專利名稱：：感光性樹脂層壓體的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及感光性樹脂層壓體和其用途。詳細地說，適于具有導體圖案的印刷電路板、撓性基板、引線框架基板、COF(ChipOnFilm)用基板、半導體封裝用基板的制造、以及適于作為導體圖案具有液晶用透明電極、用于驅(qū)動液晶的TFT(薄膜晶體管，ThinFilmTransistor)用布線、PDP(離子體顯示器，PlasmaDisplayPanel)用電極的基壽反的制造的感光性樹脂層壓體、使用其的抗蝕圖案的形成方法、以及導體圖案的制造方法。
背景技術(shù)：
：在電子機器例如臺式電腦或移動電話中，作為部件和半導體的安裝基板使用例如印刷電路板。作為為了制造印刷電路板而使用的抗蝕劑，一直以來，使用在支撐薄膜上層壓感光性樹脂層、并根據(jù)需要進一步在該感光性樹脂層上層壓保護層而成的感光性樹脂層壓體、即干膜抗蝕劑。作為其中使用的感光性樹脂層，現(xiàn)在通常為使用弱堿性水溶液作為顯影液的堿顯影型的感光性樹脂層。簡單闡述使用干膜抗蝕劑制作印刷電路板的一般的方法，首先，具有保護層時剝離保護層。其后，使用層壓機，將與支撐薄膜呈一體的感光性樹脂層層壓到永久電路制作用基板例如覆銅層壓板、撓性基板上。接著，通過布線圖案掩模薄膜進行曝光。曝光方式根據(jù)用途而多樣化。還有不需要光掩模的無掩模(maskless)曝光、例如借助激光的直接描繪的方式。接著，支撐薄膜殘留時將其剝離，并通過顯影液將未曝光部分的感光性樹脂層溶解、或分散除去，形成固化到基板上的抗蝕圖案(以下簡稱抗蝕圖案)?？刮g圖案形成后，形成電路的流程大致分為2種方法。第一方法為如下的方法(蝕刻法)通過抗蝕圖案將未覆蓋的基板的銅面蝕刻除去后，用比顯影液強的堿性水溶液將抗蝕圖案部分除去。第二方法為如下的方法(鍍敷法)在基板的銅面上進行使用了銅、焊錫、鎳的鍍敷處理之后，除去抗蝕圖案部分，并進一步蝕刻顯現(xiàn)出來的基板的銅面。蝕刻使用氯化銅、氯化鐵、銅氨絡合物溶液。此外，近年來，相應于印刷電路板的導體圖案微細化的要求，需要抗蝕圖案的高分辨率和附著力(專利文獻l)。高分辨率通常通過提高感光性樹脂組合物的交聯(lián)密度而實現(xiàn)，提高交聯(lián)密度則曝光后的抗蝕圖案較硬、變脆、在從顯影工序到蝕刻、鍍敷工序的搬送工序中，有時產(chǎn)生抗蝕圖案的一部分缺失的問題。此外，特別是在感光性樹脂層的膜厚為lOpm以下的薄膜中，曝光時光在基材表面反射，有時甚至作為應該不曝光的感光性樹脂層也感光。該感光的部分反映到抗蝕圖案上，因此也成為短路的原因。此外，由于曝光時光在基材表面反射而抗蝕圖案的底面有時產(chǎn)生被稱為折邊的顯影殘渣。產(chǎn)生折邊時，雖然取決于其大小，但有時在蝕刻工序中在銅電路產(chǎn)生不穩(wěn)的不良情況。作為干膜抗蝕劑的支撐薄膜，通常使用聚酯薄膜。聚酯薄膜中含有微量成分、例如潤滑劑。由于該微量成分而在曝光時產(chǎn)生極微小的一部分被遮光的現(xiàn)象。作為該結(jié)果，在抗蝕圖案的側(cè)壁(側(cè)壁)或在抗蝕圖案的與基板相對的面(表面)產(chǎn)生不穩(wěn)或凹陷。特別是在形成導體圖案寬度為lO(im以下的微細布線時，無法忽視該影響。作為實現(xiàn)高分辨率的另一方法，公知在支撐薄膜與感光性樹脂層之間設置由聚乙烯醇形成的中間層的方法。通過在曝光工序前剝離支撐薄膜而從中間層上曝光，可獲得高分辨率和排除支撐薄膜所含的微量成分導致的對抗蝕圖案形狀的影響。