專利名稱：用于基于多種形式的設(shè)計數(shù)據(jù)的圖案生成的方法和系統(tǒng)的制作方法
專利說明用于基于多種形式的設(shè)計數(shù)據(jù)的圖案生成的方法和系統(tǒng)
背景技術(shù)：
平版印刷是將電路設(shè)計(或幾何圖案)寫到掩模上的過程。相關(guān)技術(shù)的平版印刷(或?qū)懭?設(shè)備通過用激光或帶電光束曝光保護層而將幾何圖案寫到圖版(plate)上。該曝光改變保護層的分子組成，并且在顯影過程期間曝光的保護層被移除。在一些替代應(yīng)用中，使用負保護層。在此情形，在顯影過程期間非曝光的保護層被移除。
光掩模(或掩模)是包含電子電路的微觀圖像的相對高精度的圖版。光掩模從基底(如相對平坦的例如一側(cè)上具有鉻層的例如石英或玻璃片)制成。鉻中蝕刻是電子電路設(shè)計的一部分。掩模上的該電路圖案也被稱作幾何圖案。
在晶片制造和晶片寫入器系統(tǒng)的相關(guān)技術(shù)方法中使用掩模來創(chuàng)建例如集成電路(IC)。IC在如計算機、計算器、汽車、攝像機、立體聲等的產(chǎn)品中使用。掩模還在生產(chǎn)平板顯示器、薄膜頭、PC主板等中使用。
在制造掩模的相關(guān)技術(shù)方法中，(例如由客戶)設(shè)計電路圖案，并且設(shè)計的圖案信息被數(shù)字化。包含掩模設(shè)計的數(shù)字化的圖案設(shè)計數(shù)據(jù)然后提供給掩模制造商。一個或多個圖案設(shè)計數(shù)據(jù)層形成單個掩模，并且IC電路包括多個層(例如，對于相對高端的設(shè)計大約為40層)，然而，結(jié)果產(chǎn)生的電路的每層可以通過在晶片制造工藝中的單個掩模形成。數(shù)字化的圖案設(shè)計數(shù)據(jù)可以經(jīng)由因特網(wǎng)、專用線路等，在盤、磁帶上提供給掩模制造商。
掩模制造商將用于寫入或圖案生成系統(tǒng)的接收的數(shù)據(jù)格式化。格式化可包括例如分割數(shù)據(jù)、縮放數(shù)據(jù)、旋轉(zhuǎn)數(shù)據(jù)、添加基點和內(nèi)部參考標記、并且創(chuàng)建用于將所有不同的圖案放置在掩模上的指令，也稱作“工作平臺(iobdeck)”。工作平臺包括描述如何印刷掩模、使用什么圖案文件、使用圖案文件中的什么層、以及應(yīng)用什么變換的指令。工作平臺和包括在其中的信息在本領(lǐng)域眾所周知，因此，為簡明起見將省略詳細的討論。
在分割數(shù)據(jù)的一個相關(guān)技術(shù)的方法中，圖案設(shè)計數(shù)據(jù)被轉(zhuǎn)換成寫入系統(tǒng)理解的語言。例如，如果要寫入的圖案是多邊形形狀，但是相關(guān)技術(shù)的寫入系統(tǒng)理解矩形和梯形，則設(shè)計圖案數(shù)據(jù)被分割成矩形和梯形形狀。具有分割的數(shù)據(jù)的工作平臺被存儲在計算機可讀介質(zhì)(例如，盤、閃存、致密盤等)上并且發(fā)送到寫入系統(tǒng)。寫入系統(tǒng)然后使用格式化的設(shè)計圖案，將圖案印刷在基板上。
在印刷期間，額外的圖案處理發(fā)生。例如，幾何圖案可能在空間上重新組織以匹配寫入工具的寫入序列，并且導(dǎo)致要由曝光系統(tǒng)成像的像素。
寫入器系統(tǒng)對要印刷在基板上的圖案具有相對少的理解。寫入器系統(tǒng)被饋送有相對大量的要印刷的圖元幾何圖案，但是圖元幾何圖案不形成有意義的整體，直到掩模被完全寫入。然而，設(shè)計的一些區(qū)域可能比其他區(qū)域更關(guān)鍵。例如，設(shè)計的一些部分可能具有更高的掩模錯誤增強因子(MEEF)，可能對印刷圖案的關(guān)鍵尺寸(CD)具有更大的影響和/或可能對合適的區(qū)域覆蓋更關(guān)鍵。關(guān)于設(shè)計的這些方面的相對重要性的信息可能在從寫入系統(tǒng)上游的處理步驟中可用；然而，在相關(guān)技術(shù)的圖案生成系統(tǒng)中，該信息沒有使用并且隨設(shè)計圖案數(shù)據(jù)向下游傳播并最終印刷在基板上而丟失。
相關(guān)技術(shù)的平版印刷寫入器系統(tǒng)具有有限分辨率。因為圖案的頂角表示無限空間頻率，所以折衷(compromise)了設(shè)計圖案數(shù)據(jù)到基板上的復(fù)制，例如，圖案的頂角變?yōu)閳A形。通過添加或減少頂角中的或與頂角緊接區(qū)域的能量，可以改進銳度。然而，寫入器系統(tǒng)被提供有作為更復(fù)雜的形狀的一部分的分割的數(shù)據(jù)(圖元幾何圖案)、以及各圖元幾何圖案之間的關(guān)系，并且當組合時其形成的形狀在分割期間丟失，因此不能傳送給寫入器系統(tǒng)。
此外，在基于光柵的系統(tǒng)中，因為圖像表示是矢量數(shù)據(jù)的逼近，所以關(guān)于圖案的頂角的信息不可用。利用僅僅光柵圖案作為輸入，圖案的頂角必須使用高級搜索算法重新創(chuàng)建。然而，在此情形，搜索相對困難和復(fù)雜，因為光柵圖像具有比矢量數(shù)據(jù)更低的分辨率。


