專利名稱:部件安裝裝置、信息處理裝置、位置檢測(cè)及基板制造方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本技術(shù)涉及在基板上安裝部件的部件安裝裝置、信息處理裝置、基板位置檢測(cè)方法以及基板制造方法。
背景技術(shù):
部件安裝裝置通常是這樣的裝置,其中,頭部通過介入用于供給電子部件的進(jìn)料裝置而取出電子部件,并將電子部件安裝在電路基板等上,電路基板被放置在用于安裝的區(qū)域中。日本未審專利申請(qǐng)公開第2009-27202號(hào)中公開了一種技術(shù),其中,為了在用于安裝的區(qū)域中放置基板,使用止動(dòng)器來(lái)停止所輸送的基板。在該技術(shù)中,通過所輸送的基板的前緣部分接觸被放置在預(yù)定位置的止動(dòng)器,基板被停止(例如,參考日本未審專利申請(qǐng)公開第2009-27202號(hào)的說(shuō)明書中的段落和圖15)。此外,在日本未審專利申請(qǐng)公開第2009-27202號(hào)中還公開了使用基板傳感器的技術(shù)。在該技術(shù)中,基板傳感器檢測(cè)所輸送的基板的前緣,并且將停止命令輸出到用于輸送基板的輸送裝置。從這個(gè)時(shí)間點(diǎn)到基板實(shí)質(zhì)上停止需要預(yù)定量的時(shí)間。因此,從而,通過計(jì)算從基板傳感器檢測(cè)到基板的前緣的時(shí)間點(diǎn)開始由輸送裝置引起的基板的移動(dòng)距離,來(lái)計(jì)算基板的實(shí)際停止位置(例如,參考日本未審專利申請(qǐng)公開第2009-27202號(hào)的說(shuō)明書中的段落
、
等)。
發(fā)明內(nèi)容
然而,如上所述的技術(shù)不能準(zhǔn)確地檢測(cè)到基板的停止位置。例如,在使用止動(dòng)器的情形中,存在基板從止動(dòng)器彈回的問題,并且存在回彈等。此外,如上所述,即使利用通過使用基板傳感器作為觸發(fā)器檢測(cè)所輸送的基板來(lái)停止基板的技術(shù),基板的實(shí)際停止位置的信息也只是預(yù)測(cè)(計(jì)算)信息。期望提供一種部件安裝裝置、信息處理裝置、基板位置檢測(cè)方法以及基板制造方法,準(zhǔn)確地檢測(cè)基板的停止位置。根據(jù)本技術(shù)的實(shí)施方式,提供了一種部件安裝裝置,其包括輸送單元、安裝單元、檢測(cè)單元以及控制單元。輸送單兀輸送基板。安裝單元將部件安裝在基板上。檢測(cè)單元能夠檢測(cè)設(shè)置在基板上的第一和第二檢測(cè)對(duì)象。第二檢測(cè)對(duì)象被設(shè)置為至少在輸送方向上與第一檢測(cè)對(duì)象在基板上分開預(yù)定距離,并且第二檢測(cè)對(duì)象是由安裝單元進(jìn)行安裝操作的基準(zhǔn)位置。控制單元基于由檢測(cè)單元進(jìn)行的對(duì)第一檢測(cè)對(duì)象的檢測(cè),將用于停止基板的輸送的停止信號(hào)輸出至輸送單元,并且使用檢測(cè)單元檢測(cè)已停止的基板的第二檢測(cè)對(duì)象。在該實(shí)施方式中,由于基于對(duì)第一檢測(cè)對(duì)象檢測(cè)來(lái)停止基板的輸送,并且檢測(cè)已、實(shí)際停止的基板上的第二檢測(cè)對(duì)象,從而用于開始安裝操作的第二檢測(cè)對(duì)象可被容易地檢測(cè)到。也就是說(shuō),可以準(zhǔn)確地檢測(cè)到基板的停止位置。檢測(cè)單元可以具有相機(jī)。在此情形中,控制單元輸出停止信號(hào),從而基板停止在相機(jī)的攝像范圍內(nèi),并且基于已停止的基板上的第一檢測(cè)對(duì)象的位置來(lái)計(jì)算第二檢測(cè)對(duì)象的位置。通過從開始減速到停止進(jìn)入相機(jī)的攝像范圍內(nèi)的基板上的第一檢測(cè)對(duì)象,可使用相機(jī)識(shí)別已實(shí)際停止的基板上的第一檢測(cè)對(duì)象和基板的停止信號(hào)的輸出時(shí)刻這兩者。從而,如果識(shí)別出已實(shí)際停止的基板上的第一檢測(cè)對(duì)象的位置,則可以容易地檢測(cè)與其隔開預(yù)定距離的第二檢測(cè)對(duì)象。檢測(cè)單元可以檢測(cè)基板在輸送方向上的邊緣部分作為第一檢測(cè)對(duì)象。由于基板的邊緣部分成為第一檢測(cè)對(duì)象,所以與例如檢測(cè)單元檢測(cè)附著于基板上的標(biāo)記的情形相比,該檢測(cè)是容易的。控制單元可基于基板在輸送方向上的邊緣部分的形狀信息,檢測(cè)在輸送方向上相對(duì)于基板位于下游側(cè)的邊緣部分或者位于上游側(cè)的邊緣部分中的一個(gè)。在相對(duì)于基板位于下游側(cè)的邊緣部分和位于上游側(cè)的邊緣部分的形狀不同的情形中,可以選擇邊緣部分中的 檢測(cè)單元比較容易檢出的邊緣部分作為檢測(cè)對(duì)象。檢測(cè)單元可具有在控制單元輸出停止信號(hào)的時(shí)間點(diǎn)處被布置在所輸送的基板的下游側(cè)的檢測(cè)區(qū)域,并且控制單元可在一時(shí)刻輸出停止信號(hào),以使所輸送的基板上的第二檢測(cè)對(duì)象停止在檢測(cè)單元的檢測(cè)區(qū)域內(nèi)。本技術(shù)利用從因檢測(cè)到第一檢測(cè)對(duì)象而輸出停止信號(hào)開始到停止所輸送的基板的時(shí)延的產(chǎn)生。通過在一時(shí)刻輸出停止信號(hào)以使基板上的第二檢測(cè)對(duì)象停止在檢測(cè)單元的檢測(cè)區(qū)域內(nèi),可以容易地檢測(cè)第二檢測(cè)對(duì)象。檢測(cè)單元可以檢測(cè)基板在輸送方向上的下游側(cè)的邊緣部分作為第一檢測(cè)對(duì)象。由于基板的邊緣部分是第一檢測(cè)對(duì)象,因此,例如與檢測(cè)單元檢測(cè)附著于基板上的標(biāo)記的情形相比,該檢測(cè)是容易的。安裝單元可以具有頭部和移動(dòng)機(jī)構(gòu),頭部保持部件,移動(dòng)機(jī)構(gòu)移動(dòng)頭部。在此情形中,檢測(cè)單元可被設(shè)置為能夠使用移動(dòng)機(jī)構(gòu)與頭部整體移動(dòng)。