專利名稱：擴(kuò)散爐用爐體及擴(kuò)散爐的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及擴(kuò)散爐設(shè)備，尤其涉及一種擴(kuò)散爐用爐體及擴(kuò)散爐。
背景技術(shù)：
擴(kuò)散爐是半導(dǎo)體器件及大規(guī)模集成電路制造過程中用于對晶片進(jìn)行擴(kuò)散、氧化、 鍍膜、退火、合金及燒結(jié)等工藝的一種熱加工設(shè)備。擴(kuò)散爐通常包括爐體、凈化工作臺、 推拉舟、氣源系統(tǒng)和控制系統(tǒng)等?，F(xiàn)有技術(shù)中爐體的外殼內(nèi)部沿爐體延伸方向設(shè)置有加熱爐絲，而爐體的外殼外部沿爐體延伸方向均勻設(shè)置有四個(gè)主控引線，主控引線與加熱爐絲電連接，從而擴(kuò)散爐的控制系統(tǒng)可以通過控制主控弓丨線通斷電實(shí)現(xiàn)將爐體設(shè)置為三段式控溫。由于現(xiàn)有技術(shù)中的爐體采用三段式控溫，使外殼內(nèi)的溫度的控制精度較低，導(dǎo)致加工產(chǎn)品合格率較低。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是提供一種擴(kuò)散爐用爐體及擴(kuò)散爐，解決現(xiàn)有技術(shù)中爐體的溫度的控制精度較低，導(dǎo)致產(chǎn)品合格率較低的缺陷，實(shí)現(xiàn)提高擴(kuò)散爐用爐體溫度的控制精度，以提高加工產(chǎn)品的合格率。本實(shí)用新型提供的技術(shù)方案是，一種擴(kuò)散爐用爐體，包括外殼和加熱爐絲，還包括至少六個(gè)主控引線，所述主控引線沿所述外殼延伸方向均勻固設(shè)在所述外殼上，并且每個(gè)所述主控弓I線分別與所述加熱爐絲電連接。本實(shí)用新型提供的擴(kuò)散爐用爐體，通過在外殼上設(shè)置有至少六個(gè)主控引線，可以在外殼內(nèi)中形成至少五個(gè)溫控區(qū)域，使擴(kuò)散爐用爐體實(shí)現(xiàn)至少五段式控溫方式，從而可以更加準(zhǔn)確的控制爐體的溫度，有效的提高了擴(kuò)散爐用爐體溫度的控制精度，從而提高了擴(kuò)散爐用爐體加工出的產(chǎn)品的合格率。如上所述的擴(kuò)散爐用爐體，擴(kuò)散爐用爐體還包括筒形保溫層，所述筒形保溫層插設(shè)在所述外殼中，所述筒形保溫層位于所述外殼和所述加熱爐絲之間。如上所述的擴(kuò)散爐用爐體，擴(kuò)散爐用爐體還包括筒形絕緣層，所述筒形絕緣層插設(shè)在所述外殼中，所述筒形絕緣層位于所述外殼和所述筒形保溫層之間。如上所述的擴(kuò)散爐用爐體，所述外殼兩端分別固設(shè)有環(huán)形套筒，并且每個(gè)所述環(huán)形套筒中插設(shè)有擋風(fēng)管。如上所述的擴(kuò)散爐用爐體，擴(kuò)散爐用爐體還包括冷卻管，所述冷卻管纏繞在所述外殼的外部。如上所述的擴(kuò)散爐用爐體，所述外殼上開設(shè)有多個(gè)熱偶孔。如上所述的擴(kuò)散爐用爐體，所述外殼上對稱固設(shè)有把手。本實(shí)用新型提供的技術(shù)方案是，一種擴(kuò)散爐，包括如上所述的擴(kuò)散爐用爐體。本實(shí)用新型提供的擴(kuò)散爐，通過在外殼上設(shè)置有至少六個(gè)主控引線，可以在外殼內(nèi)中形成至少五個(gè)溫控區(qū)域，使擴(kuò)散爐用爐體實(shí)現(xiàn)至少五段式控溫方式，從而可以更加準(zhǔn)確的控制爐體的溫度，有效的提高了擴(kuò)散爐用爐體溫度的控制精度，從而提高了擴(kuò)散爐用爐體加工出的產(chǎn)品的合格率。
為了更清楚地說明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作一簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)性的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖1為本實(shí)用新型擴(kuò)散爐用爐體實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖一；圖2為本實(shí)用新型擴(kuò)散爐用爐體實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖二 ；圖3為圖1中A區(qū)域的局部放大示意圖。
