本發(fā)明涉及一種檢測(cè)照射于被檢測(cè)物的光的檢測(cè)裝置。

背景技術(shù)：

在檢測(cè)照射于被檢測(cè)物的光的檢測(cè)裝置中，例如，基于檢測(cè)出的光拍攝被檢測(cè)物，利用通過拍攝而形成的圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行被檢測(cè)物的檢查。在下述專利文獻(xiàn)1中記載有如下技術(shù)：用于通過兩臺(tái)拍攝裝置從兩個(gè)方向拍攝被檢測(cè)物，并基于通過來自這兩個(gè)方向的拍攝而形成的圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行被檢測(cè)物的檢查。另外，由于通過兩臺(tái)拍攝裝置從兩個(gè)方向拍攝被檢測(cè)物的效率較差，因此在下述專利文獻(xiàn)2中記載有如下技術(shù)：用于通過一臺(tái)拍攝裝置從兩個(gè)方向拍攝被檢測(cè)物。

專利文獻(xiàn)1：日本特開2006-41158號(hào)公報(bào)

專利文獻(xiàn)2：日本特開2012-4306號(hào)公報(bào)

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

如上述專利文獻(xiàn)2所記載的那樣，通過一臺(tái)拍攝裝置從兩個(gè)方向拍攝被檢測(cè)物，從而能夠?qū)崿F(xiàn)低成本化。但是，在通過一臺(tái)拍攝裝置從兩個(gè)方向拍攝被檢測(cè)物時(shí)，通常從第一方向拍攝被檢測(cè)物的情況下的光的路線(以下，有時(shí)記載為“第一光路”)與從第二方向拍攝被檢測(cè)物的情況下的光的路線(以下，有時(shí)記載為“第二光路”)不同，通過沿各個(gè)路線的光而形成有從第一方向拍攝到的被檢測(cè)物的圖像數(shù)據(jù)和從第二方向拍攝到的被檢測(cè)物的圖像數(shù)據(jù)。然而，存在有如下情況：從第一方向拍攝被檢測(cè)物的情況下照射的光不僅進(jìn)入到第一光路，還進(jìn)入到第二光路。在這樣的情況下，有可能因進(jìn)入到第二光路的光而在被檢測(cè)物的來自第一方向的拍攝時(shí)的圖像上顯現(xiàn)重影圖像，從而無法適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行被檢測(cè)物的檢查。本發(fā)明就是鑒于這樣的實(shí)際情況而作出的，本發(fā)明的課題是防止重影圖像顯現(xiàn)在被檢測(cè)物的來自第一方向的拍攝時(shí)的圖像上。

為了解決上述課題，本申請(qǐng)所記載的檢測(cè)裝置為一種檢測(cè)裝置，用于檢測(cè)照射于被檢測(cè)物的光，上述檢測(cè)裝置的特征在于，具備：第一光源，從第一方向向上述被檢測(cè)物照射光；第二光源，從第二方向向上述被檢測(cè)物照射光；檢測(cè)部，用于檢測(cè)從上述第一光源照射的光和從上述第二光源照射的光；第一導(dǎo)光部件，將從上述第一光源照射的光經(jīng)由第一光路引導(dǎo)至上述檢測(cè)部；第二導(dǎo)光部件，將從上述第二光源照射的光經(jīng)由第二光路引導(dǎo)至上述檢測(cè)部；及遮光部件，遮擋從上述第一光源照射的光，以使從上述第一光源照射的光不會(huì)沿上述第二光路到達(dá)上述檢測(cè)部。

發(fā)明效果

在本申請(qǐng)所記載的檢測(cè)裝置中，通過第一光源從第一方向向被檢測(cè)物照射光，通過第二光源從第二方向向被檢測(cè)物照射光。并且，從第一光源照射的光經(jīng)由第一光路到達(dá)檢測(cè)部，從第二光源照射的光經(jīng)由第二光路到達(dá)檢測(cè)部。而且，通過遮光部件進(jìn)行遮擋，以使從第一光源照射的光不會(huì)沿第二光路到達(dá)檢測(cè)部。由此，能夠防止重影圖像顯現(xiàn)在被檢測(cè)物的來自第一方向的拍攝時(shí)的圖像上。