在計(jì)算出第二檢測(cè)對(duì)象的位置之后,檢測(cè)單元能夠使用移動(dòng)機(jī)構(gòu)移動(dòng)第二檢測(cè)對(duì)象直到可以檢測(cè)的位置,并且利用第二檢測(cè)對(duì)象的位置作為基準(zhǔn)位置,通過與檢測(cè)單元一起移動(dòng)的頭部開始安裝操作??刂茊卧梢曰谠诨逋V箷r(shí)檢測(cè)到的第一檢測(cè)對(duì)象的位置信息,使用輸送單元控制基板的輸送速度。由此,可以將輸送單元輸送基板的速度適當(dāng)?shù)卦O(shè)定至與檢測(cè)單元的檢測(cè)能力相匹配的速度。檢測(cè)單元可以是相機(jī)。根據(jù)本技術(shù)的另一實(shí)施方式,提供了一種用在部件安裝裝置中的信息處理裝置,該部件安裝裝置設(shè)置有輸送單元、安裝單元以及檢測(cè)單元。信息處理裝置設(shè)置有輸出部和檢測(cè)控制部。輸出部基于由檢測(cè)單元進(jìn)行的對(duì)第一檢測(cè)對(duì)象的檢測(cè),將用于停止基板的輸送的停止信號(hào)輸出至輸送單元。檢測(cè)控制部使用檢測(cè)單元檢測(cè)已停止的基板上的第二檢測(cè)對(duì)象。根據(jù)本技術(shù)的另一實(shí)施方式,提供了一種位置檢測(cè)方法,其包括使用輸送單元輸送作為部件安裝對(duì)象的基板。
使用檢測(cè)單元檢測(cè)設(shè)置在所輸送的基板上的第一檢測(cè)對(duì)象?;谑褂脵z測(cè)單元進(jìn)行的對(duì)第一檢測(cè)對(duì)象的檢測(cè),將用于停止基板的輸送的停止信號(hào)輸出至輸送單兀。使用檢測(cè)單元檢測(cè)設(shè)置在已停止的基板上的第二檢測(cè)對(duì)象,第二檢測(cè)對(duì)象被設(shè)置為至少在輸送方向上與第一檢測(cè)對(duì)象在基板上分開預(yù)定距離。第二檢測(cè)對(duì)象是部件安裝操作中的基準(zhǔn)位置。根據(jù)本技術(shù)的另一實(shí)施方式,提供了一種基板制造方法,其包括使用輸送單元輸送作為部件安裝對(duì)象的基板。使用檢測(cè)單元檢測(cè)設(shè)置在所輸送的基板上的第一檢測(cè)對(duì)象?;谑褂脵z測(cè)單元進(jìn)行的對(duì)第一檢測(cè)對(duì)象的檢測(cè),將用于停止基板的輸送的停止信號(hào)輸出至輸送單兀。 使用檢測(cè)單元檢測(cè)設(shè)置在已停止的基板上的第二檢測(cè)對(duì)象,第二檢測(cè)對(duì)象被設(shè)置為至少在輸送方向上與第一檢測(cè)對(duì)象在基板上分開預(yù)定距離。利用已檢測(cè)到的第二檢測(cè)對(duì)象作為基準(zhǔn)位置,將部件安裝到基板上。如上,根據(jù)本技術(shù)的實(shí)施方式,可以準(zhǔn)確地檢測(cè)基板的停止位置。
圖I是以示意性方式示出根據(jù)本技術(shù)的第一實(shí)施方式的部件安裝裝置的前視圖;圖2是圖I所示的部件安裝裝置的平面圖;圖3是圖I所示的部件安裝裝置的側(cè)視圖;圖4是示出部件安裝裝置的控制系統(tǒng)的構(gòu)造的框圖;圖5是主要示出當(dāng)檢測(cè)到基板的位置時(shí)主控制器的處理的流程圖;圖6A至圖6D是用于示出基板位置的檢測(cè)操作的示意圖;圖7A至圖7D是用于示出根據(jù)本技術(shù)的第二實(shí)施方式的基板位置的檢測(cè)操作的示意圖;以及圖8A至圖SC是用于示出根據(jù)本技術(shù)的第二實(shí)施方式的基板位置的檢測(cè)操作的示意圖。
具體實(shí)施例方式[參考例]如上所述,存在這樣的問題,例如安裝在基板上的高度高的部件由于在使用止動(dòng)器停止基板的輸送的情形中的沖擊力而被彎曲或去除。此外,例如,在通過基板相機(jī)(camera,攝像機(jī))17識(shí)別到基板上的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記D來(lái)開始安裝操作的情形中,如果基板從止動(dòng)器彈回并反彈,那么由于回彈的量,基板相機(jī)不能準(zhǔn)確識(shí)別到對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記D。此外,在止動(dòng)器的情形中,止動(dòng)器的上升和下降操作是必需的,并且在定位基板的過程中花費(fèi)了上升和下降操作這種程度的過多時(shí)間。如下所述的本技術(shù)能夠解決以上問題。下面,將參考附圖描述本技術(shù)的實(shí)施方式。[部件安裝裝置的構(gòu)造]
圖I是以示意性方式示出根據(jù)本技術(shù)的第一實(shí)施方式的部件安裝裝置的前視圖。圖2是圖I所示的部件安裝裝置100的平面圖,并且圖3是其側(cè)視圖。部件安裝裝置100設(shè)置有框架10、安裝頭部30、帶式送料器安裝部20以及輸送單元16,其中,安裝頭部30保持未示出的部件并且將該部件安裝在作為安裝對(duì)象的電路基板(以下簡(jiǎn)稱為基板)W上,帶式送料器90安裝在帶式送料器安裝部20上,并且輸送單元
16(參考圖2)保持并輸送基板W。框架10具有設(shè)置在底部上的基座11和固定至基座11的多個(gè)支撐柱12。在多個(gè)支撐柱12的上部,例如設(shè)置了沿著圖中X軸橫跨的兩個(gè)X梁13。例如,在兩個(gè)X梁13之間,Y梁14沿著Y軸橫跨,并且安裝頭部30連接到Y(jié)梁14。在X梁13和Y梁14中,設(shè)置了未示出的X軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)和Y軸移動(dòng)機(jī)構(gòu),從而,安裝頭部30可以沿著X軸和Y軸移動(dòng)。X軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)和Y軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)通常使用球形螺釘傳動(dòng)結(jié)構(gòu)配置,但是可以使用其他結(jié)構(gòu),例如帶傳動(dòng)結(jié)構(gòu)。 安裝單元40是由安裝頭部30、X軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)以及Y軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)配置成的。存在主要為了提高效率而設(shè)置多個(gè)安裝單元40的情形,在這種情形中,多個(gè)安裝頭部30在X和Y軸方向上被獨(dú)立驅(qū)動(dòng)。