一種真空旋涂設(shè)備的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及ITO鍍膜【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其涉及一種真空旋涂設(shè)備。所述真空旋涂設(shè)備包括真空室，真空室內(nèi)設(shè)置有旋轉(zhuǎn)臺(tái)，旋轉(zhuǎn)臺(tái)上設(shè)置有玻璃夾具；所述真空室的右側(cè)依次設(shè)置有一級(jí)干燥室和二級(jí)干燥室，使得ITO膜的膜厚更均勻，產(chǎn)品穿透率和阻抗特性更理想。
【專利說(shuō)明】一種真空旋涂設(shè)備
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及ITO鍍膜【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其涉及一種真空旋涂設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]氧化銦錫(ΙΤ0)是一種N型半導(dǎo)體，常溫下具有良好的導(dǎo)電性能，對(duì)可見(jiàn)光有很好的透過(guò)率，是生產(chǎn)液晶屏及觸摸屏的關(guān)鍵材料之一。液晶顯示器之所以能顯示特定的圖形，就是利用導(dǎo)電玻璃上的透明導(dǎo)電膜，經(jīng)蝕刻制成特定外形的電極，上下導(dǎo)電玻璃制成液晶盒后，在這些電極上加適當(dāng)電壓信號(hào)，使具有偶極矩的液晶分子在電場(chǎng)作用下特定的方面排列，僅而顯示出與電極波長(zhǎng)相對(duì)應(yīng)的圖形。隨著液晶屏及觸摸屏技術(shù)的高速發(fā)展，如何使得ITO膜的膜厚更均勻，產(chǎn)品穿透率和阻抗特性更理想，成為函待解決的問(wèn)題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本實(shí)用新型的目的在于針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足而提供一種真空旋涂設(shè)備，使得ITO膜的膜厚更均勻，產(chǎn)品穿透率和阻抗特性更理想。
[0004]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用以下技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn)。
[0005]一種真空旋涂設(shè)備，它包括真空室，真空室內(nèi)設(shè)置有旋轉(zhuǎn)臺(tái)，旋轉(zhuǎn)臺(tái)上設(shè)置有玻璃夾具；所述真空室的右側(cè)依次設(shè)置有一級(jí)干燥室和二級(jí)干燥室。
[0006]進(jìn)一步的，它還包括穿透率檢驗(yàn)室，透率檢驗(yàn)室設(shè)置于二級(jí)干燥室的右側(cè)。
[0007]進(jìn)一步的，它還包括阻抗特性檢驗(yàn)室，阻抗特性檢驗(yàn)室設(shè)置于透率檢驗(yàn)室的右側(cè)。
[0008]本實(shí)用新型的有益效果為:本實(shí)用新型所述一種真空旋涂設(shè)備，使得ITO膜的膜厚更均勻，產(chǎn)品穿透率和阻抗特性更理想。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0009]圖1為本實(shí)用新型的原理框圖。
【具體實(shí)施方式】
[0010]下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的說(shuō)明。
[0011]如圖1所示，本實(shí)用新型所述一種真空旋涂設(shè)備，它包括真空室1，真空室I內(nèi)設(shè)置有旋轉(zhuǎn)臺(tái)10，旋轉(zhuǎn)臺(tái)10上設(shè)置有玻璃夾具11 ;所述真空室I的右側(cè)依次設(shè)置有一級(jí)干燥室2和二級(jí)干燥室3。進(jìn)一步的，它還包括穿透率檢驗(yàn)室4，透率檢驗(yàn)室設(shè)置于二級(jí)干燥室3的右側(cè)。進(jìn)一步的，它還包括阻抗特性檢驗(yàn)室5，阻抗特性檢驗(yàn)室5設(shè)置于透率檢驗(yàn)室的右偵U。工作時(shí)，將玻璃基片固定放置于真空旋涂設(shè)備的旋轉(zhuǎn)臺(tái)10上進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，旋轉(zhuǎn)臺(tái)10位于真空旋涂設(shè)備的真空室I內(nèi)，旋轉(zhuǎn)臺(tái)10轉(zhuǎn)速為200rpm/min，旋轉(zhuǎn)時(shí)間為80s，在玻璃基片的表面形成一層均勻的ITO凝膠；然后將玻璃基片放置于真空旋涂設(shè)備的一級(jí)干燥室2中，在85° C溫度下干燥10-15分鐘；然后再將玻璃基片放置于真空旋涂設(shè)備的二級(jí)干燥室3中，在150° C溫度下熱處理10-15分鐘，使得多層ITO凝膠形成ITO膜；最后檢查并記錄產(chǎn)品的穿透率和阻抗特性，并判斷產(chǎn)品是否為良品。該真空旋涂設(shè)備可自動(dòng)完成旋涂、干燥、穿透率檢驗(yàn)和阻抗特性檢驗(yàn)，大大提高了生產(chǎn)效率，同時(shí)采用真空環(huán)境下進(jìn)行旋涂，在沒(méi)有風(fēng)阻和壓力差的影響下，能在玻璃基片的表面形成更為均勻的ITO凝膠，使得ITO膜的膜厚更均勻，有利于提高ITO膜導(dǎo)電玻璃的性能，產(chǎn)品穿透率和阻抗特性更理想。
