專(zhuān)利名稱(chēng)：一種晶圓運(yùn)輸車(chē)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及晶圓運(yùn)輸裝置，特別涉及一種具有活動(dòng)擱板的晶圓運(yùn)輸車(chē)。
技術(shù)背景隨著晶圓尺寸從8寸增加到12寸，用于放置晶圓的前開(kāi)式晶盒(FOUP) 及其零配件的尺寸也越來(lái)越大，使得晶盒的重量不斷增加， 一個(gè)載滿(mǎn)晶圓的FOUP的重量約為9.8Kg。如果這些物料都是自動(dòng)作業(yè)的話，那么這種尺寸及重 量的增加可能不會(huì)引起任何重大的人體生物工程風(fēng)險(xiǎn)。但是，全自動(dòng)化作業(yè)是 不能完全實(shí)現(xiàn)的，因此不可避免地還是存在人工搬運(yùn)的情況，例如芯片測(cè)量、 將晶盒搬運(yùn)到人工貨架等環(huán)節(jié)。隨著越來(lái)越多的芯片制造商往亞洲轉(zhuǎn)移，而多 數(shù)作業(yè)人員為女性，F(xiàn)OUP的尺寸及重量問(wèn)題變得更為明顯。從人體生物工程學(xué)的角度而言，搬運(yùn)重物時(shí)最理想的搬運(yùn)高度應(yīng)當(dāng)在人的 腰部上下。而隨著現(xiàn)行潔凈室的運(yùn)行成本及工作效率的提高，將運(yùn)送FOUP的 推車(chē)的擱架高度設(shè)在作業(yè)人員腰部這樣一個(gè)單一高度是不實(shí)際的，這樣會(huì)大大 影響運(yùn)輸效率。通常，采用具有多層固定式擱架的手推車(chē)來(lái)進(jìn)行搬運(yùn)，每層放 置兩個(gè)前開(kāi)式晶盒，那么必然至少會(huì)有一層擱架的高度是不符合人體生物工程 學(xué)要求的。作業(yè)人員需要重復(fù)由低到高或由高到低放置前開(kāi)式晶盒的動(dòng)作，如 果不能遵從正確的舉放技巧的話，會(huì)導(dǎo)致作業(yè)人員背部及腰部的持續(xù)性慢性疼 痛，從而嚴(yán)重影響員工的身心健康。因此，如何提供一種符合人體生物工程學(xué)原理的晶圓運(yùn)輸車(chē)已成為業(yè)界亟 待解決的技術(shù)問(wèn)題。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明所解決的技術(shù)問(wèn)題在于提供一種新的晶圓運(yùn)輸車(chē)，該運(yùn)輸車(chē)的多層 擱架均能調(diào)到符合人體工程學(xué)原理的高度，從而避免作業(yè)人員因晶盒放置位置過(guò)高或過(guò)低而導(dǎo)致搬運(yùn)時(shí)出現(xiàn)的人體損傷。為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明提供了一種晶圓運(yùn)輸車(chē)，包括底座、車(chē)身、 兩層擱板和升降驅(qū)動(dòng)裝置，所述擱板用于承載存放晶圓的晶盒，所述下擱板在 升降驅(qū)動(dòng)裝置的驅(qū)動(dòng)下可向上升起，具體地，所述上擱板由兩塊擋板鉸接至一 軸桿而組成，所述軸桿固定在車(chē)身的支架上，兩塊擋板可繞軸桿轉(zhuǎn)動(dòng)，并具有一展開(kāi)狀態(tài)和一收攏狀態(tài)；所述的升降驅(qū)動(dòng)裝置包括兩組滑輪，該兩組滑輪固 定在車(chē)身上，且每組滑輪上均跨設(shè)有拉繩，所述拉繩的一端固定在下擱板上， 通過(guò)拉動(dòng)拉繩的另 一端可升起下擱板。進(jìn)一步地，所述下擱板的底部還設(shè)有活動(dòng)金屬柱，所述拉繩的一端連接至 活動(dòng)金屬柱，通過(guò)拉動(dòng)拉繩的另 一端升起活動(dòng)金屬柱而托起下擱板。