如圖2所示,帶式送料器安裝部20被布置在部件安裝裝置100的前部側(cè)(圖2中的下側(cè))和后部側(cè)(圖2中的上側(cè))。圖中的Y軸方向是部件安裝裝置100的前后方向。在帶式送料器安裝部20中,安裝多個(gè)帶式送料器90,以便沿著X軸方向排列起來(lái)。例如,40個(gè)到70個(gè)帶式送料器90可以安裝在帶式送料器安裝部20上。在實(shí)施方式中,前部和后部中的每一個(gè)上可安裝58個(gè)帶式送料器90,總共116個(gè)。這里,帶式送料器安裝部20被配置為設(shè)置在部件安裝裝置100的前邊緣側(cè)和后邊緣側(cè)這兩者上,但帶式送料器安裝部20也可以被配置為設(shè)置在前邊緣側(cè)或者后邊緣側(cè)中的任何一個(gè)上。帶式送料器90形成為在Y軸方向上較長(zhǎng)。圖中沒有示出帶式送料器90的細(xì)節(jié),但設(shè)置有卷軸,并且包含例如電容器、電阻器、LED或者IC封裝件的電子部件的帶式載體被卷繞在卷軸上。此外,帶式送料器90設(shè)置有用于通過步進(jìn)送料送出帶式載體的結(jié)構(gòu),并且為每次步進(jìn)送料以一次一個(gè)的方式供給電子部件。如圖2所示,供給窗口 91形成在帶式送料器90的帶盒的邊緣部分的上表面中,并且經(jīng)由供給窗口 91供給電子部件。多個(gè)供給窗口 91排列起來(lái)的區(qū)域是電子部件供給區(qū)域S,由于多個(gè)帶式送料器90排列起來(lái),該區(qū)域沿著X軸方向形成。這里,在一個(gè)帶式送料器90的帶式載體中,包含多個(gè)相同的電子部件。存在這樣的情形,其中,在安裝在帶式送料器安裝部20上的帶式送料器90中,多個(gè)帶式送料器90中包含相同的電子部件。上述輸送單元16被設(shè)置在部件安裝裝置100在Y軸方向上的中心部分,并且輸送單元16沿著X軸方向輸送基板W。例如,如圖2所示,在輸送單元16的X軸方向上的大致中心部分中由輸送單元16支撐的基板W上的區(qū)域是安裝區(qū)域M,在這里通過安裝頭部30的介入來(lái)執(zhí)行電子部件的安裝。如后面將描述的,部件安裝裝置100使用基板相機(jī)17檢測(cè)基板W(其被輸送直到安裝區(qū)域M)上的精確位置。在已經(jīng)檢測(cè)到基板W的精確位置以后,安裝單元40開始電子部件安裝操作。安裝頭部30設(shè)置有托架31、轉(zhuǎn)動(dòng)架32以及多個(gè)吸嘴33,其中,托架31連接到Y(jié)梁14的Y軸移動(dòng)機(jī)構(gòu),轉(zhuǎn)動(dòng)架32被設(shè)置為從托架31向斜下方延伸,并且吸嘴33沿著轉(zhuǎn)動(dòng)架32的圓周方向附接。吸嘴33通過真空吸附操作來(lái)從帶式載體取出并保持電子部件。吸嘴33能夠上下移動(dòng),以便在基板W上安裝電子部件。例如,設(shè)置12個(gè)吸嘴33。如上所述,安裝頭部30能夠在X和Y軸方向上移動(dòng),吸嘴33在供給區(qū)域S和安裝區(qū)域M之間移動(dòng),并且此外在安裝區(qū)域M中在X和Y軸方向上移動(dòng),以便執(zhí)行在安裝區(qū)域M中的安裝。轉(zhuǎn)動(dòng)架32能夠圍繞在斜向上作為中心旋轉(zhuǎn)軸的軸旋轉(zhuǎn)(自轉(zhuǎn))。在多個(gè)吸嘴33中,被設(shè)置為吸嘴33的長(zhǎng)度方向沿著Z方向的那些吸嘴33是被選擇用于將電子部件安裝在基板W上的吸嘴33。使用轉(zhuǎn)動(dòng)架32的旋轉(zhuǎn)選擇任意一個(gè)吸嘴33。已被選擇介入帶式送料器90的供給窗口 91的吸嘴33吸附并且保持電子部件,并且通過移動(dòng)和下降到安裝區(qū)域 M,電子部件被安裝到基板W上。 安裝頭部30在轉(zhuǎn)動(dòng)架32旋轉(zhuǎn)的同時(shí)利用多個(gè)吸嘴33在一次處理中連續(xù)保持多個(gè)電子部件中的每個(gè)。此外,被多個(gè)吸嘴33吸附的電子部件在一次處理中被連續(xù)安裝在一個(gè)基板W上。如圖I所示,檢測(cè)基板W的位置的基板相機(jī)17附著于安裝頭部30。使用X軸和Y軸移動(dòng)機(jī)構(gòu),基板相機(jī)17能夠與安裝頭部30 —體移動(dòng)?;逑鄼C(jī)17被布置在輸送單元16的上部上,并且當(dāng)檢測(cè)到基板W的位置時(shí)從上部側(cè)對(duì)基板W的圖像成像。如后面將述,基板相機(jī)17識(shí)別被設(shè)置在基板W上的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記,并且安裝單元40利用作為基準(zhǔn)位置的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記將電子部件安裝在基板W上?;逑鄼C(jī)17具有CXD (電荷耦合器件)、CM0S (互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體)等?;逑鄼C(jī)17可以識(shí)別波長(zhǎng)范圍主要是可見光的光,或者可以識(shí)別波長(zhǎng)范圍主要是紅外光的光。輸送單元16通常是帶式傳送裝置,但不限于此,并且可以是輥式、其中支撐基板W的支撐機(jī)構(gòu)通過滑動(dòng)移動(dòng)的類型、非接觸型等中任何一種。輸送單元具有導(dǎo)軌16a,其沿著X軸方向設(shè)置。由此,所輸送的基板W在Y軸方向上的偏差被限制,以進(jìn)行輸送。圖4是示出部件安裝裝置100的控制系統(tǒng)的構(gòu)造的框圖。控制系統(tǒng)具有主控制器21 (或者主計(jì)算機(jī))。在主控制器21中,帶式送料器90、基板相機(jī)17、輸送單元16、安裝單元40、輸入部18以及顯示部19被電連接。帶式送料器90具有未示出的內(nèi)部存儲(chǔ)器。內(nèi)部存儲(chǔ)器通過設(shè)在帶式送料器安裝部20中的帶式送料器90電連接到主控制器21。在內(nèi)部存儲(chǔ)器中,預(yù)先存儲(chǔ)帶式送料器90中所包含的電子部件的信息。由此,主控制器21識(shí)別出具有哪種類型的電子部件的帶式送料器90中的哪個(gè)被設(shè)在帶式送料器安裝部20中的哪個(gè)位置。電子部件的信息例如是電子部件的類型或者帶式送料器所具有的電子部件的數(shù)目的信息??