專(zhuān)利名稱(chēng)：電解沉積金屬的設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及電解沉積金屬的技術(shù)，特別是涉及用于電解沉積金屬箔的設(shè)備。本發(fā)明尤其適用于形成印刷電路板生產(chǎn)中所使用的銅箔，為此，下面將具體結(jié)合形成銅箔來(lái)說(shuō)明本發(fā)明。當(dāng)然也可以理解，本發(fā)明也可有利地應(yīng)用于電解成形其它金屬箔和電解沉積金屬。
用于成形電解沉積箔的技術(shù)多年來(lái)沒(méi)有大的變化。在這方面，一般是通過(guò)把一個(gè)轉(zhuǎn)筒式陰極浸入含有銅離子的電解液中來(lái)成形出電解沉積銅箔的。一個(gè)由一個(gè)或多個(gè)導(dǎo)電材料的弧形段構(gòu)成的陽(yáng)極也浸沒(méi)在電解液中，并靠近轉(zhuǎn)筒式陰極設(shè)置，以便在其間限定出一個(gè)極間縫隙。通過(guò)向陽(yáng)極和陰極施加電流，使電流密度低于電解液的極限電流密度，就可在轉(zhuǎn)筒式陰極上成形銅箔。隨著電解沉積箔從電解液中生成，將其連續(xù)地從轉(zhuǎn)筒式陰極上取下，以便可以連續(xù)地生產(chǎn)電解沉積箔。
眾所周知，在這種技術(shù)中有幾個(gè)影響成形高質(zhì)量和均勻厚度的沉積箔的重要因素。例如，保持轉(zhuǎn)筒式陰極和陽(yáng)極之間的均勻準(zhǔn)確的間隙是生產(chǎn)箔的關(guān)鍵。在這方面，如果陽(yáng)極和陰極間的距離從一個(gè)區(qū)域到另一個(gè)區(qū)域是有變化的，則具有較大距離的區(qū)域上的陰極電流密度就會(huì)減弱，這就會(huì)使沉積在這個(gè)區(qū)域上的金屬減少。
在某些情況下，為了使生產(chǎn)出的箔具有所希望的特性，作為一種設(shè)計(jì)選擇會(huì)有意地改變極間間隙。例如，在授予Parthasarathi的第4，692，221號(hào)美國(guó)專(zhuān)利中，公開(kāi)了一種具有極間間隙不同的電鍍區(qū)域的設(shè)備，它用于在剛剛生產(chǎn)出的箔上形成枝晶體。為了實(shí)現(xiàn)類(lèi)似的效果(即，在原地對(duì)金屬箔進(jìn)行表面處理)，在授予Luce等人的第4，898，647號(hào)美國(guó)專(zhuān)利中，公開(kāi)了一種具有第一和第二陽(yáng)極及大體均勻的極間間隙的設(shè)備。第一和第二陽(yáng)極限定了第一和第二區(qū)域，其中第二區(qū)域中的電流密度比第一區(qū)域中的高，以便在箔上形成球狀晶粒。對(duì)于上述兩種設(shè)備以及其它電解成形設(shè)備來(lái)說(shuō)，重要的是要保持所設(shè)計(jì)的極間間隙均勻和恒定。
利用不溶解的陽(yáng)極來(lái)保持陽(yáng)極和陰極間的均勻間隙是容易的，而用可溶解的陽(yáng)極則難于做到這一點(diǎn)，因?yàn)榭扇芙獾年?yáng)極會(huì)發(fā)生不均勻的溶解。在電解成形金屬箔時(shí)，廣泛采用鉛制陽(yáng)極，但是盡管通常將鉛制陽(yáng)極視為是不溶解的陽(yáng)極，但是它們既不是真的不溶解，也不是永久不變的。在這方面，在陽(yáng)極的使用過(guò)程中，在陽(yáng)極表面上生成二氧化鉛，而且氧從二氧化鉛表面(而不是鉛表面)析出。經(jīng)過(guò)連續(xù)的使用，二氧化鉛被溶解并會(huì)剝落，由此增大了陽(yáng)極和陰極之間的間隙，并需要增高電壓以維持給定的電流密度或維持整個(gè)浸沒(méi)面積上的總電流。
有關(guān)鉛制陽(yáng)極的另一個(gè)問(wèn)題是它們使用壽命完結(jié)之后的處置。鉛及鉛的副產(chǎn)品的正當(dāng)處置是一個(gè)非常費(fèi)時(shí)和費(fèi)錢(qián)的過(guò)程。因此，為了維持均勻的極間間隙，就希望使用一種既不與電解液反應(yīng)又最好是不產(chǎn)生與鉛制陽(yáng)極有關(guān)的處置問(wèn)題的陽(yáng)極材料。
有幾種金屬，如鈦、不銹鋼、鉻、鈮、鉭或它們的合金，一般是不與電解液反應(yīng)的，而且具有所需的尺寸穩(wěn)定性。然而，與鉛相比，這些材料的導(dǎo)電性較差，而且至今所知的陽(yáng)極設(shè)計(jì)并不使用這些材料。在這方面，至今所知的陽(yáng)極設(shè)計(jì)僅僅夸大了這些金屬的較差的導(dǎo)電性，而且其中許多陽(yáng)極一般都設(shè)計(jì)成細(xì)長(zhǎng)的棒形，它具有平的或曲線形的輪廓。如果采用上述金屬制成這種陽(yáng)極，則沿著棒上面對(duì)陰極的表面的電流分布將會(huì)比鉛要差。
本發(fā)明通過(guò)提供一種陽(yáng)極設(shè)計(jì)來(lái)克服在電解沉積金屬的設(shè)備中維持準(zhǔn)確均勻的極間間隙的問(wèn)題，這種陽(yáng)極設(shè)計(jì)能夠采用不與電解液反應(yīng)的尺寸穩(wěn)定的金屬并且能克服這些金屬導(dǎo)電性較差的問(wèn)題，由此提供具有和維持特別精確和均勻的極間間隙以及具有更長(zhǎng)的陽(yáng)極使用壽命的電解成形設(shè)備。
根據(jù)本發(fā)明，提供了一種電解沉積金屬的設(shè)備，它包括一個(gè)陽(yáng)極組件和一個(gè)具有一個(gè)電鍍表面的可動(dòng)陰極。陽(yáng)極組件和陰極間隔一預(yù)定距離，以便在其間限定一極間間隙。陽(yáng)極組件由一個(gè)陽(yáng)極支架和多個(gè)厚度基本均勻的可變形的金屬陽(yáng)極組成，該陽(yáng)極支架具有面對(duì)陰極的呈預(yù)定輪廓的不導(dǎo)電表面。陽(yáng)極的輪廓基本上與支架的不導(dǎo)電表面相一致。將可變形的陽(yáng)極固定到所述支架上，使陽(yáng)極變形到與支架上不導(dǎo)電表面配接并吻合于該不導(dǎo)電表面的預(yù)定輪廓。還提供了將陽(yáng)極連到電源上的裝置。