具體實(shí)施方式
為使本實(shí)用新型實(shí)施例的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有作出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。圖1為本實(shí)用新型擴(kuò)散爐用爐體實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖一，圖2為本實(shí)用新型擴(kuò)散爐用爐體實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖二，圖3為圖1中A區(qū)域的局部放大示意圖。如圖1-圖3所示，本實(shí)施例擴(kuò)散爐用爐體，包括外殼1和加熱爐絲2，還包括至少六個(gè)主控引線3，六個(gè)主控引線3沿外殼1延伸方向均勻固設(shè)在外殼1上，并且每個(gè)主控引線3分別與加熱爐絲2 電連接。具體而言，本實(shí)施例擴(kuò)散爐用爐體中的外殼1上固設(shè)有至少六個(gè)主控引線3，主控引線3與外殼1中的加熱爐絲2電連接，每相鄰兩個(gè)主控引線3與對應(yīng)的加熱爐絲2形成一溫控區(qū)域，從而在外殼1中形成至少五個(gè)獨(dú)立的溫控區(qū)域，實(shí)現(xiàn)了本實(shí)施例擴(kuò)散爐用爐體采用至少五段式控溫方式，從而可以更加準(zhǔn)確的控制本實(shí)施例擴(kuò)散爐用爐體的溫度，提高了擴(kuò)散爐用爐體溫度的控制精度。其中，本實(shí)施例中的加熱爐絲2可以采用耐高溫爐絲， 從而可以確保加熱爐絲2在長時(shí)間高溫環(huán)境中不會(huì)產(chǎn)生高溫?cái)嗔训默F(xiàn)象。而外殼1可以采用不銹鋼磨砂板制成。另外，本實(shí)施例中的外殼1上可以開設(shè)有多個(gè)熱偶孔11，外殼1上還可以對稱固設(shè)有把手12，通過把手12可以方便牢固的將本實(shí)施例擴(kuò)散爐用爐體進(jìn)行安裝固定。進(jìn)一步的，本實(shí)施例擴(kuò)散爐用爐體可以還包括筒形保溫層4，筒形保溫層4插設(shè)在外殼1中，筒形保溫層4位于外殼1和加熱爐絲2之間。具體的，通過設(shè)置筒形保溫層4，可以有效的減少加熱爐絲2產(chǎn)生的熱量通過外殼1散發(fā)到外部，使本實(shí)施例擴(kuò)散爐用爐體的保溫性能更好。更進(jìn)一步的，本實(shí)施例擴(kuò)散爐用爐體可以還包括筒形絕緣層5，筒形絕緣層5插設(shè)在外殼1中，筒形絕緣層5位于外殼1和筒形保溫層4之間。具體的，通過在外殼1中設(shè)置筒形絕緣層5，筒形絕緣層5可以將加熱爐絲2與外殼1有效的進(jìn)行絕緣處理，從而有效的提高了本實(shí)施例擴(kuò)散爐用爐體的安全性能。其中，本實(shí)施例中的筒形絕緣層5可以采用陶瓷材料制成；另外，筒形絕緣層5 —方面要保證加熱爐絲2與外殼1絕緣設(shè)置；另外一方面，筒形絕緣層5可以有效的對加熱爐絲2進(jìn)行支撐，確保加熱爐絲2之間的間距的均勻，保證加熱爐絲2高溫使用情況下不塌陷。本實(shí)施例擴(kuò)散爐用爐體，通過在外殼上設(shè)置有至少六個(gè)主控引線，可以在外殼內(nèi)中形成至少五個(gè)溫控區(qū)域，使擴(kuò)散爐用爐體實(shí)現(xiàn)至少五段式控溫方式，從而可以更加準(zhǔn)確的控制爐體的溫度，有效的提高了擴(kuò)散爐用爐體溫度的控制精度，從而提高了擴(kuò)散爐用爐體加工出的產(chǎn)品的合格率?；谏鲜黾夹g(shù)方案，可選的，本實(shí)施例中的外殼1兩端分別固設(shè)有環(huán)形套筒6，并且每個(gè)環(huán)形套筒6中插設(shè)有擋風(fēng)管7。具體的，通過環(huán)形套筒6將擋風(fēng)管7可靠牢固的固定在外殼1上，在擋風(fēng)管7的作用下，可以減少外界的空氣大量進(jìn)入到外殼1中。進(jìn)一步的，為了有效的降低本實(shí)施例擴(kuò)散爐用爐體的外部溫度，本實(shí)施例擴(kuò)散爐用爐體可以還包括冷卻管8，冷卻管8纏繞在外殼1的外部。具體的，本實(shí)施例中的外殼1 的外部還纏繞有冷卻管8，當(dāng)本實(shí)施例擴(kuò)散爐用爐體進(jìn)行工作時(shí)，冷卻管8中可以注入冷卻液，從而快速有效的降低外殼1的外部溫度。