專利名稱：多晶硅坩堝燒結(jié)爐的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種多晶硅坩堝燒結(jié)爐，屬于多晶硅坩堝燒結(jié)爐的設(shè)計(jì)與制造技術(shù) 領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
多晶硅坩堝燒結(jié)爐就是對(duì)噴涂了 Si3N4的石英坩堝進(jìn)行燒結(jié)，使Si3N4緊密結(jié)合 在石英坩堝的表面，形成具有耐高溫、化學(xué)穩(wěn)定性好、強(qiáng)度高、硬度大、耐磨損、抗沖 擊、抗腐蝕、質(zhì)量輕、和導(dǎo)熱性能好的保護(hù)膜。防止熔融硅與石英坩堝反應(yīng)，并且方便 坩堝脫模。在通常情況下，多晶硅坩堝燒結(jié)爐的工作溫度為1040 1050度。現(xiàn)有的多晶硅 坩堝燒結(jié)爐的爐壁保溫層結(jié)構(gòu)大多采用耐火磚(114毫米)和陶瓷纖維毯(厚度260毫 米)構(gòu)成，或者硅藻土保溫磚和硅酸鋁耐火纖維毯構(gòu)成。爐壁保溫層結(jié)構(gòu)厚度較大，在 加熱升溫過程中吸熱、儲(chǔ)熱量大，導(dǎo)致升溫相對(duì)緩慢；而在強(qiáng)制風(fēng)冷降溫散熱過程中， 又由于儲(chǔ)熱量大，導(dǎo)致降溫相對(duì)緩慢。多晶硅坩堝燒結(jié)爐工作時(shí)，爐內(nèi)溫度高達(dá)1040 1050度左右，固定在爐壁上的 擱絲磚上的擱絲鉤直接與高溫電加熱元件(如高溫電熱絲)接觸，長(zhǎng)時(shí)間工作，容易導(dǎo) 致擱絲鉤的斷裂。擱絲鉤斷裂后，需要大面積破壞爐壁上的保溫層，然后再修復(fù)保溫層 和更換擱絲磚。維修更換工程大，消耗的時(shí)間長(zhǎng)，且可能破壞原本完好的保溫層，增加 了維修成本。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種多晶硅坩堝燒結(jié)爐，增設(shè)納米保溫板，保溫效果 好，在保證爐體外壁溫升不變的前提下，而保溫層結(jié)構(gòu)中的其他保溫層厚度可以大為減 少；此外，電熱元件支承座通過連接組件與骨架可更換式裝配，若電熱元件支承座上的 掛鉤式工作部斷裂，通過拆卸連接組件，方便的拆下電熱元件支承座更換，不需要額外 破壞完整的保溫層，維修更換極其方便，而維修工程小、成本低，解決現(xiàn)有技術(shù)存在的 保溫層結(jié)構(gòu)厚度較大導(dǎo)致的問題，以及擱絲磚通過黏膠固定在骨架和保溫層上，不可拆 卸，維修時(shí)可能破壞原本完好的保溫層，更換麻煩。本發(fā)明的上述技術(shù)目的主要是通過以下技術(shù)方案解決的多晶硅坩堝燒結(jié)爐， 包括爐體，與爐體相配合的移動(dòng)式臺(tái)車，設(shè)置在爐體內(nèi)的加熱系統(tǒng)和排濕冷卻系統(tǒng)，與 加熱系統(tǒng)和排濕冷卻系統(tǒng)電氣控制連接的電氣控制系統(tǒng)，其特征在于所述爐體包括骨 架，設(shè)置在骨架內(nèi)壁的保溫層結(jié)構(gòu)，所述保溫層結(jié)構(gòu)包括納米保溫板。本專利申請(qǐng)中的 多晶硅坩堝燒結(jié)爐的爐壁保溫層結(jié)構(gòu)中含有納米保溫板，其厚度僅為200mm，減少了爐 壁保溫層結(jié)構(gòu)總體厚度的三分之一，而保溫效果卻絲毫不遜色，同樣能達(dá)到現(xiàn)有技術(shù)水 平或高于現(xiàn)有技術(shù)水平。正是采用了納米保溫板，爐壁總體厚度的減小，從而大大減少 了爐壁自身的蓄熱，使?fàn)t子的升溫和強(qiáng)制風(fēng)冷降溫的效率大為提高。