發(fā)明內(nèi)容
示例實施例通過傳播修正的設(shè)計數(shù)據(jù)信息到寫入系統(tǒng)，提供掩模增加的保真度和/或改進的計算機處理能力的聚焦。示例實施例可改進掩模上的圖案復(fù)制。
將頂角元數(shù)據(jù)與圖像組合可以提供改進的頂角精度。例如，元數(shù)據(jù)可以精確定位各頂角精確的或更精確的位置和/或控制方向和放大頂角增強功能。
示例實施例可通過區(qū)分真假頂角并知道其位置、角度和朝向，具有改進的保真度和/或能夠?qū)⒂嬎隳芰奂礁P(guān)鍵的區(qū)域。
在圖案生成方法中，根據(jù)至少一個示例實施例，格式化與圖案相關(guān)聯(lián)的設(shè)計數(shù)據(jù)，以生成分割的圖案和以非分割格式的、與該圖案相關(guān)聯(lián)的元數(shù)據(jù)?；诜指畹臄?shù)據(jù)和元數(shù)據(jù)生成圖案。
另一示例實施例提供了一種圖案生成方法。在該示例實施例中，可以接收分割的設(shè)計數(shù)據(jù)和元數(shù)據(jù)，并且可以基于分割的設(shè)計數(shù)據(jù)和元數(shù)據(jù)生成圖案，其中元數(shù)據(jù)描述分割前的設(shè)計數(shù)據(jù)。
另一示例實施例提供了一種用于基于設(shè)計數(shù)據(jù)生成圖案的方法。在該示例實施例中，設(shè)計數(shù)據(jù)可被處理以生成設(shè)計數(shù)據(jù)的非重疊多邊形表示?？梢陨砂ㄅc非重疊多邊形表示相關(guān)聯(lián)的頂角和邊緣性質(zhì)的至少一個的元數(shù)據(jù)?？梢苑指罘侵丿B多邊形表示，并且可以基于生成的元數(shù)據(jù)和分割的非重疊多邊形表示生成圖案。
另一示例實施例提供了一種圖案生成系統(tǒng)。該圖案生成系統(tǒng)可以包括數(shù)據(jù)準備模塊和圖案生成器。數(shù)據(jù)準備模塊可被配置來格式化設(shè)計數(shù)據(jù)以生成分割數(shù)據(jù)和元數(shù)據(jù)，該元數(shù)據(jù)描述分割前的設(shè)計數(shù)據(jù)。圖案生成器可基于分割數(shù)據(jù)和元數(shù)據(jù)生成圖案。
另一示例實施例提供了一種圖案生成方法。在該示例實施例中，接收描述要生成的圖案的設(shè)計數(shù)據(jù)，并且被處理以生成設(shè)計數(shù)據(jù)的非重疊多邊形表示。元數(shù)據(jù)可從多邊形表示生成，并且可以分割多邊形表示。分割的多邊形表示和元數(shù)據(jù)可以并行地傳輸?shù)接糜谏蓤D案的圖案生成器。生成的元數(shù)據(jù)可以在傳輸前被編碼。
另一示例實施例提供了一種圖案生成方法。在該示例實施例中，可以接收描述圖案的設(shè)計數(shù)據(jù)和描述圖案的關(guān)鍵和非關(guān)鍵區(qū)域的至少一個的元數(shù)據(jù)。可以基于接收的設(shè)計數(shù)據(jù)和接收的元數(shù)據(jù)的至少一個生成填料(filler)數(shù)據(jù)?？梢詡鬏敇俗R生成的填料數(shù)據(jù)的額外的元數(shù)據(jù)，并且填料數(shù)據(jù)可以表示對圖案的設(shè)計不關(guān)鍵的區(qū)域。
另一示例實施例提供了一種平版印刷系統(tǒng)中的裝置。該裝置可包括用于接收描述圖案的設(shè)計數(shù)據(jù)和描述圖案的關(guān)鍵和非關(guān)鍵區(qū)域的至少一個的元數(shù)據(jù)的部件；用于基于接收的設(shè)計數(shù)據(jù)和接收的元數(shù)據(jù)的至少一個生成填料數(shù)據(jù)的部件；以及用于傳輸標識生成的填料數(shù)據(jù)的額外的元數(shù)據(jù)的部件。該填料數(shù)據(jù)可以表示對圖案的設(shè)計不關(guān)鍵的區(qū)域。
另一示例實施例提供了一種平版印刷系統(tǒng)中的裝置。該裝置可包括用于接收描述要生成的圖案的設(shè)計數(shù)據(jù)的部件；用于處理接收的設(shè)計數(shù)據(jù)的部件；用于基于接收的設(shè)計數(shù)據(jù)的處理、生成設(shè)計數(shù)據(jù)的非重疊多邊形表示的部件；用于從多邊形表示生成元數(shù)據(jù)的部件；用于分割多邊形表示的部件；以及用于傳輸分割的多邊形表示和元數(shù)據(jù)的部件。
另一示例實施例提供了一種平版印刷系統(tǒng)中的裝置。該裝置可包括用于接收分割的設(shè)計數(shù)據(jù)和元數(shù)據(jù)的部件；以及用于基于接收的分割設(shè)計數(shù)據(jù)和接收的元數(shù)據(jù)生成圖案的部件。