附圖說明

圖1是表示電子元件裝配裝置的立體圖。

圖2是表示吸嘴的立體圖。

圖3是表示吸嘴管理裝置的立體圖。

圖4是表示本發(fā)明的拍攝裝置的概略圖。

圖5是表示由本發(fā)明的拍攝裝置所拍攝到的吸嘴的下表面的圖像的圖。

圖6是表示由本發(fā)明的拍攝裝置所拍攝到的吸嘴的側(cè)方的圖像的圖。

圖7是表示比較例的拍攝裝置的概略圖。

圖8是表示本發(fā)明的拍攝裝置的概略圖。

圖9是表示比較例的拍攝裝置的概略圖。

圖10是表示由比較例的拍攝裝置所拍攝到的吸嘴的下表面的圖像的圖。

圖11是表示本發(fā)明的拍攝裝置的概略圖。

具體實(shí)施方式

以下，作為用于實(shí)施本發(fā)明的方式，參照附圖詳細(xì)地說明本發(fā)明的實(shí)施例。

＜電子元件裝配裝置的結(jié)構(gòu)＞

在圖1中示出電子元件裝配裝置(以下，有時(shí)省略為“裝配裝置”)10。裝配裝置10具有一個(gè)系統(tǒng)底座12和在該系統(tǒng)底座12之上相鄰的兩臺(tái)電子元件裝配機(jī)(以下，有時(shí)省略為“裝配機(jī)”)14。此外，將裝配機(jī)14的排列方向稱為X軸方向，將與該方向呈直角的水平的方向稱為Y軸方向。

各裝配機(jī)14主要具備裝配機(jī)主體20、搬運(yùn)裝置22、裝配頭移動(dòng)裝置(以下，有時(shí)省略為“移動(dòng)裝置”)24、裝配頭26、供給裝置28及吸嘴站30。裝配機(jī)主體20由框架部32和架設(shè)在該框架部32上的橫梁部34構(gòu)成。

搬運(yùn)裝置22具備兩個(gè)輸送裝置40、42。這兩個(gè)輸送裝置40、42以相互平行且沿X軸方向延伸的方式配設(shè)于框架部32。兩個(gè)輸送裝置40、42分別通過電磁馬達(dá)(省略圖示)沿X軸方向搬運(yùn)支撐于各輸送裝置40、42的電路基板。另外，電路基板由基板保持裝置(省略圖示)固定地保持在預(yù)定的位置。

移動(dòng)裝置24是XY機(jī)器人型的移動(dòng)裝置。移動(dòng)裝置24具備使滑動(dòng)件50沿X軸方向滑動(dòng)的電磁馬達(dá)(省略圖示)和沿Y軸方向滑動(dòng)的電磁馬達(dá)(省略圖示)。在滑動(dòng)件50上安裝有裝配頭26，該裝配頭26通過兩個(gè)電磁馬達(dá)的工作而向框架部32上的任意的位置移動(dòng)。

裝配頭26是對(duì)電路基板裝配電子元件的裝置。在裝配頭26的下端面設(shè)有吸嘴60。如圖2所示，吸嘴60由軀干筒64、凸緣部66、吸附管68及卡掛銷70構(gòu)成。軀干筒64形成為圓筒狀，凸緣部66以突出的方式固定于軀干筒64的外周面。吸附管68形成為細(xì)的管狀，以從軀干筒64的下端部向下方延伸出的狀態(tài)被軀干筒64保持為能夠沿軸線方向移動(dòng)。卡掛銷70以沿軀干筒64的徑向延伸的方式設(shè)于軀干筒64的上端部。吸嘴60利用卡掛銷70以單觸式能夠裝卸地安裝于裝配頭26。另外，在裝配頭26內(nèi)置有彈簧(省略圖示)，該彈簧對(duì)安裝于裝配頭26的吸嘴60的吸附管68賦予彈力。由此，通過內(nèi)置于裝配頭26的彈簧的彈力對(duì)該吸附管68向從軀干筒64的下端部向下方延伸出的方向推壓。

