專利名稱：有機電致發(fā)光元件及其制造方法和有機電致發(fā)光顯示裝置的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及有機電致發(fā)光(EL)元件的制造方法、有機EL元件和有機EL顯示裝置。
有機EL元件是一種發(fā)光元件，其構成是由陰極和陽極夾持一層含有熒光性有機化合物的薄膜，通過向上述薄膜中注入電子和空穴(hole)并使它們復合而產(chǎn)生激子(exciton)，利用這種激子失去活性時放出的光(熒光或磷光)而發(fā)光。
這種有機EL元件的特征是在10V以下的低電壓就可以產(chǎn)生100～100000cd/m2左右高亮度的表面發(fā)光，而且通過選擇不同種類的熒光物質，可以產(chǎn)生由藍色至紅色的不同顏色的光。
有機EL元件作為一種能夠實現(xiàn)廉價的大面積全色顯示元件的裝置而引人注目(電子情報通信學會技術報告，第89卷，No.106,49頁，1989年)。根據(jù)該報告，使用一種能夠發(fā)出強熒光的有機發(fā)光材料作為發(fā)光層，可以發(fā)出藍、綠、紅的明亮的光。該報告認為，使用一種能以薄膜狀發(fā)出強熒光，而且針孔缺陷少的有機色素，就能實現(xiàn)高亮度的全色顯示。
另外，特開平5-78655號公報提出，將發(fā)光材料設計成一種由有機荷電材料和有機發(fā)光材料的混合物構成的有機發(fā)光層，即可以防止?jié)舛肉?，從而可以獲得高亮度的全色元件，并且可以擴大發(fā)光材料的可選擇范圍。
另外，應用物理通信(Appl.Phys.Lett.),64(1994),P.815報導，使用聚乙烯咔唑(PVK)作為發(fā)光材料，向其中摻雜相當于3原色RGB的色素，即可以獲得白色的發(fā)光。然而，在上述任一種情況下都沒有示出一種實際的全色顯示屏的構成及其制造方法。
為了實現(xiàn)全色的顯示裝置，使用上述有機發(fā)光材料的有機薄膜EL元件必須在其每一個象素中配置能夠發(fā)出3原色光的各個有機發(fā)光層?？墒牵糜谛纬捎袡C發(fā)光層的聚合物或其前體不能耐受在光刻法等圖案形成工序中的條件，很難進行高精度的圖案形成，這是存在的問題。
另外，在利用真空淀積法來形成數(shù)層有機層的情況下，需要花費較長的時間，因此不能說是一種高效的元件制造方法。
本發(fā)明的目的是提供一種有機EL元件的制造方法、有機EL元件和有機EL顯示裝置，該方法可以簡便地進行高精度的圖案成形，而且可以簡單地實現(xiàn)膜設計的最優(yōu)化，以及該有機EL元件具有優(yōu)良的發(fā)光性能。
為了達到上述目的，本發(fā)明中所述的有機EL元件的制造方法具有在透明基板上形成象素電極的工序，在上述象素電極上形成一種由有機化合物構成的至少1色發(fā)光層的圖案形成工序，形成與上述象素電極對置的陰極的工序，其特征在于，上述發(fā)光層的形成按照噴墨方式進行。
上述的有機化合物優(yōu)選是高分子有機化合物。在此情況下，所說的高分子有機化合物優(yōu)選是空穴注入輸送型材料。這樣的上述高分子有機化合物優(yōu)選是聚對亞苯亞乙烯(polyphenylene vinylene)及其衍生物，或者是具有它們之中任何一方的共聚物。
另外，在上述高分子有機化合物本身是有機發(fā)光材料但不是空穴注入輸送型材料的情況下，可以向發(fā)光層中加入不同于發(fā)光材料的空穴注入輸送型材料。
上述的發(fā)光層是3色的，在該3色的上述發(fā)光層之中，優(yōu)選至少有2色按照噴墨方式來進行圖案形成。上述的3色是紅色、綠色和藍色，其中，優(yōu)選是紅色發(fā)光層和綠色發(fā)光層各自按噴墨方式進行圖案形成，在此情況下，上述藍色發(fā)光層優(yōu)選用真空淀積法來形成。另外，藍色發(fā)光層優(yōu)選由電子注入輸送型材料構成，例如可以由羥基喹啉鋁配合物構成。
在本發(fā)明的有機EL元件的制造方法中，優(yōu)選是將至少1色的上述發(fā)光層與空穴注入輸送層積疊起來，另外，優(yōu)選在上述陰極上形成一層保護膜。
在本發(fā)明的有機EL元件的制造方法中，上述的透明基板優(yōu)選是具有用于驅動各象素的薄膜晶體管。
另外，上述的象素電極優(yōu)選是透明象素電極。
另外，本發(fā)明的有機EL元件的特征在于，它具有透明基板、設置在上述透明基板上的象素電極、由在上述象素電極上按噴墨方式形成圖案的有機化合物構成的至少1色的發(fā)光層、在上述發(fā)光層上形成的陰極。
上述的有機化合物優(yōu)選是高分子有機化合物，而上述高分子有機化合物優(yōu)選是空穴注入輸送型材料。
另外，上述高分子有機化合物優(yōu)選是聚對亞苯亞乙烯及其衍生物，或者是具有在它們之中任何一方的共聚物。上述的發(fā)光層是3色的，在該3色的上述發(fā)光層之中，優(yōu)選至少有2色按照噴墨方式來進行圖案形成，上述的3色是紅色、綠色和藍色，其中，優(yōu)選是紅色發(fā)光層和綠色發(fā)光層各自按噴墨方式進行圖案形成。在此情況下，更優(yōu)選是上述藍色發(fā)光層通過真空淀積法來形成。
上述的藍色發(fā)光層優(yōu)選是由電子注入輸送型材料構成。作為這樣的藍色發(fā)光層，可以舉出含有羥基喹啉鋁配合物的材料。
另外，優(yōu)選是將至少1色的上述發(fā)光層與空穴注入輸送層積疊起來，并且優(yōu)選是在上述陰極上形成一層保護膜。
另外，上述象素電極優(yōu)選是透明象素電極。
本發(fā)明的有機EL顯示裝置的特征在于，它具有上述的有機EL元件。


圖1是表示本發(fā)明有機EL元件制造方法的第1實施例的截面圖。
圖2是表示本發(fā)明有機EL元件制造方法的第2實施例的截面圖。