在示例實施例中，元數(shù)據(jù)可包括與圖案的邊緣和頂角的至少一個相關(guān)聯(lián)的性質(zhì)。例如，元數(shù)據(jù)可包括與圖案的至少一個頂角相關(guān)聯(lián)的空間位置數(shù)據(jù)、開度角數(shù)據(jù)、朝向數(shù)據(jù)、和隔離數(shù)據(jù)的至少一個。圖案可以是設(shè)計數(shù)據(jù)的至少一部分的多邊形表示。
在示例實施例中，數(shù)據(jù)準備模塊還可被配置來處理接收的設(shè)計數(shù)據(jù)以生成設(shè)計數(shù)據(jù)的非重疊多邊形表示；從多邊形表示提取元數(shù)據(jù)；分割多邊形表示；以及將分割的多邊形表示和元數(shù)據(jù)并行傳輸給圖案生成器。數(shù)據(jù)準備模塊可用傳輸前的分割數(shù)據(jù)編碼元數(shù)據(jù)。
在示例實施例中，元數(shù)據(jù)可以以不同于與分割的多邊形表示相關(guān)聯(lián)的數(shù)據(jù)流的數(shù)據(jù)流傳輸，或以綁定的數(shù)據(jù)流傳輸。



從下面在此給出的詳細描述和附圖，示例實施例將變得更完整地理解，其中相同的元件由相同的參考標號表示，各附圖僅作為圖示給出，因此不是限制性的，附圖中 圖1圖示根據(jù)示例實施例的多階段圖案生成系統(tǒng)； 圖2圖示包括重疊多邊形的圖案設(shè)計數(shù)據(jù)的示例表示； 圖3圖示已經(jīng)從圖2移除重疊后的重新多邊形化的圖案設(shè)計數(shù)據(jù)； 圖4示出可以確定多邊形的頂角的性質(zhì)的方式； 圖5圖示隔離的頂角相對于附近的頂角、以及相應(yīng)的對頂角分辨率增強機制的放大的影響； 圖6圖示用于編碼頂角性質(zhì)作為元數(shù)據(jù)的示例方法； 圖7圖示用于編碼邊緣性質(zhì)作為元數(shù)據(jù)的示例方法； 圖8A圖示在分割前的任意多邊形，而圖8B-8D圖示圖8A的多邊形可以被分割的不同方式；以及 圖9圖示根據(jù)示例實施例的圖案生成系統(tǒng)的一部分。

具體實施例方式 從設(shè)計到掩模，圖案設(shè)計數(shù)據(jù)經(jīng)歷多個階段的多種變換。在每個階段，隨著圖案設(shè)計數(shù)據(jù)向下游傳播最終寫到基板上以創(chuàng)建掩模，一些信息被丟失。因此，每個階段表示保留信息以利于更下游的數(shù)據(jù)處理的機會。無論圖案設(shè)計數(shù)據(jù)是幾何的還是機器特定的，圖案設(shè)計數(shù)據(jù)都表示分層的結(jié)構(gòu)構(gòu)造和幾何圖案。圖案設(shè)計數(shù)據(jù)還包括與各層、幾何圖案數(shù)據(jù)和結(jié)構(gòu)構(gòu)造相關(guān)聯(lián)的性質(zhì)。在至少一個示例實施例中，額外的層可以被添加到圖案設(shè)計數(shù)據(jù)。額外的層可以定義要印刷的圖案內(nèi)預(yù)先分割的多邊形形狀，并且多邊形的特性、性質(zhì)和/或?qū)傩钥杀痪幋a為元數(shù)據(jù)。通過將額外的層投射到具有幾何圖案數(shù)據(jù)的層上，幾何圖案數(shù)據(jù)可以與各種元數(shù)據(jù)信息相關(guān)聯(lián)。
圖1圖示根據(jù)示例實施例的、包括六個階段的多階段圖案生成系統(tǒng)。在六個階段中的五個，元數(shù)據(jù)可以被提取并前向饋送到圖案生成器112以生成期望的圖案。
參照圖1，在設(shè)計階段102，設(shè)計圖案通過定義可用。例如，設(shè)計意圖或意圖怎樣將圖案印刷到最終的晶片上是可用的。包含在關(guān)于設(shè)計意圖的該信息中的是關(guān)于品質(zhì)因數(shù)(FoM)的信息和/或關(guān)于要在圖案生成器112形成圖案的掩模的關(guān)鍵相對于非關(guān)鍵區(qū)域的信息。
掩模的關(guān)鍵區(qū)域的示例是要放置定時關(guān)鍵存儲器單元的部分，而非關(guān)鍵區(qū)域是其中例如要印刷公司標志的那些區(qū)域。然而，由于相關(guān)技術(shù)的晶片寫入系統(tǒng)(例如，步進器和/或掃描儀)的有限的光分辨率，掩模上的圖像典型地不同于晶片上的圖像。關(guān)于掩模的關(guān)鍵相對于非關(guān)鍵區(qū)域的信息可以用作元數(shù)據(jù)，該元數(shù)據(jù)可以使得圖案生成器112能夠在需要的地方(如掩模的那些關(guān)鍵區(qū)域)集中對于圖案保真度的努力。根據(jù)示例實施例，元數(shù)據(jù)形式的掩模的關(guān)鍵相對于非關(guān)鍵區(qū)域可前向饋送到圖1中示出的圖案生成器112。
此外，或作為替代，設(shè)計圖案的每個頂角的FoM還可在設(shè)計階段102可用。設(shè)計圖案的特定頂角的FoM可表示在每個頂角的隔離的測量。FoM是一個頂角相對于相同幾何圖案中的其他頂角和來自相鄰幾何圖案的各頂角的隔離的程度的函數(shù)。用于確定FoM的方法在本領(lǐng)域眾所周知，因此為簡明起見將省略其詳細討論。設(shè)計圖案的頂角的FoM還可作為元數(shù)據(jù)前向饋送到圖案生成器112。