目前現(xiàn)有的燒結(jié)爐燒結(jié)生產(chǎn)周期通常需要40小時(shí)左右，而本專利申請(qǐng)的燒結(jié)爐燒結(jié)生產(chǎn)周期只需要23個(gè) 小時(shí)左右，生產(chǎn)周期大大縮短，因此，生產(chǎn)效率和節(jié)能效果是顯著的。其中，納米保溫 板又叫納米孔真空絕熱板，外殼體為有機(jī)玻璃材料或金屬材料，殼體內(nèi)部裝填納米孔材 料。納米孔材料為SiO2氣凝膠微球材料摻加質(zhì)量15 28%Fe (NO3) 3或Ti203或CuSO4 或Al粉末，保溫板真空度為20PA。在有機(jī)玻璃殼體中，置入干燥的納米孔絕熱材料， 抽真空后密封而成。具有導(dǎo)熱系數(shù)低，重量輕等特點(diǎn)。由其他保溫層的預(yù)先保溫，從爐內(nèi)傳到納米保溫板的熱量明顯減少，然后在納 米保溫板的高效保溫作用下，爐內(nèi)熱量傳遞到骨架的熱量大幅減少，使?fàn)t子的升溫和強(qiáng) 制風(fēng)冷降溫的效率大為提高。骨架外圍還可以設(shè)置保護(hù)罩殼。保護(hù)罩殼的設(shè)置，有利于進(jìn)一步減少爐體外壁 的溫升，避免人員燙傷，同時(shí)，提高視覺效果，提升整體品質(zhì)。作為對(duì)上述技術(shù)方案的進(jìn)一步完善和補(bǔ)充，本發(fā)明采用如下技術(shù)措施所述的 保溫層結(jié)構(gòu)還包括依次設(shè)置的耐火磚、陶瓷纖維板、硅鈣板，所述的納米保溫板設(shè)置在 最外層與骨架接觸。其中，耐火磚、陶瓷纖維板、硅鈣板的具體排列位置可以根據(jù)數(shù)學(xué) 的排列組合方式依次排列。例如依次由爐體內(nèi)部往外設(shè)置的方式可以為耐火磚、陶 瓷纖維板、硅鈣板，或者可以耐火磚、硅鈣板、陶瓷纖維板，或者上述三者的任意排列 組合。還包括電熱場(chǎng)結(jié)構(gòu)，其包括通過連接組件與骨架可更換式裝配的電熱元件支承 座，通過剛玉管支撐的電熱元件，所述剛玉管的兩端分別支承在橫向相臨的電熱元件支 承座上，所述的電熱元件支承座的連接部與連接座之間充填陶瓷纖維板、或硅鈣板、或 其結(jié)合；或納米保溫板與陶瓷纖維板、硅鈣板的組合；所述連接組件包括通過連接件固 定在骨架上的連接座，一端鉤掛在連接座上、另一端鉤掛在電熱元件支承座連接部上的 連接掛鉤。電熱元件支承座通過連接組件與骨架呈鑲嵌式可拆卸配合，若電熱元件支承 座的工作部斷裂，通過拆卸連接組件，方便的拆下電熱元件支承座進(jìn)行更換，不需要額 外破壞完整的保溫層，維修更換極其方便，且維修工程小、成本低。每個(gè)電熱元件支承座上至少對(duì)應(yīng)的設(shè)置兩個(gè)連接掛鉤，分別設(shè)置在電熱元件支 承座的頂部和底部，或者分別設(shè)置在電熱元件支承座相對(duì)的兩側(cè)面。相臨上下電熱元件支承座的分別設(shè)于陰陽(yáng)配合部，即相臨的上電熱元件支承座 和相臨的下電熱元件支承座上分別設(shè)置相配合的凹部和凸部。每個(gè)電熱元件支承座僅頂部配合一個(gè)連接掛鉤，相臨上下電熱元件支承座的分 別設(shè)于陰陽(yáng)配合部，即相臨的上電熱元件支承座和相臨的下電熱元件支承座上分別設(shè)置 相配合的凹部和凸部。所述電熱元件支承座的工作部為彎鉤支承部，該彎鉤支承部的中部設(shè)有軸向的 加強(qiáng)板，所述加強(qiáng)板上部開設(shè)電熱元件走線孔，所述彎鉤支承部被加強(qiáng)板分割成相對(duì)的 兩個(gè)承接部；所述的連接座橫截面為半包圍的框型，連接座的開口端設(shè)有掛鉤橫桿；所 述電熱元件支承座的連接部上設(shè)有與連接掛鉤的鉤接部相適應(yīng)的掛鉤槽；其與設(shè)置該掛 鉤槽開口的平面相垂直；所述連接掛鉤兩端為直角形掛鉤部，該連接掛鉤的一端鉤掛在 掛鉤橫桿上，另一端鉤掛在掛鉤槽。