圖3是表示本發(fā)明有機EL元件制造方法的第3實施例的截面圖。
圖4是表示本發(fā)明有機EL元件制造方法的第4實施例的截面圖。
圖5是表示本發(fā)明有機EL元件制造方法的第5實施例的截面圖。
圖6是表示本發(fā)明有機EL元件的一例的截面圖。
圖7是表示使用本發(fā)明有機EL元件的有機EL顯示裝置的一例的截面圖。
圖8是表示使用本發(fā)明有機EL元件的有源矩陣型有機EL顯示裝置的一例的附圖。
圖9是表示有源矩陣型有機EL顯示裝置的制造方法的一例的截面圖。
圖10是表示在制造本發(fā)明的有機EL元件時使用的噴墨用打印頭的構成例的平面斜視圖。
圖11是表示在制造本發(fā)明的有機EL元件時使用的噴墨用打印頭的噴嘴部分的截面圖。
圖12是表示本發(fā)明有機EL顯示裝置另一個實施例的附圖。
圖13是表示本發(fā)明有機EL顯示裝置的概略部分截面圖。
圖14是表示施加于電極上的電壓驅動波形的一例的附圖。
圖15是表示本發(fā)明有機EL元件另一例的部分截面圖。
用于實施發(fā)明的最佳方案以下根據(jù)附圖所示的優(yōu)選實施例詳細地解釋本發(fā)明有機EL元件的制造方法和有機EL元件。
圖1表示本發(fā)明有機EL元件的制造方法的第1實施例。該圖也是表示3色的全色有機EL元件的制造方法的附圖。該圖中示出了一種有機EL元件的制造方法，該方法具有在透明基板104上形成象素電極101、102、103的工序，在上述各象素電極上形成一種有機化合物構成的發(fā)光層106、107的圖案形成工序，形成陰極113的工序，其特征在于，上述發(fā)光層的形成按照噴墨方式進行。
透明基板104作為支持體并同時具有作為光取出面的功能。因此，透明基板104可以根據(jù)透光性和熱穩(wěn)定性來選擇。作為透明基板材料，例如可以舉出玻璃基板、透明塑料板等，但從耐熱性優(yōu)良方面考慮，優(yōu)選是玻璃基板。
首先，在透明基板104上形成象素電極101、102、103。作為形成方法，例如可以舉出光刻法、真空淀積法、濺射法、高溫溶膠法等，其中優(yōu)選是光刻法。作為象素電極，優(yōu)選是透明象素電極，作為構成透明象素電極的材料，可以舉出氧化錫膜、ITO膜、氧化銦和氧化鋅的復合氧化物膜等。
然后是形成隔壁(擋板)105，用來填滿上述各透明象素電極之間的間隙。
采用這種方法，可以提高對比度，防止發(fā)光材料的混色，防止象素與象素之間的漏光等。
作為構成隔壁105的材料沒有特別限定，只要是對EL材料的溶劑具有耐久性的材料即可，例如可以舉出丙烯酸樹脂、環(huán)氧樹脂、感光性聚酰亞胺等的有機材料、液體玻璃等的無機材料等。另外，隔壁105也可以通過向上述材料中混入炭黑等來形成黑色擋光板。
作為該隔壁105的形成方法，例如可以舉出光刻法等。
進而，在各象素電極上按預定圖案形成有機發(fā)光層，有機發(fā)光層優(yōu)選是設置3色的發(fā)光層，優(yōu)選是其中的至少1色按噴墨方式形成。
按照圖1的實施例，在象素電極101、102上分別按噴墨方式形成紅色發(fā)光層106和綠色發(fā)光層107。
此處，所謂噴墨方式是指，由噴墨打印裝置109的噴頭110噴出一種由發(fā)光材料溶解或分散在溶劑中而形成的噴出液，從而形成在紅色、綠色、藍色這3種原色或其中間色中至少1種顏色的象素的過程而言。
按照所說的噴墨方式，可以簡便地而且在短時間內形成精細的圖案。另外，通過增減噴出量來調整膜厚或者通過調整墨汁的濃度，即可以容易而且自由地控制發(fā)光的均衡性和亮度等的照明度。
另外，當有機發(fā)光材料是下述的共軛高分子前體的情況下，可以在按噴墨方式噴出各種發(fā)光材料從而形成圖案之后，通過加熱或光照射等使上述前體成分共軛化(成膜)而形成發(fā)光層。
然后，如圖1所示，在紅色發(fā)光層106、綠色發(fā)光層107和象素電極103之上形成藍色發(fā)光層108。按照該方法，不但可以形成紅、綠、藍的3原色，而且可以填平紅色發(fā)光層106和綠色發(fā)光層107與隔壁105的垂直高差，從而使其平坦化。
作為形成上述藍色發(fā)光層108的方法沒有特殊限定，例如可以采用淀積法、濕法等一般成膜法，或者也可采用噴墨法來形成。
另外，藍色發(fā)光層108可以由例如象羥基喹啉鋁配合物那樣的電子注入輸送型材料構成。在此情況下促進了載流子的注入和輸送，從而可以提高發(fā)光效率。進而，通過與由下述的空穴注入輸送材料構成的薄層積疊在一起，可以使來自電極的電子和空穴平衡地注入并輸送到發(fā)光層中，從而可以進一步地提高發(fā)光效率。
另外，在與空穴注入輸送型材料等積疊的情況下，可以使空穴注入輸送和電子注入輸送分別由不同的材料來承擔，因此可以分別對各種材料進行最適宜的設計。作為上述電子注入輸送層的形成方法沒有特殊限定，例如可以使用淀積法、濕法等一般的成膜法或者噴墨法。
另外，作為能夠形成電子注入輸送層的有機化合物，可以舉出PBD、OXD-8等噁二唑衍生物、DSA、羥基喹啉鋁配合物、Bebq、三唑衍生物、甲亞胺配合物、卟吩配合物、苯并噁二唑配合物等，其中，可以用其中的1種或2種以上的混合物，或者通過積疊來形成電子注入輸送層。另外，也可以在上述有機化合物中摻雜入下述的熒光色素來形成電子注入輸送層。另外，上述電子注入輸送層也可以具有發(fā)光的功能。
按照本實施例，有機發(fā)光層中的2色按噴墨方式形成，另1色按其他方法形成，因此，即使是一種不太適合按噴墨方式形成的發(fā)光材料，也可以與某些適用于噴墨方式的其他有機發(fā)光材料組合來形成全色有機EL元件，因此可以加寬設計范圍。
作為除了噴墨方式以外的發(fā)光層的形成方法，例如可以舉出光刻法、真空淀積法、印刷法、轉印法、浸涂法、旋轉涂布法、澆鑄法、毛細管法、輥涂法、棒涂法等。
