專利名稱：用于硅基電路的干燥設(shè)備及方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種烘干或干燥單層或多層的硅基電路(silicon-basedelectronic circuit)的設(shè)備及相關(guān)方法，該電路特別是但不僅是諸如光伏電池(photovoltaic cells)。
背景技術(shù)：
單層或多層以硅或氧化鋁為基礎(chǔ)的電路是公知的，特別是但不僅是諸如光伏電 池。 這種類型的光伏電池通常具有約16cmX16cm的大小，但也可以更小，通常需要在 已有的適當(dāng)?shù)母稍镌O(shè)備中進(jìn)行干燥處理。 已有的干燥設(shè)備包括基本上直線型設(shè)計的干燥箱，干燥箱包括保持在預(yù)定溫度的
干燥室，或者包括順次地處于規(guī)定的不同溫度的兩個或更多的區(qū)域，其中每個區(qū)域都具有
特定的溫度，相對臨近的區(qū)域具有與所需的干燥和/或烘干循環(huán)相關(guān)的溫度。 傳送帶通常具有鏈環(huán)(links)，但是也有其它的類型，在傳送帶上相繼地順序放置
電路，傳送帶進(jìn)入干燥箱，并持續(xù)地前進(jìn)，使將要干燥和/或烘干的電路在干燥箱中停留一
段所需的時間，通常為約45分鐘，以實(shí)現(xiàn)預(yù)定的干燥循環(huán)。 這些已有設(shè)備的一個缺點(diǎn)是，為了使設(shè)備具有限定的大小并假設(shè)每個電路的總平
面面積大約為20cmX 20cm，設(shè)備具有有限的在每小時幾百片范圍內(nèi)的生產(chǎn)率。 相反的，為了獲得較高的生產(chǎn)率，例如每小時1000至3000片，設(shè)備必須非常長，例
如在200至600米之間，并且以非常高的速度傳送電路，例如每分鐘4至13米，因此既不經(jīng)
濟(jì)又是實(shí)際上難以實(shí)現(xiàn)。 此外，由于電路的重量太輕，電路沿著傳送帶相當(dāng)快速的移動必然會存在使電 路從傳送帶上脫落的風(fēng)險。為了防止這種情況，已知可以使用與傳送帶關(guān)聯(lián)的吸引裝置 (suction device)，這種吸引裝置一方面將電路保持在傳送帶上，然而另一方面也使干燥 箱更加復(fù)雜和昂貴。 在申請人與本申請同名的歐洲專利EP-B-1. 041. 865中公開了一種制造多層電路 的設(shè)備，這種設(shè)備具有干燥箱，在干燥箱的內(nèi)部，電路以步進(jìn)的間歇速度向前移動。然而，這 種已知的干燥箱也不能獲得高的生產(chǎn)率。 因此，本發(fā)明的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)，并獲得一種用于硅基電路的干燥
設(shè)備，這種設(shè)備能夠獲得在每小時幾千片范圍內(nèi)的高生產(chǎn)率，而并不占用太多的空間，或
者無論如何還可以與工業(yè)倉庫的典型尺寸相匹配，這種設(shè)備也能夠減少用于烘干所需的熱
能、減少所需的材料、減少結(jié)構(gòu)的體積和復(fù)雜度以及改善干燥和/或烘干循環(huán)。 申請人:設(shè)計、檢驗(yàn)并實(shí)施了本發(fā)明以克服現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)并獲得這些或其它的目
的與優(yōu)點(diǎn)。

發(fā)明內(nèi)容