所述的加熱系統(tǒng)包括五組加熱元件組，所述爐體前門、后壁分別各設(shè)一組加熱元件組；臺(tái)車及爐體兩側(cè)面底部設(shè)一組加熱元件組；爐體兩側(cè)面中部設(shè)一組加熱元件 組；以及爐體兩側(cè)面頂部設(shè)一組加熱元件組；所述爐體頂部開有爐體出風(fēng)口，爐體兩側(cè) 壁分別開有進(jìn)風(fēng)口，所述臺(tái)車上設(shè)有與兩側(cè)壁上的進(jìn)風(fēng)口相聯(lián)通的進(jìn)風(fēng)通道，以及臺(tái)車 上部開有與進(jìn)風(fēng)通道的臺(tái)車出風(fēng)口。所述的電加熱元件包括電阻絲，所述爐體側(cè)壁上的電阻絲的設(shè)置方式為與坩 堝上下兩端角相適配的相鄰電阻絲之間的間距為S ；與坩堝中部相適配的相鄰電阻絲之 間的間距為2S ；電阻絲的分布相對(duì)于坩堝上下兩端分別向上下延伸2 3根電阻絲；
所述臺(tái)車上的電阻絲均布設(shè)置，其相鄰電阻絲之間的間距為2 2.5S ； 所述的爐體前門、后壁上設(shè)置的電阻絲的設(shè)置位置與爐體側(cè)壁上電阻絲的設(shè)置位置 相對(duì)應(yīng)。所述的臺(tái)車的兩側(cè)邊設(shè)有向外延伸并向下彎折的臺(tái)車彎折部，其與臺(tái)車主體側(cè) 壁形成插接槽，所述爐體兩側(cè)下端分別內(nèi)凹式的設(shè)有與臺(tái)車彎折部相對(duì)應(yīng)的扣接槽，所 述扣接槽外側(cè)設(shè)有與插接槽相配合的扣接部；所述的臺(tái)車底部設(shè)有一排導(dǎo)向輪，所述導(dǎo) 向輪的圓心位置設(shè)有固定連桿、以及導(dǎo)向控制連桿。使用時(shí)，在扣接槽內(nèi)填充石英砂， 這樣的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，有利于防止熱量從臺(tái)車和爐體之間的間隙向外傳遞，進(jìn)一步提高保溫 效果。導(dǎo)向輪的支撐點(diǎn)為圓心，調(diào)整臺(tái)車位置時(shí)，不會(huì)左右搖晃，防止臺(tái)車與爐體發(fā)生 碰撞，或者防止多晶硅坩堝從臺(tái)車上傾覆。本發(fā)明具有本發(fā)明具有突出的實(shí)質(zhì)性效果1、增設(shè)納米保溫板，保溫效果好， 保溫層結(jié)構(gòu)中的其他保溫層厚度可以大為減少，從而減少了爐壁自身的蓄熱，使?fàn)t子的 升溫和強(qiáng)制風(fēng)冷降溫的效率，大為提高縮短了生產(chǎn)周期；同時(shí)，提高了生產(chǎn)效率、達(dá)到 節(jié)能效果；2、電熱元件支承座通過連接組件與掛架呈鑲嵌式可拆卸配合，通過拆卸連接 組件，可方便的拆下電熱元件支承座進(jìn)行更換，不再額外破壞原本完好的保溫層，使得 維修更換更為方便，且維修工程小、成本低；3、加熱元件組的布置位置以及風(fēng)口位置的 設(shè)置，有利于爐內(nèi)熱場(chǎng)均衡；4、臺(tái)車底部的導(dǎo)向輪支撐點(diǎn)為圓心，能平穩(wěn)的調(diào)整方向， 避免臺(tái)車左右晃動(dòng)。




圖1是本發(fā)明的一種剖視結(jié)構(gòu)示意圖。
