè)的3個(gè)滑塊24中的2個(gè)上組合回轉(zhuǎn)導(dǎo)向裝置22、滑臺導(dǎo)向裝置 23，而在滑臺20的設(shè)置于滑臺20下部的5個(gè)滑塊24中，分別組合有回轉(zhuǎn)導(dǎo)向裝置22和滑 臺導(dǎo)向裝置23的外側(cè)2個(gè)及內(nèi)側(cè)2個(gè)滑塊24將設(shè)置在導(dǎo)軌內(nèi)徑側(cè)的1個(gè)直曲動導(dǎo)向裝置 21的滑塊24 (未設(shè)置回轉(zhuǎn)導(dǎo)向裝置22和滑臺導(dǎo)向裝置23)限制在半徑方向上，且能夠使位 置檢測裝置即編碼器讀頭30沿著極距的距離在直線部和圓弧部變?yōu)橄嗤陌霃絩而移動。 因此，第2實(shí)施方式為，作為位置檢測裝置能夠使用高精度的編碼器，能夠在由直線軌道和 圓弧軌道構(gòu)成的所有的軌道上精確地進(jìn)行定位。如上所述，第2實(shí)施方式與第1實(shí)施方式一樣，搭載有回轉(zhuǎn)導(dǎo)向裝置22和滑臺導(dǎo) 向裝置23的滑塊24的全部個(gè)數(shù)比直曲動導(dǎo)向裝置21的滑塊24的全部個(gè)數(shù)少1個(gè)。也就 是說，使直曲動導(dǎo)向裝置21的滑塊24的個(gè)數(shù)為K個(gè)(K為3以上的奇數(shù))時(shí)，能夠?qū)⒋钶d 有回轉(zhuǎn)導(dǎo)向裝置22和滑臺導(dǎo)向裝置23的滑塊24的個(gè)數(shù)定義為K-I個(gè)。也可以按照負(fù)載 載荷、離心力的大小等來設(shè)定直曲動導(dǎo)向裝置21的個(gè)數(shù)K。實(shí)施例3圖6是從上面觀察表示第3實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)的滑臺的透視圖，(a)是說明直線軌 道滑動時(shí)的狀態(tài)的圖，(b)是說明圓弧軌道滑動時(shí)的狀態(tài)的圖。第3實(shí)施方式與第1實(shí)施方式及第2實(shí)施方式的不同之處在于，直曲動導(dǎo)向裝置 21、回轉(zhuǎn)導(dǎo)向裝置22、滑臺導(dǎo)向裝置23的個(gè)數(shù)不同。另外，在左右一對直曲動導(dǎo)向裝置21 之間配置有位置檢測裝置30、31。具體為，第3實(shí)施方式的特征在于，在滑臺20左右的下部分別設(shè)置有K個(gè)(K為2 以上的偶數(shù)，在本例中K = 2)直曲動導(dǎo)向裝置21的滑塊24，在滑塊24和滑臺20之間，在 設(shè)置于滑臺20左右的導(dǎo)軌25中的一側(cè)設(shè)置第1回轉(zhuǎn)導(dǎo)向裝置22，其具有使滑塊24在與 該導(dǎo)軌的圓弧軌道方向相同的方向上回轉(zhuǎn)的機(jī)構(gòu)，同時(shí)在導(dǎo)軌25中的另一側(cè)設(shè)置有滑臺導(dǎo)向裝置23，具有使滑臺20在與該導(dǎo)軌的直線軌道或圓弧軌道正交的方向上移動的機(jī)構(gòu)； 及第2回轉(zhuǎn)導(dǎo)向裝置22，具有使滑塊24在與該導(dǎo)軌的圓弧軌道方向相同的方向上回轉(zhuǎn)的機(jī) 構(gòu)。另外，內(nèi)徑側(cè)的2個(gè)直曲動導(dǎo)向裝置21及回轉(zhuǎn)導(dǎo)向裝置22僅隔開間隔S。