專利名稱：顯示器的制造方法以及用于該方法的形成層的裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種液晶顯示器(“LCD”)的制造方法以及用于該方法的定向?qū)有纬裳b置。更具體地，本發(fā)明涉及一種LCD的制造方法以及用于該方法的定向?qū)有纬裳b置，該方法包括使用噴墨印刷技術(shù)形成定向?qū)印?br> 背景技術(shù)：
形成在LCD的薄膜晶體管(“TFT”)陣列基板與濾色器基板之間的液晶層的液晶分子應(yīng)該具有定向調(diào)節(jié)力(alignment regulatingforce)或者表面固定力(surface fixing force)。為此，在液晶層與TFT陣列基板和濾色器基板中的每一個之間的接觸表面形成定向?qū)硬ζ溥M行摩擦。在液晶晶元(liquid crystal cell)工藝中，用于使液晶層中的液晶分子有效定向的定向?qū)拥男纬膳c圖像顯示的質(zhì)量有重要的聯(lián)系。
最近，提出了噴墨印刷技術(shù)作為大比例定向?qū)?alignment layer)的形成方法。然而，根據(jù)形成定向?qū)铀玫膰娔∷⒓夹g(shù)，定向?qū)拥钠秸呛芾щy的。即，由于形成定向?qū)铀玫膰娔∷⒓夹g(shù)采用的原理是，在使用較大噴嘴間距(375μm)的噴墨頭將定向材料溶液噴射到基板上之后，定向材料溶液自發(fā)地擴散，與滾筒印刷技術(shù)(roll printing technology)相比，很難形成均勻的定向?qū)印?br> 圖1示出在使用傳統(tǒng)的基于噴墨的定向?qū)有纬裳b置形成定向?qū)拥倪^程中，從噴墨頭噴射到基板上的定向材料溶液的小液滴的間距。參照圖1，陡峭的階梯形圖案(pattern)均勻地排列在基板上，其包括凹陷部分A和B。通常，目前可利用的噴墨頭的噴嘴之間的噴嘴間距HP大于基板的凹陷部分A與B之間的階梯形圖案間距OP。因此，定向材料溶液21被過多地提供給階梯形圖案的凹陷部分A，其中，定向材料溶液21被直接噴射到該凹陷部分A，而未被直接噴射有定向材料溶液21的凹陷部分B被提供有的溶液不足。當過量的和不足量的定向材料溶液以規(guī)律的間隔被交替提供給基板的整個區(qū)域時，觀察者可能將定向材料溶液過量和不足的規(guī)則交替作為在LCD上形成的條紋。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提供一種液晶顯示器(“LCD”)的制造方法，該方法可防止在LCD的面板上產(chǎn)生條紋。
本發(fā)明還提供一種定向?qū)有纬裳b置，該裝置可防止在LCD的面板上產(chǎn)生條紋。
根據(jù)本發(fā)明的示例性實施例，提供了一種液晶顯示器的制造方法，該方法包括制備基板，其包括多個具有預(yù)定間距的階梯形圖案的矩陣型陣列；以及通過在基板對于噴墨頭部的相對移動方向與矩陣型陣列的第一方向形成大于0度并且小于90度的角度的狀態(tài)下，將來自噴墨頭部的液體材料噴射到基板上，來形成基本上覆蓋基板的正面的層。
根據(jù)本發(fā)明的其它示例性實施例，提供了一種液晶顯示器的制造方法，該方法包括制備基板，其包括多個具有預(yù)定間距的階梯形圖案的矩陣型陣列；以及通過在基板對于噴墨頭部的相對移動方向與矩陣型陣列的第一方向形成大于0度并且小于90度的角度的狀態(tài)下，將來自噴墨頭部的定向材料噴射到基板上，來在基板上形成定向?qū)印?br> 根據(jù)本發(fā)明的另一方面，提供了一種層形成裝置，該裝置包括平臺，使設(shè)置在其上的基板沿第一方向移動，該基板包括薄膜晶體管陣列，在該陣列中，多個薄膜晶體管呈矩陣排列；以及噴墨頭部，其設(shè)置在平臺的上方，將液體材料噴射到基板上，其中，基板對于噴墨頭部的相對移動方向與薄膜晶體管陣列的一個方向形成大于0度并且小于90度的角度。
根據(jù)本發(fā)明的另一方面，提供了一種在基板上形成定向?qū)拥难b置，該基板包括薄膜晶體管陣列，該裝置包括平臺，使設(shè)置在其上的基板沿第一方向移動；噴墨頭部，其設(shè)置在平臺的上方，將定向材料溶液噴射到基板上，其中，基板對于噴墨頭部的相對移動方向與薄膜晶體管陣列的一個方向形成大于0度并且小于90度的角度。


通過參照附圖并詳細描述優(yōu)選實施例，本發(fā)明的上述特征以及其他特征和優(yōu)點將變得顯而易見的，在附圖中圖1是示出了傳統(tǒng)的定向?qū)有纬裳b置的示意圖；圖2是示出了根據(jù)本發(fā)明的定向?qū)有纬裳b置的示例性實施例的示意圖；
