防塵薄膜組件的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明的目的在于提供一種通過設(shè)為適當(dāng)?shù)恼澈蠈拥慕孛嫘螤疃蛊溟L期不產(chǎn)生松弛并且外觀優(yōu)良的防塵薄膜組件。本發(fā)明為在防塵薄膜組件框架的一側(cè)框架表面上借助于涂敷在該框架表面上的粘合層粘貼有防塵薄膜的防塵薄膜組件，其特征在于，所述粘合層的與防塵薄膜組件框架的長方向直交的截面的與防塵薄膜相對側(cè)的截面形狀由曲率半徑R10以上且R1000以下的凸曲線構(gòu)成。另外，本發(fā)明的凸曲線優(yōu)選為大致弓形。
【專利說明】防塵薄膜組件

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及在制造半導(dǎo)體器件、集成電路封裝、印刷電路板、液晶顯示器或有機(jī)EL顯示器等時(shí)作為防塵器使用的光刻技術(shù)用等的防塵薄膜組件。

【背景技術(shù)】
[0002]在大規(guī)模集成電路、超大規(guī)模集成電路等的半導(dǎo)體的制造或者液晶顯示器等的制造過程中，要向半導(dǎo)體晶片或液晶用原板上照射光來形成電路圖案，然而，這里存在這樣的問題，即，當(dāng)所用的光掩模或精密掩模(以下，僅記為光掩模)上附著了灰塵時(shí)，除了邊緣變得不規(guī)整外，基底會變黑弄臟，從而導(dǎo)致尺寸、品質(zhì)以及外觀受損。
[0003]因此，這些作業(yè)通常是在無塵室里進(jìn)行，但盡管如此，要保持光掩?？倳r(shí)清潔是很困難的。所以，通常在光掩模的表面上，作為防塵器貼附防塵薄膜組件之后進(jìn)行曝光。這樣一來，由于異物不直接附著在光掩模的表面而是附著于防塵薄膜上，所以在光刻時(shí)只要把焦點(diǎn)對準(zhǔn)光掩模上的圖案，防塵薄膜組件上的異物便與轉(zhuǎn)印無關(guān)。
[0004]一般來講，這種防塵薄膜組件由防塵薄膜組件框架和防塵薄膜構(gòu)成，而在構(gòu)成防塵薄膜組件的防塵薄膜組件框架的下端，形成有用于將防塵薄膜組件粘貼到光掩模上的、由聚丁烯樹脂、聚醋酸乙烯樹脂、丙烯酸樹脂、有機(jī)硅樹脂構(gòu)成的粘著劑層以及用于保護(hù)該粘著劑層的離型層(隔離膜)。
[0005]而在防塵薄膜組件框架的另一端的表面上粘貼有防塵薄膜，該防塵薄膜通常使用透光性良好的纖維素酯或氟樹脂等的材料制造而成。例如，專利文獻(xiàn)I中記載了一種制造方法，是將纖維素酯溶解于有機(jī)溶劑中，然后將其澆注在平滑的玻璃上攤平，形成均勻的薄膜后進(jìn)行干燥，從而制成防塵薄膜。另外，專利文獻(xiàn)2中記載了一種醋酸丁酸纖維素樹脂薄膜的成型方法。專利文獻(xiàn)3中記載的方法是，溶解氟系聚合物，利用旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)將其涂布在平滑的平板上，從而形成均勻的防塵薄膜。
[0006]另外，專利文獻(xiàn)4中記載了使用由二有機(jī)聚硅氧烷組成物構(gòu)成的粘合劑將防塵薄膜固定于防塵薄膜組件框架；專利文獻(xiàn)5中記載了使用有機(jī)硅類粘合劑將防塵薄膜粘貼于防塵薄膜組件框架。
[0007]專利文獻(xiàn)
[0008]專利文獻(xiàn)1:日本特開昭58-219023號公報(bào)
[0009]專利文獻(xiàn)2:美國專利第4861402號說明書
[0010]專利文獻(xiàn)3:日本特公昭63-27707號公報(bào)
[0011]專利文獻(xiàn)4:日本特許第2945201號
[0012]專利文獻(xiàn)5:日本特許第4185232號


【發(fā)明內(nèi)容】

[0013]如上所述，防塵薄膜通過各種粘合劑粘貼到防塵薄膜組件框架上，但是，目前為止，在該粘貼時(shí)對于粘合層表面的形狀絲毫未被考慮，通常是不特定形狀或不規(guī)則形狀。