商鎿Q地,有關(guān)具有哪種類型的電子部件的哪個(gè)帶式送料器90被設(shè)在帶式送料器安裝部20中的哪個(gè)位置的信息可以由操作人員經(jīng)由輸入部18人工地輸入到主控制器21中。在安裝單元40的移動(dòng)機(jī)構(gòu)和安裝頭部30中的每個(gè)中,設(shè)置有安裝在其內(nèi)的電機(jī)以及驅(qū)動(dòng)各電機(jī)的驅(qū)動(dòng)器。通過主控制器21輸出控制信號(hào)到驅(qū)動(dòng)器,驅(qū)動(dòng)器根據(jù)控制信號(hào)來(lái)驅(qū)動(dòng)移動(dòng)機(jī)構(gòu)和安裝頭部30中的每個(gè)。輸入部18例如是由操作人員進(jìn)行操作以將安裝處理所必需的信息輸入至主控制器21的裝置,該信息例如是作為安裝對(duì)象的基板W的類型。顯示部19例如是顯示由操作人員經(jīng)由輸入部18輸入的信息以及其他所需要的信息的裝置。例如,主控制器21具有諸如CPU、RAM以及ROM的計(jì)算機(jī)功能和作為控制單元的功能。主控制器21可以由諸如PLD(可編程邏輯裝置)、FPGA(現(xiàn)場(chǎng)可編程門陣列)或者另一個(gè)ASIC (專用集成電路)的裝置來(lái)實(shí)現(xiàn)。[第一實(shí)施方式的基板位置檢測(cè)方法]圖5是主要示出當(dāng)檢測(cè)到基板W的位置時(shí)的主控制器21的處理的流程圖。圖6A至圖6D是用于描述基板W位置的檢測(cè)操作的示意圖。在部件安裝裝置100開始安裝處理之前,操作人員將安裝處理所必需的信息經(jīng)由 輸入部18輸入到主控制器21,所輸入的信息例如是有關(guān)基板類型的信息等。作為一個(gè)實(shí)例,基板相機(jī)17在基板W的輸送方向(圖6A至圖6D中的右側(cè)到左偵U)上的下游側(cè)等待,并且在一個(gè)位置靜止以便攝像范圍17a(檢測(cè)區(qū)域)與安裝位置M重 疊。此外,基板相機(jī)17使在與輸送方向相交的方向(Y軸方向)上的位置與對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記D在Y軸方向上的位置實(shí)質(zhì)上匹配,其中,對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記D是設(shè)置在作為安裝對(duì)象的基板W上的第二檢測(cè)對(duì)象。通常,攝像范圍17a的中心位置的Y坐標(biāo)實(shí)質(zhì)上與對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記D的Y坐標(biāo)匹配。對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記D被設(shè)置在作為第一檢測(cè)對(duì)象的下游邊緣部分Wl中,至少在輸運(yùn)方向上與下游邊緣部分Wl分開一段預(yù)定距離。如上所述,主控制器21具有有關(guān)基板類型的信息。因此,如果基板相機(jī)17存儲(chǔ)有作為安裝對(duì)象的基板W所具有的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記D的位置(這里,Y坐標(biāo)的位置),并且根據(jù)該對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的位置在Y軸方向上的位置處等待就足夠了。這里,輸送單元16被設(shè)定為使用如上所述的導(dǎo)軌16a以在Y軸方向上實(shí)質(zhì)上不產(chǎn)生基板W的位置偏差。因此,假設(shè)基板相機(jī)17在已經(jīng)預(yù)先(根據(jù)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記D的位置)確定的Y坐標(biāo)的位置處等待就足夠了。如圖6A所示,基板W被輸送進(jìn)入部件安裝裝置100 (步驟101)。然后,如圖6B所示,基板相機(jī)17檢測(cè)下游邊緣部分W1,其為基板W的第一檢測(cè)對(duì)象(步驟102)。這里,使用現(xiàn)有圖像處理技術(shù)識(shí)別基板W。例如,可以使用基板W的亮度與該基板W的Z軸方向上的下側(cè)處的背景的亮度之間的差異來(lái)識(shí)別基板W。當(dāng)基板相機(jī)17檢測(cè)到基板W的下游邊緣部分Wl時(shí),主控制器21輸出用于停止基板W的輸送的停止信號(hào)至輸送單元16 (步驟103)。這時(shí),主控制器21至少具有作為信息處理裝置的輸出部的功能。輸送單元16接收停止信號(hào),并且通過停止其輸送來(lái)實(shí)際停止基板W。如圖6B所示,因?yàn)閺挠苫逑鄼C(jī)17檢測(cè)到基板W的下游邊緣部分Wl到基板W實(shí)際被停止存在時(shí)延,所以如圖6C所示,基板W在時(shí)延中移動(dòng)預(yù)定距離。可替換地,即使時(shí)延充分短,由于基板W在輸送帶上的慣性也可能存在滑動(dòng)。下面,基板W在時(shí)延等中移動(dòng)的距離被稱為剩余移動(dòng)距離L。剩余移動(dòng)距離L被設(shè)定為在基板相機(jī)17的攝像范圍17a內(nèi)。攝像范圍17a的尺寸例如是4mmX 4mm,但不限于此。
主控制器21基于經(jīng)由基板相機(jī)拍攝的當(dāng)基板W已經(jīng)實(shí)際停止時(shí)基板W的下游邊緣部分Wl的圖像信息,計(jì)算下游邊緣部分Wl的坐標(biāo)(這里,X坐標(biāo))(步驟104)。主控制器21基于下游邊緣部分Wl的坐標(biāo)來(lái)計(jì)算對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記D的位置(步驟105)。例如根據(jù)基板的類型,對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記D被設(shè)置在基板上的預(yù)定位置中。因?yàn)樽畛踔骺刂破?1獲取了有關(guān)基板類型的信息,因此在有關(guān)基板類型的信息中存在有關(guān)基板W中的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記D的坐標(biāo)的信息。因此,主控制器21能夠計(jì)算對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記D的坐標(biāo),其為與下游邊緣部分Wl分開預(yù)訂距離的位置。