進(jìn)一步地，所述擋板底部開(kāi)有兩道滑槽，滑槽內(nèi)設(shè)有滑動(dòng)件，且每個(gè)滑動(dòng) 件與相應(yīng)的活動(dòng)金屬柱之間通過(guò)一滑輪繩相連，所述擋板的底部與車(chē)身支架之 間還通過(guò)阻尼彈簧連接。本發(fā)明的另一方案是提供一種晶圓運(yùn)輸車(chē)，包括底座、車(chē)身、兩層擱板和 升降驅(qū)動(dòng)裝置，所述擱板用于承載存放晶圓的晶盒，所述下擱板在升降驅(qū)動(dòng)裝 置的驅(qū)動(dòng)下可向上升起，具體地，所述晶圓運(yùn)輸車(chē)設(shè)有一側(cè)車(chē)身，其上設(shè)有導(dǎo) 軌，所述上擱板的一端通過(guò)一擱板支柱與下擱板固定連接，所述上、下擱板的 另一端通過(guò)滑輪或滑塊可沿車(chē)身上的導(dǎo)軌滑動(dòng)；所述的升降驅(qū)動(dòng)裝置包括動(dòng)力 剪及其驅(qū)動(dòng)固定部件，該動(dòng)力剪的一端通過(guò)驅(qū)動(dòng)固定部件安裝在運(yùn)輸車(chē)底座上， 另一端與下擱板相連，通過(guò)改變動(dòng)力剪的張開(kāi)角度可實(shí)現(xiàn)下擱板的上升與下降。進(jìn)一步地，所述的驅(qū)動(dòng)固定部件包括螺桿、傳動(dòng)滑塊、連接器和直流馬達(dá)， 所述螺桿通過(guò)螺桿固定座固定至運(yùn)輸車(chē)底座，所述動(dòng)力剪的一端連接至傳動(dòng)滑 塊，所述傳動(dòng)滑塊通過(guò)連接器連接至直流馬達(dá)，所述傳動(dòng)滑塊在直流馬達(dá)的驅(qū) 動(dòng)下沿螺桿滑動(dòng)，以改變動(dòng)力剪的張開(kāi)角度。進(jìn)一步地，所述的上、下擱板上還分別設(shè)有擱籬，用于將晶盒圍在晶盒放 置區(qū)域內(nèi)，避免晶盒從擱板上摔落。本發(fā)明的又一方案是提供一種晶圓運(yùn)輸車(chē)，包括底座、車(chē)身、兩層擱板和 升降驅(qū)動(dòng)裝置，所述擱板用于承載存放晶圓的晶盒，所述下擱板在升降驅(qū)動(dòng)裝 置的驅(qū)動(dòng)下可向上升起，具體地，所述晶圓運(yùn)輸車(chē)設(shè)有一側(cè)車(chē)身，其上設(shè)有導(dǎo)軌，所述上擱板由一框架、設(shè)置于框架上的前、后滑板及中央固定架構(gòu)成，前、 后滑板與中央固定架之間為中空，且前、后滑板可沿框架導(dǎo)軌同時(shí)朝向或者遠(yuǎn)離中央固定架滑動(dòng)；所迷運(yùn)輸車(chē)的前端還設(shè)有一擱板支架，上擱板固定在擱板 支架上，下擱板的一端可沿?cái)R板支架滑動(dòng)；所述的升降驅(qū)動(dòng)裝置包括動(dòng)力剪及 其驅(qū)動(dòng)固定部件，以及滑板驅(qū)動(dòng)部件，該動(dòng)力剪的一端通過(guò)驅(qū)動(dòng)固定部件安裝 在運(yùn)輸車(chē)底座上，另一端與下擱板相連，通過(guò)改變動(dòng)力剪的張開(kāi)角度可實(shí)現(xiàn)下 擱板升降，當(dāng)下擱板上升時(shí)，由滑板驅(qū)動(dòng)部件驅(qū)動(dòng)前、后滑板向遠(yuǎn)離中央固定 架的方向移動(dòng)，當(dāng)下擱板下降時(shí)，由滑板驅(qū)動(dòng)部件驅(qū)動(dòng)前、后滑板向靠近中央 固定架的方向移動(dòng)。