在獨(dú)立權(quán)利要求中，列出并描述了本發(fā)明，而從屬權(quán)利要求描述了本發(fā)明的其它 特征或者對主要發(fā)明思想的變型。 根據(jù)上述目的，一種用于硅基電路、特別是光伏電池的干燥設(shè)備包括具有干燥室 的干燥箱，所述干燥室具有入口和出口 ，通過所述入口能夠使硅基電路進(jìn)入所述干燥室內(nèi) 以經(jīng)受至少一次干燥循環(huán)，通過所述出口能夠使硅基電路移出，在所述干燥室內(nèi)設(shè)置有能 夠干燥所述硅基電路的干燥單元。所述干燥設(shè)備還包括能夠沿著在所述入口和所述出口之 間的前進(jìn)方向在所述干燥室內(nèi)傳送硅基電路的輸運(yùn)單元。 根據(jù)本發(fā)明的特征，所述輸運(yùn)單元包括閉合環(huán)裝置，在所述閉合環(huán)裝置上能夠安
裝多個支撐部件，每個支撐部件包括疊放設(shè)置的多個支撐導(dǎo)向元件，在每個所述支撐導(dǎo)向
元件上能夠放置一個硅基電路。此外，致動裝置連接到所述閉合環(huán)裝置，以給所述支撐部件
提供在所述干燥室內(nèi)前進(jìn)的、與所述干燥循環(huán)的持續(xù)時間相關(guān)的預(yù)定速度。 有益地，每個支撐部件能夠支撐約40至60個電路，或者更多。 根據(jù)本發(fā)明的干燥設(shè)備因此具有在每小時幾千片范圍內(nèi)的較高生產(chǎn)率，這是因?yàn)?br> 在對應(yīng)于一個干燥循環(huán)的持續(xù)時間內(nèi)，干燥了許多硅基電路，比現(xiàn)有技術(shù)的設(shè)備能夠干燥
的電路的數(shù)量多很多。 此外，根據(jù)本發(fā)明的設(shè)備占用很少的空間，這是因?yàn)椴⒉恍枰褂煤荛L或并行的 烘干線來提高生產(chǎn)率。 這樣，也減少了干燥所需的熱量，也減少了所需的材料、結(jié)構(gòu)的總體積和復(fù)雜度， 并改善了干燥和/或烘干循環(huán)。 有益地，干燥室具有約8至12米的長度、每分鐘約16至30厘米的傳送速度、約40 至50分鐘的干燥時間。 根據(jù)本發(fā)明，因?yàn)楦稍锵湎鄬^短，所以設(shè)定了例如每分鐘約16至30厘米的較慢
的傳送速度，然而，得益于所設(shè)置的支撐部件，仍可以保持較高的生產(chǎn)率。 考慮到本發(fā)明的較慢的前進(jìn)速度和支撐部件的移動的一致性，操作者可以輕易并
迅速地將支撐部件裝載到相關(guān)的輸運(yùn)單元上。 在本發(fā)明優(yōu)選的實(shí)施例中，在閉合環(huán)裝置上安裝有多個支撐板，所述多個支撐板 有益地以預(yù)定距離彼此分隔、順序設(shè)置，在所述支撐板上放置支撐部件，從而閉合環(huán)裝置起 到從入口延伸到出口的傳送帶的功能?？蛇x地，也可以使用適當(dāng)?shù)膫魉蛶Щ騻魉蛪|。
有益地，支撐部件是齒條式(rack)或梳式(comb)的類型，其支撐導(dǎo)向元件的大小 與將要進(jìn)行處理的硅基電路一致。 根據(jù)一種變化方式，在垂直于閉合環(huán)裝置的長度的方向上，連接有兩個支撐部件。 根據(jù)這種變化方式，支撐部件從底部到頂部逐漸地彼此分離，以使循環(huán)的空氣進(jìn)入干燥箱。 有益地，這種情況下，沿著支撐部件設(shè)置有支撐桿，支撐桿防止硅基電路脫落，保證它們安 穩(wěn)地設(shè)置在支撐部件上。 根據(jù)另一種變化方式，在垂直于閉合環(huán)裝置的長度的方向上，連接有三個支撐部 件。根據(jù)這種變化方式，中間的支撐部件垂直地設(shè)置在輸運(yùn)單元上，另兩個支撐部件從底部 到頂部逐漸地彼此分離。 根據(jù)另一種變化方式，支撐部件位于通道上，所述通道支撐相對于輸運(yùn)鏈升高的支撐部件。 所述通道在側(cè)面和上方具有用于熱流循環(huán)的孔，還具有基本上平行于輸運(yùn)鏈的邊 緣的上端，該上端開放以實(shí)現(xiàn)熱流的傳輸。 根據(jù)另一種變化方式，干燥箱被分為具有不同干燥溫度的區(qū)域或部分。每個區(qū)域