當(dāng)主控制器21計(jì)算對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記D時(shí),移動(dòng)基板相機(jī)17以使對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記D進(jìn)入攝像范圍17a,如圖6D所示。通常,移動(dòng)基板相機(jī)17以使對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記D的中心位置與攝像范圍17a的中心位置相匹配。由此,基板相機(jī)17識(shí)別對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記D(步驟106)。然后,在步驟107中,主控制器21利用對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記D的坐標(biāo)作為基準(zhǔn),使用安裝頭部30開始安裝操作。這里,在圖6C中,當(dāng)基板W移動(dòng)剩余運(yùn)動(dòng)距離L并且被停止時(shí),一部分對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記D進(jìn)入攝像范圍17a。這是因?yàn)閿z像范圍17a和對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記D的尺寸示意地示出為相對(duì)于基板W的尺寸較大。因此,自然存在當(dāng)基板W停止時(shí)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記D沒有進(jìn)入攝像范圍17a的情形。在圖6A至圖6D中,對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的形狀是十字形狀,但是可以是圓形、正方形、星形等任意形狀。如上所述,在本實(shí)施方式中,當(dāng)檢測(cè)到基板W的下游邊緣部分Wl時(shí)(基于檢測(cè)),輸出基板W的輸送的停止信號(hào),然后檢測(cè)已實(shí)際停止的基板W的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記D。因此,可以容易地檢測(cè)用于安裝頭部30開始安裝操作的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記D。也就是說(shuō),基板W的停止位置可以被準(zhǔn)確地檢測(cè),并且基板相機(jī)17可以被移動(dòng)到適當(dāng)位置,在該適當(dāng)位置對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記D進(jìn)入攝像范圍17a?;诨錡的下游邊緣部分Wl的檢測(cè)不限于檢測(cè)到下游邊緣部分Wl的“瞬間”?!盎凇钡囊馑及ㄟ@樣的概念存在直到利用下游邊緣部分Wi的檢測(cè)作為觸發(fā)器而輸出停止信號(hào)為止的時(shí)延。在本實(shí)施方式中,基板相機(jī)17用于檢測(cè)下游邊緣部分W1。具體地,通過基板W的下游邊緣部分Wl從開始減速到停止進(jìn)入基板相機(jī)17的攝像范圍17a,能夠使用基板相機(jī)
17識(shí)別基板W輸出停止信號(hào)的時(shí)刻和已經(jīng)實(shí)際停止的下游邊緣部分Wl的位置。如果識(shí)別到已實(shí)際停止的基板D的下游邊緣部分Wl的位置,則可以容易地檢測(cè)到與下游邊緣部分Wl分開的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記D。在本實(shí)施方式中,由于檢測(cè)到基板W的下游邊緣部分W1,所以與例如檢測(cè)附至基板W的標(biāo)記等的情形相比,該檢測(cè)是容易的。[第二實(shí)施方式的基板位置檢測(cè)方法]圖7A至圖7D是用于說(shuō)明根據(jù)本技術(shù)的第二實(shí)施方式的基板位置的檢測(cè)操作的示意圖。在以下說(shuō)明中,簡(jiǎn)化或者省略對(duì)根據(jù)上述實(shí)施方式的部件安裝裝置100中所包括的組件和功能以及與圖5至圖6D所示的操作等類似的操作等的描述,并且以不同點(diǎn)為中心進(jìn)行說(shuō)明。根據(jù)本實(shí)施方式的基板W'的下游邊緣部分W2的形狀不同于普通基板W的邊緣部分的形狀(參考圖6),并且是凹形的(凹口形狀),并且上游邊緣部分W3是與普通基板中相同的直線形。也就是說(shuō),基板W'是所謂的異形基板。、
在輸送基板W'的情形中,如圖7A所示,基板相機(jī)17通過被放置在輸送單元16上的Y軸方向上的前方(在圖7A的下側(cè))而等待。在基板W'中,鄰近下游邊緣部分W2設(shè)置的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記D和鄰近上游邊緣部分W3設(shè)置的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記D是在Y軸方向上不同的坐標(biāo)。在實(shí)例中,基板相機(jī)17檢測(cè)鄰近上游邊緣部分W3設(shè)置的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記D。這里,存在這樣的情形,其中圖6A至圖6D中示出的普通基板W也如同基板W'具有兩個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記D。如圖7B所示,基板W'的下游邊緣部分W2超過基板相機(jī)17的攝像范圍17a很遠(yuǎn)。當(dāng)基板W'的上游邊緣部分W3進(jìn)入攝像范圍17a時(shí),主控制器21將停止信號(hào)輸出到輸送單元16。如圖7C所示,基板W'移動(dòng)剩余移動(dòng)距離并停止。主控制器21識(shí)別已經(jīng)停止的基板r的上游邊緣部分W3的坐標(biāo)(這里,X坐標(biāo))。