無塵室循環(huán)過濾裝置、無塵室及手套箱的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種過濾裝置，具體涉及一種無塵室循環(huán)過濾裝置、無塵室及手套箱。
【背景技術(shù)】
[0002]在電子行業(yè)、顯示行業(yè)以及醫(yī)學(xué)行業(yè)的科學(xué)研究與生產(chǎn)過程中，為了提高產(chǎn)品性能，通常都需要在無塵室或無塵設(shè)備中加工制造或進(jìn)行相關(guān)科學(xué)實驗。無塵設(shè)備的好壞直接關(guān)系到產(chǎn)品的好壞，這已經(jīng)成為影響和制約我國電子行業(yè)、顯示行業(yè)的瓶頸，能夠達(dá)到ISOl級的高潔凈無塵室更是幾乎沒有。
[0003]目前所使用的一些過濾設(shè)備，雖然可以滿足一些無塵室的過濾要求，但是對于一些小型的設(shè)備，例如手套箱等，其內(nèi)部空間較小，傳統(tǒng)的過濾設(shè)備在體積上與其存在矛盾，并且傳統(tǒng)的過濾設(shè)備普遍結(jié)構(gòu)都較為復(fù)雜，在使用成本和維護(hù)成本上也無法適應(yīng)手套箱等的要求。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供了一種結(jié)構(gòu)簡單、成本低且可以適應(yīng)手套箱等設(shè)備使用要求的無塵室循環(huán)過濾裝置、無塵室及手套箱。
[0005]為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明的技術(shù)方案如下:
[0006]無塵室循環(huán)過濾裝置，其包括:
[0007]過濾單元，其設(shè)置于無塵室內(nèi)，該過濾單元與無塵室的頂部之間形成第一腔室；
[0008]板體，其上開設(shè)有多個通孔，該板體設(shè)置于無塵室內(nèi)并位于過濾單元的下方，該板體與過濾單元之間形成第二腔室，該板體與無塵室的底部之間形成第三腔室；
[0009]回風(fēng)通道，其兩端分別連通第一腔室和第三腔室。
[0010]本發(fā)明的無塵室循環(huán)過濾裝置主要在無塵室內(nèi)設(shè)置了過濾單元、板體和回風(fēng)通道，把無塵室分別隔成了第一腔室、第二腔室和第三腔室，過濾單元通過驅(qū)動單元的運(yùn)轉(zhuǎn)將氣體通過其過濾后垂直向下吹出，帶走設(shè)備內(nèi)的顆粒物，氣體再依次經(jīng)過第二腔體、板體、第三腔體和回風(fēng)通道后重新回到第一腔體并被過濾單元吸入，如此循環(huán)過濾形成高潔凈的無塵環(huán)境。
[0011]因此，本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比，在簡化結(jié)構(gòu)和降低成本的前提下，同樣形成了高潔凈度的無塵環(huán)境，使得潔凈度同樣可以達(dá)到ISOl級。
[0012]在上述技術(shù)方案的基礎(chǔ)上，本發(fā)明還可以作如下改進(jìn):
[0013]作為優(yōu)選的方案，上述的第一腔室和第三腔室還分別連接氣體凈化單元。
[0014]采用上述優(yōu)選的方案，純化單元可以抽取部分氣體除水除氧后，重新回到過濾單元的上部，經(jīng)過濾單元過濾后成為無水無氧的氣氛環(huán)境，從而進(jìn)一步地提高無塵室的潔凈度。
[0015]作為優(yōu)選的方案，上述的第一腔室和純化單元之間連接的管道上設(shè)置有過濾器。
[0016]采用上述優(yōu)選的方案，可以對重新回到過濾單元的氣體進(jìn)行過濾，從而進(jìn)一步地提高無塵室的潔凈度。
[0017]作為優(yōu)選的方案，上述的過濾單元為FFU過濾器。
[0018]采用上述優(yōu)選的方案，可以實現(xiàn)較佳的過濾效果。
[0019]作為優(yōu)選的方案，上述的過濾單元通過支架安裝于無塵室內(nèi)，過濾單元與支架之間設(shè)置有密封圈。
[0020]采用上述優(yōu)選的方案，可以保證過濾單元安裝的穩(wěn)固性和密封性。
[0021]作為優(yōu)選的方案，上述的密封圈內(nèi)設(shè)有周向的至少一腔室，腔室連通進(jìn)出氣單元，進(jìn)出氣單元上設(shè)置有至少一檢測單元，檢測單元電連接處理器，用于檢測進(jìn)出氣單元內(nèi)的氣體壓力值和/或氣體濃度值，然后將氣體壓力值和/或氣體濃度值發(fā)送至處理器。