圖3A和圖3B是根據(jù)本發(fā)明的定向?qū)有纬裳b置的示例性實施例中包括的噴墨頭部的底部透視圖；圖4A和圖4B分別為根據(jù)本發(fā)明示例性方法制造的示例性LCD的橫截面示意圖和部分放大圖；圖5至圖6B示出了根據(jù)本發(fā)明的示例性LCD的制造方法的示例性實施例中定向?qū)拥男纬晒に嚕灰约皥D7至圖8C示出了根據(jù)本發(fā)明的示例性LCD的制造方法的另一示例性實施例中定向?qū)拥男纬晒に嚒?br> 具體實施例方式
下面將參照附圖更加全面地描述本發(fā)明，在附圖中示出了本發(fā)明的實施例。然而，本發(fā)明可以多種不同的方式來實現(xiàn)而不局限于在此描述的實施例。相反地，所提供的這些實施例，對本領(lǐng)域的技術(shù)人員來說，使得本發(fā)明充分公開并且完全覆蓋本發(fā)明的范圍。通篇中，相同的參考標號指的是相同的元件。
應(yīng)當理解，當元件或?qū)颖恢赋觥拔挥凇绷硪粋€元件上時，該元件可直接位于另一個元件上，或者也可在其間存在插入元件。相反地，當元件被指出“直接位于”另一個元件上時，是指在元件之間不存在插入元件。正如在此所應(yīng)用的，術(shù)語“和/或”包括任何的以及所有的一個或多個相關(guān)所列術(shù)語的結(jié)合。
應(yīng)當理解，盡管在此可能使用術(shù)語第一、第二、第三等來描述不同的元件、部件、區(qū)域、層、和/或部分，但是這些元件、部件、區(qū)域、層、和/或部分并不局限于這些術(shù)語。這些術(shù)語僅用于將一個元件、部件、區(qū)域、層、或部分與另一個元件、部件、區(qū)域、層、或部分相區(qū)分。因此，在不背離本發(fā)明宗旨的情況下，下文所述的第一元件、部件、區(qū)域、層、或部分可以稱為第二元件、組件、區(qū)域、層、或部分。
在此使用的術(shù)語僅用于描述特定實施例而不是限制本發(fā)明。正如在此使用的，單數(shù)形式的“一個”、“這個”也包括復(fù)數(shù)形式，除非文中有其它明確指示。應(yīng)當進一步理解，當在本申請文件中使用術(shù)語“包括”和/或“包含”時，是指存在所聲稱的特征、整數(shù)、步驟、操作、元件、和/或部件，但是并不排除還存在或附加一個或多個其它的特征、整數(shù)、步驟、操作、元件、部件、和/或其組合。
為了便于說明，在此可能使用諸如“在...之下”、“在...下面”、“下面的”、“在...上面”、以及“上面的”等的空間關(guān)系術(shù)語，以描述如圖中所示的一個元件或機構(gòu)與另一元件或機構(gòu)的關(guān)系。應(yīng)當理解，除圖中所示的方位之外，空間關(guān)系術(shù)語將包括使用或操作中的裝置的各種不同的方位。例如，如果翻轉(zhuǎn)圖中所示的裝置，則被描述為在其他元件或機構(gòu)“下面”或“之下”的元件將被定位為在其他元件或機構(gòu)的“上面”。因此，示例性術(shù)語“在...下面”包括在上面和在下面的方位。裝置可以以其它方式定位(旋轉(zhuǎn)90度或在其他方位)，并且在此所描述的空間關(guān)系可相應(yīng)地進行解釋。
除非特別限定，在此所采用的所有的術(shù)語(包括技術(shù)和科技術(shù)語)具有與本發(fā)明所屬領(lǐng)域的普通技術(shù)人員通常所理解的意思相同的解釋。而該術(shù)語的進一步理解，例如，字典中通常采用的限定意思應(yīng)該被解釋為與相關(guān)技術(shù)上下文中的意思相一致，并且除非在此進行特別限定，其不應(yīng)被解釋為理想的或者過于正式的解釋。
在此，參考作為本發(fā)明的理想實施例的示意圖的橫截示意圖描述本發(fā)明的實施例。同樣，可以預(yù)料諸如制造技術(shù)和/或公差可以導(dǎo)致示意圖的變化。因此，本發(fā)明的實施例不應(yīng)該被理解為局限于在此示出的特定形狀，而且包括例如由于制造而導(dǎo)致的形狀的偏差。例如，被顯示或描述為平坦的區(qū)域，典型地可能具有粗糙和/或非線性特性。此外，所示的銳角可以為圓角。因此，在圖中示出的區(qū)域?qū)嶋H上是示意性的，并且形狀并不用于描述區(qū)域的準確形狀，并且不用于限定本發(fā)明的范圍。
以下，將參照附圖對本發(fā)明進行詳細地描述。