根據(jù)本發(fā)明的另一方面，提供了一種生產(chǎn)金屬箔的設(shè)備，它包括一個(gè)具有外電鍍表面的筒形陰極，筒形陰極可繞一基本水平的軸線旋轉(zhuǎn)。一個(gè)具有不導(dǎo)電材料的半圓柱表面的陽(yáng)極支架面對(duì)筒形陰極設(shè)置。支架與筒形陰極的電鍍表面相隔開(kāi)，以便在其間限定一基本均勻的間隙。多個(gè)薄的基本可變形的鈦陽(yáng)極裝在陽(yáng)極支架的不導(dǎo)電表面上，使陽(yáng)極與該表面輪廓相吻合。每個(gè)陽(yáng)極都可單獨(dú)連接到各自的電源上。在兩陽(yáng)極之間形成一個(gè)入口，用于迫使電解液經(jīng)此入口進(jìn)到筒形陰極和陽(yáng)極之間限定的間隙中。
根據(jù)本發(fā)明的再一方面，提供了一種電解沉積金屬的設(shè)備，它包括一個(gè)盛裝電解液的電解槽，電解液中含有要沉積的金屬離子。一個(gè)陰極至少部分地浸沒(méi)在電解液中。一個(gè)包括具有不導(dǎo)電表面的陽(yáng)極支架的陽(yáng)極組件面對(duì)陰極設(shè)置，使電解液位于其間。陽(yáng)極支架至少構(gòu)成電解槽的一部分并具有多個(gè)通向電解槽的通孔。設(shè)置了至少一個(gè)柔性的、基本扁平的金屬陽(yáng)極它具有從其一側(cè)伸出的連接裝置。該連接裝置可連到電源上，它與陽(yáng)極支架中的通孔對(duì)齊并穿過(guò)該通孔。還提供了可將陽(yáng)極固定到支架上的緊固裝置，它可使陽(yáng)極變形使之與支架上不導(dǎo)電表面的輪廓相吻合。
根據(jù)本發(fā)明的又一方面，提供了一種結(jié)合于一個(gè)圓柱形筒使用的陽(yáng)極組件。該筒可繞一基本水平的軸線旋轉(zhuǎn)，以便在一個(gè)表面上電解沉積金屬。陽(yáng)極組件包括一個(gè)陽(yáng)極支架，支架具有面對(duì)所述筒的半圓柱形不導(dǎo)電表面。支架設(shè)置在筒的下面并距之有一預(yù)定距離，以便在筒和不導(dǎo)電表面之間形成一環(huán)形間隙。多個(gè)細(xì)長(zhǎng)的基本為矩形的陽(yáng)極板圍繞著筒的周邊完全設(shè)置在所述間隙中。陽(yáng)極板的長(zhǎng)度方向基本上平行于筒的軸線。提供了將陽(yáng)極板固定到陽(yáng)極支架的不導(dǎo)電表面上的安裝裝置。連接裝置將陽(yáng)極板與電源相連。
根據(jù)本發(fā)明的另一方面，提供了一種結(jié)合于一個(gè)圓柱形筒使用的陽(yáng)極。該筒可繞一基本水平的軸線旋轉(zhuǎn)，以便在一個(gè)表面上電解沉積金屬。陽(yáng)極是基本細(xì)長(zhǎng)的薄金屬板，其長(zhǎng)度與筒的長(zhǎng)度相對(duì)應(yīng)，寬度等于筒上預(yù)定的周邊部分，它還具有使它能進(jìn)行有限變形的厚度。陽(yáng)極成形為使它的一側(cè)到另一側(cè)的曲率半徑大于筒的曲率半徑。多個(gè)安裝銷(xiāo)從陽(yáng)極板的一側(cè)伸出，用于將陽(yáng)極板安裝在筒的附近。
本發(fā)明的一個(gè)目的是提供一種將金屬電解沉積在一個(gè)表面上的設(shè)備。
本發(fā)明的另一目的是提供一種如上限定的設(shè)備，它可有利地用于電解成形金屬箔或在現(xiàn)存的金屬上電解沉積金屬。
本發(fā)明的再一目的是提供一種如上限定的設(shè)備，它具有一個(gè)轉(zhuǎn)筒和一個(gè)圍繞轉(zhuǎn)筒周邊設(shè)置的陽(yáng)極組件，其中轉(zhuǎn)筒和陽(yáng)極組件之間的間隙極其準(zhǔn)確和均勻，即使長(zhǎng)期使用后也保持均勻。
本發(fā)明的另一目的是提供一種如上限定的設(shè)備，它有多個(gè)陽(yáng)極，每個(gè)陽(yáng)極單獨(dú)與分開(kāi)的電源相連。
本發(fā)明的又一目的是提供一種如上限定的設(shè)備，它包括一個(gè)陽(yáng)極組件，該陽(yáng)極組件由多個(gè)薄的可變形的金屬板組成，金屬板的形狀與其支承表面的形狀相一致。
本發(fā)明的另一目的是提供一種用于電解沉積金屬的尺寸穩(wěn)定的陽(yáng)極(DSA)。
本發(fā)明的再一目的是提供一種如上限定的陽(yáng)極，這種陽(yáng)極的尺寸穩(wěn)定，具有更長(zhǎng)的工作壽命，只需較少的維護(hù)。
本發(fā)明的又一目的是提供一種如上限定的陽(yáng)極，它不與電解液反應(yīng)。
本發(fā)明的進(jìn)一步的目的是提供一種如上限定的陽(yáng)極，它由鈦或其它不反應(yīng)的金屬材料制成，當(dāng)將它連接到電源上時(shí)，它能提供充足的電流密度。
本發(fā)明的另一目的是提供一種電解沉積金屬的設(shè)備，它能更大程度地控制和監(jiān)測(cè)極間間隙中的電解液。
本發(fā)明的另一目的是提供一種陽(yáng)極設(shè)計(jì)，它能利用那些環(huán)境污染程度比鉛小的金屬。
本發(fā)明的這些和其它目的及優(yōu)點(diǎn)可從下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的一個(gè)最佳實(shí)施例的說(shuō)明中更清楚地看到。
下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的一個(gè)最佳實(shí)施例進(jìn)行說(shuō)明。