進(jìn)一步地，所述的驅(qū)動(dòng)固定部件包括螺桿、傳動(dòng)滑塊、連接器和直流馬達(dá)， 所述螺桿通過(guò)螺桿固定座固定至運(yùn)輸車(chē)底座，所述動(dòng)力剪的一端連接至傳動(dòng)滑 塊，所述傳動(dòng)滑塊通過(guò)連接器連接至直流馬達(dá)，所述傳動(dòng)滑塊在直流馬達(dá)的驅(qū) 動(dòng)下沿螺桿滑動(dòng)，以改變動(dòng)力剪的張開(kāi)角度。進(jìn)一步地，所述的滑板驅(qū)動(dòng)部件包括拉繩滑輪、滑板拉繩及拉力彈簧，該 拉繩滑輪設(shè)置在中央固定架下方，滑輪上跨設(shè)有滑板拉繩，拉繩的一端固定在 下擱板上，另一端分出兩股，分別連接在前、后滑板上，所述拉力彈簧分別設(shè) 置在前滑板與擱板支架之間，以及后滑板與車(chē)身之間。進(jìn)一步地，中央固定架到擱板支架的距離等于中央固定架到車(chē)身的距離， 且該距離大于一個(gè)晶盒底盤(pán)的寬度。初始狀態(tài)下，上、下擱板之間留有大于一個(gè)晶盒高度的距離，上擱板的前、 后滑板到中央固定架的距離都等于晶盒底盤(pán)的寬度，從而前滑板與中央固定架 一起支撐一個(gè)晶盒，中央固定架與后滑板一起支撐一個(gè)晶盒。此外，所述的動(dòng)力剪及其驅(qū)動(dòng)固定部件也可采用手動(dòng)裝置來(lái)替換，該手動(dòng) 裝置包括搖桿、連桿、擺桿、翹翹桿、翹翹桿的支架以及用于支撐抵頂下擱板 的支桿，所述搖桿、連桿、擺桿、翹翹桿及支桿依次相互軸接；當(dāng)搖桿向左搖 動(dòng)時(shí)，連桿按逆時(shí)針?lè)较蜣D(zhuǎn)動(dòng)，帶動(dòng)擺桿向下運(yùn)動(dòng)，使得翹翹桿連接支桿的一 端上升，從而由支桿頂起下擱板上升；當(dāng)搖桿向右搖動(dòng)時(shí)，連桿按順時(shí)針?lè)较?轉(zhuǎn)動(dòng)，帶動(dòng)擺桿向上運(yùn)動(dòng)，使得翹翹桿連接支桿的一端下降，從而由支桿拉動(dòng) 下擱板下降。與現(xiàn)有的具有多層固定式擱架的晶圓運(yùn)輸車(chē)相比，本發(fā)明的運(yùn)輸車(chē)采用了 不同的上擱板設(shè)計(jì)，配合相應(yīng)的升降驅(qū)動(dòng)裝置，可方便地實(shí)現(xiàn)下擱板的升降， 使作業(yè)人員在存取晶盒時(shí)，其作業(yè)高度可保持在符合人體工程學(xué)的最佳位置， 避免了不必要的人體損傷。


本發(fā)明的晶圓運(yùn)輸車(chē)由以下的實(shí)施例及附圖給出。圖la 圖le是本發(fā)明實(shí)施例1的晶圓運(yùn)輸車(chē)的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2a和圖2b是本發(fā)明實(shí)施例2的晶圓運(yùn)輸車(chē)的結(jié)構(gòu)示意圖。圖3a 圖3c是本發(fā)明實(shí)施例3的晶圓運(yùn)輸車(chē)的結(jié)構(gòu)示意圖。圖4是本發(fā)明實(shí)施例3中動(dòng)力剪裝置的一種替換裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
以下將以?xún)蓪訑R板的運(yùn)輸車(chē)為例對(duì)本發(fā)明的晶圓運(yùn)輸車(chē)作進(jìn)一步的詳細(xì)描 述。本發(fā)明的目的是使得作業(yè)人員在存取晶盒時(shí)，其作業(yè)高度可保持在符合人 體工程學(xué)的最佳位置，為此，設(shè)計(jì)了不同的升降驅(qū)動(dòng)裝置來(lái)達(dá)到所述目的。實(shí)施例1參見(jiàn)圖la至圖le,本發(fā)明的晶圓運(yùn)輸車(chē)包括底座10、車(chē)身20和兩層擱板。 