一種板上芯片封裝鍵合自動生產(chǎn)線的制作方法
【專利摘要】一種板上芯片封裝鍵合自動生產(chǎn)線，屬于半導體后封裝【技術(shù)領(lǐng)域】，為節(jié)省人力資源而發(fā)明。其包含最少兩臺鍵合機（50）、鍵合前處理設備、鍵合后處理設備、有機械手和運輸帶參與構(gòu)成的輸送裝置、以及傳感器和控制器；其特征是：所有鍵合機（50）同向沿一直線排列；于所有鍵合機的對應位置，鍵合前運輸帶（10）和鍵合后運輸帶（90）并排分別設置且均平行于該直線；每臺鍵合機配套一個機械手（45），其作業(yè)區(qū)域涵蓋該臺鍵合機的鍵合工位（501）、鍵合前運輸帶（10）和鍵合后運輸帶（90）。
【專利說明】一種板上芯片封裝鍵合自動生產(chǎn)線
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及將半導體的(裸)芯片(Chip or Die)鍵合(Bonding)至印刷電路板[Chip On Board Bonding(COB)]的自動生產(chǎn)線；屬半導體后封裝【技術(shù)領(lǐng)域】。
【背景技術(shù)】
[0002]板上芯片封裝鍵合(Chip On Board Bonding)的生產(chǎn)工藝依次經(jīng)過以下工序:
[0003]印刷電路板(PCB)鍵合位清潔(通常通過擦拭達成，業(yè)內(nèi)稱“擦板”，下稱“擦板”)、往鍵合位點粘接膠(通常為厭氧膠，或稱“厭氧膠”)然后往鍵合位粘貼芯片(業(yè)內(nèi)稱“固晶”，下稱“固晶”，其中“晶”所指為芯片)、烘干粘接膠、鍵合(Bonding，即焊線)、BOI (BindingOptic Inspection，鍵合光學檢測)、通電檢測、以封裝膠覆蓋芯片(業(yè)內(nèi)稱“滴膠”，下稱“滴膠”)、烘烤固化封裝膠；然后再進行產(chǎn)品檢測(全檢或抽樣檢查)和包裝。
[0004]本文的“工件”，是指在工序中某一時刻被作業(yè)或輸送的對象。比如在擦板工序，不包含芯片的一個線路板是該時刻的工件；而在鍵合工序，其“工件”則包含一個線路板和其上安裝的芯片。
[0005]本文的“工位”，是指工件的某一停留位置，并且在該位置工件被施加工序中的某一作業(yè)?！肮ば蛎? “工位”的組合詞，是指相應工序時刻的工件停留位置；比如擦板工位、鍵合工位，等。
[0006]現(xiàn)在，即使是知名的工廠，也還是單機、單工序、一機一技工操作。其存在人工成本高、工效低、成品率低、能耗大、易發(fā)生工人燙傷的缺陷。
[0007]由于鍵合工序的作業(yè)時間遠大于其它各個工序的作業(yè)時間(相差幾倍到幾十倍。前述工序中烘干粘接膠和烘烤固化封裝膠，工件在隧道爐中被輸送的同時被烘干，在比較各工序作業(yè)時間時被忽略。)，所以在一條上述工序所對應的人工流水線上，往往有幾十臺鍵合機。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0008]本發(fā)明公開一種板上芯片封裝鍵合自動生產(chǎn)線，以降低對技術(shù)工人的需求，也兼有提升工效和成品率的效果。
[0009]在研發(fā)該板上芯片封裝鍵合自動生產(chǎn)線的過程中，我們設想過分別如圖1和圖2的兩種布局:
[0010]其中圖1布局以一個機械手從緊臨鍵合機的上一工位取得工件，然后依次給多個鍵合機安放工件；以另一個機械手依次從多個鍵合機卸載工件，并且傳遞到下一工位；
[0011]其中圖2布局以同一個機械手依次給多個鍵合機安放工件；也以該機械手依次從多個鍵合機卸載工件，并且傳遞到下一工位。
[0012]圖1布局和圖2布局都需要臂展很大的機械手，這本身會帶來場地、時間和安全方面的問題；再者，無論該機械手的臂展有多大，其作業(yè)區(qū)域內(nèi)可容納的鍵合機的數(shù)量總是有限的。[0013]我們構(gòu)思和試驗了如圖3所示的布局，其基本構(gòu)成是:
[0014]一種板上芯片封裝鍵合自動生產(chǎn)線，其包含最少兩臺鍵合機、鍵合前處理設備、鍵合后處理設備、有機械手和運輸帶參與構(gòu)成的輸送裝置、以及傳感器和控制器；其特征是:所有鍵合機同向沿一直線排列；于所有鍵合機的對應位置，鍵合前運輸帶和鍵合后運輸帶并排分別設置且均平行于該直線；每臺鍵合機配套一個機械手，其作業(yè)區(qū)域涵蓋該臺鍵合機的鍵合工位、鍵合前運輸帶和鍵合后運輸帶。
[0015]當某臺鍵合機處于待工狀態(tài)、并且其面前區(qū)域的鍵合前運輸帶上有工件時，鍵合前運輸帶運載工件到針對該鍵合機的設定位置然后停頓，對應的鍵合工位工件裝卸機械手將該工件移動到該鍵合機的鍵合工位，鍵合機的工件夾具夾緊工件，該鍵合機進行鍵合作業(yè)；
[0016]當某臺鍵合機處于工作狀態(tài)、并且其面前區(qū)域的鍵合前運輸帶上有工件時，運輸帶繼續(xù)運轉(zhuǎn)，將工件往后運送到相鄰的鍵合機的面前區(qū)域。
[0017]當某臺鍵合機的鍵合工位有已經(jīng)鍵合完成的工件，鍵合機的工件夾具釋放工件，與之配套的鍵合工位工件裝卸機械手將該工件移動到其面前區(qū)域的鍵合后運輸帶，鍵合機回復到待工狀態(tài)。
[0018]鍵合后運輸帶持續(xù)運轉(zhuǎn)，或者控制為通常不運轉(zhuǎn)、檢測到運載有工件時才運轉(zhuǎn)；兩者均可。
[0019]本發(fā)明的有益效果:顯而易見的，本發(fā)明可以減少所需要的技工數(shù)量，提高工效；同時，由于在多環(huán)節(jié)減少了手工的參與，減少了人為差錯的發(fā)生機會，因此具有更高的成品率。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0020]下面結(jié)合附圖詳細介紹本發(fā)明的實施例:
[0021]圖1是板上芯片封裝鍵合自動生產(chǎn)線構(gòu)成示意圖之一。