但是，以聚乙烯醇單獨形成中間層時，有時在與支撐薄膜的剝離性、堿性顯影液中的溶解性方面存在問題。專利文獻2中公開了設置含有聚乙烯醇和羥乙基纖維素的中間層的技術(shù)。但是，在該技術(shù)中，在支撐薄膜與中間層之間，控制薄膜的剝離性是極其困難的，中間層組成必須時間和功夫。專利文獻3中公開了在中間層中使用含環(huán)氧丙烷基的聚乙烯醇系樹脂、在感光性樹脂層中含有多元醇的(曱基)丙烯酸部分酯的技術(shù)。專利文獻4中公開了中間層以選自將烯烴特定量共聚的聚乙烯醇、聚合度4000以上的聚氧乙烯、含羧基的丙烯酸酯樹脂和二元酸與烯烴的共聚物所組成的組中的至少一種為主要成分的技術(shù)，這些方法中，尚未解決關(guān)于高分辨率、高附著力、顯影后的抗蝕圖案的折邊的問題。具有微細的導體圖案的印刷電路板的制作、薄膜中需要高分辨率的COF用基板的制作、半導體封裝用基板的制作中，需要具有如下特性的感光性樹脂組合物和感光性樹脂層壓體表現(xiàn)高分辨率，且在顯影后的抗蝕圖案形狀中其側(cè)壁無不穩(wěn)、在其表面不產(chǎn)生凹陷、且顯影后的折邊極小。專利文獻l:日本特開2001-159817號公才艮專利文獻2:日本特開昭63-197942號公報專利文獻3:日本特開平4-371957號公報專利文獻4:日本特開平6-242611號公報
發(fā)明內(nèi)容發(fā)明要解決的問題本發(fā)明的目的在于，提供一種感光性樹脂層壓體，其具有如下特性表現(xiàn)高分辨率和高附著力、抗蝕圖案的側(cè)壁無不穩(wěn)、抗蝕圖案的表面無凹陷、且顯影后的折邊極小，其中，該感光性樹脂層壓體在支撐薄膜剝離性上沒有問題；以及提供使用該層壓體的抗蝕圖案的形成方法、和導體圖案的制造方法。解決問題的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明人為了解決上述問題而進行了研究，結(jié)果發(fā)現(xiàn)，通過使用特定的感光性樹脂層壓體，可提供如下的感光性樹脂層壓體在支撐薄膜的剝離性上沒有問題，顯影后表現(xiàn)高分辨率和高附著力、抗蝕圖案的側(cè)壁無不穩(wěn)、抗蝕圖案的表面無凹陷、顯影后的折邊極小，實現(xiàn)了本發(fā)明。即，本發(fā)明為以下的感光性樹脂層壓體、抗蝕圖案形成方法、和導體圖案的制造方法的發(fā)明。(1)上述感光性樹脂層壓體，其特征在于，該感光性樹脂層壓體按順序含有支撐薄膜、以及該支撐薄膜上的層厚為0.1pm以上10jim以下的中間層和感光性樹脂層而成，其中，該中間層含有聚乙烯醇和選自下述通式(I)所示的化合物所組成的組中的l種以上化合物。Ri-O-(CH2CH20)nl_R2(I)(Ri和R2為H或CH3，這些可以相同、也可以不同，n!為3~25的整數(shù)。)(2)(1)所述的感光性樹脂層壓體，前述感光性樹脂層上進一步層壓保護層。(3)(1)或(2)所述的感光性樹脂層壓體，前述感光性樹脂層為由感光性樹脂組合物形成的層，該感光性樹脂組合物含有(a)羧基含量以酸當量計為100600、重均分子量為5000~500000的粘合劑用樹脂20~90質(zhì)量％、(b)至少一種可光聚合的不飽和化合物3~70質(zhì)量％、(c)光聚合引發(fā)劑0.1~20質(zhì)量％。(4)(3)所述的感光性樹脂層壓體，前述(a)粘合劑用樹脂含有(曱基)丙烯酸千酯作為共聚成分。(5)(3)或(4)所述的感光性樹脂層壓體，前述(b)至少一種可光聚合的不飽和化合物為選自下述通式(II)~(VI)所示的化合物所組成的組中的至少一種可光聚合的不飽和化合物。