上擱板由兩塊擋板41、 42和一軸桿43組成，擋板41、 42鉸接至軸桿43,并可 繞軸桿43轉(zhuǎn)動(dòng)至一展開(kāi)狀態(tài)(見(jiàn)圖la)或一收攏狀態(tài)(見(jiàn)圖lb)。圖la所示 的是展開(kāi)狀態(tài)，在該狀態(tài)下，兩塊擋板41、 42上可分別放置一晶盒100。下擱 板30為活動(dòng)式擱板，通過(guò)滑輪31與拉繩32的配合，可使下擱板30在拉繩32 的牽引下在車(chē)身20內(nèi)作升降運(yùn)動(dòng)。當(dāng)上擱板上的晶盒100被作業(yè)人員取走后，需要繼續(xù)存取下擱板30上的晶 盒IOO。參見(jiàn)圖lb,當(dāng)作業(yè)人員通過(guò)拉繩32將下擱板30升起時(shí)，檔板41、 42 沿軸桿43轉(zhuǎn)動(dòng)至收攏狀態(tài)，留出供晶盒100通過(guò)的通道。當(dāng)下擱板30上升到 最大高度時(shí)，將下擱板30固定，從而作業(yè)人員可以進(jìn)行晶盒100的取放工作。 雖然該高度略低于上擱板的高度，但仍在符合人體工程學(xué)的合理高度范圍內(nèi)。參見(jiàn)圖lc，下擱板30的底部對(duì)應(yīng)四個(gè)角的位置還設(shè)有活動(dòng)金屬柱33,拉 繩32的一端固定在活動(dòng)金屬柱33上，通過(guò)拉動(dòng)拉繩32的另 一端升起活動(dòng)金屬 柱33而托起下擱板30。上擱板的兩塊擋板41、 42的底部與車(chē)身支架21之間裝 有阻尼彈簧44,該阻尼彈簧44將擋板41、 42向上頂起，使擋板41、 42能自動(dòng) 轉(zhuǎn)到收攏位置。較佳地，還可在擋板41、 42底端和活動(dòng)金屬柱33之間連接滑 輪線34,當(dāng)下擱板30上升時(shí)，滑輪線34放松，阻尼彈簧44松解，擋板41、 42在阻尼彈簧44彈力的推動(dòng)下漸漸向收攏位置轉(zhuǎn)動(dòng)；當(dāng)下擱板30下降時(shí)，活 動(dòng)金屬柱44牽動(dòng)滑輪線34逐漸收緊，并給擋板41、 42—個(gè)向下的拉力，使擋 板41、 42慢慢回到展開(kāi)位置。參見(jiàn)圖ld,下擱板30和底座IO之間還設(shè)有緩沖裝置，例如阻尼彈簧12。 當(dāng)下擱板30下降時(shí)，阻尼彈簧12可起到緩沖作用，避免擱板30急速下降；當(dāng) 拉動(dòng)拉繩升起擱板30時(shí)，由于阻尼彈簧12具有彈性恢復(fù)力，給擱板30 —個(gè)向 上的推力，因此可以達(dá)到省力的目的。如圖le所示，車(chē)身20兩側(cè)位于滑輪31下方的位置還設(shè)有卡榫23及相應(yīng) 的卡榫鈕24,卡榫23通過(guò)鉸接結(jié)構(gòu)與車(chē)身20相連接，其自然狀態(tài)下的位置如 圖le所示。當(dāng)下擱板30升起時(shí)，卡榫23在擱板30的推動(dòng)下向車(chē)身20的兩側(cè) 收攏，從而使下擱板30可以順利通過(guò)。當(dāng)擱板30完全經(jīng)過(guò)卡榫23時(shí)，由于卡 榫23所受的外力已撤銷(xiāo)，其又恢復(fù)到自然狀態(tài)的位置。此時(shí)，松開(kāi)拉繩32,則 下擱板30由卡榫23支撐并固定在圖示位置。當(dāng)下擱板30上的晶盒取放完畢后， 通過(guò)按動(dòng)卡榫鈕24收攏卡榫23,使下擱板30又可以下通行，回到初始位置。實(shí)施例2參閱圖2a和圖2b,本實(shí)施例的晶圓運(yùn)輸車(chē)采用推車(chē)的形式，其具有底座 IO，以及一側(cè)車(chē)身20，，底座IO，下設(shè)有輪子11，,車(chē)身20，的頂部裝有手推把21'， 便于作業(yè)人員推動(dòng)運(yùn)輸車(chē)。