圖1是作為本發(fā)明的一個(gè)最佳實(shí)施例的電解成形銅箔的設(shè)備的一個(gè)端部的局部剖視平面圖;
圖2是圖1所示設(shè)備的部分放大剖視圖，示出了表示本發(fā)明另一方面的陰極-陽(yáng)極電解槽;
圖3是用于圖1所示設(shè)備中的一個(gè)陽(yáng)極片的放大平面圖;
圖4是構(gòu)成用于圖1所示設(shè)備中的陽(yáng)極板的兩個(gè)陽(yáng)極片的平面圖;
圖5A和圖5B是剖面圖，以夸大的方式示出了陽(yáng)極片在圖1所示設(shè)備中的安裝方式;
圖6是沿圖2中的線6-6所看到的視圖;
圖7是沿圖2中的線7-7所截取的放大剖面圖;
圖8和圖9是放大剖面圖，表示了一個(gè)陽(yáng)極片在設(shè)備上的安裝方式;
圖10是安裝在一個(gè)陽(yáng)極片上的電接頭的放大剖視圖;
圖11是電解液供給管的放大剖視圖;
圖12是電解液溢流槽的放大剖視圖。
現(xiàn)在參見(jiàn)附圖，其中所作的圖示僅僅是為了表示本發(fā)明的一個(gè)最佳實(shí)施例，絕非是要限制本發(fā)明。圖1表示了一個(gè)用于電解成形金屬箔的電解成形設(shè)備10，它作為本發(fā)明的一個(gè)最佳實(shí)施例。本發(fā)明特別適用于成形銅箔，下面就結(jié)合成形銅箔進(jìn)行描述，當(dāng)然也應(yīng)理解，本發(fā)明也可用來(lái)成形其它金屬箔或者在現(xiàn)存的金屬表面上電解沉積金屬。
一般地說(shuō)，電解成形設(shè)備10包括一個(gè)筒形陰極12和一個(gè)陽(yáng)極組件14。陽(yáng)極組件14包括一個(gè)陽(yáng)極支架16和多個(gè)固定在支架上的陽(yáng)極18。陽(yáng)極組件14設(shè)置在筒形陰極12的下面并距之有一定距離，陽(yáng)極18的周邊以一個(gè)均勻的距離靠近筒形陰極12，以使在其間限定一環(huán)形空間或間隙20。一個(gè)電解液供給導(dǎo)管22設(shè)置在陽(yáng)極組件14的最下部，用于將電解液供到間隙20中。根據(jù)本發(fā)明，非常重要的一點(diǎn)是，陽(yáng)極組件能限制住間隙20中的電解液。換句話說(shuō)，除了將陽(yáng)極18支承和定位在筒形陰極12附近以外，陽(yáng)極組件14實(shí)質(zhì)上還作為盛裝電解液的槽。為此，陽(yáng)極組件14的尺寸設(shè)計(jì)成讓筒形陰極12的大約一半浸入間隙20中的電解液。設(shè)置了一個(gè)殼體24(如圖1中虛線所示)用來(lái)作筒形陰極12、陽(yáng)極組件14以及電解成形設(shè)備10的其它部件的安裝臺(tái)。殼體24支承一個(gè)卷繞輥26和一個(gè)中間張緊輥28，由電解成形設(shè)備10生產(chǎn)出的電解成形金屬箔就卷繞在卷繞輥26上。一個(gè)配電網(wǎng)30裝在殼體24中，用于向筒形陰極12和陽(yáng)極組件14供電，其供電方式下面將詳細(xì)說(shuō)明。
筒形陰極12大體為圓柱形并用適當(dāng)?shù)某Ｒ?guī)方法安裝在殼體24上，以便繞一大體水平的軸轉(zhuǎn)動(dòng)。在所示的實(shí)施例中，筒形陰極12可在軸32上轉(zhuǎn)動(dòng)，軸32的兩端由架座34(如圖1和圖2中虛線所示)支承，架座34固定到殼體24的一個(gè)水平面上。筒形陰極12可由任何適宜的導(dǎo)電金屬或合金制成，其中包括鉛、不銹鋼、鈮、鉭、鈦或它們的合金。根據(jù)本發(fā)明，筒形陰極12最好是不銹鋼筒，它具有拋光的電鍍表面36，該電鍍表面可以由鈦、鉻、鈮、鉭或它們的合金形成。筒形陰極12可由本領(lǐng)域中已知的任何適宜的馬達(dá)驅(qū)動(dòng)裝置(未示出)帶著旋轉(zhuǎn)。筒形陰極12最好以這樣一個(gè)圓周速度旋轉(zhuǎn)，即允許電鍍表面能與間隙20中的電解液保持足夠長(zhǎng)時(shí)間的接觸，以便形成所希望的金屬箔的厚度。
如圖7所示，一個(gè)密封結(jié)構(gòu)40設(shè)置在筒形陰極12的端部。密封結(jié)構(gòu)40大體由位于圓環(huán)44和46之間的密封件42構(gòu)成。密封件42具有一個(gè)限制在環(huán)44和46之間的大致矩形的部分48，和一個(gè)延伸出筒形陰極12的電鍍表面36的外伸臂50。外環(huán)44由常規(guī)的緊固裝置緊固到內(nèi)環(huán)46上，以便在其間支承和限制密封件42。內(nèi)環(huán)46由已知的常規(guī)緊固裝置緊固到筒形陰極12的端板52上。
現(xiàn)在參見(jiàn)圖2，如上所述，陽(yáng)極組件14由陽(yáng)極支架16和多個(gè)細(xì)長(zhǎng)的、大致為矩形的陽(yáng)極18構(gòu)成。陽(yáng)極支架16大致為半圓柱形的槽，其尺寸足以接納筒形陰極12。在這方面，陽(yáng)極支架16實(shí)際上由兩個(gè)支架段16A和16B組成。支架段16A和16B基本上呈鏡面對(duì)稱(chēng)，因此下面僅對(duì)一個(gè)支架段進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明，而這種說(shuō)明同樣適用于另一支架段。由圖2清楚可見(jiàn)，支架段16A大體上由一個(gè)弧形的結(jié)構(gòu)板54和多個(gè)固定于其上的加強(qiáng)肋56構(gòu)成。板54的曲率半徑最好與筒形陰極12的電鍍表面36的曲率半徑大體相同。加強(qiáng)肋56由板54徑向向外伸出，并在縱向上從支架段16A的一端延伸到另一端。板54具有一個(gè)上邊緣60和一個(gè)下邊緣62。