H2C二C-0-(C2H40)n2-(CH2CHO)n3—(C2H40)n4-C—(i二CH2(H)(式中，R4和Rs為H或CH3，這些可以相同、也可以不同，n3、114和115各自獨立為3~20的整數(shù)。)[化學式2]O-(A—O)ne-(B-O)n8-S-C=GH20-(A—0〉n7—(B-0)njrC—C=CH2(式中，R6和R7為H或CH3，這些可以相同、也可以不同，A為C2H4、B》CH2CH(CH3)、n6+117為2~40的整數(shù)、n8+n9為0~40的整數(shù)、116和117各自獨立為1~39的整數(shù)、118和119各自獨立為040的整數(shù)。-(A-0)-和-(B-O)-的重復單元的排列可以為無規(guī)、也可以為嵌段。為嵌段時，-(A-0)-和-(B-0)-的順序是任一個在雙苯基側(cè)皆可。)[化學式3]<formula>formulaseeoriginaldocumentpage11</formula>(式中，Rs和R9為H或CH3，這些可以相同、也可以不同，D為C2HU、E為CH2CH(CH3)、mi+瓜2為2~40的整#t、m3+m4為040的整數(shù)、n^和m2各自獨立為1~39的整數(shù)、ni3和m4各自獨立為0~40的整數(shù)。-(D-0)-和-(E-0)-的重復單元的排列可以為無規(guī)、也可以為嵌段。為嵌段時，-(D-0)-和-(E-O)-的順序是任一個在環(huán)己基側(cè)皆可。)[化學式4]<formula>formulaseeoriginaldocumentpage12</formula>(式中，Rn為H或CH3、Rn為碳原子數(shù)414的烷基、A，為<:2114、B，為CH2CH(CH3)、m為1~12、1118為0~12、ni9為0~3的整數(shù)。-(A，-0)-和-(B，-0)-的重復單元的排列可以為無規(guī)、也可以為嵌段。為嵌段時，-(A，-0)-和-(B，-O)-的順序是任一個在苯基側(cè)皆可。)(6)抗蝕圖案的形成方法，其特征在于，其按如下順序包括層壓工序，其將(l)~(5)任一項所述的感光性樹脂層壓體層壓到金屬板、或金屬被覆絕緣板的表面；曝光工序，其將層支撐薄膜剝離并曝光；顯影工序，其通過顯影除去未曝光部。(7)導體圖案的制造方法，其特征在于，通過(6)所述的方法，對形成抗蝕圖案的基板蝕刻或鍍敷。發(fā)明效果根據(jù)本發(fā)明，可提供如下的感光性樹脂層壓體在支撐薄膜的剝離性上沒有問題，顯影后表現(xiàn)高分辨率和高附著力、抗蝕圖案的側(cè)壁無不穩(wěn)、抗蝕圖案的表面無凹陷、顯影后的折邊極?。灰约翱商峁┦褂迷搶訅后w的抗蝕圖案的形成方法、和導體圖案的制造方法。圖l為本發(fā)明(上述第(1)項)的感光性樹脂層壓體的簡圖。圖2為本發(fā)明(上述第(2)項)的感光性樹脂層壓體的簡圖。符號說明1支撐薄膜2中間層3感光性樹脂層4保護層具體實施例方式以下，對本發(fā)明進行具體地說明。本發(fā)明的感光性樹脂層壓體為支撐薄膜上依次層壓層厚為0.1(im以上10jim以下的中間層和感光性樹脂層而成感光性樹脂層壓體。'本發(fā)明的感光性樹脂層壓體，其特征在于，該中間層含有聚乙烯醇和選自下述通式(I)所示的化合物所組成的組中的lRj_O-(CH2CH20)nl_R2(I)(R4和R2為H或CH3，這些可以相同、也可以不同，m為3~25的整數(shù)。)作為聚乙烯醇的中間層中的配合重量比率，從顯影性和成本的觀點出發(fā)，優(yōu)選為50質(zhì)量％以上95質(zhì)量％以下。