該晶圓運(yùn)輸車(chē)同樣設(shè)置兩層擱板下擱板30，和上擱 板40'，該兩層擱板的一端通過(guò)滑輪或滑塊可沿車(chē)身20，上的導(dǎo)軌22'(見(jiàn)圖2b) 滑動(dòng)，另一端通過(guò)擱板支柱31，相互固定連接，每層擱板上還分別設(shè)有擱籬 35，/42，，用于將晶盒圍在晶盒放置區(qū)域內(nèi)，避免晶盒從擱板上摔落。本實(shí)施例采用動(dòng)力剪來(lái)實(shí)現(xiàn)兩層擱板的同時(shí)升降，其具體連接方式為動(dòng)力剪12，的一端卡設(shè)在下擱板30，底部的導(dǎo)軌內(nèi)(圖中未示出)，另一端通過(guò)傳 動(dòng)滑塊13，連接至螺桿14，，所迷螺桿14，通過(guò)螺桿固定座15，固定至運(yùn)輸車(chē)底座 10'。所述傳動(dòng)滑塊13，通過(guò)連接器16，連接至直流馬達(dá)17',由直流馬達(dá)17'驅(qū)動(dòng) 傳動(dòng)滑塊13，沿螺桿14，滑動(dòng)以改變動(dòng)力剪12，的張開(kāi)角度，從而帶動(dòng)下擱板30， 連同上擱板40，上升或者下降。當(dāng)作業(yè)人員需要存取下擱板30，上的晶盒時(shí)，只 需通過(guò)直流馬達(dá)17，驅(qū)動(dòng)動(dòng)力剪2，將下擱板30，升到上擱板40，的初始位置，于 是作業(yè)人員便可在合理的作業(yè)高度完成晶盒的取放。實(shí)施例3參見(jiàn)圖3a至圖3c，本實(shí)施例的晶圓運(yùn)輸車(chē)在實(shí)施例2的基礎(chǔ)上，將其改成 僅下擱板升降的結(jié)構(gòu)。其中，運(yùn)輸車(chē)底座10，、車(chē)身20，、下擱板30，、動(dòng)力剪 12，及其驅(qū)動(dòng)固定部件均與實(shí)施例2相同或相似，其主要改進(jìn)在于上擱板40，的結(jié) 構(gòu)。參見(jiàn)圖3a,上擱板40，僅由一框架、設(shè)置于框架上的前滑板43'、后滑板44' 及中央固定架45，構(gòu)成，滑板43'、 44，與中央固定架45，之間為中空，且前、后 滑板43'、 44，可沿框架導(dǎo)軌同時(shí)朝向或者遠(yuǎn)離中央固定架45，滑動(dòng)。圖3b是前、 后滑板43，、 44，及中央固定架45，的側(cè)視圖，前、后滑板43'、 44，的截面呈三角 形，中央固定架45，的截面呈矩形。下面結(jié)合圖3a至圖3c具體說(shuō)明上、下擱板的活動(dòng)方式。參見(jiàn)圖3c,該運(yùn) 輸車(chē)的前端還設(shè)有一擱板支架33，，上擱板40，固定在支架33，上，下擱板30，的 一端可沿支架33，滑動(dòng)，中央固定架45，到支架33，的距離等于中央固定架45， 到車(chē)身20，的距離，且該距離大于一個(gè)晶盒底盤(pán)的寬度。該中央固定架45，下方 設(shè)有一拉繩滑輪47，，滑輪47，上跨設(shè)有滑板拉繩48，，拉繩48，的一端固定在下 擱板30，上，另一端分出兩股，分別連接在前、后滑板43'、 44，上。此外，前滑 板43，與擱板支架33，之間、后滑板44，與車(chē)身20，之間還分別設(shè)有拉力彈簧46'。初始狀態(tài)下，上、下擱板40，、 30，之間留有大于一個(gè)晶盒高度的距離，上擱 板40，的前、后滑板43'、 44，到中央固定架45，的距離都等于晶盒底盤(pán)的寬度， 從而前滑板43，與中央固定架45，一起支撐一個(gè)晶盒，中央固定架45，與后滑板 44，一起支撐一個(gè)晶盒，此時(shí)，下擱板30，上也放置兩個(gè)晶盒。當(dāng)上擱板40，上的晶盒取走后，需要升起下擱板30，以拿取下擱板30，上的晶盒。