主控制器21基于有關(guān)基板的信息來(lái)計(jì)算上游邊緣部分W3的坐標(biāo)和上游的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記D的位置,并且如圖7D所示,將基板相機(jī)17移動(dòng)到對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記D的坐標(biāo)。然后,安裝頭部 30利用對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記D的位置作為基準(zhǔn)開始安裝操作。在這樣的實(shí)施方式中,在基板的下游邊緣部分W2的形狀與普通基板不同的情形中,主控制器21可以選擇上游邊緣部分W3作為檢測(cè)對(duì)象,在邊緣部分中,上游邊緣部分W3更容易被基板相機(jī)17檢測(cè)到。在本實(shí)施方式中,下游邊緣部分Wl的形狀不同于普通形狀的基板被用作作為安裝對(duì)象的基板。然而,上游邊緣部分的形狀不同于普通形狀的基板也可被用作作為安裝對(duì)象的基板。在此情形中,主控制器21基于如上述第一實(shí)施方式中的檢測(cè)那樣的檢測(cè)來(lái)檢測(cè)下游邊緣部分Wl并且檢測(cè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記D。作為異形基板,除了邊緣部分是凹形的基板之外,還存在基板邊緣部分是凸形的、斜的、曲線形的或者這些形狀的組合的情形。[第三實(shí)施方式的基板位置檢測(cè)方法]圖8A至圖SC是用于說(shuō)明根據(jù)本技術(shù)的第二實(shí)施方式的基板位置的檢測(cè)操作的示意圖。如圖8A所示,輸送基板W?;逑鄼C(jī)17的作為檢測(cè)區(qū)域的攝像范圍17a被布置在基板W的下游側(cè)。如圖8B所示,主控制器21基于在攝像范圍17a中檢測(cè)到基板W的下游邊緣部分Wl而輸出停止信號(hào)。此處,主控制器21在一時(shí)刻輸出停止信號(hào),以使得所輸送的基板W上的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記D停止在攝像范圍17a中。通過主控制器21存儲(chǔ)與基板W的信息和上述的剩余距離信息L相關(guān)的信息,可以實(shí)現(xiàn)這樣的操作。由此,如圖SC所示,停止信號(hào)的輸出時(shí)刻被略微延遲,在基板W實(shí)際停止的時(shí)刻,對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記D進(jìn)入攝像范圍17a。以此方式,本實(shí)施方式利用從因檢測(cè)到下游邊緣部分Wl而輸出停止信號(hào)開始到所輸送的基板W實(shí)際停止的時(shí)延的產(chǎn)生。通過在使基板W的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記D停止在基板相機(jī)17的攝像范圍17a中的這樣的時(shí)刻輸出停止信號(hào),可以容易地檢測(cè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記D。[其他實(shí)施方式]本技術(shù)不限于上述實(shí)施方式,并且能夠?qū)崿F(xiàn)其他各種實(shí)施方式。在上述實(shí)施方式中,存在基板相機(jī)17是檢測(cè)單元這樣的實(shí)例。然而,代替相機(jī),諸如線傳感器(line sensor)的傳感器可被用作檢測(cè)第一檢測(cè)對(duì)象(例如,基板邊緣部分)的單元??梢允褂美绻鈧鞲衅髯鳛榫€傳感器。作為線傳感器的第一傳感器檢測(cè)基板W的下游邊緣部分W1,主控制器輸出停止信號(hào),并且此外,第二傳感器檢測(cè)已實(shí)際停止的基板W的下游邊緣部分W1。然后,主控制器21基于下游邊緣部分Wl的位置計(jì)算對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記D的位置,并且上述第二傳感器或者另一個(gè)第三傳感器檢測(cè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記D。上述第二傳感器可以是線傳感器或者可以是相機(jī)傳感器。相機(jī)被用作第三傳感器。通過使用基板相機(jī)17的各像素中沿著X軸方向的多條線中的一部分,基板相機(jī)17可被用作接近線傳感器的傳感器?;逑鄼C(jī)17可不被設(shè)置為與安裝頭部30 —體。也就是說(shuō),可以存在基板相機(jī)17和安裝頭部30的移動(dòng)分別獨(dú)立的這種形式。這與使用線傳感器或者另一個(gè)傳感器代替基板相機(jī)17的情形相同。 主控制器21可以基于當(dāng)基板停止時(shí)檢測(cè)到的基板邊緣部分的坐標(biāo)來(lái)控制使用輸送單元16輸送基板的速度。例如,在已實(shí)際停止的基板邊緣部分被從攝像范圍17a排出或者處于接近被排出的狀態(tài)的情形中,主控制器21能夠?qū)⒆鳛橄乱话惭b對(duì)象的基板的輸送速度設(shè)定為降低到預(yù)定速度的程度。由此,由輸送單元16引起的基板輸送速度可成為匹配基板相機(jī)17的檢測(cè)能力的適當(dāng)速度。在以上描述中,在安裝處理之前主控制器21存儲(chǔ)與作為安裝對(duì)象的基板相關(guān)的各條信息。然而,例如,當(dāng)作為作為安裝對(duì)象的第一基板的下一安裝對(duì)象的第二基板在安裝區(qū)域M的上游側(cè)等待時(shí),可以使用諸如相機(jī)的傳感器來(lái)識(shí)別第二基板的基板類型(形狀
坐、
寸/ o在上述實(shí)施方式中,基板相機(jī)17檢測(cè)基板的邊緣部分作為第一檢測(cè)對(duì)象,以輸出基板的停止信號(hào)。然而,第一檢測(cè)對(duì)象可以不是邊緣部分,并且可以是設(shè)置在在輸送方向上不同于對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記D的位置處并且能夠由基板相機(jī)17 (或者上述的另一個(gè)傳感器)識(shí)別的標(biāo)記。該標(biāo)記例如是穿孔、導(dǎo)線、或者能夠被識(shí)別的其他標(biāo)記。安裝頭部30設(shè)置有旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)動(dòng)架32和多個(gè)吸嘴33。然而,安裝頭部可以具有僅一個(gè)吸嘴??