更優(yōu)選為70質(zhì)量％以上、進一步優(yōu)選為75質(zhì)量％以上、90質(zhì)量％以下。作為通式(I)的化合物的中間層中的配合重量比率，從中間層與支撐薄膜的剝離性的觀點出發(fā)，優(yōu)選為5質(zhì)量％以上50質(zhì)量％以下、更優(yōu)選為5質(zhì)量％以上30質(zhì)量％以下、進一步優(yōu)選為5質(zhì)量％以上15質(zhì)量％以下。聚乙烯醇通常將聚醋酸乙烯酯堿急化來制造。本發(fā)明中使用的聚乙烯醇的重均分子量優(yōu)選為1000100000。從氧氣阻擋性、顯影性的觀點出發(fā)，更優(yōu)選的重均分子量為500050000此外，從顯影性的觀點出發(fā)，皂化度優(yōu)選為50摩爾％以上，優(yōu)選為70摩爾％以上、更優(yōu)選為80摩爾％以上。本發(fā)明的感光性樹脂層壓體中使用的聚乙烯醇的重均分子量如下求出通過日本分光(林)制的凝膠滲透色譜(GPC)(泵Gulliver、PU-1580型、柱昭和電工(抹)制Shodex(注冊商標)(HFIP-805、HFIP-803)2根串聯(lián)、移動相溶劑六氟異丙醇、借助聚苯乙烯標準試樣的標準曲線使用)，作為重均分子量(換算為聚苯乙烯)求出。從臭味的觀點出發(fā)，上述通式(I)所示的化合物的iii優(yōu)選為3以上，從與聚乙烯醇的相容性和顯影性的觀點出發(fā)，ih優(yōu)選為25以下。ih更優(yōu)選為5以上20以下、進一步優(yōu)選為7以上15以下。作為上述通式(I)所示的化合物的具體例子，有平均分子量為200的聚乙二醇(日本油脂林式會社制的PEG200)、平均分子量為300的聚乙二醇(日本油脂抹式會社制的PEG300、平均分子量為400的聚乙二醇(日本油脂抹式會社制的PEG400)、平均分子量為600的聚乙二醇(日本油脂抹式會社制的PEG600)、平均分子量為1000的聚乙二醇(日本油脂抹式會社制的PEGIOOO)、平均分子量400的聚乙二醇單曱醚(日本油脂抹式會社制的工二才、_/夕只M-400)、平均分子量550的聚乙二醇單曱醚(日本油脂抹式會社制的工二才？夕XM-550)、平均分子量1000的聚乙二醇單曱醚(日本油脂抹式會社制的工二才少夕^M—1000)。此外，除上述以外，還可在中間層中加入公知的水溶性聚合物。作為水溶性聚合物的具體例子，有聚乙烯基醚-馬來酸酐水溶性鹽類、羧基烷基淀粉水溶性鹽類、聚丙烯酰胺、聚酰胺、聚丙烯酸水溶性鹽類、明膠、聚丙二醇、聚乙烯吡咯烷酮。作為聚乙烯吡咯烷酮的具體例子，有抹式會社日本觸媒制的重均分子量為40000的K-15、重均分子量為IOOOOO的K-30、重均分子量900000的K一85、重均分子量1000000的K一90。中間層的層厚從分辨率、附著力、顯影性的觀點出發(fā)優(yōu)選為10pm以下、更優(yōu)選為5pm以下、進一步優(yōu)選為3jim以下。此外，乂人氧氣阻擋性的觀點出發(fā)，為0.1iim以上、優(yōu)選為0.5(im以上、更4尤選為l[im以上。本發(fā)明中，在實現(xiàn)高分辨率方面優(yōu)選在曝光前剝離支撐薄膜。在曝光前剝離支撐薄膜時，支撐薄膜可以為使曝光的光透過的透明的薄膜，也可以為不透明的薄膜。作為本發(fā)明中的支撐薄膜，有厚度為10iim以上100(im以下的聚乙烯、聚丙烯、聚碳酸酯、聚對苯二曱酸乙二酯為代表的合成樹脂薄膜。通常優(yōu)選使用具有適度的撓性和強度的聚對苯二曱酸乙二酯。