[0022]圖2是板上芯片封裝鍵合自動生產(chǎn)線構(gòu)成示意圖之二。
[0023]圖3是本發(fā)明一種板上芯片封裝鍵合自動生產(chǎn)線的構(gòu)成示意圖。
[0024]圖4是圖3所示一種板上芯片封裝鍵合自動生產(chǎn)線的實施例1的構(gòu)成示意圖。
[0025]圖5是實施例1的立體示意圖。
[0026]圖6?圖11是自動拾板、擦板、固晶在線一體機(或稱一體機)的示意圖；其中，
[0027]圖6是一體機的整機示意圖；
[0028]圖7，該圖于圖6狀態(tài)隱藏部分遮擋并且切斷一體機，主要表示工件運輸帶；
[0029]圖8是圖7的局部放大圖；
[0030]圖9是工件運輸帶鎖定夾的示意圖。圖中略去了一體機的其余構(gòu)件；
[0031]圖10是拾板機械手的示意圖；
[0032]圖11是擦板機構(gòu)之擦板頭的示意圖。
[0033]圖12是在線粘接膠固化爐122的示意圖。圖示為一個有兩個機架的在線粘接膠固化爐，為表示其第二機架段隧道的端部(圖中圓圈部分)，該兩個機架相互有錯開。
[0034]圖13?圖17是鍵合機在線配套裝置的示意圖；其中:
[0035]圖13是鍵合機在線配套裝置的示意圖；[0036]圖14是鍵合工位裝卸機械手45的運動機構(gòu)示意簡圖；
[0037]圖15是鍵合工位裝卸機械手抓爪的示意圖；
[0038]圖16是鍵合機夾具自動開關(guān)器的示意圖；
[0039]圖17是鍵合前運輸帶機前節(jié)段105和鍵合后運輸帶機前節(jié)段905的示意圖。
[0040]圖18是在線追隨B0I921的示意圖。同時也作為在線追隨懸掛工作臺60的示意圖。
[0041]圖19是在線追隨測試機922的示意圖。
[0042]圖20是在線追隨滴膠機923的示意圖。
[0043]圖21是在線封裝固化爐(或稱“封裝爐”)的示意圖。其中圓圈部分表示其隧道的斷面結(jié)構(gòu)。
[0044]圖中標記說明:
[0045]1000 工件；
[0046]50鍵合機，501鍵合工位；
[0047]10鍵合前運輸帶；90鍵合后運輸帶；40機械手；
[0048]105鍵合前運輸帶機前節(jié)段，1050鍵合前運輸帶機前節(jié)段同步輪；
[0049]905鍵合后運輸帶機前節(jié)段，9050鍵合后運輸帶機前節(jié)段同步輪；
[0050]10905 (鍵合前、鍵合后)運輸帶機前節(jié)段共用安裝架。
[0051]121自動拾板、擦板、固晶在線一體機(或稱“一體機”)；其中:1210 —體機機架；1211線路板倉盒；1212 —體機工件運輸帶(或稱“運輸帶”)，12120運輸帶同步輪，12121運輸帶同步帶，12122運輸帶上工件鎖定夾(或稱“鎖定夾”)，121220鎖定夾氣缸，121221鎖定夾彈簧；1213拾板機械手，12130拾板機械手底座，12131拾板機械手步進電機，12132拾板機械手轉(zhuǎn)軸，12133拾板機械手擺臂，12134拾板機械手氣缸，12135拾板機械手吸盤；1214擦板機構(gòu)，12149擦板頭，121490擦板頭電機，121498纖維棒下料機構(gòu)(“纖維棒”系擦板消耗料)，121499纖維棒夾具；1215固晶機構(gòu)；1216控制箱；
[0052]122在線粘接膠固化爐；其中:1220粘接膠固化爐機架，1221粘接膠固化爐罩體，12221前導輪，12229后導輪，12222鐵氟龍(Teflon)網(wǎng)狀運輸帶，1223粘接膠固化爐控制
裝置；
[0053]123在線掰板機；
[0054]45鍵合工位工件裝卸機械手；其中:450擺軸，451平行擺臂，454滑塊，459滑桿，4560抓爪氣缸，4561定抓爪，4562動抓爪；
[0055]461鍵合機在線配套裝置控制屏，462鍵合機在線配套裝置控制箱；
[0056]47鍵合機夾具自動開關(guān)器；其中:470基座，471手動旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)座，4719壓桿鉸連臂，472壓桿，473壓桿氣缸；
[0057]60在線追隨懸掛工作臺；其中:601第一條X向?qū)к墸?02第二條X向?qū)к墸?03Y向?qū)к墸?04 Θ轉(zhuǎn)軸，605攝像頭，606分類踢腳機構(gòu)；
[0058]921 在線追隨 BOI (Binding Optic Inspection,鍵合光學檢測)；
[0059]922在線追隨測試機；其中:9221測試針床；
[0060]923在線追隨滴膠機；其中:9239滴膠裝置；
[0061]924在線封裝固化爐；其中:9241罩體，92410罩體內(nèi)層，92419罩體外層，9242底 托，9243近紅外線發(fā)熱管，9249在線封裝固化爐觸摸屏。
【具體實施方式】
[0062]如圖3?21所示，一種板上芯片封裝鍵合自動生產(chǎn)線，其包含最少兩臺鍵合機50、鍵合前處理設備、鍵合后處理設備、有機械手和運輸帶參與構(gòu)成的輸送裝置、以及傳感器和控制器；其特征是:所有鍵合機50同向沿一直線排列；于所有鍵合機的對應位置，鍵合前運輸帶10和鍵合后運輸帶90并排分別設置且均平行于該直線；每臺鍵合機配套一個機械手45，其作業(yè)區(qū)域涵蓋該臺鍵合機的鍵合工位501、鍵合前運輸帶10和鍵合后運輸帶90。
[0063]如圖4?21所示，在實施例，鍵合前處理設備包含自動拾板、擦板、固晶在線一體機121，在線粘接膠固化爐122，在線掰板機123 (是可以選用的設備);鍵合后處理設備包含在線追隨B0I921 (Binding Optic Inspection,鍵合光學檢測),在線追隨測試機922,在線追隨滴膠機923，在線封裝固化爐924。
[0064]以下按工序詳述該自動生產(chǎn)線:
[0065]自動拾板、擦板、固晶在線一體機(見圖6?圖11)
[0066]自動拾板、擦板、固晶在線一體機121包含:
[0067]一體機機架1210、與一體機機架定位設置的線路板倉盒1211 (倉盒內(nèi)放置有線路板)，也包含擦板機構(gòu)1214、包含點粘接膠機構(gòu)和粘貼芯片機構(gòu)的固晶機構(gòu)1215，以及(包含控制箱1216的)控制裝置；其特征是:有一條一體機工件運輸帶1212，其涵蓋擦板機構(gòu)對應的擦板工位、點粘接膠機構(gòu)和粘貼芯片機構(gòu)對應的固晶工位；有一個拾板機械手1213，其作業(yè)區(qū)域涵蓋線路板倉盒1211的最少局部、和一體機工件運輸帶1212的局部。
[0068]如圖6?9所示，一體機工件運輸帶1212具有如下結(jié)構(gòu):運輸帶同步輪12120傳動連接于步進電機；運輸帶同步帶12121對應于待運輸工件1000的兩側(cè)位置，配合安裝于運輸帶同步輪12120 ;對應于擦板工位和固晶工位，一體機機架1210上設置有運輸帶上工件鎖定夾12122 (以備于擦板工序或固晶工序進行時鎖定被作業(yè)的工件1000)。
[0069]如圖8、圖9所示，運輸帶上工件鎖定夾12122的中部鉸連于一體機機架，其外側(cè)(圖9左側(cè))安裝于鎖定夾氣缸121220的伸縮桿，鎖定夾彈簧121221位于工件鎖定夾12122的下方被壓縮安裝在工件鎖定夾12122和一體機機架之間。當鎖定夾氣缸121220的伸縮桿伸出，運輸帶上工件鎖定夾12122鎖定工件；當鎖定夾氣缸121220的伸縮桿縮進，則運輸帶上工件鎖定夾12122釋放工件。
[0070]如圖所示，線路板倉盒1211安裝于機架。在實施例，有兩個線路板倉盒。
[0071]如圖6、圖10所示，拾板機械手1213具有如下結(jié)構(gòu):拾板機械手底座12130固連于機架，拾板機械手轉(zhuǎn)軸12132安裝于拾板機械手底座12130、并且傳動連接于拾板機械手步進電機12131 ;拾板機械手擺臂12133固裝于拾板機械手轉(zhuǎn)軸12132的上端部，拾板機械手氣缸12134豎立設置固裝于拾板機械手擺臂12133的擺端，拾板機械手吸盤12135固裝于拾板機械手氣缸12134的伸縮桿。如圖所示，拾板機械手擺臂12133的臂長可調(diào)。
[0072]拾板機械手的工作過程:拾板機械手擺臂12133擺動到拾板機械手吸盤12135位于線路板倉盒1211上方，拾板機械手吸盤12135下降，吸住一個線路板(工件1000)，然后拾板機械手吸盤12135上升，拾板機械手擺臂12133擺動到拾板機械手吸盤12135位于一體機工件運輸帶1212上方，拾板機械手吸盤12135下降，釋放線路板(工件1000)到一體機工件運輸帶1212，然后拾板機械手吸盤12135上升；如此循環(huán)。
[0073]擦板機構(gòu)1214、包含點膠機構(gòu)和粘貼芯片機構(gòu)的固晶機構(gòu)1215均沿用現(xiàn)有技術(shù)，不作贅述。
[0074]自動拾板、擦板、固晶在線一體機121的工作過程:在控制裝置的控制之下，拾板機械手1213逐個的將工件1000放置到一體機工件運輸帶1212上，一體機工件運輸帶1212運載工件1000到達擦板工位，停頓，工件被鎖定然后被擦板作業(yè)，然后工件被釋放，一體機工件運輸帶1212運載工件1000到達固晶工位，停頓，工件被鎖定然后被固晶作業(yè)。
[0075]在線粘接膠固化爐(見圖12)
[0076]在線粘接膠固化爐是可以選用的設備。在生產(chǎn)線的研發(fā)中，往往先試驗分段式的自動生產(chǎn)線，在另設的粘接膠固化爐進行相應的工序。
[0077]在線粘接膠固化爐122包含:
[0078]粘接膠固化爐機架1220 ;起支撐作用；
[0079]粘接膠固化爐罩體1221 ;其與機架固裝(一側(cè)鉸連，另側(cè)在需要時可掀蓋)，和后述的鋁板構(gòu)成隧道；粘接膠固化爐罩體為雙層不銹鋼結(jié)構(gòu)。起隔熱、遮光作用；
[0080]熱源；結(jié)構(gòu)為與機架固裝的內(nèi)含發(fā)熱管的鋁板；在隧道內(nèi)沿隧道分段布設，分段控制發(fā)熱管功率；采用底熱加溫方式；分為四個獨立控制的溫區(qū)，可按所選用的粘接膠的固化要求設定溫度-時間工藝曲線；
[0081]在線粘接膠固化爐運輸帶安裝在機架；包含前導輪12221、后導輪12229、動力輪與鐵氟龍網(wǎng)狀運輸帶12222，其網(wǎng)狀運輸帶的運載區(qū)域貫穿隧道，位于熱源的上方；另含有彈性張緊，壓緊兩組作壓帶用壓輪結(jié)構(gòu)；動力則采用步進電機和減速箱作驅(qū)動；
[0082]粘接膠固化爐控制裝置1223 ;作整爐的溫度、速度監(jiān)控。由傳感器、處理器、步進電機驅(qū)動器、軟件、觸摸屏組成。
[0083]在線粘接膠固化爐122的工作過程:
[0084]每片線路板進入防損傷的鐵氟龍網(wǎng)狀運輸帶后，由傳感器、處理器及軟件組成的監(jiān)控系統(tǒng)便按需控制每一獨立溫區(qū)溫度，按進板供應量及需要調(diào)節(jié)運輸帶輸送速度及間距(可根據(jù)需要選擇設為連續(xù)輸送式或步進輸送式)，如此本在線粘接膠固化爐可確保溫度均勻的按粘接膠(厭氧膠或銀漿)固化曲線要求固化。因本在線粘接膠固化爐采用底熱加溫方式及網(wǎng)狀運輸帶，熱能直接傳輸至單片的線路板底上，因而固化速度快。本在線粘接膠固化爐發(fā)熱管放置底部及上有鋁板，故無可見光產(chǎn)生，因此避免晶片上的數(shù)據(jù)受光源影響而受損。本在線粘接膠固化爐的運輸帶是步進法行走、獨立溫區(qū)控制，故可將線路板儲存在爐內(nèi)備用，箱體滿載后自動知會前工序停止輸送；本在線粘接膠固化爐亦可與下一工序溝通，自動按下一工序產(chǎn)能的快慢調(diào)節(jié)運輸帶運行速度及間距，故此可以調(diào)節(jié)產(chǎn)量。固化好后的線路板輸往下一工序。