商鎿Q地,安裝頭部可以不具有旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)動(dòng)架,并且可以是直線型的,其中多個(gè)吸嘴以線性方式排成一排。在上述的每個(gè)實(shí)施方式的特征部分中,至少兩個(gè)特征部分可以組合。本技術(shù)可以如下配置。(I) 一種部件安裝裝置,包括輸送單元,輸送基板;安裝單元,將部件安裝在基板上;檢測(cè)單元,能夠檢測(cè)設(shè)置在基板上的第一檢測(cè)對(duì)象和設(shè)置為至少在輸送方向上與第一檢測(cè)對(duì)象在基板上分開預(yù)定距離的第二檢測(cè)對(duì)象,并且,第二檢測(cè)對(duì)象是由安裝單元進(jìn)行安裝操作的基準(zhǔn)位置;以及控制單元,基于由檢測(cè)單元進(jìn)行的對(duì)第一檢測(cè)對(duì)象的檢測(cè),將用于停止基板的輸送的停止信號(hào)輸出至輸送單元,并且使用檢測(cè)單元檢測(cè)已停止的基板的第二檢測(cè)對(duì)象。(2) (I)中的部件安裝裝置,其中,檢測(cè)單元具有相機(jī),并且,控制單元輸出停止信號(hào),從而基板停止在相機(jī)的攝像范圍內(nèi),并且基于已停止的基板上的第一檢測(cè)對(duì)象的位置來(lái)計(jì)算第二檢測(cè)對(duì)象的位置。(3)⑴或⑵中的部件安裝裝置,其中,檢測(cè)單元檢測(cè)基板在輸送方向上的邊緣部分作為第一檢測(cè)對(duì)象。
(4)⑴到(3)中任何一個(gè)中的部件安裝裝置,其中,控制單元基于基板在輸送方向上的邊緣部分的形狀信息,檢測(cè)在輸送方向上相對(duì)于基板位于下游側(cè)的邊緣部分或者位于上游側(cè)的邊緣部分中的一個(gè)。(5) (I)中的部件安裝裝置,其中,檢測(cè)單元具有在控制單元輸出停止信號(hào)的時(shí)間點(diǎn)處被布置在所輸送的基板的下游側(cè)的檢測(cè)區(qū)域,并且,控制單元在使所輸送的基板上的第二檢測(cè)對(duì)象停止在檢測(cè)單元的檢測(cè)區(qū)域內(nèi)的這樣的時(shí)刻輸出停止信號(hào)。(6) (5)中的部件安裝裝置,其中,檢測(cè)單元檢測(cè)基板在輸送方向上的下游側(cè)的邊緣部分作為第一檢測(cè)對(duì)象。(7) (I)到(6)中任何一個(gè)中的部件安裝裝置,其中,安裝單元具有頭部和移動(dòng)機(jī)構(gòu),頭部保持部件,移動(dòng)機(jī)構(gòu)移動(dòng)頭部,并且,檢測(cè)單元被設(shè)置為能夠使用移動(dòng)機(jī)構(gòu)與頭部一體移動(dòng)。
(8)⑴到(7)中任何一個(gè)的部件安裝裝置,其中,控制單元基于在基板停止時(shí)檢測(cè)到的第一檢測(cè)對(duì)象的位置信息,控制使用輸送單元輸送基板的速度。(9) (I)或者(5)中的部件安裝裝置,其中檢測(cè)單元是相機(jī)。(10) 一種用在部件安裝裝置中的信息處理裝置,部件安裝裝置設(shè)置有輸送基板的輸送單元、將部件安裝到基板上的安裝單元、以及能夠檢測(cè)設(shè)置在基板上的第一檢測(cè)對(duì)象和設(shè)置為至少在輸送方向上與第一檢測(cè)對(duì)象在基板上分開預(yù)定距離的第二檢測(cè)對(duì)象的檢測(cè)單元,并且,第二檢測(cè)對(duì)象是由安裝單元進(jìn)行安裝操作的基準(zhǔn)位置,信息處理裝置包括輸出部,基于由檢測(cè)單元進(jìn)行的對(duì)第一檢測(cè)對(duì)象的檢測(cè),將用于停止基板的輸送的停止信號(hào)輸出至輸送單元;以及檢測(cè)控制部,使用檢測(cè)單元檢測(cè)已停止的基板上的第二檢測(cè)對(duì)象。(11) 一種位置檢測(cè)方法,包括使用輸送單元輸送作為部件安裝對(duì)象的基板;使用檢測(cè)單元檢測(cè)設(shè)置在所輸送的基板上的第一檢測(cè)對(duì)象;基于使用檢測(cè)單元進(jìn)行的對(duì)第一檢測(cè)對(duì)象的檢測(cè),將用于停止基板的輸送的停止信號(hào)輸出至輸送單元;以及,使用檢測(cè)單元檢測(cè)設(shè)置在已停止的基板上的第二檢測(cè)對(duì)象,第二檢測(cè)對(duì)象被設(shè)置為至少在輸送方向上與第一檢測(cè)對(duì)象在基板上分開預(yù)定距離,并且第二檢測(cè)對(duì)象是部件安裝操作中的基準(zhǔn)位置。(12) 一種基板制造方法,包括使用輸送單元輸送作為部件安裝對(duì)象的基板;使用檢測(cè)單元檢測(cè)設(shè)置在所輸送的基板上的第一檢測(cè)對(duì)象;基于使用檢測(cè)單元進(jìn)行的對(duì)第一檢測(cè)對(duì)象的檢測(cè),將用于停止基板的輸送的停止信號(hào)輸出至輸送單元;使用檢測(cè)單元檢測(cè)設(shè)置在已停止的基板上的第二檢測(cè)對(duì)象,第二檢測(cè)對(duì)象被設(shè)置為至少在輸送方向上與第一檢測(cè)對(duì)象在基板上分開預(yù)定距離;以及,利用已檢測(cè)到的第二檢測(cè)對(duì)象作為基準(zhǔn)位置,將部件安裝到基板上。本技術(shù)包含的主題涉及在2011年3月31日提交到日本專利局的日本在先專利申請(qǐng)JP 2011-078448中所公開的主題,其全部?jī)?nèi)容結(jié)合于此以供參考。本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)理解,在權(quán)利要求及其等價(jià)物的范圍內(nèi),根據(jù)設(shè)計(jì)要求及其他因素,可以進(jìn)行各種變形、組合、子組合和變更。
權(quán)利要求