由于第3實(shí)施方式所涉及的直曲動馬達(dá)系統(tǒng)為上述結(jié)構(gòu)，所以在滑臺20的設(shè)置于 滑臺20下部的直曲動導(dǎo)向裝置21的4個(gè)滑塊24中，分別組合有回轉(zhuǎn)導(dǎo)向裝置22和滑臺 導(dǎo)向裝置23的位于導(dǎo)軌外側(cè)的2個(gè)滑塊24將僅組合有回轉(zhuǎn)導(dǎo)向裝置22并設(shè)置在導(dǎo)軌內(nèi) 徑側(cè)的2個(gè)滑塊24限制在半徑方向上，且能夠使位置檢測裝置即編碼器讀頭30沿著極距 的距離在直線部和圓弧部變?yōu)橄嗤陌霃絩而移動。如此，第3實(shí)施方式可實(shí)現(xiàn)在直線軌道滑動時(shí)沿直線軌道滑動，并在圓弧軌道滑 動時(shí)沿圓弧軌道滑動。雖然第1實(shí)施方式及第2實(shí)施方式通過1個(gè)直曲動導(dǎo)向裝置21而 被限制在徑向上，但是由于在第3實(shí)施方式中通過僅隔開間隔S的2個(gè)而被限制，所以滑臺 20的移動軌跡的圓弧半徑比第1實(shí)施方式及第2實(shí)施方式小。在考慮到上述情況的前提下 配置標(biāo)尺130和編碼器讀頭30、霍爾傳感器31。通過如此構(gòu)成，第3實(shí)施方式能夠進(jìn)行與第1實(shí)施方式及第2實(shí)施方式一樣的動 作，能夠得到相同的效果，但是與第1實(shí)施方式及第2實(shí)施方式相比，在負(fù)載載荷較大時(shí)或 圓弧軌道滑動時(shí)的離心力較大時(shí)，能夠像本實(shí)施方式這樣通過增加內(nèi)徑側(cè)的直曲動導(dǎo)向裝 置21的個(gè)數(shù)來進(jìn)行對應(yīng)，這非常有效。另外，滑臺導(dǎo)向裝置23的臺數(shù)比直曲動導(dǎo)向裝置21或回轉(zhuǎn)導(dǎo)向裝置22的個(gè)數(shù)少 2個(gè)。也就是說，也可以在使具備回轉(zhuǎn)導(dǎo)向裝置22的滑塊24的個(gè)數(shù)為K個(gè)時(shí)，將具備回轉(zhuǎn) 導(dǎo)向裝置22和滑臺導(dǎo)向裝置23雙方的滑塊24的個(gè)數(shù)定義為K-2個(gè)。因此，也可以按照負(fù) 載載荷、離心力的大小等來設(shè)定直曲動導(dǎo)向裝置21的滑塊24的個(gè)數(shù)K。實(shí)施例4圖7是從上面觀察表示第4實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)的直曲動馬達(dá)系統(tǒng)的滑臺的透視圖， (a)是說明直線軌道滑動時(shí)的狀態(tài)的圖，(b)是說明圓弧軌道滑動時(shí)的狀態(tài)的圖。在圖7(a)及(b)中，第4實(shí)施方式與第1實(shí)施方式 第3實(shí)施方式的不同之處在 于，在滑臺20下部設(shè)置有K個(gè)(K為4以上的整數(shù)，圖為外徑側(cè)3個(gè)位置和內(nèi)徑側(cè)1個(gè)位置 的合計(jì)4個(gè)位置)直曲動導(dǎo)向裝置的滑塊24，在滑塊24和滑臺20之間，在設(shè)置于滑臺20 左右的一對導(dǎo)軌25中的一側(cè)的滑塊24中的左右兩端的2個(gè)上分別設(shè)置有滑臺導(dǎo)向裝置 23，具有使滑臺20在與導(dǎo)軌25的直線軌道或圓弧軌道正交的方向上移動的機(jī)構(gòu)；及回轉(zhuǎn)導(dǎo) 向裝置22，具有使滑塊24在與導(dǎo)軌25的圓弧軌道方向相同的方向上回轉(zhuǎn)的機(jī)構(gòu)。另外，在 左右一對直曲動導(dǎo)向裝置21之間配置有位置檢測裝置30、31。在這種結(jié)構(gòu)中，直曲動導(dǎo)向裝置的滑塊24在直線軌道滑動時(shí)可移動地在直線軌 道方向上對滑臺20進(jìn)行支撐導(dǎo)向，在圓弧軌道滑動時(shí)可移動地在圓弧軌道方向上對滑臺 20進(jìn)行支撐導(dǎo)向?