首先，將描述用于形成根據(jù)本發(fā)明制造的示例性液晶顯示器(“LCD”)的定向?qū)有纬裳b置的示例性實施例。
圖2是示出了根據(jù)本發(fā)明的定向?qū)有纬裳b置100的示例性實施例的示意圖。參照圖2，定向?qū)有纬裳b置100包括平臺110、噴墨頭部120、定向材料溶液存儲部130、以及定向材料溶液供應(yīng)管140。
平臺110提供了一平面，諸如LCD面板的薄膜晶體管(“TFT”)陣列基板或濾色器基板的基板可位于其上，并且該平臺使基板沿著一個方向(例如，箭頭所示的移動方向)移動。平臺110也可移動這里未特別描述的其它基板。平臺110的形式并不特定地局限于所述的實施例，而是可包括任何可以使基板移動的形式。例如，平臺110可以為傳送帶的形式。
當基板在噴墨頭部120下面移動時，噴墨頭部120將定向材料溶液從噴墨頭部120噴射到平臺110上。噴墨頭部120由至少一個頭組成，隨后將對其進行進一步地描述。
圖3A和圖3B是根據(jù)本發(fā)明的定向?qū)有纬裳b置的示例性實施例中包括的示例性噴墨頭部的底部透視圖。參照圖3A，如圖2所示的噴墨頭部120可具有多個塊狀頭121的線性陣列，每個頭部均具有多個噴嘴122。在相同的頭121上的相鄰噴嘴分開間距P1，并且相鄰的頭121之間的相鄰噴嘴分開間距P2。在噴墨頭部120的示例性實施例中，噴嘴122被等距分開，因此，P1優(yōu)選地基本上等于P2。
為了容易調(diào)節(jié)相同的頭121的相鄰兩個噴嘴122之間的間距P1，以使兩個相鄰的頭121的相鄰兩個噴嘴之間的間距P2合適，可將多個頭部121以Z字形式排列，由此相鄰頭121的端部彼此重疊，如圖3B所示。這種情況下，當形成在噴墨頭部120整個區(qū)域的相鄰噴嘴122之間的間距P1和P2可以很容易地按等距調(diào)節(jié)時，多個頭121可以被緊湊排列。下面將進行進一步地描述，噴墨頭部120的相鄰噴嘴122之間的間距P1或P2大于在TFT陣列基板上形成的階梯形圖案的間距。這里，噴嘴122可被獨立地打開或關(guān)閉，因此可以控制并調(diào)節(jié)計劃用于定向材料溶液噴射的基板區(qū)域和噴射到基板的區(qū)域的定向材料溶液量。此外，可以通過調(diào)節(jié)噴墨頭部120上的噴嘴122的數(shù)量來控制在基板上形成定向?qū)拥墓に嚨某掷m(xù)時間。
通過增加頭121的數(shù)量，可以在大比例的基板上形成定向?qū)拥倪^程中有效地使用噴墨頭部120。特別地，噴墨頭部120的總長度優(yōu)選地被調(diào)節(jié)成至少大于基板的寬度，即，其中沿相對于基板移動方向垂直的方向測量基板寬度。
再次參照圖2，通過噴墨頭部120的縱向垂直于基板110的移動方向，將噴墨頭部120定位。可以將噴墨頭部120固定，即，使其無法移動，或者可以沿與基板移動方向基本上垂直的方向往復(fù)移動，例如可沿墨頭部120的縱向移動。在噴墨頭部120往復(fù)移動的情況下，在基板相對于噴墨頭部120的移動方向與TFT矩陣型陣列的第一方向形成大于0度并且小于90度的角度的狀態(tài)下，將定向材料溶液從噴墨頭部120噴射到基板上，下面將參照使用定向?qū)有纬裳b置100形成定向?qū)拥墓に囘M行進一步地描述。
定向材料溶液存儲部130存儲定向材料溶液，以將其提供給噴墨頭部120。例如，包含在定向材料溶液存儲部130中的定向材料溶液可以為(但不限于)聚酰亞胺溶液(polyimide solution)。
定向材料溶液供應(yīng)管140連接噴墨頭部120和定向材料溶液存儲部130，以將定向材料溶液從定向材料溶液存儲部130提供給噴墨頭部120。
下面，將描述LCD的示例性制造方法，其中，使用圖2所示的定向?qū)有纬裳b置100形成定向?qū)印?br> 圖4A示出了根據(jù)本發(fā)明的示例性方法制造的LCD的橫截面示意圖，并且圖4B示出了圖4A中A部分的部分放大圖。參照圖4，LCD 200包括TFT陣列基板210、濾色器基板220、介于TFT陣列基板210與濾色器基板220之間的液晶層230。
TFT陣列基板210是驅(qū)動裝置陣列基板，并且在其上包括多個呈矩陣結(jié)構(gòu)陣列的像素。每個像素上均形成有諸如薄膜晶體管T的驅(qū)動裝置。濾色器基板220包括用于表現(xiàn)色彩的濾色器層221。像素電極218和共電極224分別形成在TFT陣列基板210和濾色器基板220上。定向?qū)?19和225以約500至1,000的厚度分別形成在TFT陣列基板210和濾色器基板220上，用于對液晶層230中的液晶分子進行定向。