本實(shí)用新型還提供一種擴(kuò)散爐，包括擴(kuò)散爐用爐體，其中，本實(shí)施例中的擴(kuò)散爐用爐體可以采用本實(shí)用新型擴(kuò)散爐用爐體實(shí)施例中的擴(kuò)散爐用爐體，其具體結(jié)構(gòu)可以參見本實(shí)用新型擴(kuò)散爐用爐體實(shí)施例以及附圖1-圖3的記載，在此不再贅述。本實(shí)施例擴(kuò)散爐，通過在外殼上設(shè)置有至少六個(gè)主控引線，可以在外殼內(nèi)中形成至少五個(gè)溫控區(qū)域，使擴(kuò)散爐用爐體實(shí)現(xiàn)至少五段式控溫方式，從而可以更加準(zhǔn)確的控制爐體的溫度，有效的提高了擴(kuò)散爐用爐體溫度的控制精度，從而提高了擴(kuò)散爐用爐體加工出的產(chǎn)品的合格率。最后應(yīng)說明的是以上實(shí)施例僅用以說明本實(shí)用新型的技術(shù)方案，而非對其限制； 盡管參照前述實(shí)施例對本實(shí)用新型進(jìn)行了詳細(xì)的說明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解: 其依然可以對前述各實(shí)施例所記載的技術(shù)方案進(jìn)行修改，或者對其中部分技術(shù)特征進(jìn)行等同替換；而這些修改或者替換，并不使相應(yīng)技術(shù)方案的本質(zhì)脫離本實(shí)用新型各實(shí)施例技術(shù)方案的精神和范圍。
權(quán)利要求1.一種擴(kuò)散爐用爐體，包括外殼和加熱爐絲，其特征在于，還包括至少六個(gè)主控引線，所述主控引線沿所述外殼延伸方向均勻固設(shè)在所述外殼上，并且每個(gè)所述主控引線分別與所述加熱爐絲電連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的擴(kuò)散爐用爐體，其特征在于，還包括筒形保溫層，所述筒形保溫層插設(shè)在所述外殼中，所述筒形保溫層位于所述外殼和所述加熱爐絲之間。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的擴(kuò)散爐用爐體，其特征在于，還包括筒形絕緣層，所述筒形絕緣層插設(shè)在所述外殼中，所述筒形絕緣層位于所述外殼和所述筒形保溫層之間。
4.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一所述的擴(kuò)散爐用爐體，其特征在于，所述外殼兩端分別固設(shè)有環(huán)形套筒，并且每個(gè)所述環(huán)形套筒中插設(shè)有擋風(fēng)管。
5.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一所述的擴(kuò)散爐用爐體，其特征在于，還包括冷卻管，所述冷卻管纏繞在所述外殼的外部。
6.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一所述的擴(kuò)散爐用爐體，其特征在于，所述外殼上開設(shè)有多個(gè)熱偶孔。
7.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一所述的擴(kuò)散爐用爐體，其特征在于，所述外殼上對稱固設(shè)有把手。
8.一種擴(kuò)散爐，其特征在于，包括如權(quán)利要求1-7任一所述的擴(kuò)散爐用爐體。
專利摘要本實(shí)用新型提供一種擴(kuò)散爐用爐體及擴(kuò)散爐。擴(kuò)散爐用爐體，包括外殼和加熱爐絲，還包括至少六個(gè)主控引線，所述主控引線沿所述外殼延伸方向均勻固設(shè)在所述外殼上，并且每個(gè)所述主控引線分別與所述加熱爐絲電連接。通過在外殼上設(shè)置有至少六個(gè)主控引線，可以在外殼內(nèi)中形成至少五個(gè)溫控區(qū)域，使擴(kuò)散爐用爐體實(shí)現(xiàn)至少五段式控溫方式，從而可以更加準(zhǔn)確的控制爐體的溫度，有效的提高了擴(kuò)散爐用爐體溫度的控制精度，從而提高了擴(kuò)散爐用爐體加工出的產(chǎn)品的合格率。
文檔編號C30B31/00GK201990766SQ201120041148
公開日2011年9月28日 申請日期2011年2月18日 優(yōu)先權(quán)日2011年2月18日
發(fā)明者徐桂香, 王志盾 申請人:青島金立盾電子設(shè)備有限公司