最后形成陰極(對置電極)113，從而制成本發(fā)明的有機EL元件。作為陰極113，優(yōu)選是金屬薄膜電極，作為構成陰極的金屬，例如可以舉出Mg、Ag、Al、Li等。另外，除了這些材料之外，一些功函數(shù)較小的材料也可以使用，例如可以使用堿金屬或Ca等堿土類金屬以及含有這些金屬的合金。這樣的陰極113可以用淀積法和濺射法等來形成。
本發(fā)明的有機EL元件可以通過上述的工序來制造。也就是說，如圖1所示，在設置于透明基板104上的象素電極101和102之上，各自以噴墨方式按圖案形成由有機化合物構成的紅色發(fā)光層106、綠色發(fā)光層107，進而在上述發(fā)光層106、107和象素電極103之上以真空淀積法形成藍色發(fā)光層108。最后在其上面形成陰極113，從而完成了本發(fā)明的有機EL元件。
然后，如圖6所示，在陰極413之上形成保護膜415。由于形成了保護膜415，因此可以防止陰極413和各發(fā)光層406、407、408的劣化、損傷和剝離等。
作為上述保護膜415的構成材料，可以舉出環(huán)氧樹脂、丙烯酸樹脂、液體玻璃等。另外，作為保護膜415的形成方法，例如可以舉出旋轉涂布法、澆鑄法、浸涂法、棒涂法、輥涂法、毛細管法等。
發(fā)光層優(yōu)選由有機化合物構成，更優(yōu)選由高分子有機化合物構成。通過形成由有機化合物構成的發(fā)光層，可以在低電壓的條件下達到高亮度的表面發(fā)光。另外，由于發(fā)光材料可以在寬范圍內選擇，因此可以對EL發(fā)光元件進行合理的設計。
特別是高分子有機化合物的成膜性優(yōu)良，而且，由高分子有機化合物構成的發(fā)光層具有極良好的耐久性。另外，這些高分子有機化合物具有可見光區(qū)域的帶隙和較高的導電性，其中，共軛系高分子的這種傾向特別顯著。
作為有機發(fā)光層材料，可以使用高分子有機化合物本身，或者使用可以通過加熱而共軛化(成膜)的共軛高分子有機化合物的前體等。
在使用共軛化(成膜)之前的前體作為發(fā)光材料的情況下，作為噴墨的噴出液，其粘度等容易調整，可以進行精密的圖案成形，而且可以容易地控制發(fā)光層的發(fā)光特性和涂膜的性狀。
用于形成發(fā)光層的高分子有機化合物，優(yōu)選是空穴注入輸送型材料。這樣可以促進載流子的注入和輸送，從而提高發(fā)光效率。
作為能夠形成發(fā)光層的有機化合物，例如可以舉出PPV(聚(對亞苯亞乙烯))或其衍生物、PTV(聚(2,5-亞噻吩亞乙烯))等聚烷基亞噻吩、PFV(聚(2,5-亞呋喃亞乙烯))、聚對亞苯、聚烷基芴等聚亞芳基乙烯、吡唑啉二聚物、喹嗪(quinolidine)羧酸、高氯酸苯并吡喃鎓鹽、苯并吡喃喹嗪、紅熒烯、菲咯啉銪配合物等，可以使用其中的1種或2種以上的混合物。
其中優(yōu)選是屬于共軛高分子有機化合物的PPV或其衍生物。PPV或其衍生物共軛化(成膜)之前的前體可溶于水或有機溶劑中，因此適合于以噴墨方式進行圖案形成。另外，由于是高分子，因此可以獲得一種光學上高質量的并且其耐久性優(yōu)良的薄膜。另外，PPV或其衍生物具有強的熒光，并且它是一種導電性的高分子，它的雙鍵上的π電子是在聚合物鏈上的非定域化電子，因此PPV薄膜具有空穴注入輸送層的功能，可以獲得一種高性能的有機EL元件。
另外，在使用高分子有機發(fā)光層材料的情況下，有機EL元件組合物也可以含有至少1種熒光色素。這樣可以改變發(fā)光層的發(fā)光特性，例如可以有效地提高發(fā)光層的發(fā)光效率，或者作為改變光吸收極大波長(發(fā)光色)的有效手段。
也就是說，熒光色素不只是作為發(fā)光層材料使用，而且作為承擔發(fā)光功能的色素材料使用。例如，通過PPV等那樣的共軛系高分子有機化合物分子上的載流子再結合而生成的激子的能量，可以幾乎完全地轉移到熒光色素分子上。在此情況下，發(fā)出的光僅僅是由一種熒光量子效率高的熒光色素分子產(chǎn)生的，因此EL元件的電流量子效率也提高了。而且，通過向有機EL元件組合物中加入熒光色素，可以使得發(fā)光層發(fā)出的光譜同時成為熒光分子的光譜，因此可以有效地作為用于改變發(fā)光顏色的手段。
另外，此處所謂的電流量子效率是一個根據(jù)發(fā)光功能，用于考察發(fā)光性能的尺度，它可按下述公式來定義。
ηε=放出的光子的能量/輸入的電能于是，通過摻雜熒光色素來改變光吸收的極大波長，可以使其發(fā)出例如紅、藍、綠的3種原色的光，其結果是可以獲得一種全色的顯不裝置。
另外，通過摻雜熒光色素，可以大幅度地提高EL元件的發(fā)光效率。
作為適用于紅色發(fā)光層中的熒光色素，可以使用屬于激光色素的DCM或若丹明或若丹明的衍生物，以及苝等化合物。這些熒光色素是低分子量的，因此可溶于溶劑中，而且它們與PPV等的相溶性優(yōu)良，而且容易形成一種均勻而且穩(wěn)定的發(fā)光層。作為若丹明衍生物熒光色素，例如可以舉出若丹明B、若丹明B堿、若丹明6G、若丹明101高氯酸鹽等，這些色素也可以是2種以上的混合物。
另外，作為適用于綠色發(fā)光層中的熒光色素，可以舉出喹吖酮、紅熒烯、DCJT以及它們的衍生物。這些熒光色素與上述紅色熒光色素同樣地是低分子量的，因此可溶于溶劑中，另外，它們與PPV的相溶性良好，因此容易形成發(fā)光層。
作為適用于藍色發(fā)光層的熒光色素，可以舉出二苯乙烯基聯(lián)苯及其衍生物。這些熒光色素也與上述紅色熒光色素一樣是在水溶液中可溶的，而且與PPV的相溶性良好，因此容易形成發(fā)光層。
另外，其他作為適用于藍色發(fā)光層中的熒光色素，可以舉出香豆素以及香豆素-1、香豆素-6、香豆素-7、香豆素120、香豆素138、香豆素152、香豆素153、香豆素311、香豆素314、香豆素334、香豆素337、香豆素343等的香豆素衍生物。