一個(gè)大致矩形的槽64(由圖12清楚可見(jiàn))在靠近上邊緣60的地方從板54向外伸出。槽64固定在板54上并從陽(yáng)極支架16的一端延伸至另一端。槽64的尺寸設(shè)計(jì)成收集由間隙20溢出上邊緣60的電解液。為此，槽64具有可與電解液池(未示出)相連的排放口66，以收集溢出的電解液。陽(yáng)極支架板54的下邊緣62具有一個(gè)安裝結(jié)構(gòu)68，該安裝結(jié)構(gòu)包括多個(gè)緊固在一起的結(jié)構(gòu)件。安裝結(jié)構(gòu)68具有一個(gè)安裝凸緣70，它用于將陽(yáng)極支架16連接到電解液供給導(dǎo)管22。為了構(gòu)成一個(gè)電解槽，支架板54的每端都固定到一個(gè)大體豎直的端板72上，(如圖7清楚可見(jiàn))。如圖7所示，弧形的支架板54的端部(其端部與端板72相連)具有一個(gè)凹陷部分74，用于接收安裝在筒形陰極12每端的密封件42。這樣，陽(yáng)極支架段16A和16B的板54以及端板72一起構(gòu)成了一個(gè)半圓柱形的電解槽，如上所述，該槽的尺寸可以接納筒形陰極12。在這方面，由弧形板54和端板72構(gòu)成的槽相對(duì)于筒形陰極12的軸線大體是對(duì)稱(chēng)的。
根據(jù)本發(fā)明，弧形支架板54具有多個(gè)細(xì)長(zhǎng)槽76(見(jiàn)圖8)，它們大致從板54的一端延伸到另一端。槽76用于將陽(yáng)極18安裝到支架16上，它們?cè)O(shè)置在板54中，基本上沿平行于筒形陰極12軸線的方向延伸。在這方面，槽76彼此平行并且在支架板54的上邊緣60和下邊緣62之間最好是等間隔地分布。
至今所述的構(gòu)成陽(yáng)極支架16的部件都最好由金屬制成，并最好緊固成一個(gè)整體結(jié)構(gòu)。在所示的實(shí)施例中，各個(gè)部件都由熱軋鋼板制成并由常規(guī)的焊接技術(shù)焊接起來(lái)。
根據(jù)本發(fā)明，金屬陽(yáng)極支架結(jié)構(gòu)的整個(gè)外表面由一堅(jiān)硬的、不導(dǎo)電材料的覆蓋層80覆蓋。在所示的實(shí)施例中，覆蓋層80由厚度為1/8至3/16英寸的半硬化橡膠(硬度為90-97)構(gòu)成?？梢岳斫猓@種橡膠覆蓋的目的是防止焊接成的鋼支架與酸性電解液接觸。
重要的是，位于陽(yáng)極支架16的內(nèi)凹面?zhèn)?也即位于陽(yáng)極支架16面對(duì)筒形陰極12的一側(cè))的覆蓋層80最好被加工成用于安裝陽(yáng)極的光滑的圓柱形安裝表面82。在這方面，位于陽(yáng)極支架16內(nèi)側(cè)的覆蓋層80最好由繞筒形陰極12的軸線旋轉(zhuǎn)的刀具(未示出)加工，以提供盡可能真實(shí)和準(zhǔn)確的圓柱形安裝表面82。通過(guò)以這種方式加工安裝表面82，在安裝表面82和筒形陰極12的電鍍表面36之間限定的環(huán)形間隙就變?yōu)闃O其準(zhǔn)確和均勻。
在陽(yáng)極支架16上安裝了多個(gè)細(xì)長(zhǎng)的、大致為矩形的陽(yáng)極18。如圖8-10所示，陽(yáng)極18大體由陽(yáng)極板90構(gòu)成，陽(yáng)極板90具有多個(gè)固定到其一側(cè)的、對(duì)齊的、間隔開(kāi)的安裝銷(xiāo)92。安裝銷(xiāo)92沿板90對(duì)齊并設(shè)置在板90上，以便插到陽(yáng)極支架16中的槽76內(nèi)。
陽(yáng)極板90是由導(dǎo)向材料制成的矩形薄板，它具有直的縱端96和側(cè)邊98，如圖3和圖4所示。在所示的實(shí)施例中，陽(yáng)極板90由兩個(gè)對(duì)齊的陽(yáng)極片100和102構(gòu)成，兩陽(yáng)極片沿一條接合線104拼接。陽(yáng)極板90最好制成為一個(gè)整體件，但也可做成分片式(如圖所示)，以便于成形、鍍膜或根據(jù)設(shè)備10和板90自身的尺寸加以組裝。陽(yáng)極板90可由本領(lǐng)域中已知的任何適宜的導(dǎo)電材料制成，例如鉛或其合金，但是它最好由那些在電解液中真正具有尺寸穩(wěn)定性且不產(chǎn)生與鉛或其合金材料有關(guān)的環(huán)境問(wèn)題的材料制成。在這方面，陽(yáng)極板90可由鈦、鉻、鈮、鉭、鉑、不銹鋼或它們的合金制成。在所示的實(shí)施例中，陽(yáng)極板90是由鈦制成的。
根據(jù)本發(fā)明，陽(yáng)極板90側(cè)面從一側(cè)邊到另一側(cè)邊有不大的弧形。在這方面，陽(yáng)極板90側(cè)面從一側(cè)邊到另一側(cè)邊的曲率半徑稍大于陽(yáng)極支架16的安裝表面82的曲率半徑。換句話說(shuō)，如果將陽(yáng)極板90縱放在安裝表面82上，使陽(yáng)極板90基本上平行于其軸線延伸，則陽(yáng)極板90的側(cè)邊98將搭靠在安裝表面82上(如圖5A所示)。在圖5A中，為了清楚起見(jiàn)夸大了陽(yáng)極板90和安裝表面82間的曲率半徑的差異。陽(yáng)極板90具有均勻的預(yù)定厚度。在這方面，陽(yáng)極板90的曲率半徑和厚度一般與制成板90的材料的物理性質(zhì)有關(guān)。從對(duì)最佳實(shí)施例的進(jìn)一步說(shuō)明中可以理解，陽(yáng)極板90最好具有這樣的厚度，即當(dāng)它受到沿安裝銷(xiāo)92的軸線施加的力時(shí)，它可在一定范圍內(nèi)變形。
