專利名稱：使用可選擇的環(huán)境可接受的澄清劑制備的透明las玻璃陶瓷的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及透明玻璃陶瓷，其具有低的熱膨脹性，也稱為“零膨脹”，該玻璃陶瓷分別僅含有環(huán)境可接受的澄清劑或僅使用環(huán)境可接受的澄清劑進行澄清化，以及涉及根據(jù)本發(fā)明的玻璃陶瓷的用途。
背景技術(shù)：
在具有低的熱膨脹性的玻璃陶瓷中，鋰、鋁、氧化硅LAS玻璃陶瓷被認為是所謂的 “零膨脹材料”。一種常見的材料，例如ZERODUR ，其以0至2的三種膨脹等級市售可得， 0至2的三種膨脹等級在0至50°C的溫度范圍內(nèi)具有不同的熱膨脹系數(shù)長度α。
權(quán)利要求
1.具有低的熱膨脹性的透明玻璃陶瓷，其包含以下成分(基于氧化物的重量％) SiO235 至 70Al2O317 至 35Li2O2 至 6TiO2 至 6ZrO20 至 6Ti02+Zr02 0 . 5 至 9 ZnO0. 5 至 5，其中所述玻璃陶瓷通過用SnA和至少一種其它澄清劑進行澄清化而制備，和其中所述其它澄清劑選自SId203、S042_、Br_和Cl_。
2.根據(jù)權(quán)利要求1的玻璃陶瓷，其中所述玻璃陶瓷包含至少一種已由選自Sb203、 SO/—和Cl—的澄清劑形成的其它組分。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2的玻璃陶瓷，其中包含至少一種由澄清劑形成的組分，其各自的比例為基于所述玻璃陶瓷計的0. 001至2摩爾％。
4.根據(jù)前述權(quán)利要求中一項或多項的玻璃陶瓷，其中包含由澄清劑SnO2形成的組分， 其比例為0. 001至2摩爾％。
5.根據(jù)前述權(quán)利要求中一項或多項的玻璃陶瓷，其中所述玻璃陶瓷的熱膨脹性的范圍為 0 士0. 10Χ1(Γ6/Κ。
6.根據(jù)前述權(quán)利要求中一項或多項的玻璃陶瓷，其另外包含一種或多種如下組分(基于氧化物的重量％)B2O3 0 至 6 Na2O 0 至 2 K2O 0 至 2 MgO 0 至 5 P2O3 0 至 17 CaO 0 至 4 BaO 0 至 5 SrO 0 至 5。
7.根據(jù)前述權(quán)利要求中一項或多項的玻璃陶瓷，其中所述玻璃陶瓷不含As203、CeO2和 / 或 PbO0
8.根據(jù)前述權(quán)利要求中一項或多項的玻璃陶瓷，其中所述玻璃陶瓷包含一種或多種選自高溫型石英、混合高溫型石英晶體、熱液石英、混合熱液石英晶體、β鋰霞石的晶體相。
9.根據(jù)權(quán)利要求1至8的玻璃陶瓷在光刻中的用途，特別是在LCD光刻和微光刻中的用途，在天文學(xué)中的用途或作為精密元件的用途。
10.SnO2與至少一種選自Sb203> SO42-和CF的其它澄清劑以1 2至2 1摩爾比例的組合用于使玻璃澄清化的用途，其中所述玻璃適合用于玻璃陶瓷的制造。
11.用于天文學(xué)的鏡支架，其包含根據(jù)權(quán)利要求1至8中一項的玻璃陶瓷。
12.根據(jù)權(quán)利要求9的鏡支架，其是輕型鏡支架。
13.用于IXD光刻的棱鏡，其包含根據(jù)權(quán)利要求1至9中一項的玻璃陶瓷。
14.用于IXD光刻的鏡支架，其包含根據(jù)權(quán)利要求1至9中一項的玻璃陶瓷。
15.制備根據(jù)權(quán)利要求1至8中一項或多項的玻璃陶瓷的方法，其包括如下步驟a.用包括SnO2和至少一種其它澄清劑的組合使玻璃熔融物澄清化，并且其中所述其它澄清劑選自SId203、SO廣、Br_和Cl_。
全文摘要
本發(fā)明涉及使用可選擇的環(huán)境可接受的澄清劑制備的透明LAS玻璃陶瓷。具體地，本發(fā)明涉及具有低的熱膨脹性的透明玻璃陶瓷。該玻璃陶瓷僅包含環(huán)境可接受的澄清劑或通過使用環(huán)境可接受的澄清劑制備。特別地，本發(fā)明的玻璃陶瓷不包含任何有毒的砷。
文檔編號C03C10/12GK102190441SQ20111004524
公開日2011年9月21日 申請日期2011年2月22日 優(yōu)先權(quán)日2010年2月22日
發(fā)明者奧拉夫·克勞森, 比安卡·施雷德, 瑪利亞-路易莎·賴希 申請人:肖特公開股份有限公司