另外，其他作為適用于藍色發(fā)光層中的發(fā)光材料，可以舉出四苯基丁二烯(TPB)或TPB衍生物、DPVBi等。這些發(fā)光材料也與上述的紅色熒光色素等一樣是低分子量的，因此可溶于溶劑中，而且，它們與PPV等的相溶性良好，因此容易形成發(fā)光層。
以上的熒光色素和發(fā)光材料可以使用其中的1種或2種以上的混合物。
在本發(fā)明的有機EL元件的制造方法中使用的噴墨用噴頭的結構示于圖10和圖11中。
在該噴墨用噴頭10具有例如不銹鋼制的噴嘴板11和振動板13時，這兩者通過隔離元件(儲存板)15而接合起來。
在噴嘴板11與振動板13之間，由隔離元件15形成多個空間19和儲液槽21。各空間19和儲液槽21的內部充滿本發(fā)明的組合物，各空間19與貯液槽21通過供給口23而相互連通。
另外，在噴嘴板11上設置一個用于將來自空間19的組合物以射流狀噴出的噴嘴孔25。另一方面，在振動板13上形成一個用于將組合物供入儲液槽21中的孔27。
另外，與振動板13向著空間19的表面相對一側的表面上，與上述空間19的位置相對應地粘接有壓電元件29。
該壓電元件29處于一對電極31之間，一旦通入電流，壓電元件29就向外側突出撓曲，同時，與壓電元件29接合在一起的振動板13也成為整體向外側撓曲。如此就增大了空間19的容積。因此，與空間19內增大的那部分容積相當?shù)慕M合物就通過供給口23由儲液槽21流入空間19中。
然后，一旦撤除通入壓電元件29的電流，該壓電元件29和振動板13就立即恢復其原來的狀態(tài)。這時空間19也恢復至原來的容積，因此使得空間19內部的組合物的壓力上升，從而導致組合物由噴嘴孔25向基板噴出。
另外，在噴嘴孔25的周邊部位設置有疏水層26，以便防止組合物的飛行途徑彎曲和噴孔堵塞。
也就是說，在噴嘴孔25的周邊部位，如圖11所示那樣設置有例如由Ni-四氟乙烯共析的電鍍層構成的疏水層26。
作用這樣的噴頭，通過按預定圖案噴出與紅、藍、綠3原色相對應的組合物來形成各有機發(fā)光層，這樣就形成了象素。
在本發(fā)明的有機EL元件的制造方法中，作為適用于噴墨方式的有機發(fā)光材料組合物，可以使用具有以下特性的組合物。
用于噴出上述組合物的噴嘴設置在噴墨用噴頭上，因此，該組合物相對于構成上述噴嘴的噴嘴面251的材料的接觸角優(yōu)選為30°～170°，更優(yōu)選為35°～65°。由于該組合物具有上述范圍的接觸角，因此可以抑制該組合物飛行途徑的彎曲，從而能夠形成精密的圖案。
也就是說，當該接觸角不足30℃時，組合物相對于噴嘴面構成材料的潤濕性增大，因此在噴出該組合物時，該組合物有時會非對稱地附著在噴嘴孔的周圍。在此情況下，附著在噴嘴孔的組合物與被噴出的組合物相互之間存在引力作用，由于該組合物在噴出時受到不均勻的作用力，因此發(fā)生了不能達到目標位置的所謂飛行彎曲，并且飛行彎曲的頻度也增高。另外，如果超過170°，則組合物與噴嘴孔之間的相互作用極小，在噴嘴先端處的彎月形狀不穩(wěn)定，因此對組合物噴出量和噴出定時的控制變得困難。
此處所謂飛行彎曲是指，組合物由上述噴嘴噴出時，組合物液滴的命中位置相對于目標位置發(fā)生50μm以上的偏移而言。另外，所謂飛行彎曲的頻度是指組合物液滴開始以7200Hz的頻率噴出時至發(fā)生上述飛行彎曲時的時間。飛行彎曲主要是由于噴嘴孔的潤濕性不均勻或者由于組合物固體成分的附著而引起噴嘴孔堵塞等而發(fā)生的，這一現(xiàn)象可以通過清洗噴頭的方法來消除。這種飛行彎曲的頻度越高，就必須對噴頭進行越頻繁的清洗，因此這樣一種會使飛行彎曲頻度增高的組合物可以說是一種導致按噴墨方式的EL元件的制造效率降低的組合物。就實用水平而言，飛行彎曲的頻度必須在1000秒以上。
由于可以防止這樣的飛行彎曲，因此可以形成高精細的圖案，并且可以高精度地進行。
另外，上述組合物的粘度優(yōu)選為1cp～20cp，更優(yōu)選為2cp～4cp。在組合物的粘度不足1cp時，上述前體和熒光色素在所說材料中的含量過小，從而使得形成的發(fā)光層不能充分地發(fā)揮發(fā)光能力。另一方面，在超過20cp時，組合物不能順利地從噴嘴孔噴出，如果不采取擴大噴嘴孔徑等變更裝置規(guī)格的措施，則難以進行圖案成形。另外，在粘度過大時，組合物中的固體成分容易析出，從而使得噴嘴孔被堵塞的發(fā)生頻度增高。
另外，上述組合物的表面張力優(yōu)選為20dyne/cm～70dyne/cm，更優(yōu)選為25dyne/cm～40dyne/cm。通過使表面張力處于上述范圍內，就能與上述接觸角的情況一樣地抑制飛行彎曲，并將飛行彎曲的頻度抑制到較低程度。如果表面張力不足20dyne/cm，則組合物對噴嘴構成材料的潤濕性增大，從而會與上述接觸角的情況一樣地產(chǎn)生飛行彎曲，并且使飛行彎曲的頻度增高。另外，如果表面張力超過70dyne/cm，則在噴嘴先端處的彎月形狀不穩(wěn)定，因此對組合物噴出量和噴出定時的控制變得困難。
另外，作為適用于本發(fā)明有機EL元件的制造方法的有機發(fā)光材料組合物，只要能夠滿足上述的接觸角、粘度和表面張力中至少一個數(shù)值范圍即可，優(yōu)選是能夠滿足上述參數(shù)中2個以上任意組合的特性條件的組合物，更優(yōu)選是能夠滿足所有特性的組合物。
圖2示出本發(fā)明有機EL元件的制造方法的實施例2。
在本實施例中，與實施例1同樣地在透明基材204上形成象素電極201、202、203和隔壁205，然后按噴墨方式形成紅色發(fā)光層206、綠色發(fā)光層207。
與上述實施例1不同之處在于，在象素電極203上形成空穴注入輸送層208，然后再在該層上面積疊藍色發(fā)光層210。通過如此積疊空穴注入輸送層208，促進了如上所述來自電極的空穴的注入和輸送，從而可以提高發(fā)光效率。