；_導(dǎo)向裝置23與軌道直線部25a成直角方向地配置在滑臺20上，在 圓弧軌道滑動時(shí)在與圓弧軌道方向的直角方向(圓弧的徑向)上可移動地對滑臺20進(jìn)行 支撐導(dǎo)向?；剞D(zhuǎn)導(dǎo)向裝置22配置在滑臺導(dǎo)向裝置23和滑塊24之間，在圓弧軌道滑動時(shí)可 旋轉(zhuǎn)地沿軌道圓弧部25b對滑塊24進(jìn)行支撐導(dǎo)向。通過如此構(gòu)成，滑臺20能夠在直線軌 道滑動時(shí)沿直線軌道滑動，并在圓弧軌道滑動時(shí)沿圓弧軌道滑動。在此，圓弧軌道滑動時(shí)的滑臺20通過配置在其左右的2個(gè)滑塊24而被限制在徑向上并進(jìn)行滑動。因此，動子10的中心、編碼器讀頭30、霍爾傳感器31等的移動軌跡為圓 弧。而且，即使直曲動導(dǎo)向裝置發(fā)生搖動，也可通過滑臺20的左右2個(gè)滑塊24而使搖動相 互抵消。結(jié)果滑臺20不會向直線軌道或圓弧軌道以外的方向變動，而安裝于滑臺20的編 碼器讀頭30、霍爾傳感器31等也不會發(fā)生變動。而且，由于將2個(gè)直曲動導(dǎo)向裝置的滑塊24配置在與直線軌道或圓弧軌道正交的 直線上，并在左右一對直曲動導(dǎo)向裝置21之間配置有位置檢測裝置30，所以消除了因直曲 動導(dǎo)向裝置的搖動而引起的編碼器讀頭30、霍爾傳感器31等的變動。通過再加上該效果， 而能夠在由直線軌道和圓弧軌道構(gòu)成的軌道上更順暢地滑動，并且實(shí)現(xiàn)更精確的定位。實(shí)施例5圖8是從上面觀察表示第5實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)的直曲動馬達(dá)系統(tǒng)的滑臺的透視圖， (a)是說明直線軌道滑動時(shí)的狀態(tài)的圖，(b)是說明圓弧軌道滑動時(shí)的狀態(tài)的圖。在圖8中，50是預(yù)壓調(diào)節(jié)裝置。第5實(shí)施方式與第4實(shí)施方式的不同之處在于，在直曲動導(dǎo)向裝置上設(shè)置有預(yù)壓 調(diào)節(jié)裝置50。在第5實(shí)施方式中，在配置于滑臺20左右2個(gè)位置上的2個(gè)滑塊24中，在圓 弧軌道滑動時(shí)位于外側(cè)的滑塊24上設(shè)置有預(yù)壓調(diào)節(jié)裝置50。預(yù)壓調(diào)節(jié)裝置50為設(shè)置有彈 簧的結(jié)構(gòu)，以便將滑塊24壓向軌道直線部25a或軌道圓弧部25b。通過如此構(gòu)成，能夠進(jìn)行與第4實(shí)施方式一樣的動作，能夠得到同樣的效果。而 且，由于在滑塊24上設(shè)置有預(yù)壓調(diào)節(jié)裝置50，所以能夠利用預(yù)壓力調(diào)節(jié)直曲動導(dǎo)向裝置的 搖動和摩擦阻力。也就是說，能夠在由直線軌道和圓弧軌道構(gòu)成的所有軌道上實(shí)現(xiàn)順暢的 滑動和精確的定位。實(shí)施例6圖9是從上面觀察表示第6實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)的滑臺的透視圖，(a)是說明直線軌 道滑動時(shí)的狀態(tài)的圖，(b)是說明圓弧軌道滑動時(shí)的狀態(tài)的圖。第6實(shí)施方式與第1 第5實(shí)施方式的不同之處在于，僅由霍爾傳感器31構(gòu)成位 置檢測裝置。