另外，吸嘴60經(jīng)由負(fù)壓空氣、正壓空氣通路而與正負(fù)壓供給裝置(省略圖示)連通。各吸嘴60通過負(fù)壓吸附保持電子元件，通過正壓使保持的電子元件脫離。另外，裝配頭26具有使吸嘴60升降的吸嘴升降裝置(省略圖示)。裝配頭26通過該吸嘴升降裝置來變更所保持的電子元件的上下方向上的位置。

供給裝置28是供料器型的供給裝置，如圖1所示，配設(shè)于框架部32的前方側(cè)的端部。供給裝置28具有帶式供料器72。帶式供料器72以卷繞的狀態(tài)收容有帶化元件。帶化元件是對(duì)電子元件進(jìn)行編帶而得到的元件。并且，帶式供料器72通過送出裝置(省略圖示)送出帶化元件。由此，供料器型的供給裝置28通過帶化元件的送出，在供給位置供給電子元件。

吸嘴站30具有收容多個(gè)吸嘴60的吸嘴托盤77。在該吸嘴站30，根據(jù)需要進(jìn)行安裝于裝配頭26的吸嘴60與收納于吸嘴托盤77的吸嘴60的互換等。另外，吸嘴托盤77能夠相對(duì)于吸嘴站30進(jìn)行裝卸，能夠在裝配機(jī)14的外部進(jìn)行收容于吸嘴托盤77的吸嘴60的回收、吸嘴60向吸嘴托盤77的補(bǔ)給等。

＜裝配機(jī)的裝配作業(yè)＞

在裝配機(jī)14中，根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，能夠通過裝配頭26對(duì)保持于搬運(yùn)裝置22的電路基板進(jìn)行裝配作業(yè)。具體地說，根據(jù)裝配機(jī)14的控制裝置(省略圖示)的指令，電路基板被搬運(yùn)至作業(yè)位置并由基板保持裝置固定地保持在該位置。另外，帶式供料器72根據(jù)控制裝置的指令送出帶化元件，并在供給位置供給電子元件。并且，裝配頭26向電子元件的供給位置的上方移動(dòng)，并通過吸嘴60吸附保持電子元件。接著，裝配頭26向電路基板的上方移動(dòng)，并將所保持的電子元件向電路基板上裝配。

＜吸嘴的檢查＞

在裝配機(jī)14中，如上所述，通過吸嘴60吸附保持由帶式供料器72供給的電子元件，并將該電子元件向電路基板上裝配。因此，當(dāng)在吸嘴60產(chǎn)生有缺陷時(shí)，無法執(zhí)行適當(dāng)?shù)难b配作業(yè)。考慮到這樣的問題，將吸嘴托盤77從裝配機(jī)14的吸嘴站30取下，在吸嘴管理裝置中進(jìn)行收容于吸嘴托盤77的吸嘴60的檢查。

詳細(xì)地說，如圖3所示，吸嘴管理裝置78形成為大致立方體形狀，在正面設(shè)有用于將吸嘴托盤77收納在吸嘴管理裝置78內(nèi)、或者從吸嘴管理裝置78取出吸嘴托盤77的抽屜79。并且，收納在吸嘴管理裝置78內(nèi)的吸嘴60在吸嘴管理裝置78內(nèi)進(jìn)行管理及檢查。在該吸嘴60的檢查時(shí)，進(jìn)行吸嘴60的拍攝，基于拍攝數(shù)據(jù)，進(jìn)行吸嘴60的吸附管68的狀態(tài)及吸附管68從軀干筒64突出的突出量的檢查。如圖4所示，進(jìn)行吸嘴60的拍攝的拍攝裝置80具備三片反射鏡82、84、86、下方照明裝置88、側(cè)方照明裝置90、兩個(gè)遮光塊92、94及相機(jī)96。