這樣，在本發(fā)明的有機EL元件的制造方法中，優(yōu)選是將至少1色的發(fā)光層與空穴注入輸送層積疊起來。如此就能提高發(fā)光效率，并且可以進一步提高薄膜元件本身的穩(wěn)定性。
另外，在積疊的發(fā)光層與空穴注入輸送層的界面附近，兩層中各自所含材料的一部分也可以存在相互向他層一側滲透和擴散的狀態(tài)。
空穴注入輸送層208優(yōu)選是不發(fā)光的層。這樣就能使藍色發(fā)光層210在象素電極203之上成為發(fā)光部，從而能夠比較容易地制得全色的有機EL元件。
上述空穴注入輸送層208的形成方法沒有特別限定，例如可以按噴墨方式來形成。這樣就可以按照精度優(yōu)良的預定圖案來配置該空穴注入輸送層208。
作為空穴輸送層208的構成材料，例如可以舉出TPD等的芳香族二胺類化合物、MTDATA、喹吖酮、bisstil蒽衍生物、PVK(聚乙烯咔唑)、酞菁銅等酞菁類配合物、卟吩類化合物、NPD、TAD、聚苯胺等，其中優(yōu)選為PVK。通過使用PVK，可以形成不發(fā)光的空穴注入輸送層。
進而，與上述實施例1同樣地形成藍色發(fā)光層210和陰極211，這樣即可以獲得本發(fā)明的有機EL元件。藍色發(fā)光層210、陰極211的構成材料和形成方法與上述實施例相同。
圖3示出本發(fā)明有機EL元件制造方法的實施例3。
在本實施例中，與實施例1同樣地在透明基材304上設置象素電極301、302、303和隔壁305，然后按噴墨方式設置紅色發(fā)光層306和綠色發(fā)光層307。
然后在紅色發(fā)光層306、綠色發(fā)光層307和象素電極303上方的全部面積上形成空穴注入輸送層308。如上所述，通過將空穴注入輸送層308與發(fā)光層306和307積疊起來，可以促進空穴的注入和輸送，從而能夠提高發(fā)光效率。
另外，根據(jù)與上述相同的理由，作為空穴注入輸送層308，優(yōu)選設置不發(fā)光的層。
對上述空穴注入輸送層308的形成方法沒有特別限定，例如可以舉出噴墨方式、真空淀積法、浸涂法、旋轉涂布法、澆鑄法、毛細管法、輥涂法、棒涂法等。在本實施例中可以通過真空淀積法來形成。另外，作為空穴注入輸送層的構成材料，可以使用與上述實施例2相同的材料。
然后在空穴注入輸送層308之上形成藍色發(fā)光層309和陰極311，這樣即能獲得本發(fā)明的有機EL元件。陰極311的構成材料和形成方法與上述實施例相同。
圖4示出本發(fā)明有機EL元件制造方法的實施例4。
在本實施例中，與實施例1同樣地在透明基材804之上形成象素電極801、802、803和隔壁805，然后在象素電極801、802、803之上各自以噴墨方式按圖案形成發(fā)光層806、806和808。這樣就可以容易而且簡便地對例如各發(fā)光層材料的噴出量、噴出次數(shù)和形成圖案進行調節(jié)，并且能容易地對各發(fā)光層的發(fā)光特性、膜厚等膜的性狀進行控制。
然后在各發(fā)光層806、807、808之上形成電子注入輸送層811。電子注入輸送層811可以使來自陰極的電子容易地注入，另外，由于發(fā)光部分遠離陰極，因此可以防止電極消光，并能與陰極形成較好的接觸。作為電子注入輸送層811，可以使用未經(jīng)摻雜的羥基喹啉鋁配合物。上述的電子注入輸送層811可以通過真空淀積法來形成。
另外，對電子注入輸送層811的形成方法沒有限定，例如它可以是噴墨法、真空淀積法、浸涂法、旋轉涂布法、澆鑄法、毛細管法、輥涂法、棒涂法等。
進而在其上面形成陰極813，從而獲得了本發(fā)明的有機EL元件。陰極813的構成材料和形成方法與上述實施例相同。
圖5示出本發(fā)明有機EL元件制造方法的實施例5。
在本實施例中，首先與實施例1同樣地在透明基材804上設置象素電極801、802和803。再在其上方的全部面積上用旋轉涂敷法形成一層例如由PVK構成的空穴注入輸送層815。這樣不需經(jīng)過圖案成形就能全部涂敷空穴注入輸送層815并使其成膜，因此可以提高制造效率。
另外，對空穴注入輸送層815的形成方法沒有限定，例如它可以是噴墨法、真空淀積法、浸涂法、旋轉涂布法、澆鑄法、毛細管法、輥涂法、棒涂法等。
另外，根據(jù)與上述同樣的理由，空穴注入輸送層815優(yōu)選是不發(fā)光的層。
然后在空穴注入輸送層815之上形成發(fā)光層806、807和808。其中至少有1色的發(fā)光層優(yōu)選使用噴墨印刷裝置809，按照噴墨法來形成圖案。
進而在發(fā)光層上形成陰極813，從而獲得了本發(fā)明的有機EL元件。陰極813的構成材料和形成方法與上述實施例相同。
另外，在本實施例的制造方法中不設置隔壁，但是只要按照本發(fā)明的有機EL元件的制造方法，就可以高精度地分別進行R、G、B的涂敷，從而可以提高制造效率。但是也可以與上述實施例同樣地設置隔壁以分別形成各象素。
本發(fā)明的有機EL元件雖然可以按如上所述的方法來制造，但是并不限定于這些方法，例如它也可以具有如下構成。
圖15是表示本發(fā)明的有機EL元件另一個實例的部分截面圖。
本實施例的有機EL元件是在透明基板61上順次地積疊反射層62、透明導電性膜(ITO膜)63、空穴注入輸送層64、有機發(fā)光層65、金屬層66、透明導電性膜(ITO膜)67而構成。下面對各層的材料和形成方法進行說明，但是與上述各實施例相同的事項則省略其說明，僅僅說明它們的不同之處。
本實施例的有機EL元件直接地在透明基板61上設置一層由Al等的金屬薄膜構成的反射層62。
另外，作為陰極而積疊在發(fā)光層65之上的金屬層66十分薄(10～50A左右)，因此它具有透光性，可以透過由發(fā)光層65發(fā)出的有顏色的光。另一方面，由于它十分薄，所以其電阻值高，導電性不夠好，不能充分發(fā)揮作為陰極的功能，所以在金屬層66上積疊一層透明的導電性膜(ITO膜)67。另外，這樣的金屬層66如果由例如Al-Li合金等構成，在此情況下可以采用淀積法或濺射法等來形成。
