專利名稱:結構中包括含玻璃布樹脂層的層合制品及其制造方法
技術領域:
本發(fā)明涉及結構中包括含玻璃布樹脂層的層合制品及其制造方法。更具體地說,本發(fā)明涉及多層結構制品,其包括稱為“預浸料”的含玻璃布樹脂層作為增強層,例如,諸如多層基板或組件的制品,以及多層結構制品的制造方法。
背景技術:
作為制造多層結構如多層線路板的方法,“積層”技術是已知的。在基層技術中,在具有形成為第一層的布線層的芯基板上,交替形成絕緣層和布線層以形成多層結構的線路板。為了在不同布線層之間傳導,在這些布線層之間形成穿過絕緣層的通路孔。
為了滿足近年來使電子元件尺寸減小或重量減輕的要求,需要使多層線路板變薄。為了達到此目的,近年來,通過插入給出高增強效應的預浸料層,制造多層結構制品。這可歸因于下述事實雖然已知預浸料是在激光加工中性能較差的材料,但由于激光加工技術的改進,同樣在包括預浸層用于增強的多層結構中,已能夠在層之間形成用于傳導的通路孔。
在專利文獻1中披露了在制造包括預浸料的多層結構線路板中用于制作通路孔的技術。根據(jù)此技術,如圖3A所示,下布線層103形成在基板101上,預浸料絕緣層105疊加于下布線層103上,此制備完成以后,如圖3B所示,通過激光加工在其上制作大直徑孔107,通過該孔露出部分下布線層103。接著,如圖3C所示,形成疊加于預浸料絕緣層105的絕緣樹脂層109。此外,如圖3D所示,在大直徑孔107內(nèi),通過激光加工制作小直徑孔111。其后,如圖3E所示,對小直徑孔111進行導電處理以形成通路孔113。在形成通路孔113以后,可以形成連接于通路孔113的上布線層115。
專利文獻1JP-A-2004-356232在專利文獻1中披露的用于制造多層線路板的方法中,在形成通路孔113的過程中必須進行兩次激光加工,用于制造大直徑孔107和小直徑孔111,從而使加工步驟復雜化。此外,為了在大直徑孔內(nèi)制作小直徑孔,則需要比在制作單孔的情況下更高的激光加工精度。此外,使優(yōu)選為120至50μm的小直徑孔111經(jīng)受導電處理不可能如此容易地進行。
發(fā)明內(nèi)容
鑒于上述情況,本發(fā)明的目的是提供一種層合制品及其制造方法,其中層合制品包括含玻璃布樹脂層,具有能夠通過簡單步驟制作通路孔的多層結構。
根據(jù)本發(fā)明,提供了一種層合制品,該層合制品包括交替層合的布線層和絕緣層;以及不同的布線層,借助穿過絕緣層的通路孔布線層彼此電連接,其中至少絕緣層之一是層合體,該層合體包括在下布線層上的絕緣樹脂層以及在絕緣樹脂層上的含玻璃布樹脂層,以及,在層合體中,通路孔從含玻璃布樹脂層到絕緣樹脂層連續(xù)穿過。
此外,根據(jù)本發(fā)明的包括含玻璃布樹脂層的層合制品是借助這樣一種方法加以制造,該方法包括以下步驟在具有布線層的下板上交替層合至少一組布線層和絕緣層,以及借助穿過絕緣層的通路孔,使不同的布線層彼此電連接,使至少一個絕緣層成為層合體,該層合體包括依次形成在下布線層上的絕緣樹脂層和含玻璃布樹脂層,然后激光加工層合體,從而從含玻璃布樹脂層至絕緣樹脂層,連續(xù)制造用于形成通路孔的孔。
根據(jù)本發(fā)明,提供了利用連續(xù)通孔制成的通路孔,其中通孔是通過對含玻璃布樹脂層以及在其下的絕緣樹脂層一起進行激光加工而制成的,而含玻璃布樹脂層以及在其下的絕緣樹脂層構成位于上下布線層之間的復合絕緣層。在制作通路孔的常規(guī)方法的情況下,要求形成不同的樹脂層,并分別對不同樹脂層進行激光加工,與對兩層共同激光加工相比則需要高激光加工精度。另一方面,根據(jù)本發(fā)明的層合制品能夠?qū)AР紭渲瑢蛹霸谄湎碌慕^緣樹脂層進行共同激光加工,可以通過簡單步驟并以低成本制作多層制品。此外,根據(jù)本發(fā)明,與針對小直徑孔的導電處理相比,針對通孔的導電處理可以更簡單地進行,其中按照常規(guī)技術,小直徑孔是通過實施激光加工兩次而最終制成。