[0012]所述一種真空旋涂設(shè)備，其應(yīng)用于ITO膜導(dǎo)電玻璃生產(chǎn)方法時(shí)，包括如下步驟:
[0013]第一步，將大片玻璃切割成玻璃基片；
[0014]第二步，對(duì)玻璃基片進(jìn)行磨邊和倒角，并清除所產(chǎn)生的微粒；
[0015]第三步，對(duì)玻璃基片的表面進(jìn)行研磨拋光處理；
[0016]第四步，以高精密洗凈法完全洗凈玻璃基片；
[0017]第五步，配置ITO膜凝膠:將一定量的銦溶解在濃酸鹽中得到InCl3溶液，取出一定量的InCl3溶液，與乙酰丙酮按1:2 —1:3的摩爾比混合攪拌得到透明溶液；再按透明溶液與乙二醇甲醚的質(zhì)量比為80:5的比例加入乙二醇甲醚，在室溫下攪拌，得到In溶膠；按In =Sn質(zhì)量比為25:2的比例加入SnCl4.5H20，攪拌20min得到In-Sn溶膠，然后按In-Sn溶膠與聚乙二醇的質(zhì)量比為80:20的比例加入聚乙二醇，靜置40min得到ITO膜膠液；
[0018]第六步，將ITO膜膠液涂于玻璃基片的中心處；
[0019]第七步，將 玻璃基片固定放置于真空旋涂設(shè)備的旋轉(zhuǎn)臺(tái)10上進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，旋轉(zhuǎn)臺(tái)10位于真空旋涂設(shè)備的真空室I內(nèi)，旋轉(zhuǎn)臺(tái)10轉(zhuǎn)速為200rpm/min，旋轉(zhuǎn)時(shí)間為80s，在玻璃基片的表面形成一層均勻的ITO凝膠；
[0020]第八步，根據(jù)ITO膜的厚度要求，重復(fù)第六步和第七步，形成多層ITO凝膠，以滿足ITO膜的厚度要求；
[0021]第九步，將玻璃基片放置于真空旋涂設(shè)備的一級(jí)干燥室2中，在85° C溫度下干燥10~15分鐘；
[0022]第十步，再將玻璃基片放置于真空旋涂設(shè)備的二級(jí)干燥室3中，在150° C溫度下熱處理10-15分鐘，使得多層ITO凝膠形成ITO膜；
[0023]第十一步，檢查并記錄產(chǎn)品的穿透率和阻抗特性，并判斷產(chǎn)品是否為良品，良品即包裝起來(lái)。
[0024]上述ITO膜導(dǎo)電玻璃生產(chǎn)方法，其特制的ITO膜凝膠使得產(chǎn)品穿透率和阻抗特性更理想，同時(shí)采用真空環(huán)境下進(jìn)行旋涂，在沒(méi)有風(fēng)阻和壓力差的影響下，能在玻璃基片的表面形成更為均勻的ITO凝膠，使得ITO膜的膜厚更均勻，有利于提高ITO膜導(dǎo)電玻璃的性倉(cāng)泛。
[0025]當(dāng)然，本實(shí)用新型還可有其他多種制作方式，在不背離本實(shí)用新型精神及其實(shí)質(zhì)的情況下，熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員可根據(jù)本實(shí)用新型作出相應(yīng)的改變和變形。以上所述僅是本實(shí)用新型的較佳實(shí)施方式，故凡依本實(shí)用新型專利申請(qǐng)范圍所述的構(gòu)造、特征及原理所做的等效變化或修飾，均包括于本實(shí)用新型專利保護(hù)范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種真空旋涂設(shè)備，其特征在于:它包括真空室，真空室內(nèi)設(shè)置有旋轉(zhuǎn)臺(tái)，旋轉(zhuǎn)臺(tái)上設(shè)置有玻璃夾具；所述真空室的右側(cè)依次設(shè)置有一級(jí)干燥室和二級(jí)干燥室。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種真空旋涂設(shè)備，其特征在于:它還包括穿透率檢驗(yàn)室，透率檢驗(yàn)室設(shè)置于二級(jí)干燥室的右側(cè)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種真空旋涂設(shè)備，其特征在于:它還包括阻抗特性檢驗(yàn)室，阻抗特性檢驗(yàn)室設(shè)置于透率檢驗(yàn)室的右側(cè)。
【文檔編號(hào)】C03C17/23GK203700199SQ201320807187
【公開(kāi)日】2014年7月9日 申請(qǐng)日期:2013年12月11日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月11日
【發(fā)明者】郭衛(wèi)軍 申請(qǐng)人:湖北優(yōu)泰顯示技術(shù)有限公司