[0085]運輸帶采用鐵佛龍網(wǎng)帶，傳動機構(gòu)含運輸帶自動張緊及主動輪自動壓力控制，以免運輸帶打滑及松弛。
[0086]在線掰板機
[0087]在線掰板機123是可以選用的設備，因有些印刷電路板產(chǎn)品面積較小，為省原料或工時，會將數(shù)板拼在一起，在鍵合工序前按一個工件進行作業(yè)，然后通過在線掰板機123掰斷為印刷電路板產(chǎn)品的I倍或少于之前倍數(shù)面積，成為后續(xù)工序的2個或多個工件。[0088]在線掰板機123其結(jié)構(gòu)包含輸送機構(gòu)、壓緊掰斷機構(gòu)和含有傳感器、處理器、軟件的控制裝置。輸送機構(gòu)包含托軌(工件在其上表面滑動)、兩側(cè)對應設置的摩擦運輸帶(夾緊工件的左右側(cè)面)；壓緊掰斷機構(gòu)包含一擺臂，其位于工件路徑的上方，擺軸位于工件路徑的一側(cè)，擺臂上其前側(cè)(工件由前向后運動，以此定前后)安裝有彈性壓盤(由彈簧結(jié)構(gòu)參與而達成彈性)，擺臂上其后側(cè)固裝有刀具；當線路板到達該工位后，擺臂下壓，即在將線路板的預設斷裂線(此處或有成排的細孔)的前側(cè)壓緊線路板，向下掰動其后側(cè)，從而掰斷線路板；然后擺臂向上抬起。
[0089]在線掰板機123的工作過程:先自動檢測輸入印刷電路板的形狀和大小，按需由前置傳感器、處理器、軟件及步進法行走運輸帶將抵位的印刷電路板輸往掰板機，如滿負荷則知會前工序停止輸送。掰板機按要求掰板，其后將分開的印刷電路板由運輸帶送往下一工序(鍵合)；或整片拼板亦可直接通過在線掰板機123 (不經(jīng)掰斷)進入下一工序。
[0090]鍵合機
[0091]鍵合機50，可沿用現(xiàn)有技術(shù)。
[0092]鍵合機在線配套裝置(見圖13?17)
[0093]在實施例，配套每一臺鍵合機50，有一個鍵合前運輸帶機前節(jié)段105 (所謂“運輸帶**節(jié)段”，是指該段運輸帶由專設的步進電機驅(qū)動，其運轉(zhuǎn)速度不一定和其余節(jié)段的運輸帶同步；“運輸帶機前節(jié)段”，是指鍵合機面前的運輸帶節(jié)段。)、一個鍵合后運輸帶機前節(jié)段905、和一個鍵合工位裝卸機械手45、一個鍵合機夾具自動開關(guān)器。即:
[0094]配套每一臺鍵合機50，有一個鍵合機在線配套裝置，其涉及鍵合機的控制裝置、鍵合工位501和鍵合機工件夾具操縱桿；其包含控制裝置；其特征是:設置有鍵合機夾具自動開關(guān)器47 ;有一個鍵合工位工件裝卸機械手45、一個鍵合前運輸帶機前節(jié)段105、和一個鍵合后運輸帶機前節(jié)段905 ;鍵合前運輸帶機前節(jié)段105和鍵合后運輸帶機前節(jié)段905相互平行；鍵合工位工件裝卸機械手45的作業(yè)區(qū)域涵蓋該臺鍵合機的鍵合工位501、鍵合前運輸帶機前節(jié)段105和鍵合后運輸帶機前節(jié)段905。
[0095]如圖13?15所示，鍵合工位工件裝卸機械手45具有如下結(jié)構(gòu):其包含一組平行擺臂451 ;該平行擺臂451的兩個擺軸450位于同一水平面且平行于工件行進方向；平行擺臂的擺動端鉸連一連桿；連桿上固裝滑軌；滑軌上有滑塊454 ;滑塊454下方固裝一水平滑道，水平滑道的下方一側(cè)固裝有定抓爪4561 ;水平滑道內(nèi)安裝有滑桿459，滑桿459的一端下方固裝有動抓爪4562 (和前述“定抓爪4561”相互配對構(gòu)成抓爪，用以抓取或者釋放工件1000);本段前述擺軸450的驅(qū)動裝置為步進電機，滑塊454的驅(qū)動裝置為步進電機和同步帶，滑桿459的驅(qū)動裝置為抓爪氣缸4560。如圖14所示，本段前述機構(gòu)整體作為滑塊安裝在與機架固裝的滑軌上，停機后可以調(diào)整其前后(垂直于圖14圖面，平行于工件在運輸帶的行進方向)位置，以適應不同大小(尤其是工件在運輸帶的行進方向的長度)的工件1000。該鍵合工位工件裝卸機械手45具有工件移動速度快、工件移動軌跡可調(diào)的優(yōu)點。
[0096]如圖16所示，鍵合機夾具自動開關(guān)器47具有如下結(jié)構(gòu):基座470固裝于機架，基座470上安裝手動旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)座471，手動旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)座471上延伸出壓桿鉸連臂4719，壓桿472的中部鉸連于壓桿鉸連臂4719，壓桿472的一端下方設置壓桿氣缸473。
[0097]手動旋轉(zhuǎn)上述手動旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)座471至壓桿472的另一端位于鍵合機工件夾具操縱桿(圖中未示出)于其所屬鍵合機處于待機時刻的位置上方(然后鎖定)，壓桿氣缸473上頂時，鍵合機工件夾具開啟，進行工件的放置或者取出操作；然后壓桿氣缸473回復常態(tài)，鍵合機工件夾具自行閉鎖。
[0098]如圖4所示，在組成生產(chǎn)線時，不少于兩臺鍵合機50同向并排排列，使在后的鍵合前運輸帶機前節(jié)段105位于在前的鍵合前運輸帶機前節(jié)段105的直線延伸線上，也使在后的鍵合后運輸帶機前節(jié)段905位于在前的鍵合后運輸帶機前節(jié)段905的直線延伸線上。
[0099]當某臺鍵合機50處于待工狀態(tài)、并且其對應的(與之配套的)鍵合前運輸帶機前節(jié)段105上有工件時，鍵合前運輸帶機前節(jié)段105運載工件到設定位置然后停頓，對應的鍵合工位工件裝卸機械手45將該工件1000移動到該鍵合機的鍵合工位501，鍵合機的工件夾具夾緊工件，該鍵合機進行鍵合作業(yè)；