圖2是本發(fā)明的使用時(shí)，坩堝位于爐體內(nèi)時(shí)的剖視結(jié)構(gòu)示意圖。 圖3是本發(fā)明中保溫層結(jié)構(gòu)的剖視結(jié)構(gòu)示意圖。 圖4是本發(fā)明中臺(tái)車底部的結(jié)構(gòu)示意圖。 圖5是圖4中側(cè)向結(jié)構(gòu)示意圖。 圖6是本發(fā)明各個(gè)風(fēng)口設(shè)置位置的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖7為本發(fā)明實(shí)際應(yīng)用中多晶硅坩堝在燒結(jié)過程中的一種等溫梯度曲線圖。 圖8是本發(fā)明中電熱場(chǎng)裝置的第一種結(jié)構(gòu)示意圖。 圖9是本發(fā)明中電熱場(chǎng)裝置的第二種結(jié)構(gòu)示意圖。 圖10是本發(fā)明中電熱場(chǎng)裝置的第三種結(jié)構(gòu)示意圖。 圖11是本發(fā)明中電熱場(chǎng)裝置的第四種結(jié)構(gòu)示意圖。 圖12是圖8-圖11中A-A向剖視結(jié)構(gòu)示意圖。
圖13是本發(fā)明中電熱場(chǎng)裝置的第五種結(jié)構(gòu)示意圖。圖14是本發(fā)明中電熱場(chǎng)裝置的第六種結(jié)構(gòu)示意圖。圖15是本發(fā)明中電熱場(chǎng)裝置的第七種結(jié)構(gòu)示意圖。圖16是本發(fā)明中電熱場(chǎng)裝置的第八種結(jié)構(gòu)示意圖。圖17是圖13-圖16中A_A向剖視結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式下面通過實(shí)施例，并結(jié)合附圖，對(duì)本發(fā)明的技術(shù)方案作進(jìn)一步具體的說明。實(shí)施例1 多晶硅坩堝燒結(jié)爐，如圖1所述，它包括爐體1，與爐體1相配合的 移動(dòng)式臺(tái)車2，設(shè)置在爐體1內(nèi)的加熱系統(tǒng)和排濕冷卻系統(tǒng)，與加熱系統(tǒng)和排濕冷卻系統(tǒng) 電氣控制連接的電氣控制系統(tǒng)。如圖3所示，爐體包括骨架3，設(shè)置在內(nèi)壁的保溫層結(jié) 構(gòu)。保溫層結(jié)構(gòu)還包括由爐內(nèi)往爐外依次設(shè)置的耐火磚5、陶瓷纖維板6、硅鈣板7，設(shè) 置在最外層與骨架3接觸的納米保溫板4。骨架外圍設(shè)置保護(hù)罩殼12。骨架采用鋼結(jié) 構(gòu)，主要包括爐體鋼結(jié)構(gòu)骨架、前門鋼結(jié)構(gòu)骨架、底部臺(tái)車鋼結(jié)構(gòu)骨架。在納米保溫板 4設(shè)置在最內(nèi)層與骨架3接觸的前提下，其他各保溫層可以根據(jù)數(shù)學(xué)排列組合方式進(jìn)行排 列，例如，還可以有以下的變形由爐體內(nèi)部往外依次設(shè)置的耐火磚5、硅鈣板7、陶瓷 纖維板6、納米保溫板4;或者這四種保溫層的其他任意排列組合。由于僅改變保溫層排 列關(guān)系，總體結(jié)構(gòu)沒有改變，因此省略上述變形結(jié)構(gòu)涉及的結(jié)構(gòu)圖。其中，耐火磚厚度為114毫米、陶瓷纖維板厚度為40毫米、硅鈣板厚度為40毫 米、納米保溫板厚度為10毫米。這些數(shù)據(jù)為較佳效果的數(shù)據(jù)，如保溫性能、經(jīng)濟(jì)性能為 較佳配合關(guān)系。但是，在實(shí)際應(yīng)用中不局限于上述數(shù)據(jù)。下面的表1為本專利申請(qǐng)中保 溫層結(jié)構(gòu)的一種實(shí)例對(duì)比數(shù)據(jù)，示出了本專利申請(qǐng)中保溫層結(jié)構(gòu)帶來(lái)的有益效果，到達(dá) 儲(chǔ)熱量相對(duì)較小，使得升溫和強(qiáng)制風(fēng)冷降溫的效率較大的提高。
權(quán)利要求