在產(chǎn)品定案(tape-out)階段104，圖案設(shè)計數(shù)據(jù)經(jīng)歷(或已經(jīng)經(jīng)歷)圖案數(shù)據(jù)分辨率增強，如光鄰近校正(OPC)處理。OPC處理是用于晶片圖案化工藝的圖案數(shù)據(jù)分辨率增強技術(shù)(RET)的示例。然而，可以使用其他的RET技術(shù)。OPC處理過的數(shù)據(jù)表示意圖如何將圖案印刷在掩模上。這里，多邊形的外部(或真)邊緣和/或真頂角作為元數(shù)據(jù)可用。即使圖案設(shè)計數(shù)據(jù)的各部分包含重疊以及因此的假邊緣和/或頂角，信息仍可以用作元數(shù)據(jù)，因為關(guān)于真外部邊緣和/或真頂角的信息仍然可以存在。
此外，在產(chǎn)品定案階段104，填料可以應(yīng)用到金屬層，以允許基底的鉻表面的化學(xué)機械拋光(CMP)。填料可占據(jù)多達幾何圖案的全部區(qū)域的50％，但是不被認為是對設(shè)計關(guān)鍵的。填料的位置還可編碼為元數(shù)據(jù)，并且提供給圖案生成器112。
在產(chǎn)品定案階段104，設(shè)計圖案數(shù)據(jù)可以是通用設(shè)計圖案數(shù)據(jù)，如圖形設(shè)計系統(tǒng)II(GDSII)或開放藝術(shù)品系統(tǒng)互換標準(OASIS)，其每個是公知的分級設(shè)計格式。
在MDP處理階段106，圖案設(shè)計數(shù)據(jù)為特定的圖案生成器(如圖案生成器112)格式化。格式化可包括例如重疊移除、重新多邊形化和分割。當分割設(shè)計圖案數(shù)據(jù)時，關(guān)于圖案的外部邊緣和/或真頂角的信息丟失。因此，根據(jù)示例實施例，在圖案設(shè)計數(shù)據(jù)在MDP處理階段106被分割之前，可提取關(guān)于圖案設(shè)計的外部邊緣(或真邊緣)和真頂角的信息。提取的信息可以被編碼為元數(shù)據(jù)，并且在MDP處理階段106生成的編碼的元數(shù)據(jù)可前向饋送到圖案生成器112。
在一個示例實施例中，在MDP處理階段106，可執(zhí)行非重疊設(shè)計圖案數(shù)據(jù)的重疊移除和重新多邊形化。重疊移除和重新多邊形化可組合相鄰和重疊的幾何圖案為非重疊的多邊形。圖2示出包括重疊多邊形的圖案設(shè)計數(shù)據(jù)的示例表示，而圖3圖示在已經(jīng)移除重疊后的重新多邊形化的圖案設(shè)計數(shù)據(jù)。
參照圖2，來自產(chǎn)品定案階段104的設(shè)計圖案數(shù)據(jù)可以是如矩形、梯形等的多邊形的組合的形式。例如，假設(shè)圖2中的設(shè)計圖案數(shù)據(jù)被示為在區(qū)域1+2中重疊的兩個矩形。參照圖3，在執(zhí)行重疊移除和重新多邊形化后，生成設(shè)計圖案數(shù)據(jù)的非重疊多邊形表示。如圖3所示，在重新多邊形化后，圖2中示出的所有頂點變?yōu)閳D3中的各個真頂角a到h。用于重疊移除和重新多邊形化的方法在本領(lǐng)域中公知，因此，為簡明期間將省略其詳細討論。
返回圖1，如上所述，在重新多邊形化后，關(guān)于重新多邊形化的設(shè)計圖案數(shù)據(jù)的信息(例如，與其相關(guān)聯(lián)的性質(zhì))可以在分割前提取。關(guān)于預(yù)先分割的設(shè)計圖案數(shù)據(jù)的信息可包括例如頂角性質(zhì)和/或邊緣性質(zhì)。頂角性質(zhì)可包括例如空間位置數(shù)據(jù)、開度角數(shù)據(jù)、朝向數(shù)據(jù)和/或隔離數(shù)據(jù)。
如可以通過比較圖2和3看到的，重疊移除和重新多邊形化修正了原始的設(shè)計圖案數(shù)據(jù)，并且暴露要在基底上印刷的設(shè)計圖案的真輪廓。例如假定多邊形在一致的方向上(順時針或逆時針)定義，則下面的觀察可以關(guān)于圖4所示的示例做出 對于頂點V(n)；多邊形中的V(n+1)和V(n-1)給出位于頂點V(n)的頂角的開度角和朝向。
使用上面的觀察，多邊形設(shè)計圖案的每個頂角的開度角和朝向可以從多邊形圖案提取。
頂角的另一相對重要的性質(zhì)是其關(guān)聯(lián)的隔離。隔離的頂角的分辨率增強可以與鄰近的頂角的分辨率增強不同。在一些示例情形，更接近的頂角可具有向下加權(quán)的分辨率增強，以便抑制干擾和/或減少偽信號的風險。
圖5圖示隔離的頂角相對于鄰近的頂角、以及相應(yīng)的對頂角分辨率增強機制的放大的影響。頂角鄰近信息可依賴于單個幾何圖案或多個幾何圖案中的頂角。即，例如，第一幾何圖案中的頂角可被認為鄰近相同幾何圖案或第二幾何圖案中的頂角。對于每個頂角，鄰近信息可被編碼為每個頂角的隔離的測量。如上所述，每個頂角的隔離的測量可由品質(zhì)因數(shù)(FoM)表示。FoM是當前頂角相對于相同幾何圖案中的其他頂角或來自相鄰幾何圖案上的各頂角的隔離程度的函數(shù)。