[0022]采用上述優(yōu)選的方案，在設(shè)備運(yùn)行過程中可以在兩密封圈之間防止過濾單元與支架之間發(fā)生側(cè)漏現(xiàn)象，即生產(chǎn)過程中或使用過程中檢測過濾單元與支架之間有無側(cè)漏，防止有氣體沒經(jīng)過過濾單元而從側(cè)方跑了。
[0023]作為優(yōu)選的方案，上述的進(jìn)出氣單元上設(shè)置進(jìn)氣控制部和/或出氣控制部，其分別電連接處理器，處理器在收到氣體壓力值和/或氣體濃度值后，與處理器內(nèi)預(yù)設(shè)的值進(jìn)行對比，然后處理器根據(jù)對比結(jié)果控制進(jìn)氣控制部和出氣控制部通過進(jìn)出氣單元對腔室進(jìn)行加氣和/或減氣。
[0024]采用上述優(yōu)選的方案，在設(shè)備運(yùn)行過程中可以在兩密封圈之間保持負(fù)壓環(huán)境。
[0025]作為優(yōu)選的方案，上述的進(jìn)出氣單元為管路。
[0026]采用上述優(yōu)選的方案，可以便于氣體的通過。
[0027]無塵室，包括殼體，該殼體內(nèi)設(shè)置有上述無塵室循環(huán)過濾裝置。
[0028]本發(fā)明的無塵室采用了上述的無塵室循環(huán)過濾裝置，因此具有與其相同的技術(shù)效果O
[0029]手套箱，包括殼體，該殼體內(nèi)具有作為無塵室的腔體，該腔體內(nèi)設(shè)置有上述無塵室循環(huán)過濾裝置。
[0030]本發(fā)明的手套箱采用了上述的無塵室循環(huán)過濾裝置，因此具有與其相同的技術(shù)效果O
【附圖說明】
[0031]圖1為本發(fā)明的無塵室循環(huán)過濾裝置及無塵室(手套箱)的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0032]圖2為本發(fā)明的無塵室循環(huán)過濾裝置中的密封檢測部分的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0033]圖3為本發(fā)明的無塵室循環(huán)過濾裝置中的密封檢測部分的系統(tǒng)架構(gòu)圖。
[0034]其中，1.無塵室11.殼體12.腔體2.過濾單元21.第一腔室22.支架23.密封圈24.腔室25.進(jìn)出氣單元251.進(jìn)氣控制部252.出氣控制部26.檢測單元27.處理器28.報警單元3.板體31.通孔32.第二腔室33.第三腔室4.回風(fēng)通道5.純化單元51.管道52.過濾器。
【具體實施方式】
[0035]下面結(jié)合附圖詳細(xì)說明本發(fā)明的優(yōu)選實施方式。
[0036]為了達(dá)到本發(fā)明的目的，如圖1所示，在本發(fā)明的無塵室循環(huán)過濾裝置的其中一些實施方式中，其包括:過濾單元2，其設(shè)置于無塵室I內(nèi)，也就是殼體11內(nèi)，該過濾單元2與無塵室I的頂部之間形成第一腔室21;板體3，其上開設(shè)有多個通孔31，該板體3設(shè)置于無塵室I內(nèi)并位于過濾單元2的下方，該板體3與過濾單元2之間形成第二腔室32，該板體3與無塵室I的底部之間形成第三腔室33;回風(fēng)通道4，其兩端分別連通第一腔室21和第三腔室33。其中，過濾單元2具體可以為FFU過濾器，其自帶作為驅(qū)動單元的風(fēng)機(jī)，可以實現(xiàn)較佳的過濾效果。
[0037]本實施例的無塵室循環(huán)過濾裝置主要在無塵室內(nèi)設(shè)置了過濾單元、板體和回風(fēng)通道，把無塵室分別隔成了第一腔室、第二腔室和第三腔室，過濾單元通過驅(qū)動單元的運(yùn)轉(zhuǎn)將氣體通過其過濾后垂直向下吹出，帶走設(shè)備內(nèi)的顆粒物，氣體再依次經(jīng)過第二腔體、板體、第三腔體和回風(fēng)通道后重新回到第一腔體并被過濾單元吸入，如此循環(huán)過濾形成高潔凈的無塵環(huán)境。因此，本實施例與現(xiàn)有技術(shù)相比，在簡化結(jié)構(gòu)和降低成本的前提下，同樣形成了高潔凈度的無塵環(huán)境，使得潔凈度同樣可以達(dá)到ISOl級。
[0038]為了進(jìn)一步地優(yōu)化本發(fā)明的實施效果，如圖