為了層壓時難以產(chǎn)生褶皺、且為了防止支撐薄膜的破損，優(yōu)選其膜厚為10pm以上。本發(fā)明的感光性樹脂層壓體通過中間層采用上述組成，支撐薄膜的剝離性優(yōu)異。即，為如下的感光性樹脂層壓體在曝光工序前剝離支撐薄膜時，支撐薄膜與中間層的層間粘合力比中間層與感光性樹脂層的層間粘合力還低。此外，作為本發(fā)明的感光性樹脂層壓體，可以在支撐薄膜上依次層壓中間層和感光性樹脂層，并進一步層壓保護層。作為保護層的特性，重要的是感光性樹脂層與保護層之間的層間粘合力比支撐薄膜與中間層之間的層間粘合力還低，由此可在層壓時容易剝離保護層。作為保護層，為厚10~100pm的聚乙烯、聚丙烯、聚碳酸酯、聚對苯二曱酸乙二酯為代表的合成樹脂薄膜。其中，優(yōu)選使用聚乙烯薄膜或聚丙烯薄膜。本發(fā)明的感光性樹脂層的膜厚的上限優(yōu)選為100(im以下、更有選為50(im以下、進一步優(yōu)選為30(im以下、最有選為10^m以下。膜厚的下限優(yōu)選為0.5(im以上、進而優(yōu)選為lpm以上。本發(fā)明的感光性樹脂層壓體中的感光性樹脂層優(yōu)選為如下的感光性樹脂組合物形成的層，該感光性樹脂組合物含有(a)羧基含量以酸當量計為100~600、重均分子量為5000~500000的粘合劑用樹脂20~90質(zhì)量％、(b)至少一種可光聚合的不飽和化合物3~70質(zhì)量％、(c)光聚合引發(fā)劑0.1~20質(zhì)量％。以下詳細說明本發(fā)明的感光性樹脂層壓體中使用的感光性樹脂組合物。(a)粘合劑用樹脂所含的羧基的量以酸當量計優(yōu)選為100^600、更優(yōu)選為250~450、進一步優(yōu)選為300~450。酸當量是指其中具有1當量的羧基的粘合劑用樹脂的質(zhì)量。為了在感光性樹脂層中賦予對堿性水溶液的顯影性和剝離性，粘合劑用樹脂中的羧基是必要。酸當量從顯影耐性、分辨率和附著力的觀點出發(fā)優(yōu)選為100以上，從顯影性和剝離性的觀點出發(fā)，優(yōu)選為600以下。(a)粘合劑用樹脂的重均分子量優(yōu)選為5000~500000。粘合劑用樹脂的重均分子量從分辨率的觀點出發(fā)優(yōu)選為500000以下，從熔邊的觀點出發(fā)，優(yōu)選為5000以上。為了進一步良好發(fā)揮本發(fā)明的效果，粘合劑用樹脂的重均分子量更優(yōu)選為5000~200000、進一步優(yōu)選為5000100000。分散度(也稱為分子量分布)以下述式的重均分子量與數(shù)均分子量之比表示。(分散度)=(重均分子量)/(數(shù)均分子量)。使用分散度為1.6程度的物質(zhì)，優(yōu)選為1~4。另外，酸當量的測定使用平沼產(chǎn)業(yè)(株)制的平沼自動滴定裝置(COM-555)并使用0.1mol/L的氬氧化鈉水溶液通過電位差滴定法進4亍。分子量如下求出通過日本分光(林)制的凝膠滲透色譜儀(GPC)(泵Gulliver、PU-1580型、柱昭和電工(抹)制Shodex(注冊商標)(KF-807、KF-806M、KF-謹M、KF-802.5)4本串聯(lián)、移動相溶劑四氬呋喃、借助聚苯乙烯標準試樣(昭和電工(抹)制ShodexSTANDARDSM-105)的標準曲線使用)，求出重均分子量和數(shù)均分子量(換算為聚苯乙烯)。(a)粘合劑用樹脂從下述2種類的單體之中通過使各一種或其以上的單體共聚而得到。第一單體為在分子中具有一個聚合性不飽和基團的羧酸或酸酐?？