具有入口和相應(yīng)的出口 ，通過該入口和出口傳送帶步進(jìn)地前進(jìn)。此外，每個區(qū)域具有與所在
區(qū)域所處時刻的干燥和/或烘干循環(huán)類型相符的溫度和支撐部件的數(shù)量。 根據(jù)本發(fā)明的干燥硅基電路的方法包括將硅基電路放置在每個支撐部件的支撐
導(dǎo)向元件上的第一步驟，在所述干燥室內(nèi)利用輸運(yùn)單元傳送所述支撐部件的第二步驟，進(jìn)
行容納在所述支撐部件中的硅基電路的干燥循環(huán)的第三步驟，以及利用輸運(yùn)單元將所述支
撐部件移出所述干燥箱的第四步驟。


從下文中對實(shí)施例的優(yōu)選形式的描述中，本發(fā)明的這些和其它特征將是顯而易見
的，實(shí)施例以參考所附附圖的非限制性的例子給出，其中 圖1是根據(jù)本發(fā)明的干燥設(shè)備的側(cè)視圖。
圖2是圖1中II至II的截面圖。
圖3是圖1的局部放大圖。 圖4是圖1中的設(shè)備的一部分的示圖。 圖5是圖2的局部放大圖，圖中設(shè)備部分開啟。 圖6是圖1中的設(shè)備的截面圖。 圖7是圖1中的設(shè)備的立體圖。 圖8是圖7的局部放大圖。
具體實(shí)施例方式
參見圖l，干燥設(shè)備10包括基本上直線設(shè)計的干燥箱20，以實(shí)現(xiàn)干燥用于光伏電 池的硅晶片30的循環(huán)，硅晶片30在圖8中可見，平面尺寸約為16cmX16cm。
干燥箱由支撐室壁123的支撐框架23形成(圖7)，室壁123將干燥箱20的內(nèi)部 與外界熱絕緣，從而限定干燥室46。 干燥室46具有入口 19和出口 21，根據(jù)預(yù)定的干燥循環(huán)，晶片30可以通過入口 19 進(jìn)入干燥箱20以被干燥，干燥的晶片從出口 21移出。 在入口 19和出口 21之間，在干燥室46內(nèi)順序地設(shè)置有干燥單元50 (圖2)。
以傳統(tǒng)的方式，每個干燥單元50包括吸入外界空氣的吸引裝置15、加熱或改變空 氣的熱力學(xué)性質(zhì)使其與提供的干燥循環(huán)的類型一致的加熱裝置11以及將干燥空氣吹向晶 片30的吹氣裝置(soufflage device) 17，從而限定了干燥空氣的預(yù)定的循環(huán)和/或再循 環(huán)，使其與干燥循環(huán)的類型一致。 具有開口 131的固定室壁31設(shè)置在入口 19，并在出口21設(shè)置有相對的開口，用于 晶片30的出入。 作為固定室壁31的替代，可在入口 19設(shè)置自動開、關(guān)的快門型的門，該門有益地 與干燥循環(huán)同步和協(xié)調(diào)，并用于晶片30的進(jìn)入，在出口 21設(shè)置有相對應(yīng)的門。
6
在入口 19和出口 21之間，附圖中示出的干燥箱20被分為具有不同溫度且順序設(shè) 置的干燥區(qū)域32、34、36、38、42、44，以確定將用于干燥晶片30的干燥溫度的分布。每個干 燥區(qū)域都有相應(yīng)的干燥單元50。有利地，可以在各個區(qū)域32、34、36、38、42、44之間設(shè)置自 動打開的中間分隔門，以減少一個區(qū)域與另一個區(qū)域之間的熱耗散。
很明顯本發(fā)明也可以應(yīng)用于內(nèi)部的干燥溫度保持恒定的干燥箱。