用于編碼上述頂角性質(zhì)的示例方法將參照圖6描述。如圖6中所示，頂角性質(zhì)可通過包括三個坐標對的等邊三角形表示，其每個坐標對構(gòu)成三角形的頂點。使用全部三個坐標對(或一個坐標對和兩個delta對)，或基本全部，可描述頂角的性質(zhì)、特性和/或?qū)傩浴?br> 例如，第一坐標可以指示頂角位置，第二和第三坐標可以指示設(shè)置的頂角角度和開度角，方向(圖6中示出的箭頭所指示)可指定順時針外頂角和逆時針內(nèi)頂角，并且兩個等邊的長度或大小可指示與特定頂角相關(guān)聯(lián)的FoM，并可指示(和/或用于生成相關(guān)聯(lián)的)RET長度。
作為替代或除了與圖案的頂角相關(guān)聯(lián)的性質(zhì)，標識邊緣是否表示原始設(shè)計圖案的真邊緣還可有利于寫入系統(tǒng)或圖案生成器，因為邊緣對印刷圖案的關(guān)鍵尺寸(CD)可具有相對高的影響。標識真邊緣還允許進一步邊緣增強，如邊緣位置調(diào)整、邊緣變換均衡等。在該示例中，在重新多邊形化后，圖案的輪廓可被提取并編碼為元數(shù)據(jù)。
現(xiàn)在將參照圖7描述外部邊緣提取和編碼示例。參照圖7，通過分配矩形形式的元數(shù)據(jù)到每個邊緣，外部邊緣可與分割的內(nèi)邊緣區(qū)分。
如所示，外部邊緣用期望的偏置標記，以應(yīng)用到數(shù)據(jù)處理中的下游。偏置是改變掩模特征的大小或形狀以便印刷特征大小更緊密地匹配額定或期望特征大小的過程。因為偏置在本領(lǐng)域眾所周知，所以為簡明起見將省略其詳細描述。
關(guān)聯(lián)的邊緣元數(shù)據(jù)的存在指示特定邊緣為真邊緣。在參照圖7的該示例中，第一邊緣在第一頂角V1和第二頂角V2之間擴展，并且第三坐標bi指示偏置和偏置的方向。
在MDP處理階段106，設(shè)計圖案數(shù)據(jù)還可以分割。在分割過程中，任意多邊形可以被劃分為矩形和/或具有水平梯形化的梯形(還統(tǒng)稱為圖元)。分割的方法在本領(lǐng)域眾所周知，因此，為簡明起見將省略其詳細描述。然而，為了清楚起見，圖8A圖示在分割前的任意多邊形，而圖8B-8D圖示圖8A的多邊形可以被分割的不同方式。例如，如圖8B中所示，任意多邊形可以通過從每個頂點生成水平切割線而分割。在圖8C中，多邊形可以通過從每個頂點生成垂直切割線而分割。在圖8D中，多邊形可以通過從每個頂點生成水平和垂直切割線而分割。
返回圖1，在MDP處理階段106，編碼的元數(shù)據(jù)還可以(或替代地)與分割的圖案設(shè)計數(shù)據(jù)綁定，并且傳輸?shù)綀D案生成器112。綁定可應(yīng)用到通用設(shè)計數(shù)據(jù)，如圖形設(shè)計系統(tǒng)II(GDSII)或開放藝術(shù)品系統(tǒng)互換標準(OASIS)。綁定還可應(yīng)用到機械特定的格式化數(shù)據(jù)(例如，對掩模寫入器系統(tǒng)特定的格式)，如MIC格式。
根據(jù)至少一個示例實施例，元數(shù)據(jù)可以被分配為性質(zhì)，而不用對現(xiàn)有數(shù)據(jù)格式的任何修改以將圖案設(shè)計數(shù)據(jù)與元數(shù)據(jù)綁定。例如，圖案設(shè)計數(shù)據(jù)可以被構(gòu)造為記錄，如BEGIN_LAYER和END_LAYER。為了將元數(shù)據(jù)與分割的圖案設(shè)計數(shù)據(jù)綁定，元數(shù)據(jù)可以通過在數(shù)據(jù)處理的不同階段(例如，設(shè)計，產(chǎn)品定案等)運行的計算機程序，被封裝入記錄并且添加到數(shù)據(jù)文件。用于這樣做的方法和/或計算機程序在本領(lǐng)域公知，因此為了簡明起見已經(jīng)省略其詳細描述。
在示例實施例中，元數(shù)據(jù)可以與分割的圖案設(shè)計數(shù)據(jù)綁定并且提供給圖案生成器。在其他示例實施例中，元數(shù)據(jù)可以經(jīng)由分開的數(shù)據(jù)流提供。例如，階段102-110的每個可以提供元數(shù)據(jù)給圖案生成器112。在其他示例實施例中，元數(shù)據(jù)可以提供給圖案生成系統(tǒng)中的每個階段(例如，設(shè)計階段112，元數(shù)據(jù)可以提供給產(chǎn)品定案階段114，其然后可以提供元數(shù)據(jù)給MDP階段106等)，并且結(jié)果產(chǎn)生的元數(shù)據(jù)可以與分割的圖案設(shè)計數(shù)據(jù)綁定。
無論與分割的圖案設(shè)計數(shù)據(jù)綁定或經(jīng)由與分割的圖案設(shè)計數(shù)據(jù)不同的數(shù)據(jù)流并行發(fā)送，圖案生成器112都可以使用分割的數(shù)據(jù)和元數(shù)據(jù)生成創(chuàng)建掩模的圖案。