梢粤信e例如，(曱基)丙烯酸、富馬酸、桂皮酸、質(zhì)子酸、衣康酸、馬來酸酐、馬來酸半酯。其中，特別優(yōu)選(曱基)丙烯酸。這里，(甲基)丙烯酸基表示丙烯酸基和曱基丙烯酸基。以下同樣。第二單體為非酸性且分子中具有一個聚合性不飽和基團的化合物。該化合物為了保持感光性樹脂層的顯影性、蝕刻和鍍敷工序中的耐性、固化膜的撓性而選擇。作為該化合物，可使用(曱基)丙烯酸烷基酯，例如(曱基)丙烯酸曱酯、(曱基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(曱基)丙烯酸2-乙基己酯、(甲基)丙烯酸2-羥乙酯、(曱基)丙烯酸2-羥丙酯、(甲基)丙烯腈、(甲基)丙烯酸千酯、(曱基)丙烯酸甲氧基節(jié)酯、(曱基)丙烯酸氯千酯、(曱基)丙烯酸糠酯、(曱基)丙烯酸四氫呋喃酯、(甲基)丙烯酸苯氧基乙酯、(曱基)丙烯酸苯酯、(曱基)丙烯酸曱苯酯、(曱基)丙烯酸萘酯、具有苯基的乙烯基化合物(例如，苯乙烯)。從分辨率、顯影液凝聚性的觀點出發(fā)，特別優(yōu)選(甲基)丙烯酸千酯。(a)粘合劑用樹脂優(yōu)選如下合成在將上述第一單體與第二單體的混合物用溶劑、例如丙酮、曱乙酮、或異丙醇稀釋的溶液中，適量添加自由基聚合引發(fā)劑、例如過氧化苯甲酰、偶氮異丁腈并過熱攪拌，從而合成。也有邊將混合物的一部分滴加到反應液中、邊進行合成的情況。也有在反應結(jié)束后再加入溶劑調(diào)整至期望的濃度的情況。作為合成方法，除了溶液聚合以外，還可使用塊狀聚合、懸浮聚合、或乳液聚合。(a)粘合劑用樹脂相對于感光性樹脂組合物全部的比例優(yōu)選為20~90質(zhì)量％的范圍、更優(yōu)選為30~70質(zhì)量％。從抗蝕圖案具有作為抗蝕劑的特性、例如在蓋孔(Tenting)、蝕刻和各種鍍敷工序中充分的耐性的觀點出發(fā)，優(yōu)選20質(zhì)量％以上90質(zhì)量％以下。作為(b)至少一種可光聚合的不飽和化合物，高分辨率的觀點出發(fā)，優(yōu)選形態(tài)為將選自下述通式(II)~(VI)所示的化合物所組成的組中的至少一種可光聚合的不飽和化合物用于感光性樹脂組合物。4H3H2C=C，-(C2H40)n2-(CH2CHO)n3-f5-(C2H40)n4-C-C:CH2(II)(式中，R4和Rs為H或CH3，這些可以相同、也可以不同n3、114和115各自獨立為3~20的整數(shù)。)[化學式7]0—(A—0)n6-(B-0〉n8-S-G=CH20-(A—O)n7—(B—0)n9-C—G=CH2(式中，R6和R7為H或CH3，這些可以相同、也可以不同，A為C2H4、B為CH2CH(CH3)、n6+n為2~40的整凄史、n8+n9為040的整數(shù)、n6和ri7各自獨立為l~39的整數(shù)、118和119各自獨立為040的整數(shù)。-(A-0)-和-(B-O)-的重復單元的排列可以為無規(guī)、也可以為嵌段。為嵌段時，-(A-0)-和-(B-O)-的順序是任一個在雙苯基側(cè)皆可。)[化學式8]0&一(D—0)m，—(E-0)m3—U=CH2H3C—C—CH3(iv)0-(D-0)m2(E-O)m4—c—c=GH，0&(式中，Rs和R9為H或CH3，這些可以相同、也可以不同，D為C2H4、E為CH2CH(CH3)、+m2為2~40的整數(shù)、m3+m4為040的整數(shù)、irh和m2各自獨立為1~39的整數(shù)、m3和iru各自獨立為0~40的整數(shù)。-(D-0)-和-(E-0)-的重復單元的排列可以為無規(guī)、也可以為嵌段。