由于具有這樣的構成，所以由電極注入的電流在發(fā)光層65中轉換成的光就按照圖中箭頭所示的方向透過。因此，不需通過透明基板61就可以將光取出，從而可以獲得更高亮度的顯示。
圖7表示本發(fā)明的有機EL顯示裝置的一個實例。
在本實施例中，在玻璃板501上通過光刻成象法形成一種Al制的總線(柵極線)511，然后在其上面形成圖中沒有示出的薄膜晶體管，進而形成504等的ITO透明象素電極。然后與實施例1同樣地按噴墨方式形成發(fā)光層502(紅)、503(綠)，進而按真空淀積法形成藍色發(fā)光層505。然后用真空淀積法形成陰極506，這樣就制成了與上述實施例1同樣的有機EL元件。
之后將保護基材507通過周邊密封件509而固定地貼合在透明基板501上。
然后，將該顯示裝置放在氬氣等惰性氣體的氣氛中，通過封孔513導入惰性氣體512，最后用封孔材料508將封孔513密封。由于密封入惰性氣體512，因此可以防止有機EL元件受到水分等來自外部的污染物和環(huán)境變化的影響，從而能夠保持有機EL顯示裝置的發(fā)光性能。封孔材料508優(yōu)選由不能透過惰性氣體512的材料構成。
銀膠510具有能使陰極506與柵極線511在所說元件上實現(xiàn)接觸的功能。
柵極線511是薄膜晶體管(TFT)的開-關執(zhí)行單元，起一種控制的作用，該TFT設置在每一個顯示象素上，以便對顯示象素作出選擇。在寫入時，使一行柵極線511的電位成為選擇的水平，從而使該行的TFT成為導通狀態(tài)。這時，只要由各列電源電極配線(圖中未示出)向對應的象素供給圖象信號電壓，該圖象信號電壓就會通過TFT到達象素電極，于是向象素充電或使貯存在象素內的電荷放電，直至達到該信號電壓的水平為止。
圖8示出使用本發(fā)明有機EL元件的有源矩陣型有機EL顯示裝置的一個實例。該實施例的有機EL顯示裝置按矩陣形配置，而且各自具有由R、G、B的發(fā)光部形成的許多發(fā)光象素構成的圖象顯示配置。
如該圖所示，在基板(圖中未示出)上形成許多按相互正交排列的信號線(信號電極)601和柵極線(柵極)602，在每一象素中皆具有與信號線601和柵極線602相連接的薄膜晶體管(TFT)604，該TFT604與連接在其上面的由有機EL元件形成的發(fā)光層605、606積疊在一起。另外，在有機發(fā)光層中，至少有1色的發(fā)光層按噴墨方式形成。
圖9是表示本發(fā)明有源矩陣型有機EL顯示裝置的截面圖。
首先在透明基板904上形成預定的薄膜晶體管915和圖中沒有示出的柵極線、信號線等。然后在具有該薄膜晶體管915等預定功能元件的各象素電極(ITO)901、902、903之上形成覆蓋著每一個象素電極的空穴注入輸送層911。作為空穴注入輸送型材料，可以使用與上述實施例同樣的物質。另外，空穴注入輸送層911的形成方法沒有特別限定，它可以按上述任一種方法形成。
進而按圖案形成各發(fā)光層906(紅)、907(綠)、908(藍)。發(fā)光層的形成，可以使用噴墨打印裝置910按照噴墨方式來形成其中至少1色的發(fā)光層。
最后形成反射電極913，從而制得本發(fā)明的有機EL顯示裝置。作為反射電極913，例如可以形成一種厚度為0.1～0.2μm左右的Mg-Ag電極等。
在本發(fā)明的有源矩陣型有機EL顯示裝置的上述實施例中，雖然是使用薄膜晶體管作為開關元件，但對此沒有限定，也可以使用其他種類的開關元件、二極管，例如MIM等開關元件。另外也可以采用無源驅動、靜態(tài)驅動(靜止圖象、局部顯示)等。
另外，一個象素不限于只用一個開關元件，對于一個象素可以配備多個開關元件。
圖12示出對于一個象素配備有多個開關元件的有機EL顯示裝置的實例。在此情況下，開關薄膜晶體管142根據(jù)掃描電極131的電位，將信號電極132的電位傳達給電流薄膜晶體管143，該電流薄膜晶體管143對于公共電極133和象素電極141的導通起一種控制作用。
下面根據(jù)附圖解釋使用本發(fā)明有機EL元件的無源矩陣(單純矩陣)型有機EL顯示裝置的一個實例。
圖13是本發(fā)明的有機EL顯示裝置的概略部分放大截面圖。
如圖所示，在本實施例的有機EL顯示裝置中，在制造有機EL元件時，薄長方形的掃描電極53和信號電極54通過有機EL元件52而相互正交配置。
這樣的無源矩陣型的驅動可按下述方式進行，也就是以脈沖方式順次地選擇掃描電極53，在選擇該掃描電極53時，同時選擇與各象素相對應的信號電極54并向其施加電壓。這樣的選擇可以由控制器55來控制。
應予說明，在無源驅動型的情況下，陰極(cathode)必須形成圖案，以便將各條線分隔開。例如，在本發(fā)明的第3實施例中，在形成厚度為0.2μm左右的薄陰極時，該陰極被隔壁分隔開，這樣就自然地成為已形成圖案的狀態(tài)。
陰極可以按照例如掩模淀積法、激光切割法來進行圖案形成。
圖14中示出了向掃描電極13和信號電極14施加電壓的電壓驅動波形的一個實例。在該圖所示的驅動波形中，向選擇出的象素施加足以使其發(fā)光的電壓Vs。另外，根據(jù)與濃淡度相符合的脈沖幅度波形，可以控制象素的顯示濃度。另一方面，對于未被選擇的象素則施加在發(fā)光閾值電壓以下的電壓Vn。
在圖14中，Tf表示操作時間。在此情況下，按占空比為1/100進行驅動。另外，由上述實施例4的有機EL元件構成的有機EL顯示裝置的藍色發(fā)光層808所發(fā)出的光，當驅動電壓為20V時，其亮度為100cd/m2。
(實施例)[有機EL元件的制造](實施例1)如圖1所示，在玻璃基板104上按光刻法形成ITO透明象素電極101、102和103，從而形成100μm間距和0.1μm厚的圖案。