返回圖1，在掩模制作者自動階段108，用于控制特定圖案生成器112的額外的控制信息可以通過掩模制作者或制造商例如通過修改工作平臺的腳本應(yīng)用。例如，關(guān)于非關(guān)鍵圖案與關(guān)鍵圖案的區(qū)分的信息(例如，識別標志位置、時間戳、條形碼等)。此外，實驗性設(shè)置可以應(yīng)用以匹配特定工藝。該額外信息還可以編碼為元數(shù)據(jù)并前向饋送到圖案生成器112。
在掩模制作者手動添加階段110，掩模數(shù)據(jù)準備可以是完全自動的過程，然而，掩模制造者可以手動與寫入器系統(tǒng)互動。通過簡單地編輯工作平臺，掩模制造者可以添加、補充或移除從一個或多個前述階段提供的元數(shù)據(jù)信息。
返回圖1，圖案可以使用來自一個或多個階段102-110的元數(shù)據(jù)和來自MDP階段106的分割的圖案設(shè)計數(shù)據(jù)在圖案生成器112寫入，以產(chǎn)生掩模。
在示例實施例中，如果元數(shù)據(jù)被提供給圖案生成器112，則圖案生成器112必須知道元數(shù)據(jù)的存在。如上所述，在掩模制造中，圖案設(shè)計數(shù)據(jù)通過工作平臺實現(xiàn)。工作平臺的示例是JB(MEBES工作平臺)、SEMI P10、MALY(掩模布局數(shù)據(jù)格式)等。還如上所述，工作平臺是如何印刷掩模、使用什么圖案文件、使用圖案文件中的什么層、以及應(yīng)用什么變換的描述。根據(jù)示例實施例，工作平臺可以用關(guān)于元數(shù)據(jù)的可用性的信息擴展，該信息涉及圖案設(shè)計數(shù)據(jù)中的特定層或涉及作為伴隨圖案設(shè)計數(shù)據(jù)的分開的數(shù)據(jù)文件而提供的元數(shù)據(jù)。該額外的信息可以在數(shù)據(jù)流中的各種階段(從產(chǎn)品定案到寫入階段)提供。
圖9圖示根據(jù)示例實施例的圖案生成系統(tǒng)的一部分。如所示，MDP模塊10可執(zhí)行上述關(guān)于MDP階段106的功能，并且寫入系統(tǒng)12可執(zhí)行上述關(guān)于圖案生成器112的功能。數(shù)據(jù)存儲可存儲來自掩模制造商的設(shè)計圖案數(shù)據(jù)和元數(shù)據(jù)。
示例實施例可并入現(xiàn)有圖案生成系統(tǒng)。
仍然參照圖9，在另一示例實施例中，上述來自客戶的設(shè)計圖案數(shù)據(jù)可存儲在數(shù)據(jù)存儲中。數(shù)據(jù)存儲可以是如本領(lǐng)域公知的任何適當?shù)挠嬎銠C可讀存儲介質(zhì)。掩模數(shù)據(jù)準備(MDP)模塊10可以從數(shù)據(jù)存儲取出設(shè)計數(shù)據(jù)，并且處理(或格式化)取出的設(shè)計數(shù)據(jù)以生成元數(shù)據(jù)和分割的數(shù)據(jù)。MDP模塊10可一起編碼元數(shù)據(jù)和分割的數(shù)據(jù)，并且輸出編碼的數(shù)據(jù)到寫入器系統(tǒng)(或工具)12。
寫入器系統(tǒng)12可基于來自MDP模塊10的編碼數(shù)據(jù)將圖案印刷在基底上以生成刻線。編碼數(shù)據(jù)可包括分割的設(shè)計圖案數(shù)據(jù)和描述原始設(shè)計圖案的各方面的額外的元數(shù)據(jù)兩者。
盡管在特定位置(例如，在掩模設(shè)計者、在掩模制造者)描繪了特定階段，但是這些位置可以被重新安排。例如，盡管在圖1中階段108和110被描繪為包括在寫入階段/寫入器系統(tǒng)內(nèi)，但是這些階段可以在寫入階段外和/或在與寫入系統(tǒng)分離的圖案生成系統(tǒng)的一部分執(zhí)行。對本領(lǐng)域普通技術(shù)人員顯而易見的其他配置也是可能的，但是為了簡明起見已經(jīng)省略。
圖1中所示的示例實施例中的每個階段可以使用如數(shù)字信號處理器(DSP)或?qū)Ｓ眉呻娐?ASIC)實現(xiàn)。作為替代，圖1的示例實施例中的每個階段可以至少部分地以在存儲器或外部存儲設(shè)備中存儲的計算機軟件程序的形式實現(xiàn)。這樣的程序可以例如通過處理器執(zhí)行。用于實現(xiàn)和/或執(zhí)行各階段的功能的處理器可以是在傳統(tǒng)的圖案生成系統(tǒng)包括的多個處理器之一。
作為替代，圖1中示出的多個階段(例如，設(shè)計階段102和產(chǎn)品定案階段104)可以在單個處理器(如數(shù)字信號處理器(DSP)、專用集成電路(ASIC))上實現(xiàn)，或至少部分地以存儲在存儲器或外部存儲設(shè)備中的計算機軟件程序的形式實現(xiàn)。
盡管已經(jīng)關(guān)于掩模寫入器(或圖案生成器)描述了示例實施例，但是示例實施例還可以應(yīng)用到直接的寫入器。直接的寫入器是掩模寫入器系統(tǒng)和晶片寫入器系統(tǒng)(例如，掃描儀/步進器)的組合。此外，盡管上面已經(jīng)關(guān)于“掩?！钡膭?chuàng)建描述了示例實施例，但是示例實施例可同樣地應(yīng)用到“晶片”的創(chuàng)建中。