圖1是示意圖,其說明根據(jù)本發(fā)明的包括含玻璃布樹脂層的層合制品結構。
圖2A至圖2D是說明根據(jù)本發(fā)明多層制品制造方法的視圖。
圖3A至圖3E視圖,說明對包括含玻璃布樹脂層的層合制品結構中,根據(jù)常規(guī)技術的通路孔形成方法。
具體實施例方式
圖1示意性示出根據(jù)本發(fā)明的結構中包括含玻璃布樹脂層的層合制品1。如圖1所示,層合制品1包括疊加于下線路板3的絕緣樹脂層7,其中下線路板3配備有下布線層5;以及含玻璃布樹脂層9,絕緣樹脂層7和含玻璃布樹脂層9構成一個絕緣層11。上布線層13位于絕緣層11上。借助填入孔15的導電材料的通路孔17,下布線層5和上布線層13電連接,其中孔15依次穿過含玻璃布樹脂層9和絕緣樹脂層7。在本發(fā)明中,“孔連續(xù)穿過”是指,用于使通路孔從上部含玻璃布樹脂層到下絕緣樹脂層穿過的孔,從含玻璃布樹脂層延伸到絕緣樹脂層,而在含玻璃布樹脂層和絕緣樹脂層之間界面或附近部分的直徑?jīng)]有明顯的不連續(xù)變化,即,沒有由于在兩層之間界面以及附近部分的直徑變化而形成水平差異。在上布線層13上,可以存在另一組絕緣層和布線層。
配備有下布線層5的下線路板3可以是芯板,用來制造其上形成有積層的多層板?;蛘?,其可以是這樣的芯板,該芯板在其上積層有至少一組絕緣層和布線層。
構成絕緣層11的絕緣樹脂層7可以由絕緣樹脂制成,該絕緣樹脂通常用來在多層線路板中形成層間絕緣層。這種絕緣樹脂可以包含例如玻璃顆粒填料。位于絕緣樹脂層7上的含玻璃布樹脂層9通過用絕緣樹脂浸漬玻璃布而制成,并且由稱作“預浸料”的材料制成。兩種材料可以選自通常用于制造多層線路板的材料。
用來形成含玻璃布樹脂層9的含玻璃布樹脂材料可商購,作為具有預定厚度的制品??梢赃x擇性地采用厚度足以獲得必要增強效應的制品。例如,可以采用厚度約40μm或60μm的材料。形成位于含玻璃布樹脂層9下面的絕緣樹脂層7,其具有這樣的厚度,使層合體本身和含玻璃布樹脂層9具有必要的厚度,以保證在上下布線層之間的絕緣。厚度通常是約40至100μm。
連續(xù)穿過上部含玻璃布樹脂層9和下絕緣樹脂層7的通路孔17,可以如在普通通路孔材料中借助二氧化碳激光器來形成。對通路孔17的直徑?jīng)]有具體限制,但通常為100至300μm,優(yōu)選約150至200μm。
現(xiàn)參照圖2A至圖2D,說明根據(jù)本發(fā)明結構中包括含玻璃布樹脂層的層合制品的制造方法。
如圖2A所示,形成了覆蓋下布線層5(疊加于下線路板3)的絕緣樹脂層7(40μm的厚度)。此絕緣樹脂層7可以用包含例如約20wt%的玻璃顆粒填料的環(huán)氧樹脂形成。將含玻璃布樹脂片材放置在絕緣樹脂層7上,并模壓以形成如圖2B所示的含玻璃布樹脂層9。含玻璃布樹脂片材可以是GHPL-830HS(40μm的厚度),可購于例如Mitsubishi Gas Chemical有限公司。