干燥設(shè)備10還包括另一個支撐框架13以支撐輸運(yùn)單元14(圖1、2、3和7)，輸運(yùn) 單元14能夠沿著預(yù)定的前進(jìn)方向X在入口 19和出口 21之間的干燥箱20內(nèi)部運(yùn)送晶片 30，該方向用箭頭F表示(圖1)。 特別地，輸運(yùn)單元14包括多個支撐板24 (圖2)，在每個支撐板24上安裝有齒條式 (rack-type)或梳式(comb-type)的容器12 (圖1、2、3、4、5、6和7)，這些支撐板24在入口 19和出口 21之間自動移動，以下將在說明書中詳細(xì)描述。 容器12由兩個側(cè)壁112和212、頂面412以及底面512形成，從而使兩個側(cè)面開 放，晶片30可以通過開放的側(cè)面進(jìn)入(圖4)。為了此目的，每個容器12包括多個支撐導(dǎo)向 元件(supporting guide) 16 (圖4)，這些多個支撐導(dǎo)向元件16成對地設(shè)置在容器12的兩 個側(cè)壁112和212的上面，支撐導(dǎo)向元件16能夠支撐晶片30。這樣，晶片30彼此間隔地疊 放在容器12中，更有利地這些晶片30彼此平行，從而允許干燥空氣通過，同時具有較高的 疊放密度，因此每個干燥循環(huán)具有較高的生產(chǎn)率。事實(shí)上，在例如此處所示的方案中，每個 容器12可以容納大約50個或更多的晶片30。 每個容器12被設(shè)置為以預(yù)定的角度a傾斜，例如相對于與容器12的前進(jìn)方向X 垂直的Y軸傾斜約O。至10°的角度(圖2)。 這種傾斜能夠使空氣的循環(huán)更加有效，從而在干燥時實(shí)現(xiàn)更高的效率。 為了防止晶片從這樣傾斜的容器12脫落，設(shè)置有沿著容器12的整個高度從底面
512到頂面412的支撐桿312 (圖4)，晶片30抵靠在支撐桿312上。 為了沿著干燥箱20自動地運(yùn)送容器12，輸運(yùn)單元14的每個支撐板24由托座26 (圖 2和5)連接到長度主要沿著前進(jìn)方向X延伸的閉合環(huán)裝置或傳送帶鏈22 (圖1、3、6和7)。
環(huán)型鏈22與兩個齒輪18、118耦接，兩個齒輪18、118通過轂(hub) 28、 128可旋轉(zhuǎn) 地安裝在與支撐框架13結(jié)合的適當(dāng)?shù)闹渭?9、129上(圖3和8);第一齒輪18位于干 燥箱20的出口 21，第二齒輪118位于干燥箱20的入口 19。電機(jī)25通過連接到轂28的傳 送鏈27使齒輪18直接轉(zhuǎn)動(圖3)，而環(huán)型鏈22驅(qū)動齒輪118轉(zhuǎn)動。這樣電機(jī)25就連接 到環(huán)型鏈22，給容器12施加與干燥循環(huán)的持續(xù)時間有關(guān)的預(yù)定的前進(jìn)速度。
當(dāng)一個干燥循環(huán)結(jié)束時，即當(dāng)相關(guān)的容器12與容納在相關(guān)的容器12中的晶片30 被從入口 19運(yùn)送到出口 21時，每個支撐板24自動地沿著環(huán)型鏈22的閉合環(huán)路回到入口 19，從而再次裝載上容器12，依次類推。 在此處所示的方案中，在每個支撐板24和相應(yīng)的托座26之間垂直地設(shè)置有帶孔 的壁124(圖2、5和8)，這些帶孔的壁限定了垂直于容器12的前進(jìn)方向X的通道224(圖 8)，以促進(jìn)與所述方向交叉和平行的空氣的循環(huán)。 環(huán)型鏈22沿著干燥箱20內(nèi)部傳送容器的速度與所提供的干燥循環(huán)的類型有關(guān)。 這樣，本發(fā)明允許對應(yīng)于不同溫度的一個或更多的干燥區(qū)域32、34、36、38、42、44實(shí)現(xiàn)在預(yù) 定的持續(xù)時間內(nèi)停止和間斷地前進(jìn)，從而實(shí)現(xiàn)以預(yù)定的恒定速度移動，或者根據(jù)預(yù)定的速度趨勢，加速或減速地移動，或按照加速與減速的組合的方式移動，等等。 根據(jù)所選擇的干燥循環(huán)，利用在圖中沒有示出的電子型控制單元自動控制在干燥