1.多晶硅坩堝燒結(jié)爐，包括爐體(1)，與爐體(1)相配合的移動(dòng)式臺(tái)車(2)， 設(shè)置在爐體(1)內(nèi)的加熱系統(tǒng)和排濕冷卻系統(tǒng)，與加熱系統(tǒng)和排濕冷卻系統(tǒng)電氣控制 連接的電氣控制系統(tǒng)，其特征在于所述爐體包括骨架(3)，設(shè)置在骨架內(nèi)壁的保溫層結(jié) 構(gòu)，所述保溫層結(jié)構(gòu)包括納米保溫板(4)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多晶硅坩堝燒結(jié)爐，其特征在于所述的保溫層結(jié)構(gòu)還包括依 次設(shè)置的耐火磚(5)、陶瓷纖維板(6)、硅鈣板(7)，所述的納米保溫板(4)設(shè)置 在最外層與骨架(3)接觸。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的多晶硅坩堝燒結(jié)爐，其特征在于還包括電熱場(chǎng)結(jié)構(gòu)，其包 括通過連接組件與骨架(3)可更換式裝配的電熱元件支承座(8)，通過剛玉管支撐的 電熱元件，所述剛玉管的兩端分別支承在橫向相臨的電熱元件支承座(8)上，所述的電 熱元件支承座(8)的連接部與連接座(12)之間充填陶瓷纖維板、或硅鈣板、或其結(jié) 合；或納米保溫板與陶瓷纖維板、硅鈣板的組合；所述連接組件包括通過連接件(25) 固定在骨架(3)上的連接座(12)，一端鉤掛在連接座(12)上、另一端鉤掛在電熱 元件支承座(8)連接部上的連接掛鉤(9)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的多晶硅坩堝燒結(jié)爐，其特征在于每個(gè)電熱元件支承座(8) 上至少對(duì)應(yīng)的設(shè)置兩個(gè)連接掛鉤(9)，分別設(shè)置在電熱元件支承座(8)的頂部和底 部，或者分別設(shè)置在電熱元件支承座(8)相對(duì)的兩側(cè)面。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的多晶硅坩堝燒結(jié)爐，其特征在于相臨上下電熱元件支承座(8)的分別設(shè)于陰陽(yáng)配合部，即相臨的上電熱元件支承座(8)和相臨的下電熱元件支 承座(8)上分別設(shè)置相配合的凹部(28)和凸部(29)。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的多晶硅坩堝燒結(jié)爐，其特征在于每個(gè)電熱元件支承座(8) 僅頂部配合一個(gè)連接掛鉤(9)，相臨上下電熱元件支承座(8)的分別設(shè)于陰陽(yáng)配合 部，即相臨的上電熱元件支承座(8)和相臨的下電熱元件支承座(8)上分別設(shè)置相配 合的凹部(28)和凸部(29)。
7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的多晶硅坩堝燒結(jié)爐，其特征在于所述電熱元件支承座(8) 的工作部為彎鉤支承部，該彎鉤支承部的中部設(shè)有軸向的加強(qiáng)板(30)，所述加強(qiáng)板(30)上部開設(shè)電熱元件走線孔(31)，所述彎鉤支承部被加強(qiáng)板(30)分割成相對(duì)的 兩個(gè)承接部(32)；所述的連接座(12)橫截面為半包圍的框型，連接座(12)的開 口端設(shè)有掛鉤橫桿(11)；所述電熱元件支承座(8)的連接部上設(shè)有與連接掛鉤(9) 的鉤接部相適應(yīng)的掛鉤槽(10)；其與設(shè)置該掛鉤槽開口的平面相垂直；所述連接掛鉤(9)兩端為直角形掛鉤部，該連接掛鉤(9)的一端鉤掛在掛鉤橫桿(11)上，另一端 鉤掛在掛鉤槽(10)內(nèi)。