其后,利用由例如Hitachi Via Mechanics,Ltd制造的激光器LC-2G,依次加工含玻璃布樹脂層9以及在它下面的絕緣樹脂層7,以制成直徑為150μm的孔15,該孔穿過含玻璃布樹脂層9和絕緣樹脂層7,以露出部分下布線層5,如圖2C所示。在激光加工期間,由例如Cu的金屬材料制成并通過加工暴露于孔15底部的下布線層5(或可以是與下布線層5連通的墊片)用作停止器,使得當孔15的深度達到下布線層5時可以完成加工。關于激光加工能力,含玻璃布樹脂層9不如具有玻璃顆粒填料的絕緣樹脂層7。通常,在針對不同材料依次進行孔加工的情況下,如果先對具有良好激光加工能力的材料進行加工,然后對激光加工能力較差的材料進行加工,在加工從前者轉換到后者的階段,則要進行比較麻煩的操作,如減小加工直徑。相反,如果先對具有較差激光加工能力的含玻璃布樹脂層9進行加工然后對具有良好激光加工能力的絕緣樹脂層7進行加工,則不會受諸如減小加工直徑的麻煩操作的影響,因此,可在下絕緣樹脂層7中形成直徑與在含玻璃布樹脂層9中制作的孔的直徑基本相同的孔。此外,對上部含玻璃布樹脂層9和下絕緣樹脂層7一起進行孔加工,將不會遇到在專利文獻1披露的方法中存在的問題,該方法中的問題是不能避免嚴格的激光加工精度。該方法中在制成大直徑孔以后,在大直徑孔內(nèi)制作另一個直徑小于大直徑孔的孔。
接著,如圖2D所示,借助常用技術用Cu噴鍍充滿孔15,以形成通路孔17。其后,也可以借助常用技術形成上布線層13。在上布線層13上,可以形成另一組(未示出)絕緣層和布線層。
到此,已參照多層板說明了根據(jù)本發(fā)明的層合制品。然而,本發(fā)明并不受此限制,根據(jù)本發(fā)明的層合制品也可以適用于多種多層結構制品,包括含玻璃布樹脂層作為增強層,例如組件制品。因此,應當明了根據(jù)本發(fā)明的層合制品包括多種制品。
權利要求
1.一種層合制品,包括交替層合的布線層和絕緣層,以及不同布線層,借助穿過所述絕緣層的通路孔彼此電連接,其中至少所述絕緣層之一是層合體,所述層合體包括在下布線層上的絕緣樹脂層以及在該絕緣樹脂層上的含玻璃布樹脂層,以及在所述層合體中,所述通路孔從所述含玻璃布樹脂層到所述絕緣樹脂層連續(xù)穿過。
2.一種制造包括含玻璃布樹脂層的層合制品的方法,所述方法包括以下步驟在具有布線層的下板上交替層合至少一組布線層和絕緣層,以及借助穿過所述絕緣層的通路孔,使不同布線層彼此電連接,使至少絕緣層之一成為層合體,所述層合體包括依次形成在下布線層上的絕緣樹脂層和含玻璃布樹脂層,以及激光加工所述層合體,從而從所述含玻璃布樹脂層至所述絕緣樹脂層,連續(xù)制造用于形成所述通路孔的孔。
3.根據(jù)權利要求1所述的層合制品,其中,關于激光加工性能,所述含玻璃布樹脂層不如所述絕緣樹脂層。
4.根據(jù)權利要求2所述的方法,其中,關于激光加工性能,所述含玻璃布樹脂層不如所述絕緣樹脂層。
5.根據(jù)權利要求1所述的層合制品,其中,所述通路孔的直徑是100至300μm。
6.根據(jù)權利要求2所述的方法,其中,所述通路孔的直徑是100至300μm。
7.根據(jù)權利要求1所述的層合制品,其中,所述通路孔的直徑是約150至200μm。
8.根據(jù)權利要求2所述的方法,其中,所述通路孔的直徑是約150至200μm。
全文摘要
根據(jù)本發(fā)明的包括含玻璃布樹脂層的結構性層合制品,是這樣一種層合制品,其中包括交替層合的布線層和絕緣層,并且不同布線層借助穿過絕緣層的通路孔而彼此電連接,其特征在于至少一個絕緣層(11)由層合體制成,而層合體包括在下布線層(5)上的絕緣樹脂層(7)和在該絕緣樹脂層上的含玻璃布樹脂層(9),以及在層合體中,通路孔(17)從上部含玻璃布樹脂層(9)到下部絕緣樹脂層(7)連續(xù)穿過。
文檔編號H05K3/00GK1921732SQ200610109978
公開日2007年2月28日 申請日期2006年8月25日 優(yōu)先權日2005年8月25日
發(fā)明者町田洋弘, 原山公作, 山野孝治 申請人:新光電氣工業(yè)株式會社