然后掩埋ITO透明象素電極之間的空隙，再用光刻法形成一種兼有遮光和防止墨水流失兩種作用的隔壁105。該隔壁105的寬為20μm，厚為2.0μm。
進而，利用噴墨印刷裝置109的噴頭110噴出表1和表2中示出的紅色、綠色的各種發(fā)光材料以形成圖案，然后在氮氣氣氛中于150℃的溫度下加熱處理4小時，借此使組合物中的前體聚合成高分子，從而形成各發(fā)光層106(紅)和107(綠)。
然后利用一種添加有苝的縮合芳香族化合物作為摻雜劑的羥基喹啉鋁進行真空淀積，借此形成一層0.1μm的電子注入輸送層型的藍色發(fā)光層108。
最后用淀積法形成一層厚度為0.8μm的Mg-Ag電極113作為陰極，從而制成了有機EL元件。
(實施例2)與實施例1同樣，按圖2所示在玻璃基板204上形成ITO透明象素電極201、202和203，然后掩埋ITO透明象素電極之間的空隙，進而形成兼有遮光和防止墨水流失兩種作用的感光性聚酰亞胺的阻擋墻(隔壁)205。
進而與實施例1同樣地使用一臺噴墨印刷裝置209，按圖案涂敷表1和表2中所示的紅色、綠色的各種發(fā)光材料，然后在氮氣氣氛中和150℃的溫度下加熱處理4小時，借此使組合物中的前體聚合成高分子，從而形成各發(fā)光層206(紅)和207(綠)。
然后使用上述的噴墨印刷裝置209，在透明象素電極203上按圖案形成一層由聚乙烯咔唑(PVK)構成的空穴注入輸送層。接著在其上面涂敷一層吡唑啉二聚物，從而形成了藍色發(fā)光層210。
最后用淀積法形成一層厚度為0.8μm的Al-Li電極211作為陰極，從而制成了有機EL元件。
(實施例3)首先與實施例1同樣，按圖4所示在玻璃基板804上形成ITO透明象素電極801、802、803和隔壁805。
然后向表1和表2所示的發(fā)光材料中混入有機空穴注入輸送型材料，使用一臺噴墨打印裝置809形成各發(fā)光層806(紅)、807(綠)和808(藍)。
然后使用一種未經(jīng)摻雜的羥基喹啉鋁配合物進行真空淀積，形成了一層厚度為0.1μm的電子注入輸送層811。
最后用淀積法形成一層厚度為0.2μm的AL-Li電極813，從而制成了有機EL元件。
(實施例4)與實施例1同樣，按圖3所示在玻璃基板304上形成各個ITO透明象素電極301、302、303和隔壁305。
然后與實施例1同樣地使用一臺噴墨印刷裝置310，按圖案涂敷表1和表2中所示的紅色、綠色的各種發(fā)光材料，然后在氮氣氣氛中和150℃的溫度下加熱處理4小時，借此使組合物中的前體聚合成高分子，從而形成各發(fā)光層306(紅)和307(綠)。
然后在發(fā)光層306、307和透明象素電極303之上的全部面積上用涂敷法形成一層由聚乙烯咔唑(PVK)構成的空穴注入輸送層308。
接著在空穴注入輸送層308上用真空淀積法形成一層由聯(lián)苯乙烯衍生物構成的藍色發(fā)光層309。
最后用淀積法形成一層厚度為0.8μm的Al-Li電極311作為陰極，從而制成了有機EL元件。這時，如上所述，陰極311被隔壁305自然地分隔開并被其絕緣，從而使各象素電極301、302、303共同構成圖案狀態(tài)。
(實施例5)首先與實施例1同樣，按圖4所示在玻璃基板804上形成ITO透明象素電極801、802、803和隔壁805。
進而使用一臺噴墨印刷裝置809噴出表1和表2中所示的高分子有機發(fā)光材料，按圖案涂敷各色發(fā)光材料，然后在氮氣氣氛中和150℃的溫度下加熱處理4小時，借此使組合物中的前體聚合成高分子，從而形成能發(fā)出紅色、綠色和藍色的各發(fā)光層806(紅)、807(綠)和808(藍)。
然后使用一種未經(jīng)摻雜的羥基喹啉鋁配合物進行真空淀積，形成了一層厚度為0.1μm的電子注入輸送層811。
最后用淀積法形成一層厚度為0.8μm的Al-Li電極812作為陰極，從而制成了有機EL元件。
2．對發(fā)光層的發(fā)光性能和膜性能的評價對于在上述實施例1～5中制得的有機EL元件的發(fā)光層的發(fā)光性能和膜性能按下述方法進行評價。
①發(fā)光開始電壓向元件施加預定的電壓，把觀測到1cd/m2的發(fā)光亮度時的施加電壓定義為發(fā)光開始電壓[Vth]。
②發(fā)光壽命以穩(wěn)定化處理后的初期亮度作為100％，按標準波形施加一定的電流使其連續(xù)發(fā)光，測定其亮度的變化，以其亮度開始低于初期亮度的50％時的時間定義為發(fā)光壽命。
應予說明，驅動條件是室溫40℃；濕度23％；電流值20mA/cm2。
③發(fā)光亮度在電流值為20mA/cm2時測得的亮度。
④吸收極大波長測定各發(fā)光層的吸收極大波長。
⑤成膜穩(wěn)定性將發(fā)光層在200℃下加熱60分鐘之后，用顯微鏡觀察發(fā)光層的裂紋或變形等缺陷發(fā)生的情況。
評價按照如下方式進行。
◎…非常良好○…良好×…不良所獲結果示于表3和表4中。
如表3和表4所示，在實施例1～5的任一個實施例中，各發(fā)光層的發(fā)光性能和發(fā)光層的膜性能均優(yōu)良。特別是在發(fā)光層由高分子有機化合物構成的情況下，在各發(fā)光層中完全觀察不到缺陷，這說明形成了非常良好的薄膜。
以上根據(jù)圖示的各實施例解釋了本發(fā)明的有機EL元件用組合物和有機EL元件的制造方法，但本發(fā)明不受這些實施例的限定，例如，也可以安排在各層之間形成任意功能性中間層的工序。另外，對于為了改變發(fā)光性能而添加的熒光色素也沒有限制。
另外，也可以在各層之間形成一層例如由1,2,4-三唑衍生物(TAZ)構成的層作為緩沖層，這樣可以進一步地提高發(fā)光亮度和發(fā)光壽命等。
