剝膜機(jī)及其輾壓裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種剝膜機(jī)，特別是涉及一種用以將印刷電路板上的薄膜剝離光阻層的剝膜機(jī)及其輾壓裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]印刷電路板在制造過(guò)程中，基板表面通常形成有干膜，基板在實(shí)施曝光步驟前，干膜具有一光阻層及一黏附于光阻層的薄膜，薄膜為一邁拉(Mylar)。當(dāng)基板實(shí)施曝光步驟后，需將薄膜剝離光阻層，使光阻層外露，以便對(duì)基板實(shí)施后續(xù)的顯影及蝕刻步驟。
[0003]現(xiàn)有用以剝離薄膜的剝膜機(jī)大都是借由壓花輪在薄膜表面上滾壓，使薄膜形成皺折。隨后，借由黏輪黏著薄膜并將其剝離光阻層，以使薄膜與光阻層分離。
[0004]薄膜與光阻層間是呈真空的黏著狀態(tài)，因此，壓花輪需施加一預(yù)定的壓力于薄膜上，才能使薄膜形成皺折。由于光阻層及薄膜的厚度很薄，因此，壓花輪施力滾壓于薄膜的過(guò)程中，很容易因施力滾壓的力道過(guò)大進(jìn)而造成光阻層及基板的受損。所以，現(xiàn)有剝膜機(jī)的剝膜方式仍有進(jìn)一步改善的空間。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明的一目的，在于提供一種剝膜機(jī)，通過(guò)輾壓裝置的旋轉(zhuǎn)輾壓件輾壓薄膜使其凹陷變形形成壓痕的輾壓方式，能降低旋轉(zhuǎn)輾壓件輾壓薄膜的過(guò)程中造成光阻層及基板的受損。
[0006]本發(fā)明的另一目的，在于提供一種剝膜機(jī)，當(dāng)旋轉(zhuǎn)輾壓件輾壓薄膜使其凹陷變形形成壓痕并且移離薄膜后，薄膜與光阻層間會(huì)形成具有開(kāi)口的氣室，借此，能有效地破壞薄膜與光阻層間的密合性，以便能快速地將薄膜剝離光阻層。
[0007]本發(fā)明的目的及解決【背景技術(shù)】問(wèn)題是采用于下技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn)的，依據(jù)本發(fā)明提出的剝膜機(jī)，適于將一板件的一薄膜由一光阻層上剝離，該薄膜具有一前端緣、一結(jié)合于該光阻層的結(jié)合面，及一相反于該結(jié)合面的外表面，該板件具有一結(jié)合于該光阻層相反于該薄膜一側(cè)的基板，該基板具有一凸伸出該前端緣的前凸出部。
[0008]該剝膜機(jī)包含一輸送裝置、一輾壓裝置，及一剝離裝置，該輸送裝置可沿一由后朝前的輸送方向輸送該板件，該輾壓裝置位于該輸送裝置中段處，該輾壓裝置包括一固定框架、一設(shè)置于該固定框架的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，及一設(shè)置于該驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的旋轉(zhuǎn)輾壓件，該驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)可帶動(dòng)該旋轉(zhuǎn)輾壓件沿一輾壓方向移動(dòng)以經(jīng)由該前端緣輾壓至該外表面上，使該薄膜凹陷變形形成壓痕，以破壞該薄膜與該光阻層間的黏著力，當(dāng)該旋轉(zhuǎn)輾壓件移離該薄膜時(shí)，該薄膜與該光阻層間形成一氣室，該氣室的一開(kāi)口形成于該前端緣與該光阻層間，該驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)可帶動(dòng)該旋轉(zhuǎn)輾壓件沿該輾壓方向在一位于該前凸出部與該前端緣間且對(duì)齊于該前端緣前方的初始位置，及一輾壓于該外表面且間隔位于該前端緣后方的終止位置間移動(dòng)，該旋轉(zhuǎn)輾壓件包含一呈圓盤狀的輾壓刀，該輾壓刀包括一用以輾壓該薄膜的刀尖，該剝離裝置位于該輾壓裝置前側(cè)，該剝離裝置包括一夾持吹氣機(jī)構(gòu)，及一剝離機(jī)構(gòu)，該夾持吹氣機(jī)構(gòu)用以?shī)A持該前凸出部并可對(duì)該氣室的該開(kāi)口吹氣以使該薄膜鄰近該前端緣的部位剝離該光阻層，該剝離機(jī)構(gòu)用以銜接該薄膜鄰近該前端緣的部位以將該薄膜剝離該光阻層。