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多晶硅坩堝燒結(jié)爐，其特征在于所述的加熱系統(tǒng)包括五組加 熱元件組，所述爐體前門、后壁分別各設(shè)一組加熱元件組；臺(tái)車及爐體兩側(cè)面底部設(shè)一 組加熱元件組；爐體兩側(cè)面中部設(shè)一組加熱元件組；以及爐體兩側(cè)面頂部設(shè)一組加熱元 件組；所述爐體頂部開有爐體出風(fēng)口(13)，爐體兩側(cè)壁分別開有進(jìn)風(fēng)口(14)，所述 臺(tái)車(2)上設(shè)有與兩側(cè)壁上的進(jìn)風(fēng)口相聯(lián)通的進(jìn)風(fēng)通道(15)，以及臺(tái)車上部開有與 進(jìn)風(fēng)通道(15)的臺(tái)車出風(fēng)口(17)。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的多晶硅坩堝燒結(jié)爐，其特征在于所述的電加熱元件包括電阻絲，所述爐體側(cè)壁上的電阻絲的設(shè)置方式為與坩堝上下兩端角相適配的相鄰電阻絲之 間的間距為S;與坩堝中部相適配的相鄰電阻絲之間的間距為2S;電阻絲的分布相對(duì)于 坩堝上下兩端分別向上下延伸2 3根電阻絲；所述臺(tái)車上的電阻絲均布設(shè)置，其相鄰電阻絲之間的間距為2 2.5S ； 所述的爐體前門、后壁上設(shè)置的電阻絲的設(shè)置位置與爐體側(cè)壁上電阻絲的設(shè)置位置 相對(duì)應(yīng)。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多晶硅坩堝燒結(jié)爐，其特征在于所述的臺(tái)車(2)的 兩側(cè)邊設(shè)有向外延伸并向下彎折的臺(tái)車彎折部(18)，其與臺(tái)車主體側(cè)壁形成插接槽(19)，所述爐體兩側(cè)下端分別內(nèi)凹式的設(shè)有與臺(tái)車彎折部(18)相對(duì)應(yīng)的扣接槽(20)，所述扣接槽(20)外側(cè)設(shè)有與插接槽(19)相配合的扣接部(21)；所述的 臺(tái)車(2)底部設(shè)有一排導(dǎo)向輪(22)，所述導(dǎo)向輪(22)的圓心位置設(shè)有固定連桿(23)、以及導(dǎo)向控制連桿(24)。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種多晶硅坩堝燒結(jié)爐，它包括爐體，與爐體相配合的移動(dòng)式臺(tái)車，設(shè)置在爐體內(nèi)的加熱系統(tǒng)和排濕冷卻系統(tǒng)，與加熱系統(tǒng)和排濕冷卻系統(tǒng)電氣控制連接的電氣控制系統(tǒng)，其特征在于所述爐體包括骨架，設(shè)置在骨架內(nèi)壁的保溫層結(jié)構(gòu)，所述保溫層結(jié)構(gòu)包括納米保溫板。本發(fā)明具有突出的實(shí)質(zhì)性特點(diǎn)增設(shè)納米保溫板，保溫效果好，保溫層結(jié)構(gòu)中的其他保溫層厚度可以大為減少，從而減少了爐壁自身的蓄熱，使?fàn)t子的升溫和強(qiáng)制風(fēng)冷降溫的效率，大為提高縮短了生產(chǎn)周期；同時(shí)，提高了生產(chǎn)效率、達(dá)到節(jié)能效果。
文檔編號(hào)C30B35/00GK102021660SQ201010614198
公開日2011年4月20日 申請(qǐng)日期2010年12月30日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月30日
發(fā)明者吳建飛, 孫國(guó)飛, 張瑋, 張鵬銘, 徐飛, 朱鑫峰, 陳輝 申請(qǐng)人:紹興精功機(jī)電有限公司