循環(huán)過程中由電機(jī)25決定的前進(jìn)速度、可能的入口、出口和中間分隔門的開與關(guān)以及干燥
單元50的功能是有益的。 因此在根據(jù)本發(fā)明的干燥晶片30的方法中，例如由操作者手動地或由裝載機(jī)械 "動態(tài)地"，即按照連續(xù)的序列、或在可能的鏈22的停頓期間，將放置在每個容器12的相應(yīng) 導(dǎo)向元件16上的晶片30插入并進(jìn)行定位，這樣就對應(yīng)于容器12的入口 19裝載了多個容 器12，最好在每個支撐板24上如上所述傾斜地設(shè)置兩個容器12，或者根據(jù)未示出的其它方 式，傾斜地設(shè)置三個容器12 ， 一個在中間而兩個在兩側(cè)。 隨后，在干燥箱20內(nèi)部連續(xù)地傳送每個容器12，并且相應(yīng)地在入口 19處另一個 支撐板24準(zhǔn)備就緒，從而在該支撐板24上裝載另外兩個容器12。裝載在容器12上的晶 片30經(jīng)歷選擇的干燥循環(huán)，最終通過出口 21從干燥箱20中移出。通過裝載在入口 19處 就緒的每個支撐板24上的容器12，使干燥箱20能夠連續(xù)地運(yùn)作，因此能夠以較高的生產(chǎn)率 根據(jù)預(yù)定的干燥循環(huán)干燥晶片30。 例如，對于約10米長的干燥室46、約45分鐘的干燥時間、每分鐘約22cm的連續(xù)傳 送速度、每個容器具有約25cmX25cm的平面面積和約60cm的高度的成對容器12的使用以 及每個容器上放置了約50個晶片的情況，可以得到每小時干燥大約5300片的生產(chǎn)率。此 外，傳送速度相對較低并符合容器12的高度，因此還防止了在傳送過程中不期望的振動。
很明顯在不脫離本發(fā)明的領(lǐng)域和范圍的情況下，可以對此處描述的干燥硅基電路 的設(shè)備與方法的部件和/或步驟進(jìn)行多種變化和/或添加。 同樣很明顯的是，盡管參考特定的例子描述了本發(fā)明，本領(lǐng)域的技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)能 夠?qū)崿F(xiàn)干燥硅基電路的設(shè)備與方法的多種其它的等同形式，其中這些等同形式具有權(quán)利要 求中所列的特征，從而全部落入權(quán)利要求所限定的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
一種用于硅基電路(30)、特別是光伏電池的干燥設(shè)備，包括具有干燥室(46)的干燥箱(20)，所述干燥室具有入口(19)和出口(21)，通過所述入口能夠使硅基電路(30)進(jìn)入所述干燥室內(nèi)以經(jīng)受至少一次干燥循環(huán)，通過所述出口能夠使硅基電路(30)移出，在所述干燥室(46)內(nèi)設(shè)置有能夠干燥所述硅基電路(30)的干燥單元(50)；以及輸運(yùn)單元(14)，所述輸運(yùn)單元(14)能夠沿在所述入口(19)和所述出口(21)之間的前進(jìn)方向(X)在所述干燥室(46)內(nèi)傳送所述硅基電路(30)，其特征在于，所述輸運(yùn)單元(14)包括閉合環(huán)裝置(22)，在所述閉合環(huán)裝置(22)上能夠安裝多個支撐部件(12)，每個支撐部件(12)包括疊放設(shè)置的多個支撐導(dǎo)向元件(16)，在每個所述支撐導(dǎo)向元件(16)上能夠放置一個所述硅基電路(30)，致動裝置(25)連接到所述閉合環(huán)裝置(22)，以給所述支撐部件(12)提供在所述干燥室(46)內(nèi)前進(jìn)的、與所述干燥循環(huán)的持續(xù)時間相關(guān)的預(yù)定速度。