在吸嘴管理裝置78中，檢查對(duì)象的吸嘴60由吸嘴把持件100把持。并且，通過拍攝裝置80拍攝由吸嘴把持件100把持的吸嘴60。三片反射鏡82、84、86中的第一反射鏡82以傾斜大致45度的狀態(tài)配設(shè)在由吸嘴把持件100把持的吸嘴60的下方。此外，第一反射鏡82的反射率為50％，透射率為50％。

三片反射鏡82、84、86中的第二反射鏡84以向與該第一反射鏡82相同的方向傾斜大致45度的狀態(tài)配設(shè)在第一反射鏡82的側(cè)方。此外，第二反射鏡84的反射率為30％，透射率為70％。另外，三片反射鏡82、84、86中的第三反射鏡86以向與該第二反射鏡84相同的方向傾斜大致45度的狀態(tài)配設(shè)在第二反射鏡84的上方。此外，第三反射鏡86的反射率為100％，透射率為0％。

另外，下方照明裝置88具備側(cè)射照明102和落射照明104。側(cè)射照明102形成為大致圓環(huán)狀，以朝向上方的狀態(tài)配設(shè)在第一反射鏡82與由吸嘴把持件100把持的吸嘴60之間。此外，由吸嘴把持件100把持的吸嘴60的軸線與圓環(huán)狀的側(cè)射照明102的中心在上下方向上形成為大致一致。另外，落射照明104以朝上的狀態(tài)配設(shè)在第一反射鏡82的下方。由此，側(cè)射照明102從下方朝著由吸嘴把持件100把持的吸嘴60照射光，落射照明104經(jīng)由第一反射鏡82及側(cè)射照明102的內(nèi)徑部從下方朝著由吸嘴把持件100把持的吸嘴60照射光。

從側(cè)射照明102及落射照明104照射的光、即從下方照明裝置88照射的光通過由吸嘴把持件100把持的吸嘴60或者側(cè)射照明102的背面進(jìn)行反射，而沿光路(兩條虛線106之間的路線)向第一反射鏡82入射。并且，向第一反射鏡82入射的光中的50％的光量的光通過第一反射鏡82進(jìn)行反射，而沿光路(兩條虛線108之間的路線)向第二反射鏡84入射。其理由在于，第一反射鏡82的反射率為50％。另外，在向第二反射鏡84入射的光的延長線上配設(shè)有相機(jī)96。因此，向第二反射鏡84入射的光中的70％的光量的光透過第二反射鏡84而沿光路(兩條虛線110之間的路線)向相機(jī)96入射。此外，相機(jī)96具有透鏡112和拍攝元件114，向相機(jī)96入射的光經(jīng)由透鏡112而由拍攝元件114檢測(cè)到。由此，如圖5所示，獲得吸嘴60的下表面?zhèn)鹊呐臄z數(shù)據(jù)。此外，由拍攝元件114檢測(cè)到的光是相當(dāng)于通過由吸嘴把持件100把持的吸嘴60或者側(cè)射照明102的背面進(jìn)行反射的光的光量的35％(0.5×0.7＝0.35)的光。

另外，拍攝裝置80的側(cè)方照明裝置90是背光燈方式的照明裝置，如圖4所示，配設(shè)為向由吸嘴把持件100把持的吸嘴60照射光，并且使該照射的光向第三反射鏡86入射。另外，在側(cè)方照明裝置90與由吸嘴把持件100把持的吸嘴60之間配設(shè)有兩個(gè)遮光塊92、94中的第一遮光塊92，在第三反射鏡86與由吸嘴把持件100把持的吸嘴60之間配設(shè)有兩個(gè)遮光塊92、94中的第二遮光塊94。并且，在第一遮光塊92與第二遮光塊94分別形成有狹縫120、122，這兩條狹縫120、122在來自側(cè)方照明裝置90的光的照射方向上一致。因此，側(cè)方照明裝置90從第一遮光塊92的狹縫120之間向由吸嘴把持件100把持的吸嘴60照射光，該照射的光從第二遮光塊94的狹縫122之間向第三反射鏡86入射。此時(shí)，從側(cè)方照明裝置90照射的光沿光路(兩條虛線124之間的路線)向第三反射鏡86入射。