通過(guò)直流馬達(dá)17， 驅(qū)動(dòng)傳動(dòng)滑塊13，沿螺桿14，向螺桿固定座15，方向滑動(dòng)，使動(dòng)力剪12，推動(dòng)下擱 板30，上升，此時(shí)，滑^反拉繩48，放;^,前、后滑板43'、 44，在拉力彈簧46，的牽 引下，向遠(yuǎn)離中央固定架45，的方向移動(dòng)，從而露出中間區(qū)域，使得下擱板30' 的晶盒可以通過(guò)該中間區(qū)域。當(dāng)下擱板30，運(yùn)動(dòng)到上擱板40，的高度時(shí)，工作人 員便可取下晶盒，此時(shí)，再通過(guò)直流馬達(dá)17，驅(qū)動(dòng)動(dòng)力剪12，使下擱板30，下降， 滑板拉繩48，在下擱板30，的牽引下收緊，并帶動(dòng)前、后滑板43，、 44，向中央固 定架45，靠攏，回到距離中央固定架45，一個(gè)晶盒底盤(pán)寬度的位置，從而上擱板 40，又可以放置晶盒。采用本實(shí)施例的結(jié)構(gòu)，由于只要利用動(dòng)力剪托起一層擱板，其承受的重力 比實(shí)施例2小，因此，只需選用功率較小的馬達(dá)即可，能夠降低能耗。參見(jiàn)圖4,作為實(shí)施例3中動(dòng)力剪12，及其驅(qū)動(dòng)固定部件的一種替換，也可 采用手動(dòng)裝置升起下擱板30'。該手動(dòng)裝置包括搖桿51、連桿52、擺桿53、翹 翹桿54、翹翹桿的支架56以及用于支撐抵頂下擱板30，的支桿55，所述搖桿51、 連桿52、擺桿53、翹翹桿54及支桿55依次相互軸接。當(dāng)搖桿51向左搖動(dòng)時(shí)， 連桿52按逆時(shí)針?lè)较蜣D(zhuǎn)動(dòng)，帶動(dòng)擺桿53向下運(yùn)動(dòng)，使得翹翹桿54連接支桿55 的一端上升，從而由支桿55頂起下擱板30',達(dá)到使下擱板30，上升的目的。同 樣地，當(dāng)搖桿51向右搖動(dòng)時(shí)，連桿52按順時(shí)針?lè)较蜣D(zhuǎn)動(dòng)，帶動(dòng)擺桿53向上運(yùn) 動(dòng)，使得翹翹桿54連接支桿55的一端下降，從而由支桿55拉動(dòng)下擱板30，下 降。雖然本發(fā)明通過(guò)上述優(yōu)選實(shí)施例進(jìn)行了揭露，然而可根據(jù)需要對(duì)晶圓運(yùn)輸 車(chē)進(jìn)行橫向和縱向的擴(kuò)展，改變成三層以上的結(jié)構(gòu)，以實(shí)現(xiàn)運(yùn)輸效率的進(jìn)一步 提高。任何對(duì)本發(fā)明的裝置結(jié)構(gòu)作本技術(shù)領(lǐng)域內(nèi)熟知的替換、組合、分立，均 不超出本發(fā)明的揭露以及保護(hù)范圍。
權(quán)利要求
1、一種晶圓運(yùn)輸車(chē)，包括底座、車(chē)身、兩層擱板和升降驅(qū)動(dòng)裝置，所述擱板用于承載存放晶圓的晶盒，其特征在于所述下擱板在升降驅(qū)動(dòng)裝置的驅(qū)動(dòng)下可向上升起，具體地，所述上擱板由兩塊擋板鉸接至一軸桿而組成，所述軸桿固定在車(chē)身的支架上，兩塊擋板可繞軸桿轉(zhuǎn)動(dòng)，并具有一展開(kāi)狀態(tài)和一收攏狀態(tài)；所述的升降驅(qū)動(dòng)裝置包括兩組滑輪，該兩組滑輪固定在車(chē)身上，且每組滑輪上均跨設(shè)有拉繩，所述拉繩的一端固定在下擱板上，通過(guò)拉動(dòng)拉繩的另一端可升起下擱板。
2、 如權(quán)利要求1所述的晶圓運(yùn)輸車(chē)，其特征在于所述下擱板的底部還設(shè) 有活動(dòng)金屬柱，所述拉繩的一端連接至活動(dòng)金屬柱，通過(guò)拉動(dòng)拉繩的另一端升 起活動(dòng)金屬柱而托起下擱板。