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其特征在于，所述設(shè)備包括安裝在所述閉合環(huán)裝置 (22)上的多個支撐板(24)，在所述支撐板(24)上可以放置至少一個所述支撐部件(12)。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的設(shè)備，其特征在于，在每個所述支撐板(24)上相鄰傾斜地放 置兩個所述支撐部件(12)。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的設(shè)備，其特征在于，所述支撐部件(12)相對于與所述前進(jìn)方 向(X)垂直的軸(Y)傾斜預(yù)定的角度(a)放置。
5. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的設(shè)備，其特征在于，在每個所述支撐板(24)上相鄰傾斜地放 置三個所述支撐部件(12)。
6. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的設(shè)備，其特征在于，所述支撐部件(12)中的兩個相對于與所 述前進(jìn)方向(X)垂直的軸(Y)傾斜預(yù)定的角度(a)放置，所述支撐部件(12)的第三個在 所述兩個支撐部件(12)之間的中央垂直的放置。
7. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的設(shè)備，其特征在于，每個所述支撐板(24)都有兩個相對垂直 的壁(124)，所述兩個相對垂直的壁限定出空氣流通的通道(224)。
8. 根據(jù)以上任一權(quán)利要求所述的設(shè)備，其特征在于，每個所述支撐部件(12)能夠在所 述支撐導(dǎo)向元件(16)上支撐彼此分隔的總數(shù)約40至60個的硅基電路(30)。
9. 根據(jù)以上任一權(quán)利要求所述的設(shè)備，其特征在于，在入口 (19)和出口 (21)之間的所 述干燥室(46)的長度約為8至12米。
10. 根據(jù)以上任一權(quán)利要求所述的設(shè)備，其特征在于，所述干燥循環(huán)的持續(xù)時間約為 40至50分鐘。
11. 根據(jù)以上任一權(quán)利要求所述的設(shè)備，其特征在于，所述閉合環(huán)裝置(22)的前進(jìn)速 度約為每分鐘16至30厘米。
12. 根據(jù)以上任一權(quán)利要求所述的設(shè)備，其特征在于，所述支撐部件是具有用于裝載所 述硅基電路(30)的至少一個開放的側(cè)面并限定裝載所述硅基電路(30)的內(nèi)容積的容器 (12)，所述支撐導(dǎo)向元件由設(shè)置在所述容器(12)的所述內(nèi)容積中的多個導(dǎo)向元件(16)組 成，所述導(dǎo)向元件(16)沿著所述容器(12)的高度方向以預(yù)定的距離彼此間隔，這樣所述硅 基電路(30)疊放在所述容器(12)的所述內(nèi)容積中。