如第1實(shí)施方式所示，由該霍爾傳感器31得到的磁極信息是在直線軌道和圓 弧軌道沒有誤差的信息。因此，通過根據(jù)由霍爾傳感器31得到的磁極信息向動子10的繞 組11通入電流，而動子10通過與定子直線部IlOa和定子圓弧部IlOb的永久磁鐵111a、 Illb所生成的磁場的作用而在直線軌道或圓弧軌道上產(chǎn)生規(guī)定的推力。也就是說，能夠在 由直線軌道和圓弧軌道構(gòu)成的所有軌道上實(shí)現(xiàn)順暢的滑動。而且，通過由霍爾傳感器31檢測出的永久磁鐵IllaUllb的磁通密度的正弦波分 布，可生成位置的正弦波信號并進(jìn)行位置控制。因此，在不需要高精度定位的用途中，不使 用高價(jià)的編碼器而是通過廉價(jià)的結(jié)構(gòu)，即可在由直線軌道和圓弧軌道構(gòu)成的所有的軌道上 進(jìn)行定位。實(shí)施例7圖10是從上面觀察表示第7實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)的滑臺的透視圖，(a)是說明直線軌 道滑動時(shí)的狀態(tài)的圖，(b)是說明圓弧軌道滑動時(shí)的狀態(tài)的圖。第7實(shí)施方式與第1 第6實(shí)施方式的不同之處在于，僅通過由標(biāo)尺130和編碼 器讀頭30組成的編碼器來構(gòu)成位置檢測裝置。由于由高精度的編碼器構(gòu)成位置檢測裝置，所以能夠得到動子10的高精度的位置?？筛鶕?jù)該位置信息生成動子10的電氣位置并進(jìn)行電流控制，或者進(jìn)行位置控制。因此， 能夠在由直線軌道和圓弧軌道構(gòu)成的軌道上順暢地滑動，并且實(shí)現(xiàn)精確的定位。實(shí)施例8圖11是表示第8實(shí)施方式的直曲動馬達(dá)系統(tǒng)的俯視圖。第8實(shí)施方式與第1 第7實(shí)施方式的不同之處在于，設(shè)置有多臺滑臺20，并使多 臺滑臺20個(gè)別地移動。另外，圖11是設(shè)置有3臺滑臺20的例子。由于能夠使多臺滑臺20個(gè)別地滑動及進(jìn)行定位，所以能夠?qū)崿F(xiàn)使用多臺滑臺的 并列作業(yè)、滑臺間的協(xié)調(diào)作業(yè)等。實(shí)施例9圖12是表示第9實(shí)施方式的直曲動馬達(dá)系統(tǒng)的俯視圖。在圖12中，40是連結(jié)構(gòu) 件。第9實(shí)施方式與第1 第8實(shí)施方式的不同之處在于，設(shè)置有多臺滑臺20，并通過 連結(jié)構(gòu)件40以可回轉(zhuǎn)的方式將它們連結(jié)在一起，從而使其整體移動。另外，圖10是連結(jié)有 2臺滑臺20的例子。由于將多臺滑臺20連結(jié)起來使其整體移動，所以能夠進(jìn)行大負(fù)荷的搬運(yùn)、多個(gè)負(fù) 荷的同時(shí)搬運(yùn)等。另外，對于本發(fā)明的實(shí)施方式，如果是本領(lǐng)域的技術(shù)人員，則能夠在不脫離本發(fā)明 主旨的范圍內(nèi)根據(jù)上述實(shí)施方式進(jìn)行適當(dāng)變更，不用說這也屬于本發(fā)明的技術(shù)范圍。而且，在第1 第9實(shí)施方式中，雖然是使動子為作為電樞的繞組，使定子為作為 場磁鐵的永久磁鐵的結(jié)構(gòu)，但是不用說即使是相反的結(jié)構(gòu)，本發(fā)明也能夠成立。而且，雖然 是僅由繞組構(gòu)成動子的所謂的無鐵心型，但是不用說即使是具有鐵心的帶鐵心型，本發(fā)明 也能夠成立。