1.一種部件安裝裝置,包括 輸送單兀,輸送基板; 安裝單元,將部件安裝在所述基板上; 檢測(cè)單元,能夠檢測(cè)設(shè)置在所述基板上的第一檢測(cè)對(duì)象和設(shè)置為至少在輸送方向上與所述第一檢測(cè)對(duì)象在所述基板上分開預(yù)定距離的第二檢測(cè)對(duì)象,并且,所述第二檢測(cè)對(duì)象是由所述安裝單元進(jìn)行安裝操作的基準(zhǔn)位置;以及 控制單元,基于由所述檢測(cè)單元進(jìn)行的對(duì)所述第一檢測(cè)對(duì)象的檢測(cè),將用于停止所述基板的輸送的停止信號(hào)輸出至所述輸送單元,并且使用所述檢測(cè)單元檢測(cè)已停止的所述基板的所述第二檢測(cè)對(duì)象。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的部件安裝裝置, 其中,所述檢測(cè)單元具有相機(jī),并且 所述控制單元輸出所述停止信號(hào),從而所述基板停止在所述相機(jī)的攝像范圍內(nèi),并且基于已停止的所述基板上的所述第一檢測(cè)對(duì)象的位置來(lái)計(jì)算所述第二檢測(cè)對(duì)象的位置。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的部件安裝裝置, 其中,所述檢測(cè)單元檢測(cè)所述基板在所述輸送方向上的邊緣部分作為所述第一檢測(cè)對(duì)象。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的部件安裝裝置, 其中,所述控制單元基于所述基板在所述輸送方向上的邊緣部分的形狀信息,檢測(cè)在輸送方向上相對(duì)于所述基板位于下游側(cè)的邊緣部分或者位于上游側(cè)的邊緣部分中的一個(gè)。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的部件安裝裝置, 其中,所述檢測(cè)單元具有在所述控制單元輸出所述停止信號(hào)的時(shí)間點(diǎn)處被布置在所輸送的基板的下游側(cè)的檢測(cè)區(qū)域,并且 所述控制單元在一時(shí)刻輸出所述停止信號(hào),以使所輸送的基板上的所述第二檢測(cè)對(duì)象停止在所述檢測(cè)單元的檢測(cè)區(qū)域內(nèi)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的部件安裝裝置, 其中,所述檢測(cè)單元檢測(cè)所述基板在所述輸送方向上的下游側(cè)的邊緣部分作為所述第一檢測(cè)對(duì)象。
7.根據(jù)權(quán)利要求I所述的部件安裝裝置, 其中,所述安裝單元具有頭部和移動(dòng)機(jī)構(gòu),所述頭部保持所述部件,所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)移動(dòng)所述頭部,并且 所述檢測(cè)單元被設(shè)置為能夠利用所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)與所述頭部一體移動(dòng)。
8.根據(jù)權(quán)利要求I所述的部件安裝裝置, 其中,所述控制單元基于在所述基板停止時(shí)檢測(cè)到的所述第一檢測(cè)對(duì)象的位置信息,控制使用所述輸送單元輸送所述基板的速度。
9.根據(jù)權(quán)利要求I所述的部件安裝裝置, 其中,所述檢測(cè)單元是相機(jī)。
10.根據(jù)權(quán)利要求I所述的部件安裝裝置, 其中,所述檢測(cè)單元是線傳感器。
11.一種用在部件安裝裝置中的信息處理裝置,所述部件安裝裝置設(shè)置有輸送基板的輸送單元、將部件安裝到所述基板上的安裝單元、以及能夠檢測(cè)設(shè)置在所述基板上的第一檢測(cè)對(duì)象和設(shè)置為至少在輸送方向上與所述第一檢測(cè)對(duì)象在所述基板上分開預(yù)定距離的第二檢測(cè)對(duì)象的檢測(cè)單元,其中,所述第二檢測(cè)對(duì)象是由所述安裝單元進(jìn)行安裝操作的基準(zhǔn)位置,所述信息處理裝置包括 輸出部,基于由所述檢測(cè)單元進(jìn)行的對(duì)所述第一檢測(cè)對(duì)象的檢測(cè),將用于停止基板的輸送的停止信號(hào)輸出至所述輸送單元;以及檢測(cè)控制部,使用所述檢測(cè)單元檢測(cè)已停止的所述基板上的第二檢測(cè)對(duì)象。
12.一種位置檢測(cè)方法,包括 使用輸送單元輸送作為部件安裝對(duì)象的基板; 使用檢測(cè)單元檢測(cè)設(shè)置在所輸送的基板上的第一檢測(cè)對(duì)象; 基于使用所述檢測(cè)單元進(jìn)行的對(duì)所述第一檢測(cè)對(duì)象的檢測(cè),將用于停止所述基板的輸送的停止信號(hào)輸出至所述輸送單元;以及 使用檢測(cè)單元檢測(cè)設(shè)置在已停止的所述基板上的第二檢測(cè)對(duì)象,所述第二檢測(cè)對(duì)象被設(shè)置為至少在輸送方向上與所述第一檢測(cè)對(duì)象在所述基板上分開預(yù)定距離,并且所述第二檢測(cè)對(duì)象是部件安裝操作中的基準(zhǔn)位置。
13.—種基板制造方法,包括 使用輸送單元輸送作為部件安裝對(duì)象的基板; 使用檢測(cè)單元檢測(cè)設(shè)置在所輸送的基板上的第一檢測(cè)對(duì)象; 基于使用所述檢測(cè)單元進(jìn)行的對(duì)所述第一檢測(cè)對(duì)象的檢測(cè),將用于停止所述基板的輸送的停止信號(hào)輸出至所述輸送單元; 使用檢測(cè)單元檢測(cè)設(shè)置在已停止的所述基板上的第二檢測(cè)對(duì)象,所述第二檢測(cè)對(duì)象被設(shè)置為至少在輸送方向上與所述第一檢測(cè)對(duì)象在所述基板上分開預(yù)定距離;以及利用已檢測(cè)到的所述第二檢測(cè)對(duì)象作為基準(zhǔn)位置,將所述部件安裝到所述基板上。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種部件安裝裝置、信息處理裝置、位置檢測(cè)及基板制造方法,該部件安裝裝置包括輸送單元,輸送基板;安裝單元,將部件安裝在基板上;檢測(cè)單元,能夠檢測(cè)設(shè)置在基板上的第一檢測(cè)對(duì)象和設(shè)置為至少在輸送方向上與基板上的第一檢測(cè)對(duì)象分開預(yù)定距離的第二檢測(cè)對(duì)象,第二檢測(cè)對(duì)象是由安裝單元進(jìn)行安裝操作的基準(zhǔn)位置;以及控制單元,基于由檢測(cè)單元進(jìn)行的對(duì)第一檢測(cè)對(duì)象的檢測(cè),將用于停止基板的輸送的停止信號(hào)輸出至輸送單元,并且使用檢測(cè)單元檢測(cè)已停止的基板的第二檢測(cè)對(duì)象。
文檔編號(hào)H05K13/08GK102740674SQ20121008097
公開日2012年10月17日 申請(qǐng)日期2012年3月23日 優(yōu)先權(quán)日2011年3月31日
發(fā)明者中村武史 申請(qǐng)人:索尼公司