[0009]該刀尖呈倒圓角狀。
[0010]該驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包含一用以供該旋轉(zhuǎn)輾壓件樞接的殼件、一設(shè)置于該殼件內(nèi)的偏壓彈簧，及一用以抵壓于該偏壓彈簧一端使其對(duì)該殼件朝下偏壓的壓力調(diào)整桿。
[0011]該驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)還包含一第一承載架、一第二承載架、一第三承載架、一第一氣缸、一第二氣缸，及一第三氣缸，該第一氣缸設(shè)置于該固定框架上用以驅(qū)使該第一承載架沿一平行于該前端緣的平移方向移動(dòng)，該第二氣缸設(shè)置于該第一承載架上用以驅(qū)使該第二承載架沿一上下方向移動(dòng)，該第三氣缸設(shè)置于該第二承載架上用以驅(qū)使該第三承載架沿該輾壓方向移動(dòng)，該殼件可沿該上下方向移動(dòng)地連接于該第三承載架上。
[0012]該輾壓方向是傾斜于該前端緣。
[0013]該夾持吹氣機(jī)構(gòu)包含兩個(gè)用以?shī)A持該前凸出部的夾爪，及一設(shè)置于對(duì)應(yīng)的該夾爪并可對(duì)該開(kāi)口吹氣的噴嘴，該剝離機(jī)構(gòu)包含一擋止件、一回收滾筒、一卷繞于該回收滾筒上并可被該回收滾筒卷收的承接膜，及一接合模塊，該承接膜部分貼靠于該擋止件上，該薄膜鄰近該前端緣的部位會(huì)被該噴嘴吹至貼靠于該擋止件并重疊于該承接膜的位置，該接合模塊用以將該薄膜與該承接膜重疊的部位接合在一起。
[0014]本發(fā)明的又一目的，在于提供一種剝膜機(jī)的輾壓裝置，通過(guò)輾壓裝置的旋轉(zhuǎn)輾壓件輾壓薄膜使其凹陷變形形成壓痕的輾壓方式，能降低旋轉(zhuǎn)輾壓件輾壓薄膜的過(guò)程中造成光阻層及基板的受損。
[0015]本發(fā)明的再一目的，在于提供一種剝膜機(jī)的輾壓裝置，當(dāng)旋轉(zhuǎn)輾壓件輾壓薄膜使其凹陷變形形成壓痕并且移離薄膜后，薄膜與光阻層間會(huì)形成具有開(kāi)口的氣室，借此，能有效地破壞薄膜與光阻層間的密合性。
[0016]本發(fā)明的目的及解決【背景技術(shù)】問(wèn)題是采用于下技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn)的，依據(jù)本發(fā)明提出的剝膜機(jī)的輾壓裝置，適于輾壓一板件的一薄膜，該板件具有一光阻層，該薄膜具有一前端緣、一結(jié)合于該光阻層的結(jié)合面，及一相反于該結(jié)合面的外表面。
[0017]該輾壓裝置包括一固定框架、一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，及一旋轉(zhuǎn)輾壓件，該驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)設(shè)置于該固定框架上，該旋轉(zhuǎn)輾壓件設(shè)置于該驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，該驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)可帶動(dòng)該旋轉(zhuǎn)輾壓件沿一輾壓方向移動(dòng)以經(jīng)由該前端緣輾壓至該外表面上，使該薄膜凹陷變形形成壓痕，以破壞該薄膜與該光阻層間的黏著力，當(dāng)該旋轉(zhuǎn)輾壓件移離該薄膜時(shí)，該薄膜與該光阻層間形成一氣室，該氣室的一開(kāi)口形成于該前端緣與該光阻層間，該驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)可帶動(dòng)該旋轉(zhuǎn)輾壓件沿該輾壓方向在一對(duì)齊于該前端緣前方的初始位置，及一輾壓于該外表面且間隔位于該前端緣后方的終止位置間移動(dòng)，該旋轉(zhuǎn)輾壓件包含一呈圓盤狀的輾壓刀，該輾壓刀包括一用以輾壓該薄膜的刀尖。