[0100]當某臺鍵合機處于工作狀態(tài)、并且其鍵合前運輸帶機前節(jié)段105上有工件1000時，運輸帶繼續(xù)運轉(zhuǎn)，將工件送往在后相鄰的鍵合前運輸帶機前節(jié)段105。
[0101]當某臺鍵合機的鍵合工位有已經(jīng)鍵合完成的工件，鍵合機的工件夾具釋放工件，與之配套的鍵合工位工件裝卸機械手45將該工件移動到對應的鍵合后運輸帶機前節(jié)段905，鍵合機回復到待工狀態(tài)。
[0102]鍵合后運輸帶機前節(jié)段905持續(xù)運轉(zhuǎn)，或者控制為通常不運轉(zhuǎn)、檢測到運載有工件1000時才運轉(zhuǎn)；兩者均可。
[0103]在線追隨懸掛工作臺(如圖18所示)
[0104]后述在線追隨B0I921、在線追隨測試機922和在線追隨滴膠機923之中分別包含一個在線追隨懸掛工作臺。
[0105]一種在線追隨懸掛工作臺，其包含:
[0106]包含傳感器、處理器和軟件的控制裝置；
[0107]—條由步進電機驅(qū)動的數(shù)控運輸帶90，其所載運的一個工件構(gòu)成被追隨的目標工件；其特征是具有以下結(jié)構(gòu):
[0108]第一條X向?qū)к?01 (X向平行于工件行進方向)，其上有Xl滑塊；第二條X向?qū)к?02固裝于Xl滑塊，其上有X2滑塊；Y向?qū)к?03 (Y向在水平面垂直于X向)固裝于X2滑塊，其上有Y滑塊；Y滑塊上安裝軸線鉛垂的0轉(zhuǎn)軸604，0轉(zhuǎn)軸下部固裝功能裝置安裝夾；其具有X、Y、0共三個行程區(qū)間；
[0109]前述Xl滑塊、X2滑塊、Y滑塊分別(通過步進帶)傳動連接于一個步進電機的轉(zhuǎn)軸；0轉(zhuǎn)軸604傳動連接于一個步進電機的轉(zhuǎn)軸；
[0110]攝像頭605 (其既作為在線追隨懸掛工作臺的構(gòu)件，也可作為安裝于該工作臺的“功能裝置”)，其與功能裝置安裝夾固裝。
[0111]相對于待追隨的行進中的目標工件，Xl滑塊的移動實現(xiàn)X向的初略追隨；X2滑塊的移動實現(xiàn)X向的精確追隨，滑塊的移動實現(xiàn)Y向的精確追隨；0轉(zhuǎn)軸的轉(zhuǎn)動實現(xiàn)相位角的精確追隨；并且Xl滑塊和X2滑塊的疊加速度其峰值較大，足以追隨目標工件的行進速度。
[0112]其工作程序是:在前置的傳感器檢測到目標工件在位后，處理器協(xié)同視覺系統(tǒng)及運輸帶90，使懸掛工作臺的攝像頭605在X方向上快速到達與目標工件相同位置，然后與運輸帶90同速；然后攝像頭605會自動觸發(fā)照像，經(jīng)處理器處理后，再把目標工件的偏離坐標通知工作臺執(zhí)行X、Y、0三方向的坐標平移、旋轉(zhuǎn)，以微調(diào)至精準的位置上，并且維持與運輸帶90同速，直至所附加的功能裝置完成工作，然后工作臺會自動返回起始點。
[0113]在線追隨BOI (如如圖5、圖18所示)
[0114]圖18也作為在線追隨B0I921的示意圖。其功能裝置是攝像頭605自身。它是一個在線追隨BOI (Binding Optic Inspection，鍵合光學檢測)裝置。在線追隨B0I921，該裝置通過對待檢產(chǎn)品進行拍照，然后和電腦中的合格品照片進行比對，并且借由氣動的分類踢腳機構(gòu)606 (—個由氣缸帶動的推桿)從待檢產(chǎn)品剔除壞品(壞品經(jīng)過分流器分流出運輸帶)。其結(jié)構(gòu)包含前述的在線追隨懸掛工作臺60、分類踢腳機構(gòu)606和攝像頭605。
[0115]在線追隨測試機(如圖5、圖19所示)
[0116]圖19是在線追隨測試機922的示意圖。其功能裝置是測試針床9221。它是一個在線追隨測試機。在線追隨測試機922，該裝置通過測試針床9221上的導電探針接觸電路板待檢產(chǎn)品對待檢產(chǎn)品進行通電檢測，然后和電腦中的合格品檢測數(shù)據(jù)進行比對，并且借由氣動的分類踢腳機構(gòu)606 (—個由氣缸帶動的推桿)從待檢產(chǎn)品剔除壞品(壞品經(jīng)過分流器分流出運輸帶)。其結(jié)構(gòu)包含前述的在線追隨懸掛工作臺60、分類踢腳機構(gòu)606、固裝于在線追隨懸掛工作臺之功能裝置安裝夾的攝像頭605，并且，有Z向滑道(Z向垂直于水平面)固設于其在線追隨懸掛工作臺之Θ轉(zhuǎn)軸604下部(位于其側(cè)向延伸體內(nèi))，Z向滑道內(nèi)部有Z滑桿(可由氣缸驅(qū)動)，Z滑桿下部固裝有測試針床9221。其具有Χ、Υ、θ、Ζ共四個行程區(qū)間。
[0117]在線追隨滴膠機(如圖5、圖20所示)
[0118]圖20是在線追隨滴膠機923的示意圖。其功能裝置是滴膠裝置9239。它是一個在線追隨滴膠機。在線追隨滴膠機923，該裝置往鍵合于線路板的芯片滴封裝膠。其結(jié)構(gòu)包含前述的在線追隨懸掛工作臺60、攝像頭605 (固裝于在線追隨懸掛工作臺之功能裝置安裝夾)，并且，有Z向滑道(Ζ向垂直于水平面)固設于其在線追隨懸掛工作臺之Θ轉(zhuǎn)軸604下部(位于其側(cè)向延伸體內(nèi))，Z向滑道內(nèi)部有Z滑桿(可由氣缸驅(qū)動)，Z滑桿下部固裝有(已屬公開的)滴膠裝置9239。其具有Χ、Υ、Θ、Ζ共四個行程區(qū)間。如圖所示，在線追隨滴膠機923安裝于在線封裝固化爐924的機架上。
[0119]在線封裝固化爐(如圖5、圖21所示)
[0120]在線封裝固化爐是可以選用的設備。在生產(chǎn)線的研發(fā)中，往往先試驗分段式的自動生產(chǎn)線，在另設的封裝固化爐進行相應的工序。
[0121]鍵合后處理設備包含在線封裝固化爐924，其結(jié)構(gòu)包含:
[0122]機架；起支撐作用；
[0123]罩體9241 ;罩體外層92419是不銹鋼，罩體內(nèi)層92410是反光鋁材，其與機架固裝(一側(cè)鉸連，另側(cè)在需要時可掀蓋)，參與構(gòu)成隧道；隧道內(nèi)壁以反光鋁制成內(nèi)殼(即罩體內(nèi)層)及底托9242 ;起隔熱、光反射作用；