安裝銷(xiāo)92大致為圓柱形，它固定到陽(yáng)極板90的凸起側(cè)并垂直于板90延伸。安裝銷(xiāo)92由適用的導(dǎo)電材料制成并以能導(dǎo)電的方式固定在陽(yáng)極板90上。在所示的實(shí)施例中，安裝銷(xiāo)92由與陽(yáng)極板90相同的金屬材料制成，即由鈦制成，并焊接在陽(yáng)極板90上。安裝銷(xiāo)92的尺寸設(shè)計(jì)成穿過(guò)陽(yáng)極支架16中的槽76。安裝銷(xiāo)92的自由端有一螺紋部分106。
現(xiàn)參見(jiàn)圖6和圖8-10，一根由導(dǎo)電材料制成的連接棒110連接到每個(gè)陽(yáng)極18，以便將陽(yáng)極18與電源相連。連接棒110最好由銅或其合金制成。連接棒110的尺寸要使它能固定到陽(yáng)極18上并裝在陽(yáng)極支架16的槽76中。為此，連接棒110為具有大致矩形橫截面的細(xì)長(zhǎng)棒，它具有第一邊112和第二邊114，其中第一邊112與陽(yáng)極板90的凸起側(cè)導(dǎo)電接觸。為了使陽(yáng)極板90和連接棒110之間構(gòu)成良好的導(dǎo)電連接，連接棒的第一邊112最好具有一定的曲率半徑，當(dāng)陽(yáng)極板90安裝在陽(yáng)極支架16上時(shí)，該曲率半徑與陽(yáng)極板90的曲率半徑是相同的。換句話說(shuō)，第一邊112的曲率半徑基本上等于安裝表面82的曲率半徑。為了加強(qiáng)陽(yáng)極板90和連接棒110之間的電連接，連接棒110的第一邊112或陽(yáng)極板90的凸起表面可以鍍上金、銀或鉑。連接棒110具有多個(gè)孔116，孔116沿棒的長(zhǎng)度設(shè)置，以便與陽(yáng)極18上的安裝銷(xiāo)92對(duì)齊?？?16的尺寸設(shè)計(jì)成可接收安裝銷(xiāo)92，為此，孔116可以是沿第一邊112設(shè)置的錐口孔或埋頭孔，以便接納安裝銷(xiāo)92與陽(yáng)極板90的焊接區(qū)域(如圖6和7所示)。連接棒110由常規(guī)的墊圈和螺紋緊固件連接到陽(yáng)極18上，如圖9所示。
連接棒110通過(guò)一根或多根固定在連接棒110第二邊114上的電纜118與一個(gè)電源連接，如圖10所示。電纜118具有接線頭120，它由穿過(guò)接線頭120伸入螺紋孔122的常規(guī)螺紋緊固件固定在連接棒110上(如圖10所示)?？梢匝刂B接棒設(shè)置一條或多條電纜118，如圖6所示。當(dāng)多于一條的電纜118裝在連接棒110上時(shí)，電纜118最好沿連接棒110間隔設(shè)置，以便使電流在陽(yáng)極板90上均勻一致地分布。電纜118從圖1所示的配電網(wǎng)30將電力提供給連接棒110。
在所示的實(shí)施例中，配電網(wǎng)30是一個(gè)網(wǎng)格狀組件，它具有多根主匯流條124，主匯流條124由在其間延伸的匯流條(母線)交插件126連接。主匯流條124的上端連接到U形的匯流條接頭128，接頭128本身與電源(未示出)連接。配電網(wǎng)30自身的結(jié)構(gòu)對(duì)于本發(fā)明并不是關(guān)鍵所在，唯一重要的是配電網(wǎng)30要具有足夠的電量，以滿足設(shè)備10所需的電力和電力分配。
陽(yáng)極18和連接棒110由一個(gè)或多個(gè)壓板130和墊片132緊固到陽(yáng)極支架16上，如圖6和9所示。一個(gè)由覆蓋陽(yáng)極支架16的材料制成的隆起墊134沿著陽(yáng)極支架16中的槽76的側(cè)壁成形。每個(gè)墊片132大致為薄的金屬板，其尺寸設(shè)計(jì)成可壓在墊134上，并且它具有一個(gè)尺寸與支架16中的槽76相對(duì)應(yīng)的細(xì)孔136，以便讓連接棒110從中穿過(guò)。在所示的實(shí)施例中，各壓板130大體為U形且具有不同的長(zhǎng)度，其上具有一或多個(gè)孔138，以便讓一或多個(gè)安裝銷(xiāo)92從中穿過(guò)。在安裝銷(xiāo)92的螺紋部分106上設(shè)置常規(guī)的螺紋緊固件和墊圈，以便將陽(yáng)極18固定到陽(yáng)極支架16上，如圖9所示。在這方面，由于陽(yáng)極板90的曲率半徑大于安裝表面82的曲率半徑，所以擰緊安裝銷(xiāo)92的螺紋部分106上的緊固件就會(huì)導(dǎo)致陽(yáng)極板90變形，使它與安裝表面82的輪廓基本吻合。為了確保陽(yáng)極板90和安裝表面82之間的流體密封，板90的下側(cè)最好覆蓋一層密封材料。在所示的實(shí)施例中，是使用了薄的(約為1/32英寸)均勻的純硅酮粘結(jié)劑層。
重要的是，由于每塊陽(yáng)極板90具有均勻的預(yù)定厚度，所以當(dāng)它裝在安裝表面82上時(shí)，陽(yáng)極18就和筒形陰極12的電鍍表面36一起限定了一個(gè)具有已知尺寸的極其精確的環(huán)形極間間隙20。根據(jù)本發(fā)明，陽(yáng)極18的尺寸最好設(shè)計(jì)成基本上覆蓋住陽(yáng)極支架16的安裝表面82。重要的是，相鄰陽(yáng)極板90的側(cè)邊98相互接近，但彼此并不接觸。在這方面，在相鄰陽(yáng)極板90的側(cè)邊98之間留有一個(gè)小間隙142，如圖2和6所示。如上所述，陽(yáng)極支架16中的槽76對(duì)齊并平行于筒形陰極12的軸線延伸。因此，陽(yáng)極板90大體上平行于筒形陰極12的軸線對(duì)齊。
現(xiàn)在參見(jiàn)圖11，其中示出了電解液供給導(dǎo)管22。導(dǎo)管22大體由管道組件146和噴嘴148組成。噴嘴148具有并排傾斜的板150和152，板150和152設(shè)置在陽(yáng)極支架段16A和16B之間，且它們最好由鈦這樣的不腐蝕的材料制成。板150和152限定了一個(gè)楔形空腔154，其上端具有一個(gè)與極間間隙20連通的入口156。入口156大致延伸到筒形陰極12的整個(gè)長(zhǎng)度。