通過密封劑240將TFT陣列基板210和濾色器基板220與介于其間的液晶層230組合。當由形成在TFT陣列基板210上的驅(qū)動裝置驅(qū)動液晶分子時，LCD 200通過調(diào)節(jié)透射過液晶層230的光量來顯示信息。
LCD 200的制造方法可以被分為多個基本工藝，其包括(但不限于)驅(qū)動裝置陣列基板工藝，其中，在TFT陣列基板210上形成驅(qū)動裝置；濾色器基板工藝，其中，在濾色器基板220上形成濾色器；以及液晶晶元工藝，其中，將驅(qū)動裝置陣列基板工藝中制造的兩個基板與濾色器基板工藝中制造的基板組合。
首先，根據(jù)驅(qū)動裝置陣列工藝，多條彼此平行排列的柵極線(未示出)以及多條彼此平行排列并基本上垂直于柵極線的數(shù)據(jù)線(未示出)形成在TFT陣列基板210上。將像素區(qū)域限定在相鄰柵極線對和相鄰數(shù)據(jù)線對之間。作為連接至柵極線和數(shù)據(jù)線的驅(qū)動裝置的薄膜晶體管T以矩陣形式排列在像素區(qū)域上，以形成TFT陣列。這里，每個TFT T均包括柵電極211、柵極絕緣層212、由非晶硅(“a-Si”)材料制成的半導(dǎo)體層213、以及源電極214和漏電極215。
有機層216可形成在TFT陣列基板210上，該TFT陣列基板包括使用諸如苯并環(huán)丁烯(benzocyclobutene，“BCB”)等的TFT陣列。隨后，多個階梯形圖案217(例如接觸孔)沿TFT陣列均勻地形成在有機層216中，以露出TFT陣列中每個TFT T的漏電極215的表面。因為有機層216具有低有效介電常數(shù)并且能夠使TFT陣列基板210的階梯形表面平坦化，有機層216至少形成在具有TFT陣列的TFT陣列基板210的基本整個表面上，從而有利地增大了像素的開口率。也就是說，即使像素電極218與數(shù)據(jù)線等重疊，以使像素的開口率最大化，由于有機層216的高絕緣性能，沿數(shù)據(jù)線流動的電壓也不會影響像素，從而防止像素電壓的失真。此外，由于其平坦的表面，有機層216可在TFT陣列基板210與濾色器基板220之間均勻地保持盒間隙(cell gap)，并且降低形成在像素電極218上的定向?qū)?19的少量摩擦。有機層216可具有3μm或者更大的厚度，例如3μm至4μm。這樣，通過使有機層216圖案化而形成的階梯形圖案217具有3μm或者更大的高度，例如3μm至4μm。多個階梯形圖案217之間的間距可約為170μm，但是并不僅限于此。
由諸如氧化銦錫(ITO)制成的無機層通過濺射等沉積在階梯形圖案217和有機層216的部分上，并且將其圖案化以形成像素電極218，該像素電極連接至TFT T的漏電極215并根據(jù)通過TFT T所施加的信號來驅(qū)動液晶層230。
同樣，黑色矩陣(black matrix)222通過濾色器工藝形成在濾色器基板220上，隨后，將用于表現(xiàn)紅(R)、綠(G)和藍(B)或其它期望顏色的濾色器層221形成在對應(yīng)于像素區(qū)域的濾色器220區(qū)域上。接下來，形成平坦化膜(planarization film)223，以使黑色矩陣222和濾色器221之間的階梯形表面平坦化，并且在平坦化膜223上形成共電極224。
接下來，定向?qū)?19和225分別形成在TFT陣列基板210和濾色器基板220上。TFT陣列基板210的定向?qū)?19的形成方式可與濾色器基板220的定向?qū)?25的形成方式相同。因此為了便于說明，此處僅描述TFT陣列基板210的定向?qū)?19的形成。但是，應(yīng)該理解的是，TFT陣列基板210的定向?qū)?19的形成方式可用于濾色器基板220的定向?qū)?25的形成。
圖5至圖6B示出了在根據(jù)本發(fā)明LCD的制造方法的示例性實施例中示例性定向?qū)拥男纬晒に?。接下來，將參照圖5至圖6B進一步描述在TFT陣列基板上形成定向?qū)拥墓に嚒?br> 可使用圖2中所示的定向?qū)有纬裳b置100形成定向?qū)印Ｊ紫葏⒄請D5，在定向?qū)有纬裳b置100的平臺110上設(shè)置TFT陣列基板210，該基板具有TFT陣列TA，其中，TFT呈矩陣排列。
TFT陣列基板210包括通過上述驅(qū)動裝置陣列工藝而形成的TFT陣列TA和多個如圖4所示沿TFT陣列TA形成的階梯形圖案217。TFT陣列TA已經(jīng)作為像素電極218陣列被示意性示出，如圖4所示，形成在TFT T上。