[0014]因此，產(chǎn)生了涂布了粘合劑的防塵薄膜的一部分未粘合或一部分未接觸等的問題。而且，由于這種粘合不良或接觸不良導(dǎo)致粘合面積的下降，會引起防塵薄膜與防塵薄膜組件框架之間的粘合力降低，所以會產(chǎn)生防塵薄膜松弛，最壞的情況，防塵薄膜從防塵薄膜組件框架脫落的問題。此外，由于粘合層的形狀不規(guī)則，如果防塵薄膜與防塵薄膜組件框架的粘合部分呈現(xiàn)斑狀、波狀等的不規(guī)則形狀，由于包含有氣泡，還會產(chǎn)生外觀不良的問題。
[0015]因此，本發(fā)明鑒于以上問題而完成，目的在于提供一種通過設(shè)為適當(dāng)?shù)恼澈蠈拥慕孛嫘螤疃蛊溟L期不產(chǎn)生松弛并且外觀良好的、用于光刻技術(shù)等的防塵薄膜組件。
[0016]本發(fā)明人為達(dá)到上述目的進(jìn)行了深入的探討，結(jié)果發(fā)現(xiàn)，粘合層的截面形狀的不同，會使防塵薄膜與防塵薄膜組件框架之間的粘合力及粘合后的外觀產(chǎn)生很大差別。通過進(jìn)一步的研究發(fā)現(xiàn)，若粘合劑層的截面形狀為由曲率半徑RlO以上且R1000以下的凸曲線構(gòu)成，粘合不良問題將得到解決，從而促成了本發(fā)明。
[0017]S卩，本發(fā)明是一種防塵薄膜組件，在防塵薄膜組件框架的一側(cè)框架表面上，借助于涂敷在該框架表面上的粘合層粘貼有防塵薄膜，其特征在于，所述粘合層的與防塵薄膜組件框架的長方向直交的截面的與防塵薄膜相對側(cè)的截面形狀為由曲率半徑RlO以上且R1000以下的凸曲線構(gòu)成。
[0018]并且，本發(fā)明的所述截面優(yōu)選為大致弓形，在所述防塵薄膜組件框架的另一端的框架表面上，設(shè)有用于將防塵薄膜組件粘貼于基板上的粘著劑層和用于保護(hù)該粘著劑層的剝尚層O
[0019]根據(jù)本發(fā)明，粘合不良或接觸不良被消除，接觸面積大，故防塵薄膜與防塵薄膜組件框架之間能夠獲得足夠的粘合力，從而能夠提供一種粘貼于防塵薄膜組件框架上的防塵薄膜長期不會松弛而且外觀優(yōu)良的防塵薄膜組件。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0020]圖1是本發(fā)明的粘合層的截面形狀為弓形的防塵薄膜組件的縱剖面圖。
[0021]圖2是圖1的防塵薄膜組件的俯視圖(頂視圖)。
[0022]圖3是比較例的粘合層的截面形狀為曲率半徑小的弓形的防塵薄膜組件的縱剖面圖。
[0023]圖4是圖3的防塵薄膜組件的俯視圖(頂視圖)。
[0024]圖5是比較例的粘合層的截面形狀為平面的防塵薄膜組件的縱剖面圖。
[0025]圖6是圖5的防塵薄膜組件的俯視圖(頂視圖)。

【具體實(shí)施方式】
[0026]以下對本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式進(jìn)行具體說明，但本發(fā)明并非限定于此。
[0027]圖1是示出基于本發(fā)明的粘合層形狀的一個(gè)實(shí)施方式的防塵薄膜組件的剖面示意圖。圖2是圖1的俯視圖(頂視圖)。在該防塵薄膜組件中，防塵薄膜11借助于粘合層15繃設(shè)于防塵薄膜組件框架12的上端面，所述防塵薄膜組件框架12為與基板(光掩?；蚱洳ＡЩ宀糠?的形狀對應(yīng)的通常四方框狀(長方形框狀或正方形框狀)，而在防塵薄膜組件框架12的下端面，形成有用于將防塵薄膜組件粘貼于基板上的粘著劑層13，在該粘著劑層13的下端面，以可剝離的方式貼有用于保護(hù)粘著劑層13的離型層(隔離膜)14。
[0028]需要說明的是，關(guān)于防塵薄膜11、防塵薄膜組件框架12、粘著劑、粘合劑以及隔離膜14的材質(zhì)，沒有特別限制，可以使用公知的材質(zhì)。
[0029]借助于粘合層15將防塵薄膜11粘貼到防塵薄膜組件框架12時(shí)，由于該粘合層15的剖面形狀的不同會使粘合后的外觀及防塵薄膜11與防塵薄膜組件框架12之間的粘合力產(chǎn)生很大差別，因此，在本發(fā)明中，將粘合層15的剖面形狀設(shè)為由凸曲線構(gòu)成并且該凸曲線的所有部分的曲率半徑均在RlO以上且R1000以下的范圍之內(nèi)的形狀。并且，優(yōu)選該曲率半徑為R20以上且R800以下。