[0124]熱源；隧道內(nèi)固設4?60條(實施例為24條)(波長0.76微米的)近紅外線發(fā)熱管9243，通過爐內(nèi)的多個反射面，使近紅外作三維多角度的多重反射，全面均勻使封裝好的產(chǎn)品膠體內(nèi)外同時產(chǎn)生分子間共振，內(nèi)外一致達到固化的效果；隧道內(nèi)沿工件的行進路徑分為四個獨立控制的溫區(qū)(130C。?180C。);
[0125]不銹鋼網(wǎng)狀運輸帶；安裝在機架；包含前導輪、后導輪、動力輪(構(gòu)成行走機構(gòu))與網(wǎng)狀運輸帶組，其網(wǎng)狀運輸帶的運載區(qū)域貫穿隧道；動力則采用步進電機和減速箱作驅(qū)動；
[0126]控制裝置；作整爐的溫度、速度監(jiān)控。由傳感器、處理器、步進電機驅(qū)動器、軟件、觸摸屏9249組成。
[0127]本在線封裝固化爐工作程序:
[0128]每片線路板進入運輸帶后，由傳感器、處理器及軟件組成的監(jiān)控系統(tǒng)便按需控制每一獨立溫區(qū)溫度，按進板供應量及需要調(diào)節(jié)運輸帶輸送速度。四個溫區(qū)內(nèi)的二十四條發(fā)熱管發(fā)出特定波長(波長0.76微米)的近紅外線，通過爐內(nèi)的多個反射面，使近紅外作三維多角度的多重反射，全面均勻使封裝好的產(chǎn)品的膠體內(nèi)外同時產(chǎn)生分子間共振，內(nèi)外一致達到固化的效果。因在固化的過程中是整體一致，比用普通的煽爐通過空氣導熱的收縮率更少，故對線與晶片及線與線路板的應力影響更少；另外因膠體與線路板之間的澎漲系數(shù)更一致，故此應力拉斷率比空氣傳導的電煽爐更低。本在線封裝固化爐可以在十四分鐘內(nèi)對已滴好膠的線路板作連續(xù)烘干處理(可在約14分鐘時間內(nèi)對單組分環(huán)氧基固封膠進行熱固化催干，而舊法為150分鐘。)。本在線封裝固化爐的控溫單元采用處理器及軟件可作高頻脈沖輸出至每秒達100次，加上發(fā)熱管的熱惰性，爐內(nèi)的溫度可滿足設定的恒溫，不存在有閃爍和熱沖擊。程序并設定了超溫、欠溫、超速、欠速等鎖定保護，電路，功率亦定有充分的寬余量，故此遂道爐平時恒溫時僅用約十八千瓦，在同產(chǎn)能情況下電能消耗比現(xiàn)常用的電煽爐可節(jié)省電費達二分之一。因定有充分的寬余量在燒毀了百分之五十的發(fā)熱管的情況下，本在線封裝固化爐仍然能正常工作，保正用戶廿四小時的正常生產(chǎn)。因是單片線路板進出，把進出爐變得簡單而安全兼且節(jié)省人手。
[0129]實施例1自動生產(chǎn)線的工作程序:
[0130]1.拾板、擦板、固晶，系借助自動拾板、擦板、固晶在線一體機121完成。
[0131]其工作程序是先通過自動拾板、擦板、固晶在線一體機121的自動拾印刷電路板機構(gòu)將放置在(一個或多個)印刷電路板儲存?zhèn)}里的印刷電路板拾取后，再放置在一條以步進法(St印ping)行走的數(shù)控導軌運輸帶上，由分布前、中、后位置數(shù)個傳感器、處理器及軟件合作計算及決定，按需要將印刷電路板自動地送往擦板位置。
[0132]其后由自動拾板、擦板、固晶在線一體機121的擦板機構(gòu)自動在該印刷電路板上按需要擦板的位置上擦板，另有吹吸塵機構(gòu)則收取擦板所落下的灰塵，以免汚染印刷電路板及車間。然后同上法，由數(shù)控導軌運輸帶按需要將印刷電路板自動送往粘貼芯片的位置上。
[0133]然后由自動拾板、擦板、固晶在線一體機121的點厭氧膠、粘貼芯片系統(tǒng)內(nèi)的粘貼芯片機構(gòu)在該印刷電路板上已擦好板的位置上點厭氧膠。再按需先拾起相應的芯片放在相應的位置上，如此類推直至按要求貼滿止。貼晶后的印刷電路板會由數(shù)控導軌自動按需輸往與其相連接數(shù)控粘接膠固化爐。
[0134]2.粘接膠固化，系在線箱體粘接膠固化爐122內(nèi)進行。
[0135]在線粘接膠固化爐122采用鐵氟龍(Teflon)的網(wǎng)狀運輸帶，不會刮傷工件；其隧道內(nèi)由于沒有可見光和/或紫外光，不會影響晶片內(nèi)的設置，因可見光及紫外光可以影響晶片內(nèi)的設置；發(fā)熱管在鋁板底部加熱至隧道內(nèi)溫度90C°?130C°范圍內(nèi)，因是單片印刷電路板加熱及運輸帶有網(wǎng)孔(舊法將印刷電路板重疊裝入遮光盒體再進行加熱以固化粘接膠)，熱傳輸快，可在短時間內(nèi)(由舊法的90分鐘減至6分鐘)，對粘接膠(厭氧膠)進行熱固化催干。本裝置的智能部分由分布前、中、后位置數(shù)個傳感器、處理器、軟件及步進法行走運輸帶組成。本機構(gòu)會與下一工序溝通，自動按下一工序產(chǎn)能的快慢調(diào)節(jié)運輸帶運行速度及間距，故可將印刷電路板儲存在爐內(nèi)，箱體滿載后自動知會前工序停止輸送。固化好后的印刷電路板輸往下一工序。
[0136]3.掰開印刷電路板，系借助在線掰板機123進行。
[0137]當工藝設計鍵合工序前的工件面積等于鍵合工序后的工件面積時，在線掰板機123的壓緊掰斷機構(gòu)不工作，工件依序直接通過在線掰板機123 (工件不被掰斷)，進入下一工序。
[0138]當工藝設計鍵合工序前的工件面積大于鍵合工序后的工件面積時，在線掰板機123的壓緊掰斷機構(gòu)工作，工件依序被掰斷成為2個或多個面積較小的工件，面積較小的工件再逐個的進入下一工序。
[0139]4.鍵合，系由鍵合機50、鍵合機在線配套裝置配合進行。