以平臺110和TFT陣列基板210的移動方向(α)與TFT陣列TA的第一方向(例如行方向β)之間形成的角度(θ)大于0度并且小于90度(例如3度至45度)的方式，將TFT陣列基板210設(shè)置在平臺110上。如果平臺110和TFT陣列基板210的移動方向(α)與TFT陣列TA的行方向(β)之間形成的角度(θ)為鈍角，則選擇該鈍角的補角，即大于0度并且小于90度的角度(例如3度至45度范圍內(nèi)的角度)。然而，考慮到在定向?qū)有纬裳b置100中包括的頭121的數(shù)量以及根據(jù)頭121數(shù)量增加所產(chǎn)生的定向?qū)有纬裳b置100的制造成本和維修成本，優(yōu)選地，平臺110和TFT陣列基板210的移動方向(α)與TFT陣列TA的行方向(β)之間形成的角度(θ)在3度至45度的范圍內(nèi)。
如下所述，TFT陣列基板210以θ角設(shè)置在平臺110上，用于防止在TFT陣列基板210上產(chǎn)生條紋。
如圖4所示，TFT陣列基板210包括多個沿TFT陣列TA形成的階梯形圖案217，并且多個階梯形圖案217彼此分開預(yù)定的間距。如圖3A和3B所示，定向?qū)有纬裳b置100的噴墨頭部120的噴嘴122之間的間距P1和P2大于階梯形圖案217之間的間距。例如，階梯形圖案217之間的間距可約為170μm，而噴墨頭部120的噴嘴122之間的間距P1和P2可約為375μm。在這種情況下，如果TFT陣列基板210沿與TFT陣列TA的行方向(β)平行的移動方向(α)移動，換句話說，當角度(θ)等于0度，定向材料溶液從固定的噴墨頭部120噴射到TFT陣列基板210上時，直接噴射有來自噴墨頭部120的定向材料溶液的階梯形圖案217具有過量的定向材料溶液，而未被直接噴射有來自噴墨頭部120的定向材料溶液的階梯形圖案217缺乏定向材料溶液。定向材料溶液缺乏和過量的規(guī)則交替導(dǎo)致TFT陣列基板210上定向?qū)拥暮穸绕?，從而在TFT陣列基板210上產(chǎn)生條紋。
然而，在圖5至圖6B的示例性實施例中，平臺110和TFT陣列基板210的移動方向(α)不與TFT陣列TA的行方向(β)平行。因此，如圖5所示，TFT陣列基板210相對于TFT陣列基板210的移動方向(α)定向成角度(θ)。這樣，當將定向材料溶液從噴墨頭部120噴射到TFT陣列基板210上時，噴射到沿TFT陣列TA的行方向排列的階梯形圖案217上的定向材料溶液的量并不是保持不變的。這樣可以防止由于定向材料溶液缺乏和過量的規(guī)則交替而在TFT陣列基板210上產(chǎn)生的條紋。
參照圖6A和圖6B，當噴墨頭部120固定時，通過沿移動方向(α)移動平臺110，將定向材料溶液從噴墨頭部120噴射到TFT陣列基板210上。當向用于存儲定向材料溶液的存儲部130提供氮氣(N2)時，定向材料溶液存儲部130的內(nèi)部壓力由于氮氣而增加。由于增加的內(nèi)部壓力，定向材料溶液通過定向材料溶液供應(yīng)管140被提供到噴墨頭部120。如前面圖3A和圖3B所示，通過形成在噴墨頭部120的頭121處的噴嘴122將定向材料溶液從噴墨頭部120噴射到TFT陣列基板210上。從噴嘴122噴射出的定向材料溶液在TFT陣列基板210上形成定向?qū)印?br> 圖4所示，在形成定向?qū)?19和225之后，可摩擦定向?qū)?，以向在TFT陣列基板210與濾色器基板220之間形成的液晶層230的液晶分子提供定向調(diào)節(jié)力或表面固定力。
接下來，在濾色器基板220和TFT陣列基板210中至少一個的周圍涂布密封劑240，將TFT陣列基板210與濾色器基板220組合，將液晶材料注入到基板210與220之間的盒間隙中，并且使密封劑240固化，從而將濾色器基板220和TFT陣列基板210熔合在一起，以防止包含在其間的液晶材料泄漏，從而制成LCD 200。
下面，將參照圖7至圖8C描述根據(jù)本發(fā)明的示例性LCD的制造方法的另一示例性實施例。除了定向?qū)有纬晒に囈酝?，根?jù)本實施例的LCD的制造方法與前一實施例基本上相同，因此，為了便于說明，將省略對其的重復(fù)性描述。
首先，根據(jù)前一實施例所描述的相同驅(qū)動裝置陣列基板形成工藝和濾色器基板形成工藝制造TFT陣列基板210和濾色器基板220。