在至少一個示例實施例中，寫入器系統(tǒng)可平衡元數(shù)據(jù)信息以改進圖案保真度和調(diào)節(jié)數(shù)據(jù)處理的計算能力。例如，使用圖像的頂角可通過添加或減去能量而銳化的頂角增強功能。這可以導(dǎo)致更精確匹配如由圖案設(shè)計數(shù)據(jù)表示的理想的意像的印刷圖像。缺少指示頂角的位置和/或性質(zhì)的任何元數(shù)據(jù)，頂角增強算法必須搜索圖像、定位頂角并將它們關(guān)于其隔離等級、其朝向和其開度角分類。利用元數(shù)據(jù)，根據(jù)示例實施例，呈現(xiàn)為提供位置和/或圖案的頂角的FoM，該算法可以被簡化(例如，限制)為應(yīng)用dose調(diào)制到提供的頂角位置，作為FoM和機器特定的控制參數(shù)的函數(shù)。
上述頂角增強示例可以外推到用于圖案生成的各種額外的圖案保真度改進功能。這樣的功能的一個示例是偏置，其中幾何圖案的周長被偏置了恒定值而保留其重心。
上述頂角增強示例可被外推以應(yīng)用于掩模OPC。在掩模OPC的示例中，幾何圖案的周長被偏置為現(xiàn)有幾何圖案的寬度和到最近的鄰近幾何圖案的距離的函數(shù)。
已經(jīng)討論了示例實施例，將顯而易見的是，可以以許多方式改變它。這樣的變化不被認為是對由權(quán)利要求定義的本發(fā)明的背離。
優(yōu)先權(quán)聲明
本非臨時美國專利申請在35 U.S.C§119(e)下要求于2005年9月26日向美國專利商標局提交的臨時美國專利申請序列號60/719,974的優(yōu)先權(quán)。該臨時專利申請的全部內(nèi)容在此通過引用并入。
權(quán)利要求
1.一種圖案生成方法，該方法包括
格式化與圖案相關(guān)聯(lián)的設(shè)計數(shù)據(jù)，以生成分割的圖案和非分割格式的、與該圖案相關(guān)聯(lián)的元數(shù)據(jù)；以及
基于分割的數(shù)據(jù)和元數(shù)據(jù)生成圖案。
2.如權(quán)利要求1所述的圖案生成方法，其中元數(shù)據(jù)包括與圖案的邊緣和頂角的至少一個相關(guān)聯(lián)的性質(zhì)。
3.如權(quán)利要求1所述的圖案生成方法，其中元數(shù)據(jù)包括與圖案的至少一個頂角相關(guān)聯(lián)的空間位置數(shù)據(jù)、開度角數(shù)據(jù)、朝向數(shù)據(jù)、和隔離數(shù)據(jù)的至少一個。
4.如權(quán)利要求1所述的圖案生成方法，其中圖案是設(shè)計數(shù)據(jù)的至少一部分的多邊形表示。
5.一種圖案生成方法，該方法包括
接收描述要生成的圖案的設(shè)計數(shù)據(jù)；
處理接收的設(shè)計數(shù)據(jù)以生成設(shè)計數(shù)據(jù)的非重疊多邊形表示；
從多邊形表示生成元數(shù)據(jù)；
分割多邊形表示；以及
彼此并行地傳輸分割的多邊形表示和元數(shù)據(jù)到用于生成圖案的圖案生成器。
6.如權(quán)利要求5所述的圖案生成方法，其中元數(shù)據(jù)以不同于與分割的多邊形相關(guān)聯(lián)的數(shù)據(jù)流的數(shù)據(jù)流傳輸。
7.如權(quán)利要求5所述的圖案生成方法，還包括，
在傳輸之前編碼生成的元數(shù)據(jù)。
8.如權(quán)利要求5所述的圖案生成方法，其中元數(shù)據(jù)包括與圖案的邊緣和頂角的至少一個相關(guān)聯(lián)的性質(zhì)。
9.如權(quán)利要求5所述的圖案生成方法，其中元數(shù)據(jù)包括與圖案的至少一個頂角相關(guān)聯(lián)的空間位置數(shù)據(jù)、開度角數(shù)據(jù)、朝向數(shù)據(jù)、和隔離數(shù)據(jù)的至少一個。
10.一種圖案生成方法，該方法包括
接收分割的設(shè)計數(shù)據(jù)和元數(shù)據(jù)；以及
基于分割的設(shè)計數(shù)據(jù)和元數(shù)據(jù)生成圖案；其中
元數(shù)據(jù)描述分割前的設(shè)計數(shù)據(jù)。
11.如權(quán)利要求10所述的圖案生成方法，其中元數(shù)據(jù)以不同于與分割的多邊形表示相關(guān)聯(lián)的數(shù)據(jù)流的數(shù)據(jù)流接收。
12.如權(quán)利要求10所述的圖案生成方法，其中元數(shù)據(jù)和分割的多邊形表示以綁定的數(shù)據(jù)流接收。
13.如權(quán)利要求10所述的圖案生成方法，其中元數(shù)據(jù)包括與圖案的邊緣和頂角的至少一個相關(guān)聯(lián)的性質(zhì)。