并且，向第三反射鏡86入射的光中的100％的光量的光通過第三反射鏡86進(jìn)行反射，而沿光路(兩條虛線126之間的路線)向第二反射鏡84入射。其理由在于，第三反射鏡86的反射率為100％。接著，向第二反射鏡84入射的光中的30％的光量的光通過第二反射鏡84進(jìn)行反射，而沿光路(兩條虛線128之間的路線)向相機(jī)96入射。由此，如圖6所示，獲得來自吸嘴60的側(cè)方的拍攝數(shù)據(jù)。此外，由于向相機(jī)96入射的光是通過了狹縫122之間的光，因此由圖中的單點(diǎn)劃線130界定的形狀形成為與狹縫122相對(duì)應(yīng)的形狀。另外，由拍攝元件114檢測(cè)到的光是相當(dāng)于從側(cè)方照明裝置90照射的光的光量的30％(1.0×0.3＝0.3)的光。

如上所述，在拍攝裝置80中，通過經(jīng)由第一光路、具體地說為經(jīng)由兩條虛線106之間的路線、兩條虛線108之間的路線及兩條虛線110之間的路線而向相機(jī)96入射的光來拍攝吸嘴60的下表面?zhèn)?，通過經(jīng)由第二光路、具體地說為經(jīng)由兩條虛線124之間的路線、兩條虛線126之間的路線及兩條虛線128之間的路線而向相機(jī)96入射的光來拍攝吸嘴60的側(cè)方。由此，無需使用吸嘴60的下表面的拍攝用的相機(jī)和側(cè)面的拍攝用的相機(jī)這兩臺(tái)相機(jī)，能夠?qū)崿F(xiàn)拍攝裝置的低成本化。但是，能夠利用第一光路和第二光路通過一臺(tái)相機(jī)96從兩個(gè)方向拍攝吸嘴60的理由在于存在有兩個(gè)遮光塊92、94。若該遮光塊92、94不存在，則吸嘴60的側(cè)方的圖像可能作為重影像顯現(xiàn)在吸嘴60的下表面?zhèn)鹊膱D像上。

具體地說，使用圖7，以未配設(shè)遮光塊92、94的拍攝裝置140為例進(jìn)行說明。此外，由于拍攝裝置140除了未配設(shè)遮光塊92、94以外均與拍攝裝置80相同，因此在拍攝裝置140的說明中使用與拍攝裝置80的結(jié)構(gòu)要素相同的附圖標(biāo)記。

在拍攝裝置140中，當(dāng)為了進(jìn)行吸嘴60的下表面的拍攝而通過下方照明裝置88照射光時(shí)，與拍攝裝置80相同，該光經(jīng)由第一光路、即兩條虛線106之間的路線、兩條虛線108之間的路線及兩條虛線110之間的路線而向相機(jī)96入射。另外，存在有如下情況：從下方照明裝置88照射的光、特別是從側(cè)射照明102照射的光直接或者由側(cè)方照明裝置90的擴(kuò)散板(省略圖示)反射而向第三反射鏡86入射。在這樣的情況下，當(dāng)從下方照明裝置88照射的光沿光路(兩條虛線146之間的路線)向第三反射鏡86入射時(shí)，由第三反射鏡86反射。并且，由第三反射鏡86反射的光沿光路(兩條虛線148之間的路線)向第二反射鏡84入射。當(dāng)向該第二反射鏡84入射的光由第二反射鏡84反射時(shí)，該反射后的光沿光路(兩條虛線110之間的路線)向相機(jī)96入射。該光路(兩條虛線110之間的路線)與第一光路、即用于形成吸嘴60的下表面?zhèn)鹊膱D像的光的路線相同。因此，在拍攝元件114中，用于形成吸嘴60的下表面?zhèn)鹊膱D像的光與用于形成吸嘴60的側(cè)面的圖像的光以重合的狀態(tài)被檢測(cè)出。由此，吸嘴60的側(cè)方的圖像作為重影像顯現(xiàn)在吸嘴60的下表面?zhèn)鹊膱D像上。