管道組件146大體包括一個(gè)管件158，管件158具有矩形橫截面并在安裝法蘭160和162間延伸。沿著管件158成對(duì)地設(shè)置有加強(qiáng)板164和166，以便給管件158提供結(jié)構(gòu)支承。第一安裝法蘭160利用常規(guī)的緊固裝置固定在陽(yáng)極支架16的凸緣70上。第二安裝法蘭162連接到一根電解液供給管(由圖11中虛線所示)，該電解液供給管又可連到電解液池和泵(未示出)，該泵可將電解液泵入環(huán)形極間間隙20中。
現(xiàn)在來(lái)說(shuō)明設(shè)備10的操作情況。每個(gè)陽(yáng)極18通過(guò)配電網(wǎng)30連到電源上，任何已知的適宜的電源都可被采用。如上所述，在所示的實(shí)施例中，陽(yáng)極18由導(dǎo)電性較差的鈦制成。本發(fā)明解決這一問(wèn)題的措施是提供其上具有多個(gè)相隔的電接點(diǎn)的薄陽(yáng)極板。陽(yáng)極上的多個(gè)電接點(diǎn)可沿陽(yáng)極板提供充足的電流分配，以克服鈦的導(dǎo)電性較差的缺陷。與此同時(shí)，由鈦的不反應(yīng)性所帶來(lái)的陽(yáng)極18的尺寸穩(wěn)定性結(jié)合由于將陽(yáng)極板90安裝在經(jīng)機(jī)加工的圓柱表面上而導(dǎo)致的陽(yáng)極板90在筒形陰極12周邊附近的準(zhǔn)確定位，就可以提供極其均勻的極間間隙20，而且即使是在長(zhǎng)期使用后也能保持這一間隙均勻。
在設(shè)備10的工作期間，電解液以受控的流量從電解液池(未示出)連續(xù)地泵送到陽(yáng)極18和轉(zhuǎn)筒形陰極12之間的極間間隙20中。隨著向陽(yáng)極18施加電流，金屬?gòu)碾娊庖褐谐练e到筒形陰極12的電鍍表面36上。電解液從電解液供給導(dǎo)管22泵入間隙20，并且當(dāng)電解液溢出陽(yáng)極支架16的上邊緣60時(shí)，由槽64收集?？刹捎帽绢I(lǐng)域中任何已知的適用方式將成形好的金屬箔從筒形陰極12上取下。例如，可以用一個(gè)刀片(未示出)從筒形陰極上剝離成形出的金屬箔，然后可將其卷繞在卷繞輥26上。
重要的是，設(shè)備10可以更高程度地監(jiān)測(cè)和控制影響金屬箔成形的因素。間隙20基本上限制在陽(yáng)極18、筒形陰極12的電鍍表面36以及設(shè)置在筒形陰極12端部的密封件42之間。在這方面，限定了一個(gè)具有已知體積的、預(yù)定的、可識(shí)別的空間。通過(guò)監(jiān)控電解液的濃度以及電解液通過(guò)間隙20的流動(dòng)，就能將金屬箔成形過(guò)程監(jiān)控到理想的金屬箔生產(chǎn)過(guò)程。具體地說(shuō)，可以按照建立在陽(yáng)極18上的電流值以及筒形陰極12的轉(zhuǎn)動(dòng)來(lái)制訂具有已知的離子濃度的電解液的預(yù)定流量。
盡管上面所述的本發(fā)明具有多個(gè)陽(yáng)極，且它們由一個(gè)公共電源供電，但是每個(gè)陽(yáng)極也可連接到各自單獨(dú)的電源上，以便沿筒形陰極12的路徑建立起不同的電流密度。例如，某些選定的陽(yáng)極可具有較極限電流密度低的基礎(chǔ)電流密度，以便在電鍍表面36上沉積出厚度均勻的較為光滑的金屬層;而同時(shí)后面的陽(yáng)極(沿筒形陰極12的方向)可由一單獨(dú)的電源施加上比極限電流密度高的第二電流，以便在前面形成的銅箔上形成球?；蛑w。由此可見(jiàn)，本發(fā)明不僅可以提高對(duì)影響金屬箔成形的參數(shù)的監(jiān)控，而且還提供了處理這種金屬箔的靈活性。
應(yīng)該懂得，盡管結(jié)合電解成形金屬箔對(duì)本發(fā)明進(jìn)行了描述，但是本發(fā)明公開(kāi)的陽(yáng)極結(jié)構(gòu)還可用于進(jìn)一步處理已成形的金屬箔-即在已成形的金屬箔上再沉積下一層金屬。
因此，雖然結(jié)合一個(gè)最佳實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作了說(shuō)明，但是對(duì)于他人來(lái)說(shuō)，在閱讀了本說(shuō)明書(shū)后及根據(jù)對(duì)發(fā)明內(nèi)容的理解，可以做出修改和變換，所有這些都將屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求
1.一種生產(chǎn)金屬箔的設(shè)備，包括用于盛裝電解液的槽，它具有一個(gè)半圓柱形內(nèi)表面，一個(gè)安裝在所述槽的內(nèi)表面上的不導(dǎo)電的襯里，一個(gè)具有一個(gè)電鍍表面的筒形陰極，它裝在所述槽中，在所述筒形陰極的電鍍表面和所述槽的襯里之間限定了一個(gè)基本均勻的間隙，多個(gè)可變形的陽(yáng)極，它們圍繞著所述筒形陰極的周邊安裝在所述間隙中，所述陽(yáng)極安裝在所述槽的不導(dǎo)電襯里上，其中所述陽(yáng)極與所述襯里的輪廓相吻合，且相對(duì)于所述筒形陰極保持一均勻距離，用于將每個(gè)陽(yáng)極連接到一個(gè)或多個(gè)獨(dú)立的電源上的裝置，用于將電解液供入所述間隙中的裝置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1的設(shè)備，其特征是所述陽(yáng)極是基本上平行于所述筒形陰極延伸的、基本為矩形的細(xì)長(zhǎng)金屬板。
3.根據(jù)權(quán)利要求2的設(shè)備，其特征是所述陽(yáng)極可在其長(zhǎng)度方向上的幾個(gè)位置與電源相連。