而且，不用說即使是使動子為作為電樞的繞組和鐵心，使定子為作為感應(yīng)體的鐵 心齒的結(jié)構(gòu)，還有在鐵心的表面及內(nèi)部具有永久磁鐵的結(jié)構(gòu)，本發(fā)明也能夠成立。而且，雖然是在平行的2根直線軌道之間連接有180度的圓弧軌道的軌道結(jié)構(gòu)，但 是圓弧軌道也可以不是180度，而是60度、90度等任意的角度，或者是對它們進(jìn)行連接的軌道。而且，雖然是將彈簧用于預(yù)壓調(diào)節(jié)裝置的結(jié)構(gòu)，但是例如也可以是能夠利用氣壓 來進(jìn)行調(diào)解的氣缸。由于本發(fā)明的直曲動馬達(dá)系統(tǒng)能夠通過連接多個(gè)直線軌道和圓弧軌道，而使滑臺 的移動距離變長，所以還能夠適用于進(jìn)行裝置間搬運(yùn)的用途。
權(quán)利要求
1.一種直曲動馬達(dá)系統(tǒng)，其具備左右一對直曲動導(dǎo)向裝置，自由移動地對與固定臺相對配置的滑臺左右進(jìn)行導(dǎo)向支 撐，同時(shí)具有由直線軌道和曲線軌道構(gòu)成的導(dǎo)軌和滑塊；及馬達(dá)單元，具有定子和動子以便使所述滑臺相對于所述固定臺沿所述直曲動導(dǎo)向裝 置的長度方向往復(fù)運(yùn)動，其中所述定子具有配置于所述固定臺的直線部和曲線部雙方，而 所述動子具有與所述定子隔著空隙配置于所述滑臺的直線部，其特征在于， 具備檢測所述直線軌道和所述圓弧軌道位置的位置檢測裝置， 當(dāng)使所述定子直線部的極距為距離λ m，并使所述定子圓弧部的極距為角度Ym時(shí)，所 述圓弧軌道的位置檢測點(diǎn)的半徑r為r= Xm/Ym。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的直曲動馬達(dá)系統(tǒng)，其特征在于，在所述左右一對直曲動導(dǎo)向裝置之間配置有所述位置檢測裝置。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的直曲動馬達(dá)系統(tǒng)，其特征在于，在所述滑臺下部設(shè)置有K個(gè)所述直曲動導(dǎo)向裝置的滑塊，K為3以上的奇數(shù)， 在K-I個(gè)所述滑塊和所述滑臺之間分別設(shè)置有滑臺導(dǎo)向裝置，具有使所述滑臺在與 所述導(dǎo)軌的直線軌道或圓弧軌道正交的方向上移動的機(jī)構(gòu)；及回轉(zhuǎn)導(dǎo)向裝置，具有使所述 滑塊在與所述導(dǎo)軌的圓弧軌道方向相同的方向上回轉(zhuǎn)的機(jī)構(gòu)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的直曲動馬達(dá)系統(tǒng)，其特征在于，在所述滑臺左右的下部分別設(shè)置有K個(gè)所述直曲動導(dǎo)向裝置的滑塊，K為2以上的偶數(shù)，在所述滑塊和所述滑臺之間，在設(shè)置于所述滑臺左右的一對所述導(dǎo)軌中的一側(cè)設(shè)置第 1回轉(zhuǎn)導(dǎo)向裝置，其具有使所述滑塊在與所述導(dǎo)軌的圓弧軌道方向相同的方向上回轉(zhuǎn)的機(jī) 構(gòu)，同時(shí)在所述左右一對導(dǎo)軌中的另一側(cè)設(shè)置有滑臺導(dǎo)向裝置，具有使所述滑臺在與所述 導(dǎo)軌的直線軌道或圓弧軌道正交的方向上移動的機(jī)構(gòu)；及第2回轉(zhuǎn)導(dǎo)向裝置，具有使所述 滑塊在與所述導(dǎo)軌的圓弧軌道方向相同的方向上回轉(zhuǎn)的機(jī)構(gòu)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的直曲動馬達(dá)系統(tǒng)，其特征在于，在所述滑臺下部設(shè)置有K個(gè)所述直曲動導(dǎo)向裝置的滑塊，K為4以上的整數(shù)， 