另一方面，在拍攝裝置80中，遮光塊92、94遮擋由下方照明裝置88照射的光，從而防止重影像的顯現(xiàn)。具體地說，如圖8所示，即使在側(cè)射照明102照射了沿虛線150的光路的光的情況下，該光雖到達(dá)第二遮光塊94的狹縫122的內(nèi)部，但是通過第二遮光塊94的厚度而防止光向第三反射鏡86的入射。另外，即使在側(cè)射照明102照射了沿虛線152的光路的光的情況下，該光雖到達(dá)第一遮光塊92的狹縫120的內(nèi)部，但是通過第一遮光塊92的厚度而防止向側(cè)方照明裝置90的擴(kuò)散板的入射。即，防止因側(cè)方照明裝置90的擴(kuò)散板的反射而使光向第三反射鏡86入射。這樣，在拍攝裝置80中，通過遮光塊92、94遮擋從下方照明裝置88照射的光，從而防止重影像顯現(xiàn)在吸嘴60的下表面?zhèn)鹊膱D像上。

但是，存在有如下情況：從下方照明裝置88照射的光由吸嘴60反射，該反射的光經(jīng)由沿虛線156的光路而向第三反射鏡86入射?？紤]到這樣的問題，在拍攝裝置80中，在遮光塊92、94形成有狹縫120、122，以使側(cè)方照明裝置90向拍攝吸嘴60的下表面?zhèn)葧r(shí)的吸嘴60的下端部、即吸附管68的中央部周邊照射光，而不是向吸附管68的前端部照射光。

具體地說，例如，在圖9所示的拍攝裝置170中，在遮光塊172、174形成有狹縫176、178，以使側(cè)方照明裝置90向吸嘴60的吸附管68的下端部照射光。此外，由于拍攝裝置170除了遮光塊172、174以外均與拍攝裝置80相同，因此在拍攝裝置170的說明中使用與拍攝裝置80的結(jié)構(gòu)要素相同的附圖標(biāo)記。

在該拍攝裝置170中，存在有如下情況：從下方照明裝置88照射的光通過吸嘴60進(jìn)行反射，該反射的光從遮光塊174的狹縫178之間向第三反射鏡86入射。在這樣的情況下，由吸嘴60反射的光沿光路(兩條虛線180之間的路線)向第三反射鏡86入射。并且，向第三反射鏡86入射的光通過第三反射鏡86進(jìn)行反射，該反射的光沿光路(兩條虛線182之間的路線)向第二反射鏡84入射。當(dāng)該向第二反射鏡84入射的光由第二反射鏡84反射時(shí)，該反射的光沿光路(兩條虛線184之間的路線)向相機(jī)96入射。向該相機(jī)96入射的光的路線為兩條虛線184之間的路線，位于用于形成吸嘴60的下表面?zhèn)鹊膱D像的光的路線(兩條虛線110之間的路線)的中央部。因此，如圖10所示，有可能因經(jīng)由兩條虛線184之間的路線向相機(jī)96入射的光而在吸嘴60的下表面?zhèn)鹊膱D像的中央部顯現(xiàn)由實(shí)線160界定的重影像。這樣，當(dāng)在吸嘴60的下表面?zhèn)鹊膱D像的中央部顯現(xiàn)重影像時(shí)，重影像會(huì)妨礙吸嘴60的下表面?zhèn)鹊臋z查，無法適當(dāng)?shù)貦z測(cè)吸嘴60的下表面?zhèn)取⒓次?0的吸附管68的狀態(tài)。