接下來，分別在TFT陣列基板210與濾色器基板220中的每一個上形成定向?qū)?19和225。為了便于說明，下面將描述TFT陣列基板210的定向?qū)?19的形成工藝。
可使用圖2中所示的定向?qū)有纬裳b置100形成定向?qū)?19。首先參照圖7，在定向?qū)有纬裳b置100上設(shè)置具有TFT陣列TA的TFT陣列基板210，該陣列為TFT的矩陣型陣列。
TFT陣列基板210包括TFT陣列TA和多個如圖4所示沿TFT陣列TA形成的階梯形圖案217。以TFT陣列基板210的移動方向(α)平行于第一方向(即，TFT陣列TA的行方向(β))的方式，將TFT陣列基板210設(shè)置在平臺110上。
然后，在以下面進一步描述的方式移動平臺110時，將定向材料溶液從噴墨頭部120噴射到TFT陣列基板210上。
參照圖8A至圖8C，為了防止由于在沿TFT陣列TA排列的多個階梯形圖案217中定向材料溶液缺乏和過量的規(guī)則交替而在LCD200的顯示面板上產(chǎn)生條紋，噴墨頭部120沿與第一方向(TFT陣列TA的行方向β)不同的第二方向移動。也就是說，噴墨頭部120沿與TFT陣列TA的行方向(β)基本上垂直的方向(γ)移動。
為了使噴墨頭部120沿與TFT陣列TA的行方向(β)基本上垂直的方向(γ)移動，TFT陣列基板210相對于噴墨頭部120的移動方向(α’)與TFT陣列TA的行方向可形成大于0度并小于90度的角度(θ)，例如3度至45度的角度。當TFT陣列基板210相對于噴墨頭部120的移動方向(α’)與TFT陣列TA的行方向(β)形成鈍角時，選擇該鈍角的補角，即大于0度并且小于90度的角度(例如，3度至45度范圍內(nèi)的角度)。如此處所用，短語“TFT陣列基板210相對于噴墨頭部120的移動方向(α’)”表示TFT陣列基板210與噴墨頭部120之間的相對移動方向。因此，TFT陣列基板210相對于噴墨頭部120的移動方向(α’)可以由TFT陣列基板210的移動方向(α)減去噴墨頭部120的移動方向(γ)來確定。
可通過調(diào)節(jié)噴墨頭部120和TFT陣列基板210的移動速度來控制TFT陣列基板210相對于噴墨頭部120的移動方向(α’)與TFT陣列TA的行方向(β)之間形成的角度(θ)。即，如果已知角度(θ)的期望值的三個參數(shù)中的兩個，例如噴墨頭部120和TFT陣列基板210的移動速度，那么剩下的參數(shù)可以由以下的公式確定 例如，如果TFT陣列基板210相對于噴墨頭部120的移動方向(α’)與TFT陣列TA的行方向(β)之間的角度(θ)的期望值約為5度，那么通過以17.5mm/sec的速度移動噴墨頭部120，并沿與噴墨頭部120的移動方向基本上垂直的方向以200mm/sec的速度移動TFT陣列基板210，可以實現(xiàn)該期望值。
當TFT陣列基板210與噴墨頭部120的相對移動方向(α’)不平行于TFT陣列TA的行方向(β)時，噴射到沿TFT陣列TA的行方向排列的階梯形圖案217上的定向材料溶液的量并不是保持不變的。因此，可以防止由于如上所述的定向材料溶液缺乏和過量的規(guī)則交替而在LCD 200的顯示面板上產(chǎn)生的條紋。
如圖8C所示，當將定向材料溶液從噴墨頭部120噴射到單獨的TFT陣列基板210上完成時，噴墨頭部120回到其初始位置，以準備將定向材料溶液從TFT陣列基板210噴射到隨后的TFT陣列基板上。由于噴墨頭部120沿與TFT陣列TA的行方向(β)基本上垂直的方向往復(fù)移動，優(yōu)選地，噴墨頭部120的長度至少大于TFT陣列基板210的寬度，從而將定向材料溶液從噴墨頭部120噴射在TFT陣列基板210的整個表面上。
如圖3A和圖3B所示的噴墨頭部120的多個噴嘴122可以被獨立地打開或關(guān)閉。因此，可以通過打開與計劃用于定向材料溶液噴射的TFT陣列基板210相對應(yīng)的噴嘴122并關(guān)閉與不計劃用于定向材料溶液噴射的TFT陣列基板210相對應(yīng)的噴嘴122的方式，來控制從噴墨頭部120噴射定向材料溶液。同樣，例如，隨著噴墨頭部120沿方向(γ)移動，一些噴嘴122可能移過TFT陣列基板210，并且這些噴嘴122可能關(guān)閉，而仍位于TFT陣列基板210上方的噴嘴122可能保持打開。
最后，摩擦分別形成在TFT陣列基板210和濾色器基板220上的定向?qū)?19和225，隨后注入液晶材料，從而制成LCD 200。