[0140]系統(tǒng)由前置傳感器收到工件抵位(鍵合前運輸帶鍵合機機前節(jié)段105)信息后，由處理器計算本臺鍵合機是否正在生產(chǎn)，如是則數(shù)控運輸帶繼續(xù)運行，將工件送往下一鍵合機正前；如非則運輸帶運載工件到鍵合機正前的設定位置短暫停止，再啟動鍵合工位裝卸機械手45拾取印刷電路板，并送至鍵合機夾具上，機械手會由收到的信息自動微調(diào)到應該放好的位置上；同一時間鍵合機夾具自動開關(guān)器會將鍵合機夾具打開，待放好印刷電路板后該自動開關(guān)器會關(guān)閉夾具，并啟動鍵合機。收到鍵合機工序已完成的信息后，自動開關(guān)器會將鍵合機夾具打開，再由機械手將已鍵合好的印刷電路板放于鍵合后運輸帶鍵合機機前節(jié)段905上送往后續(xù)工序。
[0141]當某臺鍵合機處于待工狀態(tài)、并且其正對位置的鍵合前運輸帶機前節(jié)段105上有工件時，與之配套的鍵合工位裝卸機械手45將該工件移動到該鍵合機的鍵合工位51，鍵合機的工件夾具夾緊工件，該鍵合機進行鍵合作業(yè)；
[0142]當某臺鍵合機的鍵合工位有已經(jīng)鍵合完成的工件，鍵合機的工件夾具釋放工件，與之配套的鍵合工位裝卸機械手45將該工件移動到鍵合后運輸帶機前節(jié)段905上，鍵合機回復到待工狀態(tài)。
[0143]5.在線追隨光學檢測，系由在線追隨B0I921在線進行。
[0144]在線追隨B0I921在檢測到已鍵合好的印刷電路板在位后，便開始智能追蹤鍵合好的芯片，邊追隨邊在Χ、y、Θ三個行程區(qū)間自動調(diào)校攝像頭位置，調(diào)校好位置后便開始掃描。掃描后的資料送至處理器分析。如產(chǎn)品不良則由分類踢腳機構(gòu)606將不良產(chǎn)品掃至一旁，再經(jīng)過分流器分流出運輸帶。完成后在線追隨Β0Ι921會自動返回起始點。
[0145]6.在線通電測試，系由在線追隨測試機922在線完成。
[0146]在線追隨測試機922在檢測到已鍵合好的印刷電路板在位后，在線追隨測試機922便開始智能追蹤鍵合好的芯片，邊追隨邊在X、Y、Θ三個行程區(qū)間自動調(diào)校針床位置，調(diào)校好位置后針床9221下降，導電探針和線路板實現(xiàn)電連接，便開始接觸式功能測試。將測試后的資料送至處理器分析，然后針床9221上升。如產(chǎn)品不良則由分類踢腳機構(gòu)606將不良產(chǎn)品掃至一旁，再經(jīng)過分流器分流出運輸帶。完成后在線追隨測試機922會自動返回起始點。
[0147]7.在線追隨滴膠，系借助在線追隨滴膠機923完成。[0148]在線追隨滴膠機923在檢測到已鍵合好的印刷電路板在位后，在線追隨滴膠機923便開始智能追蹤鍵合好的芯片，邊追隨邊在X、Y、0三個行程區(qū)間自動調(diào)校滴膠機構(gòu)9239位置，調(diào)校好位置后滴膠機構(gòu)9239下降，然后滴膠。滴好膠的印刷電路板便由運輸帶送進在線封裝固化爐924內(nèi)。完成后在線追隨滴膠機923會自動返回起始點。
[0149]8.封裝膠固化，系借助在線封裝固化爐924完成。
[0150]如圖1所示，一種在線追隨懸掛工作臺，其包含:
[0151]包含傳感器、處理器和軟件的控制裝置；
[0152]一條由步進電機驅(qū)動的數(shù)控運輸帶90，其所載運的一個工件構(gòu)成被追隨的目標工件；其特征是具有以下結(jié)構(gòu):
[0153]第一條X向?qū)к?01 (X向平行于工件行進方向)，其上有Xl滑塊；第二條X向?qū)к?02固裝于Xl滑塊，其上有X2滑塊；Y向?qū)к?03 (Y向在水平面垂直于X向)固裝于X2滑塊，其上有Y滑塊；Y滑塊上安裝軸線鉛垂的0轉(zhuǎn)軸604，0轉(zhuǎn)軸下部固裝功能裝置安裝夾；其具有X、Y、0共三個行程區(qū)間；
[0154]前述Xl滑塊、X2滑塊、Y滑塊分別(通過步進帶)傳動連接于一個步進電機的轉(zhuǎn)軸；0轉(zhuǎn)軸604傳動連接于一個步進電機的轉(zhuǎn)軸；
[0155]攝像頭605 (其既作為在線追隨懸掛工作臺的構(gòu)件，也可作為安裝于該工作臺的“功能裝置”)，其與功能裝置安裝夾固裝。
[0156]相對于待追隨的行進中的目標工件，Xl滑塊的移動實現(xiàn)X向的初略追隨；X2滑塊的移動實現(xiàn)X向的精確追隨，滑塊的移動實現(xiàn)Y向的精確追隨；0轉(zhuǎn)軸的轉(zhuǎn)動實現(xiàn)相位角的精確追隨；并且Xl滑塊和X2滑塊的疊加速度其峰值較大，足以追隨目標工件的行進速度。
[0157]其工作程序是:在前置的傳感器檢測到目標工件在位后，處理器協(xié)同視覺系統(tǒng)及運輸帶90，使懸掛工作臺的攝像頭605在X方向上快速到達與目標工件相同位置，然后與運輸帶90同速；然后攝像頭605會自動觸發(fā)照像，經(jīng)處理器處理后，再把目標工件的偏離坐標通知工作臺執(zhí)行X、Y、0三方向的坐標平移、旋轉(zhuǎn)，以微調(diào)至精準的位置上，并且維持與運輸帶90同速，直至所附加的功能裝置完成工作，然后工作臺會自動返回起始點。
[0158]圖1也作為實施例附加功能裝置的應用實例之一的示意圖。其功能裝置是攝像頭605自身。它是一個在線追隨BOI (Binding Optic Inspection，鍵合光學檢測)裝置。在線追隨B0I921，該裝置通過對待檢產(chǎn)品進行拍照，然后和電腦中的合格品照片進行比對，并且借由氣動的分類踢腳機構(gòu)606 (—個由氣缸帶動的推桿)從待檢產(chǎn)品剔除壞品(壞品經(jīng)過分流器分流出運輸帶)。其結(jié)構(gòu)包含前述的在線追隨懸掛工作臺60、分類踢腳機構(gòu)606和攝像頭605。