另一方面，如圖8所示，在拍攝裝置80中，在遮光塊92、94形成有狹縫120、122，以使側(cè)方照明裝置90向拍攝吸嘴60的下表面?zhèn)葧r(shí)的吸嘴60的吸附管68的中央部周邊照射光。因此，在由吸嘴60反射的光向第三反射鏡86入射的情況下，該光如上所述地經(jīng)由第二光路、即兩條虛線124之間的路線、兩條虛線126之間的路線及兩條虛線128之間的路線而向相機(jī)96入射。該向相機(jī)96入射的光的路線為兩條虛線128之間的路線，位于用于形成吸嘴60的下表面?zhèn)鹊膱D像的光的路線(兩條虛線110之間的路線)的端部。因此，如圖5所示，雖因經(jīng)由兩條虛線128之間的路線向相機(jī)96入射的光而在吸嘴60的下表面?zhèn)鹊膱D像上顯現(xiàn)由實(shí)線160界定的重影像，但是該重影像顯現(xiàn)在與吸嘴60的下表面?zhèn)鹊膱D像不同的部位，不會(huì)妨礙吸嘴60的下表面?zhèn)鹊臋z查。由此，能夠適當(dāng)?shù)貦z查吸嘴60的吸附管68的狀態(tài)。

這樣，在拍攝裝置80中，通過配設(shè)反射鏡84、86、遮光塊92、94并且使該反射鏡84、86的配設(shè)位置適當(dāng)以及使狹縫120、122相對(duì)于該遮光塊92、94的形成位置適當(dāng)，能夠適當(dāng)?shù)嘏臄z吸嘴60的下表面?zhèn)?，能夠適當(dāng)?shù)貦z查吸嘴60的吸附管68的狀態(tài)。

另外，吸嘴60的側(cè)方的拍攝的目的在于檢查吸附管68從軀干筒64突出的突出量，需要拍攝吸附管68的前端部。即，基于拍攝數(shù)據(jù)，檢測(cè)吸附管68的前端部的位置，基于該吸附管68的前端部的位置，計(jì)算吸附管68從軀干筒64突出的突出量。然而，在拍攝裝置80中，如上所述，在遮光塊92、94形成有狹縫120、122，以使側(cè)方照明裝置90向拍攝吸嘴60的下表面?zhèn)葧r(shí)的吸嘴60的吸附管68的中央部周邊照射光。即，由于在拍攝吸嘴60的下表面?zhèn)葧r(shí)的吸嘴60的位置處進(jìn)行了吸嘴60的側(cè)方的拍攝的情況下拍攝吸嘴60的吸附管68的中央部周邊，因此無法計(jì)算吸附管68從軀干筒64突出的突出量。因此，在拍攝吸嘴60的側(cè)方時(shí)，使吸嘴60移動(dòng)，以使通過側(cè)方照明裝置90向吸嘴60的吸附管68的前端部照射光。

具體地說，在吸嘴60的側(cè)方的拍攝時(shí)，如圖11所示，使吸嘴把持件100向上方移動(dòng)，以使吸嘴60的吸附管68的前端部位于從側(cè)方照明裝置90照射的光的路線(兩條虛線124之間的路線)上。由此，從側(cè)方照明裝置90照射的光經(jīng)由第二光路、即兩條虛線124之間的路線、兩條虛線126之間的路線及兩條虛線128之間的路線而向相機(jī)96入射，從而如圖6所示，拍攝吸嘴60的吸附管68的前端部。

這樣，在拍攝裝置80中，通過配設(shè)遮光塊92、94、使狹縫120、122的形成位置適當(dāng)、變更吸嘴60的與拍攝部位相對(duì)應(yīng)的拍攝位置等，能夠通過一臺(tái)相機(jī)96適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行吸嘴60的下表面的拍攝和側(cè)方的拍攝。