因此，如上所述，根據(jù)本發(fā)明，即使在不對具有工業(yè)效用的基于噴墨頭的定向?qū)有纬裳b置(其中，噴嘴間距大于形成在基板上的階梯形圖案之間的間距)進行實質(zhì)性修改的情況下，也可以防止在顯示面板上產(chǎn)生條紋，可通過實際成本(cost-effective)的方式制造LCD。同樣，根據(jù)本發(fā)明，具有階梯形圖案的基板可被覆蓋有均勻厚度的定向?qū)印?br> 雖然已經(jīng)參照示例性實施例對本發(fā)明進行了描述，但是對于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來說，在不背離本發(fā)明的精神和范圍的前提下，本發(fā)明可以有各種修改和變化。因此，應(yīng)該理解的是，上述實施例在所有方面不是限制性的，而是說明性的。
權(quán)利要求
1.一種顯示器的制造方法，所述方法包括制備基板，所述基板包括多個具有預(yù)定間距的階梯形圖案的矩陣型陣列；以及通過在所述基板對于噴墨頭部的相對移動方向與所述矩陣型陣列的第一方向形成大于0度并且小于90度的角度的狀態(tài)下，將來自所述噴墨頭部的液體材料噴射到所述基板上，來形成基本上覆蓋所述基板的正面的層。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，所述第一方向?qū)?yīng)于所述矩陣型陣列的行方向；
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，進一步包括將所述基板設(shè)置在平臺上，并且沿與所述第一方向平行的方向移動所述平臺。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，進一步包括將所述基板設(shè)置在平臺上并移動所述平臺經(jīng)過所述噴墨頭部，其中，將所述噴墨頭部固定，并且所述第一方向不平行于所述平臺的移動方向。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，所述基板沿所述矩陣型陣列的所述第一方向移動，并且所述噴墨頭部沿所述矩陣型陣列的第二方向移動。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，其中，所述第一方向?qū)?yīng)于所述矩陣型陣列的行，并且所述第二方向?qū)?yīng)于所述矩陣型陣列的列。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，其中，所述噴墨頭部沿所述第二方向往復(fù)移動。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，所述層的厚度基本上相同。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，通過防止在所述基板上的所述階梯形圖案中液體材料過量和液體材料缺乏的規(guī)則交替，來防止在所述顯示器上產(chǎn)生條紋。
10.一種液晶顯示器的制造方法，所述方法包括制備基板，所述基板包括多個具有預(yù)定間距的階梯形圖案的矩陣型陣列；以及通過在所述基板對于噴墨頭部的相對移動方向與所述矩陣型陣列的第一方向形成大于0度并且小于90度的角度的狀態(tài)下，將來自所述噴墨頭部的定向材料溶液噴射到所述基板上，來在所述基板上形成定向?qū)印?br> 11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的方法，進一步包括將所述基板設(shè)置在平臺上，并且沿與所述第一方向平行的方向移動所述平臺。
12.根據(jù)權(quán)利要求10所述的方法，進一步包括將所述基板設(shè)置在平臺上并移動所述平臺經(jīng)過所述噴墨頭部，其中，將所述噴墨頭部固定，并且所述第一方向不平行于所述平臺的移動方向。
13.根據(jù)權(quán)利要求10所述的方法，其中，通過防止在所述多個階梯形圖案中定向材料溶液過量和定向材料溶液缺乏的規(guī)則交替，來防止在所述液晶顯示器上產(chǎn)生條紋。
14.根據(jù)權(quán)利要求10所述的方法，其中，所述基板包括多個薄膜晶體管。
15.根據(jù)權(quán)利要求10所述的方法，其中，所述噴墨頭部的噴嘴之間的間距大于所述階梯形圖案之間的預(yù)定間距。
16.根據(jù)權(quán)利要求10所述的方法，其中，所述角度在3度至45度的范圍內(nèi)。