[0159]圖2是實施例附加功能裝置的應用實例之二的示意圖。其功能裝置是測試針床9221。它是一個在線追隨測試機。在線追隨測試機922，該裝置通過測試針床9221上的導電探針接觸電路板待檢產(chǎn)品對待檢產(chǎn)品進行通電檢測，然后和電腦中的合格品檢測數(shù)據(jù)進行比對，并且借由氣動的分類踢腳機構(gòu)606 (—個由氣缸帶動的推桿)從待檢產(chǎn)品剔除壞品(壞品經(jīng)過分流器分流出運輸帶)。其結(jié)構(gòu)包含前述的在線追隨懸掛工作臺60、分類踢腳機構(gòu)606、固裝于在線追隨懸掛工作臺之功能裝置安裝夾的攝像頭605，并且，有Z向滑道(Z向垂直于水平面)固設于其在線追隨懸掛工作臺之0轉(zhuǎn)軸604下部(位于其側(cè)向延伸體內(nèi))，Z向滑道內(nèi)部有Z滑桿(可由氣缸驅(qū)動)，Z滑桿下部固裝有測試針床9221。其具有X、Y、Θ、Z共四個行程區(qū)間。
[0160] 圖3是實施例附加功能裝置的應用實例之三的示意圖。其功能裝置是滴膠裝置9239。它是一個在線追隨滴膠機。在線追隨滴膠機923，該裝置往鍵合于線路板的芯片滴封裝膠。其結(jié)構(gòu)包含前述的在線追隨懸掛工作臺60、攝像頭605(固裝于在線追隨懸掛工作臺之功能裝置安裝夾)，并且，有Z向滑道(Z向垂直于水平面)固設于其在線追隨懸掛工作臺之Θ轉(zhuǎn)軸604下部(位于其側(cè)向延伸體內(nèi))，Z向滑道內(nèi)部有Z滑桿(可由氣缸驅(qū)動)，Z滑桿下部固裝有(已屬公開的)滴膠裝置9239。其具有Χ、Υ、Θ、Ζ共四個行程區(qū)間。如圖所示，在線追隨滴膠機923安裝于在線封裝固化爐924的機架上。
【權(quán)利要求】
1.一種板上芯片封裝鍵合自動生產(chǎn)線，其包含最少兩臺鍵合機(50)、鍵合前處理設備、鍵合后處理設備、有機械手和運輸帶參與構(gòu)成的輸送裝置、以及傳感器和控制器；其特征是:所有鍵合機(50)同向沿一直線排列；于所有鍵合機的對應位置，鍵合前運輸帶(10)和鍵合后運輸帶(90)并排分別設置且均平行于該直線；每臺鍵合機配套一個機械手(45)，其作業(yè)區(qū)域涵蓋該臺鍵合機的鍵合工位(501)、鍵合前運輸帶(10 )和鍵合后運輸帶(90 )。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種板上芯片封裝鍵合自動生產(chǎn)線，其特征在于:配套每一臺鍵合機(50 )，有一個鍵合機在線配套裝置，其涉及鍵合機的控制裝置、鍵合工位(501)和鍵合機工件夾具操縱桿；其包含控制裝置；設置有鍵合機夾具自動開關(guān)器(47);有一個鍵合工位工件裝卸機械手(45)、一個鍵合前運輸帶機前節(jié)段(105)、和一個鍵合后運輸帶機前節(jié)段(905);鍵合前運輸帶機前節(jié)段(105)和鍵合后運輸帶機前節(jié)段(905)相互平行；鍵合工位工件裝卸機械手(45)的作業(yè)區(qū)域涵蓋該臺鍵合機的鍵合工位(501)、鍵合前運輸帶機前節(jié)段(105 )和鍵合后運輸帶機前節(jié)段(905 )。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種板上芯片封裝鍵合自動生產(chǎn)線，其特征在于鍵合工位工件裝卸機械手(45)具有如下結(jié)構(gòu):其包含一組平行擺臂(451);該平行擺臂(451)的兩個擺軸(450)位于同一水平面且平行于工件行進方向；平行擺臂的擺動端鉸連一連桿；連桿上固裝滑軌；滑軌上有滑塊(454);滑塊(454)下方固裝一水平滑道，水平滑道的下方一側(cè)固裝有定抓爪(4561);水平滑道內(nèi)安裝有滑桿(459)，滑桿459的一端下方固裝有動抓爪(4562);本段前述擺軸(450)的驅(qū)動裝置為步進電機，滑塊(454)的驅(qū)動裝置為步進電機和同步帶，滑桿(459)的驅(qū)動裝置為抓爪氣缸(4560)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1、2、3之任一所述的一種板上芯片封裝鍵合自動生產(chǎn)線，其特征在于:包含最少一個在線追隨懸掛工作臺(60)，其包含: 其包含: 包含傳感器、處理器和軟件的控制裝置； 一條由步進電機驅(qū)動的數(shù)控運輸帶(90)，其所載運的一個工件構(gòu)成被追隨的目標工件；其特征是具有以下結(jié)構(gòu): 第一條X向?qū)к?601)，其上有Xl滑塊；第二條X向?qū)к?602)固裝于Xl滑塊，其上有X2滑塊；Y向?qū)к?603)固裝于X2滑塊，其上有Y滑塊；Y滑塊上安裝軸線鉛垂的0轉(zhuǎn)軸(604)，0轉(zhuǎn)軸下部固裝功能裝置安裝夾；其具有X、Y、0共三個行程區(qū)間； 前述Xl滑塊、X2滑塊、Y滑塊分別傳動連接于一個步進電機的轉(zhuǎn)軸；0轉(zhuǎn)軸(604)傳動連接于一個步進電機的轉(zhuǎn)軸； 攝像頭(605)，其與功能裝置安裝夾固裝。
5.根據(jù)權(quán)利要求1~3之任一所述的一種板上芯片封裝鍵合自動生產(chǎn)線,其特征在于:鍵合后處理設備包含在線封裝固化爐(924)，其結(jié)構(gòu)包含: 機架； 罩體(9241);罩體外層(92419)是不銹鋼，罩體內(nèi)層(92410)是反光鋁材，其與機架固裝，參與構(gòu)成隧道；隧道內(nèi)壁以反光鋁制成內(nèi)殼及底托(9242)； 熱源；隧道內(nèi) 設4~60條近紅外線發(fā)熱管(9243);隧道內(nèi)沿工件的行進路徑分為四個獨立控制的溫區(qū)； 不銹鋼網(wǎng)狀運輸帶；安裝在機架；包含前導輪、后導輪、動力輪與網(wǎng)狀運輸帶組，其網(wǎng)狀運輸帶的運載區(qū)域貫穿隧道；動力則采用步進電機和減速箱作驅(qū)動； 控制裝置。
【文檔編號】H05K3/34GK103779244SQ201410028407
【公開日】2014年5月7日 申請日期:2014年1月21日 優(yōu)先權(quán)日:2014年1月21日
【發(fā)明者】彭捷, 謝創(chuàng) 申請人:謝創(chuàng), 彭捷