另外，在拍攝裝置80中，經(jīng)由進(jìn)行吸嘴60的下表面的拍攝時(shí)的吸嘴60與相機(jī)96之間的第一光路的距離與經(jīng)由進(jìn)行吸嘴60的側(cè)方的拍攝時(shí)的吸嘴60與相機(jī)96之間的第二光路的距離相同。即，經(jīng)由圖4中的兩條虛線106之間的路線、兩條虛線108之間的路線及兩條虛線110之間的路線的吸嘴60與相機(jī)96之間的距離和經(jīng)由圖11中的兩條虛線124之間的路線、兩條虛線126之間的路線及兩條虛線128之間的路線的吸嘴60與相機(jī)96之間的距離相同。由此，在吸嘴60的下表面的拍攝時(shí)和側(cè)方的拍攝時(shí)，無需進(jìn)行調(diào)焦，從而實(shí)現(xiàn)了作業(yè)性優(yōu)異的拍攝裝置。

順便說一下，在上述實(shí)施例中，吸嘴60為吸嘴的一個(gè)例子。拍攝裝置80為檢測(cè)裝置的一個(gè)例子。下方照明裝置88為第一光源的一個(gè)例子。側(cè)方照明裝置90為第二光源的一個(gè)例子。第一反射鏡82和第二反射鏡84為第一導(dǎo)光部件的一個(gè)例子。第二反射鏡84和第三反射鏡86為第二導(dǎo)光部件的一個(gè)例子。遮光塊92、94為遮光部件的一個(gè)例子。

此外，本發(fā)明并不局限于上述實(shí)施例，能夠以基于本領(lǐng)域技術(shù)人員的知識(shí)實(shí)施了各種變更、改進(jìn)的各種方式來進(jìn)行實(shí)施。具體地說，例如，在上述實(shí)施例中，作為用于遮擋光的部件，采用了遮光塊92、94，但是只要是能夠遮擋光的形狀，則能夠采用各種形狀的遮光部件。另外，在遮光塊92、94形成有狹縫120、122，并使光通過該狹縫120、122之間，但是只要以使光通過的方式貫通遮光部件即可，能夠采用各種形狀的貫通部。具體地說，例如，能夠采用使光通過端面呈U字型凹陷的部位且在除了該凹陷的部位以外的部位遮擋光的構(gòu)造的遮光部件。

另外，在上述實(shí)施例中，本發(fā)明的檢測(cè)裝置被用作用于進(jìn)行吸嘴60的拍攝的裝置，但是也可以將本發(fā)明的檢測(cè)裝置用作進(jìn)行除了吸嘴60以外的各種部件的拍攝的裝置。

另外，在上述實(shí)施例中，以使吸嘴60的側(cè)方的拍攝位置位于吸嘴60的下表面的拍攝位置的上方的方式形成有狹縫120、122，但是能夠以使吸嘴60的側(cè)方的拍攝位置與吸嘴60的下表面的拍攝位置不同的方式設(shè)定狹縫120、122的形成位置。即，也可以以使吸嘴60的側(cè)方的拍攝位置位于吸嘴60的下表面的拍攝位置的下方的方式形成狹縫120、122。

而且，也可以將吸嘴60的側(cè)方的拍攝的目的設(shè)為檢查吸嘴的前端的污染、檢查是否附著有電子元件。

附圖標(biāo)記說明

60：吸嘴

80：拍攝裝置(檢測(cè)裝置)

88：下方照明裝置(第一光源)

90：側(cè)方照明裝置(第二光源)

82：反射鏡(第一導(dǎo)光部件)

84：反射鏡(第一導(dǎo)光部件)(第二導(dǎo)光部件)

86：反射鏡(第二導(dǎo)光部件)

92：遮光塊(遮光部件)

94：遮光塊(遮光部件)