4.根據(jù)權(quán)利要求2的裝置，其特征是所述陽(yáng)極具有從所述板的一側(cè)伸出的安裝裝置，所述槽由一塊弧形板構(gòu)成，該弧形板具有一個(gè)或多個(gè)用于接收所述安裝裝置的通孔。
5.根據(jù)權(quán)利要求4的設(shè)備，其特征是所述安裝裝置是固定在所述陽(yáng)極板上的銷(xiāo)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1的設(shè)備，其特征是所述陽(yáng)極是基本為矩形的細(xì)長(zhǎng)金屬板，在常態(tài)下，從它的一側(cè)到另一側(cè)的曲率半徑大于所述槽的內(nèi)表面的曲率半徑。
7.根據(jù)權(quán)利要求6的設(shè)備，其特征是所述陽(yáng)極具有多個(gè)從所述板的一側(cè)伸出的安裝銷(xiāo)，所述槽由一塊弧形板構(gòu)成，該弧形板具有至少一個(gè)用于接收所述安裝銷(xiāo)的通孔。
8.根據(jù)權(quán)利要求1的設(shè)備，其特征是還包括設(shè)置在所述間隙端部的收容裝置，用于接收從所述間隙中溢出的電解液。
9.一種生產(chǎn)金屬箔的設(shè)備，包括一個(gè)具有外電鍍表面的筒形陰極，它可繞一基本水平的軸線旋轉(zhuǎn)，一個(gè)陽(yáng)極支架，它具有面對(duì)所述筒形陰極的不導(dǎo)電材料的半圓柱形表面，它與所述筒形陰極的電鍍表面間隔開(kāi)，以便在其間限定一基本均勻的間隙，多個(gè)安裝在所述支架表面上的薄的可變形的鈦陽(yáng)極，其中，所述陽(yáng)極與所述支架表面輪廓相吻合，每個(gè)陽(yáng)極都可與一個(gè)或多個(gè)獨(dú)立的電源相連接，一個(gè)形成在兩個(gè)所述陽(yáng)極之間的入口，用于迫使電解液通過(guò)所述入口進(jìn)入所述間隙的裝置。
10.根據(jù)權(quán)利要求9的設(shè)備，其特征是所述陽(yáng)極的一部分穿過(guò)所述陽(yáng)極支架，所述部分可與所述電源相連。
11.根據(jù)權(quán)利要求10的設(shè)備，其特征是所述陽(yáng)極支架基本上由一弧形金屬板構(gòu)成，該金屬板由不導(dǎo)電材料覆蓋，所述陽(yáng)極具有穿過(guò)所述陽(yáng)極支架的安裝銷(xiāo)。
12.根據(jù)權(quán)利要求9的設(shè)備，其特征是還包括用于接收從所述間隙溢出的電解液的溢流裝置。
13.根據(jù)權(quán)利要求9的設(shè)備，其特征是所述陽(yáng)極是基本上平行于所述筒形陰極縱向延伸的基本為矩形的薄板，每塊所述板可在板長(zhǎng)度方向上的幾個(gè)位置與一個(gè)電源相連。
14.根據(jù)權(quán)利要求13的設(shè)備，其特征是所述板在常態(tài)下從其一側(cè)到另一側(cè)的曲率半徑大于所述陽(yáng)極支架的半圓柱形表面的曲率半徑。
15.根據(jù)權(quán)利要求9的設(shè)備，其特征是所述陽(yáng)極支架基本是一個(gè)成形為半圓柱形的扁平金屬板，其外面覆蓋著基本均勻的不導(dǎo)電的襯里。
16.一種電解沉積金屬的設(shè)備，包括一個(gè)陽(yáng)極和一個(gè)具有一個(gè)電鍍表面的可動(dòng)陰極，所述陽(yáng)極和陰極間隔開(kāi)并在其間限定一個(gè)極間間隙，所述陽(yáng)極包括一個(gè)陽(yáng)極支架，它具有面對(duì)所述陰極的具有預(yù)定輪廓的不導(dǎo)電表面，多個(gè)厚度基本均勻的可變形的金屬件，所述金屬件具有基本上與所述陽(yáng)極支架表面的輪廓相吻合的形狀，用于將所述金屬件連到電源上的裝置，用于將所述金屬件固定到所述陽(yáng)極支架上的裝置，其中所述金屬件被拉到與所述不導(dǎo)電表面配接并與其預(yù)定輪廓相吻合。
17.根據(jù)權(quán)利要求16的設(shè)備，其特征是所述陰極是一個(gè)圓柱形筒，它可繞一基本水平軸線旋轉(zhuǎn)，所述陽(yáng)極支架呈半圓柱形并基本上與所述陰極的形狀相吻合，所述金屬件是基本上平行于所述陰極軸線的對(duì)齊的基本為矩形的細(xì)長(zhǎng)板。
18.根據(jù)權(quán)利要求17的設(shè)備，其特征是所述用于將所述金屬件固定到所述支架上的裝置由所述金屬件的一側(cè)延伸穿過(guò)所述陽(yáng)極支架的螺紋桿構(gòu)成。
19.根據(jù)權(quán)利要求16的設(shè)備，其特征是所述陽(yáng)極支架基本上是成形為半圓柱形的扁平金屬板，它的外面具有厚度基本均勻的不導(dǎo)電的襯里。
20.根據(jù)權(quán)利要求16的設(shè)備，其特征是所述金屬件是由下列一種金屬制成的鈦、鉑、鉻、鉭、鈮、不銹鋼或它們的合金，所述金屬件具有一個(gè)或多個(gè)從其一側(cè)伸出的安裝銷(xiāo)，所述陽(yáng)極支架具有多個(gè)用于接收所述安裝銷(xiāo)的通孔。
21.一種電解沉積金屬的設(shè)備，包括一個(gè)裝有電解液的電解槽，電解液中含有要沉積的金屬離子，一個(gè)至少部分地浸沒(méi)在所述電解液中的陰極，一個(gè)陽(yáng)極，它包括一個(gè)陽(yáng)極支架，它具有一個(gè)面對(duì)所述陰極和電解液的不導(dǎo)電表面，并且至少構(gòu)成所述電解槽的一部分，所述支架具有多個(gè)延伸到所述電解槽中的孔，至少一個(gè)可變形的基本扁平的金屬陽(yáng)極，它具有從其一側(cè)伸出的連接裝置，所述連接裝置可與電源相連，并與所述孔對(duì)齊以便穿過(guò)該孔，緊固裝置，它可將所述陽(yáng)極固定到所述支架上，其中所述陽(yáng)極與所述不導(dǎo)電表面的輪廓一致。
22.根據(jù)權(quán)利要求21的設(shè)備，其特征是所述陰極是一個(gè)可繞一基本水平的軸線旋轉(zhuǎn)的筒，而所述陽(yáng)極支架是一個(gè)半圓柱形的槽，所述筒和槽之間限定了一個(gè)環(huán)形間隙。