[0030]因?yàn)楫?dāng)該曲率半徑小到不足RlO時(shí)，粘合層15的剖面的曲率變得苛刻，在粘貼防塵薄膜時(shí)，即使將防塵薄膜11向防塵薄膜組件框架12上按壓，防塵薄膜11也無法與整個(gè)粘合面接觸，粘合面積變少，故防塵薄膜11與防塵薄膜組件框架12間的粘合力降低。
[0031]另外，因?yàn)楫?dāng)該曲率半徑大到超過R1000時(shí)，粘合層15的剖面幾乎變成了水平(與防塵薄膜組件框架的粘合面平行)的平板狀，因此，根據(jù)防塵薄膜11的粘貼方式，在防塵薄膜11與粘合層15之間會殘留氣泡，從而由粘合面積的減少而使粘合力降低。
[0032]如圖1所示，在本發(fā)明的實(shí)施方式中，粘合層15的剖面形狀為大致弓形，其曲率半徑為RlO以上且R1000以下的形狀。若為這種大致弓形，能夠?qū)⒎缐m薄膜11粘貼于涂布有粘合劑的整個(gè)粘合面，故優(yōu)選。
[0033]實(shí)施例
[0034](實(shí)施例1)
[0035]以下，對實(shí)施例進(jìn)行說明。在該實(shí)施例1中，作為粘合劑，用甲苯和2，2，4_三甲基戊烷將有機(jī)硅粘合劑X-40-3122(產(chǎn)品名，信越化學(xué)工業(yè)株式會社制)稀釋至濃度為10%，在鋁制的防塵薄膜組件框架12的上端，以粘合層15的剖面形狀成為曲率半徑R360的方式進(jìn)行涂布。然后，將防塵薄膜組件框架12加熱至130°C使甲苯和2，2，4_三甲基戊烷揮發(fā)從而使粘合劑固化。
[0036]另一方面，在制備防塵薄膜時(shí)，使用CYTOP CTX-S (產(chǎn)品名，旭硝子公司制)作為材料，用溶劑CTsolv.180(產(chǎn)品名，旭硝子公司制)將其稀釋成了濃度為5%。然后。使用旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)在200mm、厚度1.2mm的表面經(jīng)過研磨的有機(jī)硅基板上將該溶液形成為膜厚I μ m的透明膜，然后在200°C下干燥15分鐘形成薄膜，并將該薄膜從基板上剝離，從而制備了防塵薄膜11。
[0037]接著，將以上制作的防塵薄膜11粘貼到先前準(zhǔn)備的防塵薄膜組件框架12上。此時(shí)，最初防塵薄膜11與粘合層15的圓弧狀的頂部接觸而開始粘合，隨著將防塵薄膜11向防塵薄膜組件框架12按壓(或者隨著將防塵薄膜組件框架12向防塵薄膜11按壓)，防塵薄膜11與防塵薄膜組件框架12的粘合部分向周圍擴(kuò)展，最終實(shí)現(xiàn)了使防塵薄膜11與防塵薄膜組件框架12在整個(gè)粘合面上粘合。
[0038]然后，對防塵薄膜11與防塵薄膜組件框架12間的粘合力進(jìn)行了測定，結(jié)果示出的值雖然為1.5kN/cm，但由于在該值處防塵薄膜11發(fā)生的斷裂，所以，可以說防塵薄膜11與防塵薄膜組件框架12間的實(shí)際的粘合力為1.5kN/cm以上。
[0039](實(shí)施例2)
[0040]在該實(shí)施例2中，作為粘合劑，用N0VEC7300(產(chǎn)品名稱，住友3M株式會社制)將CYTOP CTX-S(產(chǎn)品名，旭硝子公司制)稀釋至濃度為6%，在鋁制的防塵薄膜組件框架12的上端，以粘合層15的剖面形狀成為曲率半徑RlOO的方式進(jìn)行涂布。然后，將防塵薄膜組件框架12加熱至130°C使N0VEC7300揮發(fā)從而使粘合劑固化。除此之外，與實(shí)施例1同樣地進(jìn)行了制作。
[0041]然后，對防塵薄膜11與防塵薄膜組件框架12間的粘合力進(jìn)行了測定，結(jié)果示出的值雖然為1.5kN/cm，但與實(shí)施例1相同，由于在該值處防塵薄膜11發(fā)生的斷裂，所以，可以說防塵薄膜11與防塵薄膜組件框架12間的實(shí)際的粘合力為1.5kN/cm以上。
[0042](實(shí)施例3)
[0043]在該實(shí)施例3中，以粘合層15的剖面形狀成為曲率半徑RlO的方式將有機(jī)硅粘合劑涂布于防塵薄膜組件框架12上，除此之外，與實(shí)施例1同樣地進(jìn)行了制作。