13. —種用于硅基電路(30)、特別是光伏電池的干燥方法，在具有干燥室(46)的干燥 箱(20)和輸運(yùn)單元(14)中，所述干燥室(46)具有入口 (19)和出口 (21)，通過所述入口能夠使硅基電路(30)進(jìn)入所述干燥室內(nèi)以經(jīng)受至少一次干燥循環(huán)，通過所述出口能夠使 硅基電路(30)移出，在所述干燥室(46)內(nèi)設(shè)置有能夠干燥所述硅基電路(30)的干燥單元 (50)，所述輸運(yùn)單元(14)能夠沿在所述入口 (19)和所述出口 (21)之間的前進(jìn)方向(X)在 所述干燥室(46)內(nèi)傳送所述硅基電路(30)，其特征在于，所述方法包括第一步驟、第二步 驟、與第二步驟相關(guān)的第三步驟以及第四步驟，在所述第一步驟中，所述硅基電路(30)插 入到多個支撐部件(12)內(nèi)，彼此疊放地逐個放置在與每個支撐部件(12)相應(yīng)的支撐導(dǎo)向 元件(16)上，所述支撐部件(12)安裝在所述輸運(yùn)單元(14)的閉合環(huán)裝置(22)上，在所述 第二步驟中，致動裝置(25)驅(qū)動所述閉合環(huán)裝置(22)，以給所述支撐部件(12)提供在所述 干燥室(46)內(nèi)前進(jìn)的、與所述干燥循環(huán)的持續(xù)時間相關(guān)的預(yù)定速度，在所述第三步驟中， 進(jìn)行插入到所述支撐部件(12)的所述硅基電路(30)的干燥循環(huán)，在所述第四步驟中，所述 輸運(yùn)單元(14)將每個所述支撐部件(12)傳送出所述干燥箱(20)。
14. 根據(jù)權(quán)利要求13所述的方法，其特征在于，所述支撐部件(12)能夠在所述支撐導(dǎo) 向元件(16)上支撐彼此分隔的總數(shù)約40至60個的硅基電路(30)。
15. 根據(jù)權(quán)利要求13或14所述的方法，其特征在于，所述干燥循環(huán)的持續(xù)時間約為40 至50分鐘。
16. 根據(jù)權(quán)利要求13、 14或15所述的方法，其特征在于，所述前進(jìn)速度是基本上恒定的。
17. 根據(jù)權(quán)利要求16所述的方法，其特征在于，所述前進(jìn)速度約為每分鐘16至30厘米。
18. 根據(jù)權(quán)利要求13、 14或15所述的方法，其特征在于，所述前進(jìn)速度的加速度是基本 上恒定的。
19. 根據(jù)權(quán)利要求13、 14或15所述的方法，其特征在于，所述前進(jìn)速度的趨勢包括部分 的恒定加速和部分的恒定減速。
20. 根據(jù)權(quán)利要求13、14或15所述的方法，其特征在于，所述前進(jìn)速度是間斷的。
全文摘要
一種用于硅基電路(30)、特別是光伏電池的干燥設(shè)備(10)，包括具有干燥室(46)的干燥箱(20)，干燥室(46)具有入口(19)和出口(21)，通過所述入口能夠使硅基電路(30)進(jìn)入所述干燥室內(nèi)以經(jīng)受至少一次干燥循環(huán)，通過所述出口能夠使硅基電路(30)移出，在所述干燥室(46)內(nèi)設(shè)置有干燥單元(50)以干燥所述硅基電路(30)，以及輸運(yùn)單元(14)，沿著在所述入口(19)和所述出口(21)之間的前進(jìn)方向(X)在所述干燥室(46)內(nèi)傳送所述硅基電路(30)。所述輸運(yùn)單元(14)包括閉合環(huán)裝置(22)，在所述閉合環(huán)裝置上能夠安裝多個支撐部件(12)，每個支撐部件包括疊放設(shè)置的多個支撐導(dǎo)向元件(16)，在每個所述支撐導(dǎo)向元件上能夠放置一個所述硅基電路(30)。致動裝置(25)連接到所述閉合環(huán)裝置(22)以給所述支撐部件(12)提供在所述干燥室(46)內(nèi)前進(jìn)的、與所述干燥循環(huán)的持續(xù)時間相關(guān)的預(yù)定速度。
文檔編號H05K3/00GK101730924SQ200780053698
公開日2010年6月9日 申請日期2007年6月26日 優(yōu)先權(quán)日2007年6月26日
發(fā)明者吉薩爾弗·貝茨尼 申請人:Afco有限公司