3、 如權(quán)利要求2所述的晶圓運(yùn)輸車(chē)，其特征在于所述擋板底部開(kāi)有兩道 滑槽，滑槽內(nèi)設(shè)有滑動(dòng)件，且每個(gè)滑動(dòng)件與相應(yīng)的活動(dòng)金屬柱之間通過(guò)一滑輪 繩相連，所述擋板的底部與車(chē)身支架之間還通過(guò)阻尼彈簧連接。
4、 一種晶圓運(yùn)輸車(chē)，包括底座、車(chē)身、兩層擱板和升降驅(qū)動(dòng)裝置，所述擱 板用于承載存放晶圓的晶盒，其特征在于所述下擱板在升降驅(qū)動(dòng)裝置的驅(qū)動(dòng) 下可向上升起，具體地，所述晶圓運(yùn)輸車(chē)設(shè)有一側(cè)車(chē)身，其上設(shè)有導(dǎo)軌，所述 上擱板的一端通過(guò)一擱板支柱與下擱板固定連接，所述上、下擱板的另一端通 過(guò)滑輪或滑塊可沿車(chē)身上的導(dǎo)軌滑動(dòng)；所述的升降驅(qū)動(dòng)裝置包括動(dòng)力剪及其驅(qū) 動(dòng)固定部件，該動(dòng)力剪的一端通過(guò)驅(qū)動(dòng)固定部件安裝在運(yùn)輸車(chē)底座上，另一端 與下擱板相連，通過(guò)改變動(dòng)力剪的張開(kāi)角度可實(shí)現(xiàn)下擱板的上升與下降。
5、 如權(quán)利要求4所述的晶圓運(yùn)輸車(chē)，其特征在于所述的驅(qū)動(dòng)固定部件包 括螺桿、傳動(dòng)滑塊、連接器和直流馬達(dá)，所述螺桿通過(guò)螺桿固定座固定至運(yùn)輸 車(chē)底座，所述動(dòng)力剪的一端連接至傳動(dòng)滑塊，所述傳動(dòng)滑塊通過(guò)連接器連接至 直流馬達(dá)，所述傳動(dòng)滑塊在直流馬達(dá)的驅(qū)動(dòng)下沿螺桿滑動(dòng)，以改變動(dòng)力剪的張 開(kāi)角度。
6、 如權(quán)利要求4所述的晶圓運(yùn)輸車(chē)，其特征在于所述的上、下擱板上還 分別設(shè)有擱籬，用于將晶盒圍在晶盒放置區(qū)域內(nèi)，避免晶盒從擱板上摔落。
7、 一種晶圓運(yùn)輸車(chē)，包括底座、車(chē)身、兩層擱板和升降驅(qū)動(dòng)裝置，所述擱 板用于承載存放晶圓的晶盒，其特征在于所述下擱板在升降驅(qū)動(dòng)裝置的驅(qū)動(dòng) 下可向上升起，具體地，所述晶圓運(yùn)輸車(chē)設(shè)有一側(cè)車(chē)身，其上設(shè)有導(dǎo)軌，所述 上擱板由一框架、設(shè)置于框架上的前、后滑板及中央固定架構(gòu)成，前、后滑板 與中央固定架之間為中空，且前、后滑板可沿框架導(dǎo)軌同時(shí)朝向或者遠(yuǎn)離中央 固定架滑動(dòng)；所述運(yùn)輸車(chē)的前端還設(shè)有一擱板支架，上擱板固定在擱板支架上， 下擱板的一端可沿?cái)R板支架滑動(dòng)；所述的升降驅(qū)動(dòng)裝置包括動(dòng)力剪及其驅(qū)動(dòng)固 定部件，以及滑板驅(qū)動(dòng)部件，該動(dòng)力剪的一端通過(guò)驅(qū)動(dòng)固定部件安裝在運(yùn)輸車(chē) 底座上，另一端與下擱板相連，通過(guò)改變動(dòng)力剪的張開(kāi)角度可實(shí)現(xiàn)下擱板升降， 當(dāng)下擱板上升時(shí)，由滑板驅(qū)動(dòng)部件驅(qū)動(dòng)前、后滑板向遠(yuǎn)離中央固定架的方向移 動(dòng)，當(dāng)下擱板下降時(shí)，由滑板驅(qū)動(dòng)部件驅(qū)動(dòng)前、后滑板向靠近中央固定架的方 向移動(dòng)。