23.根據(jù)權(quán)利要求22的設(shè)備，其特征是還包括用加壓將電解液供入所述間隙的裝置。
24.根據(jù)權(quán)利要求23的設(shè)備，其特征是所述設(shè)備還包括將所述電解液限制在所述間隙中的裝置。
25.根據(jù)權(quán)利要求24的設(shè)備，其特征是所述限制電解液的裝置由設(shè)置在所述筒端部的環(huán)形密封件構(gòu)成，所述密封件與所述陽(yáng)極支架密封接觸。
26.根據(jù)權(quán)利要求21的設(shè)備，其特征是所述陽(yáng)極由下列一種金屬制成鈦、鉑、鉻、鉭、鈮、不銹鋼或它們的合金。
27.根據(jù)權(quán)利要求21的設(shè)備，其特征是所述連接裝置是固定在所述陽(yáng)極上的銷(xiāo)，所述銷(xiāo)穿過(guò)所述陽(yáng)極支架中的孔。
28.一種陽(yáng)極組件，它與一個(gè)圓柱形筒結(jié)合使用，該筒可繞一基本水平的軸線旋轉(zhuǎn)，以便在一個(gè)表面上電解沉積金屬，所述陽(yáng)極組件包括一個(gè)陽(yáng)極支架，它具有面對(duì)所述筒的半圓柱形不導(dǎo)電表面，所述支架設(shè)置在所述筒下面距之有預(yù)定距離的地方，以便在所述筒和所述不導(dǎo)電表面之間形成一環(huán)形間隙，多個(gè)細(xì)長(zhǎng)的基本為矩形的陽(yáng)極板，它們圍繞著所述筒的周邊完全設(shè)置在所述間隙中，所述陽(yáng)極板的長(zhǎng)度方向基本上平行于所述筒的軸線，用于將所述陽(yáng)極板固定到所述陽(yáng)極支架的不導(dǎo)電表面上的安裝裝置，用于將所述陽(yáng)極板連到電源上的連接裝置。
29.根據(jù)權(quán)利要求28的陽(yáng)極組件，其特征是所述陽(yáng)極板的長(zhǎng)度基本上等于所述筒的長(zhǎng)度且具有預(yù)定的厚度，其中所述陽(yáng)極板是可輕微變形的，其一側(cè)到另一側(cè)的曲率半徑稍大于所述不導(dǎo)電表面的曲率半徑，所述連接裝置使所述陽(yáng)極板變形并使它與所述不導(dǎo)電表面的曲率相一致。
30.根據(jù)權(quán)利要求29的陽(yáng)極組件，其特征是所述安裝裝置包括一個(gè)或多個(gè)從所述陽(yáng)極板伸出并穿過(guò)所述不導(dǎo)電表面的銷(xiāo)，和能將所述陽(yáng)極板拉到與所述不導(dǎo)電表面配接并吻合的緊固裝置。
31.根據(jù)權(quán)利要求28的陽(yáng)極組件，其特征是所述陽(yáng)極支架具有多個(gè)連通到所述間隙的通孔，所述陽(yáng)極板具有多個(gè)從其一側(cè)伸出的安裝銷(xiāo)，所述安裝銷(xiāo)與所述通孔對(duì)齊并穿過(guò)所述通孔，所述安裝裝置可以液密的方式將所述陽(yáng)極板安裝到所述不導(dǎo)電表面上，其中電解液可保持在所述間隙中。
32.根據(jù)權(quán)利要求31的陽(yáng)極組件，其特征是所述安裝銷(xiāo)可與電源相連。
33.根據(jù)權(quán)利要求28的陽(yáng)極組件，其特征是所述陽(yáng)極板上從其一側(cè)到另一側(cè)的曲率半徑大于所述陽(yáng)極支架上不導(dǎo)電表面的曲率半徑，所述陽(yáng)極板具有一定的厚度，以允許該板進(jìn)行有限的變形，所述安裝裝置能使所述陽(yáng)極板變形，使陽(yáng)極板與所述不導(dǎo)電表面的曲率半徑相一致。
34.根據(jù)權(quán)利要求33的陽(yáng)極組件，其特征是所述安裝裝置包括一個(gè)或多個(gè)從所述陽(yáng)極板伸出并穿過(guò)所述不導(dǎo)電表面的銷(xiāo)，和能將所述陽(yáng)極板拉到與所述不導(dǎo)電表面配接并吻合的緊固裝置。
35.一種陽(yáng)極，它和一個(gè)圓柱形筒結(jié)合使用，該筒可繞一基本水平的軸線旋轉(zhuǎn)，以便在一個(gè)表面上電解沉積金屬，所述陽(yáng)極包括一個(gè)基本細(xì)長(zhǎng)的薄金屬板，它的長(zhǎng)度與所述筒的長(zhǎng)度相對(duì)應(yīng)，寬度等于所述筒上預(yù)定的圓周部分，它還具有允許它進(jìn)行有限的變形的厚度，所述陽(yáng)極成形為使它的一側(cè)到另一側(cè)的曲率半徑大于所述筒的曲率半徑，多個(gè)從所述金屬板一側(cè)伸出的安裝銷(xiāo)。
36.根據(jù)權(quán)利要求35的陽(yáng)極，其特征是所述金屬板是由下列一種金屬制成的鈦、鉑、鉻、鉭、鈮、不銹鋼或它們的合金。
全文摘要
一種電解沉積金屬的設(shè)備，包括一個(gè)陽(yáng)極組件和一個(gè)具有電鍍表面的可動(dòng)陰極。陽(yáng)極組件和陰極間隔預(yù)定距離，其間限定一極間間隙。陽(yáng)極組件由一個(gè)支架和多個(gè)厚度均勻的可變形的金屬陽(yáng)極構(gòu)成，支架具有面對(duì)陰極的呈預(yù)定輪廓的不導(dǎo)電表面。陽(yáng)極的輪廓基本與不導(dǎo)電表面一致。將陽(yáng)極固定到支架上，使陽(yáng)極變形到與不導(dǎo)電表面配接并吻合于不導(dǎo)電表面的預(yù)定輪廓。還提供了將陽(yáng)極連到電源上的裝置。
文檔編號(hào)H05K1/09GK1061248SQ9110838
公開(kāi)日1992年5月20日 申請(qǐng)日期1991年10月30日 優(yōu)先權(quán)日1990年10月30日
發(fā)明者羅伯特·德·戴維特, 亞當(dāng)·吉·貝, 蒂博·帕垃戴 申請(qǐng)人:古德?tīng)栍邢薰?br>