17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的方法中，所述角度由所述基板和所述噴墨頭部的移動速度決定。
18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的方法，其中，所述基板沿所述矩陣型陣列的所述第一方向移動，并且所述噴墨頭部沿與所述矩陣型陣列的所述第一方向不同的所述第二方向移動。
19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的方法，其中，所述矩陣型陣列的所述第一方向基本上垂直于所述第二方向。
20.根據(jù)權(quán)利要求18所述的方法，其中，所述噴墨頭部沿所述第二方向往復(fù)移動。
21.根據(jù)權(quán)利要求10所述的方法，其中，所述多個階梯形圖案中的每個均具有3μm或更大的梯段高度。
22.根據(jù)權(quán)利要求21所述的方法，其中，所述多個階梯形圖案為接觸孔，所述接觸孔將多個薄膜晶體管的漏電極和像素電極電連接。
23.一種層形成裝置，所述裝置包括平臺，用于使設(shè)置在其上的基板沿第一方向移動，所述基板包括薄膜晶體管陣列，在所述陣列中，多個薄膜晶體管呈矩陣排列；以及噴墨頭部，設(shè)置在所述平臺的上方，用于將液體材料噴射到所述基板上，其中，所述基板對于所述噴墨頭部的相對移動方向與所述薄膜晶體管陣列的一個方向形成大于0度并且小于90度的角度。
24.根據(jù)權(quán)利要求23所述的裝置，其中，所述噴墨頭部包括至少一個塊狀頭，所述塊狀頭包括多個噴嘴。
25.根據(jù)權(quán)利要求24所述的裝置，其中，所述噴墨頭部的噴嘴之間的間距大于沿所述薄膜晶體管陣列的一個方向排列的所述階梯形圖案之間的間距。
26.根據(jù)權(quán)利要求23所述的裝置，其中，所述層為定向?qū)印?br> 27.根據(jù)權(quán)利要求23所述的裝置，其中，所述液體材料為定向材料溶液。
28.一種用于在基板上形成定向?qū)拥难b置，所述基板包括薄膜晶體管陣列，在所述陣列中，多個薄膜晶體管呈矩陣排列，所述裝置包括平臺，用于使設(shè)置在其上的所述基板沿第一方向移動；以及噴墨頭部，設(shè)置在所述平臺的上方，用于將定向材料溶液噴射到所述基板上，其中，所述基板對于所述噴墨頭部的相對移動方向與所述薄膜晶體管陣列的一個方向形成大于0度并且小于90度的角度。
29.根據(jù)權(quán)利要求28所述的裝置，其中，所述第一方向和所述薄膜晶體管的所述一個方向是平行的。
30.根據(jù)權(quán)利要求28所述的裝置，其中，所述噴墨頭部被固定，并且所述平臺的移動方向既不平行于所述薄膜晶體管陣列的行方向，也不平行于所述薄膜晶體管陣列的列方向。
31.根據(jù)權(quán)利要求28所述的裝置，其中，所述角度在3度至45度的范圍內(nèi)。
32.根據(jù)權(quán)利要求28所述的裝置，其中，所述噴墨頭部沿第二方向往復(fù)移動。
33.根據(jù)權(quán)利要求32所述的裝置，其中，所述第二方向基本上垂直于所述第一方向。
34.根據(jù)權(quán)利要求28所述的裝置，其中，所述角度由所述基板和所述噴墨頭部的移動速度決定。
35.根據(jù)權(quán)利要求28所述的裝置，其中，所述噴墨頭部包括至少一個塊狀頭，所述塊狀頭具有多個噴嘴。
36.根據(jù)權(quán)利要求35所述的裝置，其中，所述噴墨頭部的噴嘴之間的間距大于沿所述薄膜晶體管陣列的一個方向排列的所述階梯形圖案之間的間距。
37.根據(jù)權(quán)利要求35所述的裝置，其中，至少一個所述塊狀頭的所述多個噴嘴被獨立地打開或關(guān)閉。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種液晶顯示器的制造方法，其包括制備基板，該基板包括多個具有預(yù)定間距的階梯形圖案的矩陣型陣列；以及通過在基板對于噴墨頭部的相對移動方向與矩陣型陣列的一個方向形成大于0度并且小于90度的角度的狀態(tài)下，將來自噴墨頭部的液體材料噴射到基板上，來形成基本上覆蓋基板的正面的層。本發(fā)明還公開了一種用于該方法的定向?qū)有纬裳b置。
文檔編號G02F1/136GK1854842SQ20061007814
公開日2006年11月1日 申請日期2006年4月28日 優(yōu)先權(quán)日2005年4月29日
發(fā)明者鄭進秀, 李鳳雨, 裵鐘成, 全柏均, 尹容國 申請人:三星電子株式會社