另外，在本發(fā)明的有機EL元件的制造方法中，為了使EL材料易于粘附，可以具有對樹脂保護膜、象素電極和底層的表面進行等離子體處理、UV處理、偶合等表面處理的工序。另外，本發(fā)明的有機EL元件的制造方法也可以應用于無機EL元件的制造方法中。
另外，本發(fā)明的有機EL顯示裝置可以應用于局部顯示或全面同時發(fā)光的靜止圖象顯示，例如圖畫、文字、名牌等低信息量的領域，或者，也可作為具有點、線、面形狀的光源使用。
如上所述，按照本發(fā)明有機EL元件的制造方法，通過在較寬范圍內選擇發(fā)光材料，可以對EL發(fā)光元件進行合理的設計。例如，通過將發(fā)光材料與熒光色素進行組合等，可以獲得各種顯示光。
另外，通過使用有機發(fā)光材料，可以展開有關高亮度和長壽命的各種各樣的EL元件的設計。
另外，通過按噴墨方式依照圖案形成和排列至少1色的有機發(fā)光層、空穴注入輸送層和電子注入輸送層，可以任意而且精密地設定發(fā)光元件的大小或圖案。
在使用一種能夠通過加熱固化來使其共軛化(成膜)的前體作為發(fā)光材料的情況下，可以使粘度等條件設定的自由度增大，能夠容易地調整適合作為噴墨用噴出液的條件。
另外，按照本發(fā)明的有機EL元件的制造方法，可以任意地調整膜厚、點數(shù)等條件，因此可以容易地控制發(fā)光層的發(fā)光性能。
另外，按照噴墨方式，可以使噴頭在透明基板上自由地移動，因此，對基板的大小沒有限制，可以形成任意大小的元件。另外，由于可以將只限于必要量的材料配置在指定的部位，因此可以最大程度地避免產(chǎn)生廢液等的廢物。從而可以廉價地制造大畫面的全色顯示裝置。
表1
表2
<p>表3
>
表權利要求
1．有機EL元件的制造方法，該方法具有在透明基板上形成象素電極的工序，在上述象素電極上形成一種由有機化合物構成的至少1色發(fā)光層的圖案形成工序，形成與上述象素電極對置的對置電極的工序，其特征在于，上述發(fā)光層的形成按照噴墨方式進行。
2．如權利要求1所述的的有機EL元件的制造方法，其中，上述的有機化合物是高分子有機化合物。
3．如權利要求2所述的有機EL元件的制造方法，其中，上述高分子有機化合物是空穴注入輸送型材料。
4．如權利要求2或3所述的有機EL元件的制造方法，其中，上述高分子有機化合物是聚對亞苯亞乙烯及其衍生物，或者是具有它們之中至少任何一方的共聚物。
5．如權利要求1至4中任一項所述的有機EL元件的制造方法，其中，上述的發(fā)光層是3色的，在該3色的上述發(fā)光層中，至少有2色按照噴墨方式進行圖案形成。
6．如權利要求5所述的有機EL元件的制造方法，其中，上述的3色是紅色、綠色和藍色，其中的紅色發(fā)光層和綠色發(fā)光層各自按噴墨方式進行圖案形成。
7．如權利要求6所述的有機EL元件的制造方法，其中，上述的藍色發(fā)光層通過真空淀積法形成。
8．如權利要求7所述的有機EL元件的制造方法，其中，上述的藍色發(fā)光層由電子注入輸送型材料構成。
9．如權利要求1至8中任一項所述的有機EL元件的制造方法，其中，至少1色的上述發(fā)光層與空穴注入輸送層積疊在一起。
10．如權利要求1至9中任一項所述的有機EL元件的制造方法，其中，在上述的陰極上形成保護膜。
11．如權利要求1至10中任一項所述的有機EL元件的制造方法，其中，在上述透明基板上形成用于驅動各象素的電極。
12．如權利要求1至11中任一項所述的有機EL元件的制造方法，其中，上述的象素電極是透明象素電極。
13．一種有機EL元件，其特征在于，它具有透明基板、設置在上述透明基板上的象素電極、由在上述象素電極上按噴墨方式形成圖案的有機化合物構成的至少1色的發(fā)光層、在上述發(fā)光層上形成的對置電極。
14．如權利要求13所述的有機EL元件，其中，上述的有機化合物是高分子有機化合物。
15．如權利要求14所述的有機EL元件，其中，上述的高分子有機化合物是空穴注入輸送型材料。
16．如權利要求14或15所述的有機EL元件，其中，上述高分子有機化合物是聚對亞苯亞乙烯及其衍生物，或者是具有它們之中至少一方的共聚物。
17．如權利要求13至16中任一項所述的有機EL元件，其中，上述的發(fā)光層是3色的，在該3色的上述發(fā)光層中，至少有2色按照噴墨方式進行圖案形成。
18．如權利要求17所述的有機EL元件，其中，上述的3色是紅色、綠色和藍色，其中的紅色發(fā)光層和綠色發(fā)光層各自按噴墨方式進行圖案形成。
19．如權利要求13至18中任一項所述的有機EL元件，其中，上述的藍色發(fā)光層通過真空淀積法形成。
20．如權利要求19所述的有機EL元件，其中，上述的藍色發(fā)光層由電子注入輸送型材料構成。
21．如權利要求13至20中任一項所述的有機EL元件，其中，至少1色的上述發(fā)光層與空穴注入輸送層積疊在一起。
22．如權利要求13至21中任一項所述的有機EL元件，其中，在上述的對置電極上形成保護膜。
23．如權利要求13至22中任一項所述的有機EL元件，其中，上述的象素電極是透明象素電極。
24．一種有機EL顯示裝置，其特征在于，它具有在權利要求13至23中任一項所述的有機EL元件。
全文摘要
本發(fā)明的有機EL元件的制造方法的特征是,它包含:在透明基板(804)上形成象素電極(801)、(802)、(803)的工序;在象素電極上按噴墨方式形成由有機化合物構成的發(fā)光層(806)、(807)、(808)的工序。借此可以簡便而且短時間地進行高精度的圖案成形,也可以簡單地進行膜設計和發(fā)光性能的最優(yōu)化,而且可以容易地調整發(fā)光效率。
文檔編號H05B33/10GK1212114SQ9719254
公開日1999年3月24日 申請日期1997年11月25日 優(yōu)先權日1996年11月25日
發(fā)明者宮下悟, 木口浩史, 下田達也, 神戶貞男 申請人:精工愛普生株式會社