8、 如權(quán)利要求7所述的晶圓運(yùn)輸車(chē)，其特征在于所述的驅(qū)動(dòng)固定部件包 括螺桿、傳動(dòng)滑塊、連接器和直流馬達(dá)，所述螺桿通過(guò)螺桿固定座固定至運(yùn)輸 車(chē)底座，所述動(dòng)力剪的一端連接至傳動(dòng)滑塊，所述傳動(dòng)滑塊通過(guò)連接器連接至 直流馬達(dá)，所述傳動(dòng)滑塊在直流馬達(dá)的驅(qū)動(dòng)下沿螺桿滑動(dòng)，以改變動(dòng)力剪的張 開(kāi)角度。
9、 如權(quán)利要求7所述的晶圓運(yùn)輸車(chē)，其特征在于所述的滑板驅(qū)動(dòng)部件包 括拉繩滑輪、滑板拉繩及拉力彈簧，該拉繩滑輪設(shè)置在中央固定架下方，滑輪 上跨設(shè)有滑板拉繩，拉繩的一端固定在下擱板上，另一端分出兩股，分別連接 在前、后滑板上，所述拉力彈簧分別設(shè)置在前滑板與擱板支架之間，以及后滑 板與車(chē)身之間。
10、 如權(quán)利要求7所述的晶圓運(yùn)輸車(chē)，其特征在于中央固定架到擱板支 架的距離等于中央固定架到車(chē)身的距離，且該距離大于一個(gè)晶盒底盤(pán)的寬度。
11、 如權(quán)利要求7所述的晶圓運(yùn)輸車(chē)，其特征在于初始狀態(tài)下，上、下 擱板之間留有大于一個(gè)晶盒高度的距離，上擱板的前、后滑板到中央固定架的 距離都等于晶盒底盤(pán)的寬度，從而前滑板與中央固定架一起支撐一個(gè)晶盒，中 央固定架與后滑板一起支撐一個(gè)晶盒。
12、 如權(quán)利要求7所述的晶圓運(yùn)輸車(chē)，其特征在于所述的動(dòng)力剪及其驅(qū)動(dòng)固定部件也可采用手動(dòng)裝置來(lái)替換，該手動(dòng)裝置包括搖桿、連桿、擺桿、翹 翹桿、翹翹桿的支架以及用于支撐抵頂下擱板的支桿，所述搖桿、連桿、擺桿、翹翹桿及支桿依次相互軸接；當(dāng)搖桿向左搖動(dòng)時(shí)，連桿按逆時(shí)針?lè)较蜣D(zhuǎn)動(dòng)，帶 動(dòng)擺桿向下運(yùn)動(dòng)，使得翹翹桿連接支桿的一端上升，從而由支桿頂起下擱板上 升；當(dāng)搖桿向右搖動(dòng)時(shí)，連桿按順時(shí)針?lè)较蜣D(zhuǎn)動(dòng)，帶動(dòng)擺桿向上運(yùn)動(dòng)，使得翹 翹桿連接支桿的一端下降，從而由支桿拉動(dòng)下擱板下降。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種晶圓運(yùn)輸車(chē)。現(xiàn)有的多層固定式擱架手推車(chē)所設(shè)置的擱架高度不符合人體工程學(xué)原理，且高度無(wú)法調(diào)節(jié)，使得作業(yè)人員從擱架上取放晶盒時(shí)容易傷及背部和腰部，長(zhǎng)期作業(yè)對(duì)健康危害很大。為解決上述問(wèn)題，本發(fā)明提供了一種具有可活動(dòng)式擱架的晶圓運(yùn)輸車(chē)，其包括車(chē)身和兩層擱架，采用了不同的上擱板設(shè)計(jì)，配合相應(yīng)的升降驅(qū)動(dòng)裝置，可方便地實(shí)現(xiàn)下擱板的升降。采用本發(fā)明的運(yùn)輸車(chē)可將擱架調(diào)到符合人體工程學(xué)原理的高度，從而避免作業(yè)人員的人體損傷。
文檔編號(hào)B66F9/065GK101229816SQ20081003381
公開(kāi)日2008年7月30日 申請(qǐng)日期2008年2月22日 優(yōu)先權(quán)日2008年2月22日
發(fā)明者李雨庭 申請(qǐng)人:上海杰浪國(guó)際貿(mào)易有限公司