在所述滑塊和所述滑臺之間，在設(shè)置于所述滑臺左右的一對所述導(dǎo)軌中的一側(cè)的所述 滑塊中的2個(gè)上分別設(shè)置有滑臺導(dǎo)向裝置，具有使所述滑臺在與所述導(dǎo)軌的直線軌道或 圓弧軌道正交的方向上移動的機(jī)構(gòu)；及回轉(zhuǎn)導(dǎo)向裝置，具有使所述滑塊在與所述導(dǎo)軌的圓 弧軌道方向相同的方向上回轉(zhuǎn)的機(jī)構(gòu)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的直曲動馬達(dá)系統(tǒng)，其特征在于， 在所述滑塊上設(shè)置有預(yù)壓調(diào)節(jié)裝置。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的直曲動馬達(dá)系統(tǒng)，其特征在于，所述馬達(dá)單元構(gòu)成為，使所述動子或所述定子的一方為場磁鐵，其沿平板磁性體磁軛 的長度方向以極性交替不同的方式等間距地配置有多個(gè)永久磁鐵，并使另一方為電樞，其 配置有多個(gè)電樞繞組。
8.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的直曲動馬達(dá)系統(tǒng)，其特征在于， 所述位置檢測裝置由檢測所述永久磁鐵的磁場的霍爾傳感器構(gòu)成。
9.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的直曲動馬達(dá)系統(tǒng)，其特征在于，所述位置檢測裝置由編碼器構(gòu)成，所述編碼器具備標(biāo)尺，具有所述直線軌道和所述圓 弧軌道的位置信息；及編碼器讀頭，檢測出所述位置信息。
10.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的直曲動馬達(dá)系統(tǒng)，其特征在于， 設(shè)置有多臺所述滑臺，同時(shí)使多臺所述滑臺個(gè)別地移動。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的直曲動馬達(dá)系統(tǒng)，其特征在于， 將所述多臺滑臺連結(jié)起來使其整體移動。
全文摘要
本發(fā)明提供一種直曲動馬達(dá)系統(tǒng)，能夠在由直線軌道和圓弧軌道構(gòu)成的軌道上順暢地滑動，并進(jìn)行精確的定位。具體為，一種直曲動馬達(dá)系統(tǒng)，其具備直曲動導(dǎo)向裝置，自由移動地對滑臺左右進(jìn)行導(dǎo)向支撐，并由直線軌道和曲線軌道構(gòu)成；及馬達(dá)單元，具有定子和動子，其中定子具有定子直線部即永久磁鐵(111a)和定子曲線部即永久磁鐵(111b)這兩者，而動子與該定子隔著空隙配置于滑臺并具備具有直線部的繞組(11)，其為，具備檢測直線軌道和圓弧軌道位置的編碼器讀頭(30)、霍爾傳感器(31)，同時(shí)當(dāng)使該定子直線部的極距為距離λm，并使該定子圓弧部的極距為角度γm時(shí)，所述圓弧軌道的位置檢測點(diǎn)的半徑r為r＝λm/γm。
文檔編號H02K41/02GK101997386SQ20101025264
公開日2011年3月30日 申請日期2010年8月10日 優(yōu)先權(quán)日2009年8月18日
發(fā)明者大島幹男, 牧野省吾, 貞包健一, 鹿山透 申請人:株式會社安川電機(jī)