[0044]然后，對防塵薄膜11與防塵薄膜組件框架12間的粘合力進(jìn)行了測定，結(jié)果示出的值雖然為1.5kN/cm，但與實(shí)施例1相同，由于在該值處防塵薄膜11發(fā)生的斷裂，所以，可以說防塵薄膜11與防塵薄膜組件框架12間的實(shí)際的粘合力為1.5kN/cm以上。
[0045](實(shí)施例4)
[0046]在該實(shí)施例4中，以粘合層15的剖面形狀成為曲率半徑R1000的方式將有機(jī)硅粘合劑涂布于防塵薄膜組件框架12上，除此之外，與實(shí)施例1同樣地進(jìn)行了制作。
[0047]然后，對防塵薄膜11與防塵薄膜組件框架12間的粘合力進(jìn)行了測定，結(jié)果示出的值雖然為1.5kN/cm，但與實(shí)施例1相同，由于在該值處防塵薄膜11發(fā)生的斷裂，所以，可以說防塵薄膜11與防塵薄膜組件框架12間的實(shí)際的粘合力為1.5kN/cm以上。
[0048]比較例
[0049](比較例I)
[0050]以下，對比較例進(jìn)行說明。在該比較例I中，粘合層15的剖面形狀如圖3所示，以成為曲率半徑R5的方式將有機(jī)硅粘合劑涂布于防塵薄膜組件框架12上，除此之外，與實(shí)施例I同樣地進(jìn)行了制作。
[0051]然后，對比較例I的防塵薄膜11與粘合層15的粘合面進(jìn)行觀察發(fā)現(xiàn)，由于粘合層15的剖面的圓弧曲率太小，防塵薄膜11未在整個(gè)粘合層15上粘合，如圖4所示，殘留有非粘合部分17，故粘貼不充分。并且，對防塵薄膜11與防塵薄膜組件框架12間的粘合力進(jìn)行了測定，結(jié)果示出的值為0.6kN/cm，此時(shí)也出現(xiàn)了防塵薄膜11與防塵薄膜組件框架12間的剝離。
[0052](比較例2)
[0053]在該比較例2中，粘合層15的剖面形狀如圖5所示，以與防塵薄膜組件框架12的粘合面平行的方式將有機(jī)硅粘合劑涂布于防塵薄膜組件框架12上，除此之外，與實(shí)施例1同樣地進(jìn)行了制作。
[0054]然后，對比較例2的防塵薄膜11與粘合層15的粘合面進(jìn)行觀察發(fā)現(xiàn)，在防塵薄膜11與粘合層15之間殘留有氣泡，如圖6所示，也殘留有非粘合部分17。并且，對防塵薄膜11與防塵薄膜組件框架12間的粘合力進(jìn)行了測定，結(jié)果示出的值為0.7kN/cm，此時(shí)出現(xiàn)了防塵薄膜11與防塵薄膜組件框架12間的剝離。
[0055](比較例3)
[0056]在該比較例3中，以粘合層15的剖面形狀成為曲率半徑R2000的方式將有機(jī)硅粘合劑涂布于防塵薄膜組件框架12上，除此之外，與實(shí)施例1同樣地進(jìn)行了制作。
[0057]然后，對比較例3的防塵薄膜11與粘合層15的粘合面進(jìn)行觀察發(fā)現(xiàn)，在防塵薄膜11與粘合層15之間殘留有氣泡。并且，對防塵薄膜11與防塵薄膜組件框架12間的粘合力進(jìn)行了測定，結(jié)果示出的值為0.7kN/cm，此時(shí)也出現(xiàn)了防塵薄膜11與防塵薄膜組件框架12間的剝離。
[0058]將以上實(shí)施例1-4及比較例1-3歸納于下列表1中。
[0059]表1
[0060]

【權(quán)利要求】
1.一種防塵薄膜組件，在防塵薄膜組件框架的一側(cè)框架表面上，借助于涂敷在該框架表面上的粘合層粘貼有防塵薄膜，其特征在于，所述粘合層的與防塵薄膜組件框架長方向直交的截面的與防塵薄膜相對側(cè)的截面形狀由曲率半徑R1以上且R1000以下的凸曲線構(gòu)成。
2.如權(quán)利要求1所述的防塵薄膜組件，其特征在于，所述截面為大致弓形。
3.如權(quán)利要求1或權(quán)利要求2所述的防塵薄膜組件，其特征在于，在所述防塵薄膜組件框架的另一端的框架表面上，設(shè)置有用于將防塵薄膜組件粘貼于基板上的粘著劑層和用于保護(hù)該粘著劑層的剝離層。
【文檔編號】B08B17/00GK104133341SQ201410177846
【公開日】2014年11月5日 申請日期:2014年4月29日 優(yōu)先權(quán)日:2013年4月30日
【發(fā)明者】堀越淳 申請人:信越化學(xué)工業(yè)株式會社