[0018]該刀尖呈倒圓角狀。
[0019]該驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包含一用以供該旋轉(zhuǎn)輾壓件樞接的殼件、一設(shè)置于該殼件內(nèi)的偏壓彈簧，及一用以抵壓于該偏壓彈簧一端使其對(duì)該殼件朝下偏壓的壓力調(diào)整桿。
[0020]該驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)還包含一第一承載架、一第二承載架、一第三承載架、一第一氣缸、一第二氣缸，及一第三氣缸，該第一氣缸設(shè)置于該固定框架上用以驅(qū)使該第一承載架沿一平行于該前端緣的平移方向移動(dòng)，該第二氣缸設(shè)置于該第一承載架上用以驅(qū)使該第二承載架沿一上下方向移動(dòng)，該第三氣缸設(shè)置于該第二承載架上用以驅(qū)使該第三承載架沿該輾壓方向移動(dòng)，該殼件可沿該上下方向移動(dòng)地連接于該第三承載架上。
[0021 ] 該輾壓方向是傾斜于該前端緣。
[0022]本發(fā)明的有益效果在于:通過(guò)輾壓裝置的旋轉(zhuǎn)輾壓件輾壓薄膜，使薄膜凹陷變形形成壓痕，以破壞薄膜與光阻層間的黏著力及密合性，借此，能降低旋轉(zhuǎn)輾壓件輾壓薄膜的過(guò)程中造成光阻層及基板的受損。當(dāng)旋轉(zhuǎn)輾壓件移離薄膜后，薄膜與光阻層間形成具有開(kāi)口的氣室，借此，使得剝離裝置能方便且可快速地將薄膜剝離光阻層。
【附圖說(shuō)明】
[0023]圖1是本發(fā)明發(fā)剝膜機(jī)的一實(shí)施例的立體圖，說(shuō)明機(jī)座、輸送裝置、輾壓裝置及剝離裝置間的組裝關(guān)系；
[0024]圖2是本發(fā)明剝膜機(jī)的一實(shí)施例的側(cè)視圖；
[0025]圖3是本發(fā)明剝膜機(jī)的一實(shí)施例所欲加工的板件的側(cè)視圖；
[0026]圖4是本發(fā)明剝膜機(jī)的一實(shí)施例的輾壓裝置的立體圖；
[0027]圖5是本發(fā)明剝膜機(jī)的一實(shí)施例的輾壓裝置的后視圖；
[0028]圖6是本發(fā)明剝膜機(jī)的一實(shí)施例的輾壓裝置的局部立體圖，說(shuō)明固定框架、驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)與旋轉(zhuǎn)輾壓件間的組裝關(guān)系；
[0029]圖7是本發(fā)明剝膜機(jī)的一實(shí)施例的輾壓裝置的局部后視圖；
[0030]圖8是本發(fā)明剝膜機(jī)的一實(shí)施例的旋轉(zhuǎn)輾壓件的側(cè)視圖；
[0031]圖9是本發(fā)明剝膜機(jī)的一實(shí)施例的局部側(cè)視圖，說(shuō)明夾持吹氣機(jī)構(gòu)與剝離機(jī)構(gòu)的細(xì)部構(gòu)造；
[0032]圖10是本發(fā)明剝膜機(jī)的一實(shí)施例的夾持吹氣機(jī)構(gòu)的立體圖；
[0033]圖11是本發(fā)明剝膜機(jī)的一實(shí)施例的擋止件的前視圖；
[0034]圖12是本發(fā)明剝膜機(jī)的一實(shí)施例的作動(dòng)示意圖，說(shuō)明旋轉(zhuǎn)輾壓件位于初始位置；
[0035]圖13是本發(fā)明剝膜機(jī)的一實(shí)施例的作動(dòng)示意圖，說(shuō)明旋轉(zhuǎn)輾壓件位于初始位置；
[0036]圖14是本發(fā)明剝膜機(jī)的一實(shí)施例的作動(dòng)示意圖，說(shuō)明旋轉(zhuǎn)輾壓件位于終止位置；
[0037]圖15是本發(fā)明剝膜機(jī)的一實(shí)施例的作動(dòng)示意圖，說(shuō)明旋轉(zhuǎn)輾壓件的輾壓刀輾壓薄膜使其凹陷變形而形成壓痕；
[0038]圖16是本發(fā)明剝膜機(jī)的一實(shí)施例的作動(dòng)示意圖，說(shuō)明旋轉(zhuǎn)輾壓件復(fù)位至初始位置；
[0039]圖17是本發(fā)明剝膜機(jī)的一實(shí)施例的作動(dòng)示意圖，說(shuō)明旋轉(zhuǎn)輾壓件移離薄膜時(shí)，薄膜與光阻層間形成具有