14.如權(quán)利要求10所述的圖案生成方法，其中元數(shù)據(jù)包括與圖案的至少一個頂角相關(guān)聯(lián)的空間位置數(shù)據(jù)、開度角數(shù)據(jù)、朝向數(shù)據(jù)、和隔離數(shù)據(jù)的至少一個。
15.一種用于基于設(shè)計數(shù)據(jù)生成圖案的方法，該方法包括
處理設(shè)計數(shù)據(jù)以生成設(shè)計數(shù)據(jù)的非重疊多邊形表示；
生成包括與非重疊多邊形表示相關(guān)聯(lián)的頂角和邊緣性質(zhì)的至少一個的元數(shù)據(jù)；
分割非重疊多邊形表示；以及
基于提取的元數(shù)據(jù)和分割的非重疊多邊形表示生成圖案。
16.一種圖案生成系統(tǒng)，包括
數(shù)據(jù)準備模塊，被配置為格式化設(shè)計數(shù)據(jù)以生成分割數(shù)據(jù)和元數(shù)據(jù)，該元數(shù)據(jù)描述分割前的設(shè)計數(shù)據(jù)；以及
圖案生成器，用于基于分割數(shù)據(jù)和元數(shù)據(jù)生成圖案。
17.如權(quán)利要求15所述的圖案生成系統(tǒng)，其中元數(shù)據(jù)包括與圖案的邊緣和頂角的至少一個相關(guān)聯(lián)的性質(zhì)。
18.如權(quán)利要求15所述的圖案生成系統(tǒng)，其中元數(shù)據(jù)包括與圖案的至少一個頂角相關(guān)聯(lián)的空間位置數(shù)據(jù)、開度角數(shù)據(jù)、朝向數(shù)據(jù)、和隔離數(shù)據(jù)的至少一個。
19.如權(quán)利要求15所述的圖案生成系統(tǒng)，其中圖案是設(shè)計數(shù)據(jù)的至少一部分的多邊形表示。
20.如權(quán)利要求15所述的圖案生成系統(tǒng)，其中數(shù)據(jù)準備模塊還被配置來
處理接收的設(shè)計數(shù)據(jù)以生成設(shè)計數(shù)據(jù)的非重疊多邊形表示；
從多邊形表示提取元數(shù)據(jù)；
分割多邊形表示；以及
將分割的多邊形表示和元數(shù)據(jù)傳輸給圖案生成器。
21.如權(quán)利要求18所述的圖案生成系統(tǒng)，其中數(shù)據(jù)準備模塊用傳輸前的分割數(shù)據(jù)編碼元數(shù)據(jù)。
22.一種圖案生成方法，該方法包括
接收描述圖案的設(shè)計數(shù)據(jù)和描述圖案的關(guān)鍵和非關(guān)鍵區(qū)域的至少一個的元數(shù)據(jù)；
基于接收的設(shè)計數(shù)據(jù)和接收的元數(shù)據(jù)的至少一個生成填料數(shù)據(jù)；
傳輸標識生成的填料數(shù)據(jù)的額外的元數(shù)據(jù)；其中
填料數(shù)據(jù)表示對圖案的設(shè)計不關(guān)鍵的區(qū)域。
23.一種平版印刷系統(tǒng)中的裝置，該裝置包括
用于接收描述圖案的設(shè)計數(shù)據(jù)和描述圖案的設(shè)計的關(guān)鍵和非關(guān)鍵區(qū)域的至少一個的元數(shù)據(jù)的部件；
用于基于接收的設(shè)計數(shù)據(jù)和接收的元數(shù)據(jù)的至少一個生成填料數(shù)據(jù)的部件；
用于傳輸標識生成的填料數(shù)據(jù)的額外的元數(shù)據(jù)的部件；其中
填料數(shù)據(jù)表示對圖案的設(shè)計不關(guān)鍵的區(qū)域。
24.一種平版印刷系統(tǒng)中的裝置，該裝置包括
用于接收描述要生成的圖案的設(shè)計數(shù)據(jù)的部件；
用于處理接收的設(shè)計數(shù)據(jù)的部件；
用于基于接收的設(shè)計數(shù)據(jù)的處理、生成設(shè)計數(shù)據(jù)的非重疊多邊形表示的部件；
用于從多邊形表示生成元數(shù)據(jù)的部件；
用于分割多邊形表示的部件；以及
用于傳輸分割的多邊形表示和元數(shù)據(jù)的部件。
25.一種平版印刷系統(tǒng)中的裝置，該裝置包括
用于接收分割的設(shè)計數(shù)據(jù)和元數(shù)據(jù)的部件；
用于基于接收的分割設(shè)計數(shù)據(jù)和接收的元數(shù)據(jù)生成圖案的部件。
全文摘要
在圖案生成方法中，設(shè)計的性質(zhì)被在掩模數(shù)據(jù)準備系統(tǒng)中提取，并且性質(zhì)被傳播到平版印刷寫入系統(tǒng)。圖案基于分割的設(shè)計數(shù)據(jù)和提取的性質(zhì)生成。通過保留意圖用于平版印刷寫入系統(tǒng)的設(shè)計，圖案復(fù)制的保真度可以改進。
文檔編號G03F7/20GK101305323SQ200680041540
公開日2008年11月12日 申請日期2006年9月26日 優(yōu)先權(quán)日2005年9月26日
發(fā)明者拉斯·伊凡森 申請人:麥克羅尼克激光系統(tǒng)公司