為嵌段時，-(D-0)-和-(E-0)-的順序是任一個在環(huán)己基側(cè)皆可。)[化學式9]QH3RnNHCO-(OCHCH2)m5-OCO-C=CH2^10NHCO-(0(HCH2)m6-OCO-p=CH2(V)CH3R12(式中，1^。為碳原子數(shù)4~12的2價的有機基，Rn和R^為H或CH"這些可以相同、也可以不同。m5和m6各自獨立為115的整數(shù)。)^13<formula>formulaseeoriginaldocumentpage21</formula>(式中，Rn為H或CH3、1114為碳原子數(shù)4~14的烷基、A，為C2KU、B，為CH2CH(CH3)、ni7為1~12、1118為0~12、019為0~3的整數(shù)。-(A，-O)-和-(B，-0)-的重復單元的排列可以為無規(guī)、也可以為嵌段。為嵌段時，-(A，-0)-和-(B，-0)-的順序是任一個在苯基側(cè)皆可。)上述通式(II)所示的化合物從沸點、臭味的觀點出發(fā)，n3、n4和ri5優(yōu)選為3以上。從源自每單位質(zhì)量的光活性部位的濃度的感光度的觀點出發(fā)，n3、n4和ns優(yōu)選為20以下。作為本發(fā)明中使用的上述通式(II)所示的化合物的具體例子，作為優(yōu)選的化合物列舉例如對加成了平均12摩爾的環(huán)氧丙烷的聚丙二醇，再在其兩端進一步各加成平均3摩爾的環(huán)氧乙烷所得到的甘醇的二曱基丙烯酸酯。上述通式(III)所示的化合物中，n6+n^on8+iv必須為40以下，,人感光度的觀點出發(fā)，超過40時為不優(yōu)選。優(yōu)選為30以下。作為本發(fā)明中使用的上述通式(III)所示的化合物的具體例子，有在雙酚A的兩端各加成平均2摩爾的環(huán)氧丙烷和平均6摩爾的環(huán)氧乙烷得到的聚烷二醇的二曱基丙烯酸酯、在雙酚A的兩端各加成平均2摩爾的環(huán)氧丙烷和平均15摩爾的環(huán)氧乙烷得到的聚烷二醇的二甲基丙烯酸酯、在雙酚A的兩端各加成平均5摩爾的環(huán)氧乙烷得到的聚乙二醇的二曱基丙烯酸S旨(新中村化學工業(yè)(林)制NK工7亍^BPE-500)以及在雙酚A的兩端各加成平均2摩爾的環(huán)氧乙烷得到的聚乙二醇的二甲基丙烯酸酯(新中村化學工業(yè)(林)制NK工7亍》BPE-200)。上述通式(IV)所示的化合物中，+m2和m3+ni4必須為40以下，從感光度的觀點出發(fā)，超過40時為不優(yōu)選。優(yōu)選為30以下。作為上述通式(IV)所示的化合物的具體例子，可以列舉2,2-雙{(4-丙烯酰氧聚亞乙基氧基)環(huán)己基}丙烷或2，2-雙{(4-甲基丙烯酰氧聚亞乙基氧基)環(huán)己基}丙烷。優(yōu)選該化合物所具有的聚亞乙基氧基為選自單亞乙基氧基、二亞乙基氧基、三亞乙基氧基、四亞乙基氧基、五亞乙基氧基、六亞乙基氧基、七亞乙基氧基、八亞乙基氧基、九亞乙基氧基、十亞乙基氧基、十一亞乙基氧基、十二亞乙基氧基、十三亞乙基氧基、十四亞乙基氧基、和十五亞乙基氧基所組成的組中的任意的基團的化合物。此外，還可列舉2，2-雙{(4-丙烯酰氧聚氧基)環(huán)己基}丙烷或2，2-雙{(4-曱基丙烯酰氧聚亞烷基氧基)環(huán)己基}丙烷。作為該化合物所具有的聚亞烷基氧基，可以列舉亞乙基氧基與亞丙基氧基的混合物，優(yōu)選為八亞乙基氧基與二亞丙基氧基的嵌段結(jié)構(gòu)的加成物或無規(guī)結(jié)構(gòu)的加成物、和四亞乙基氧基與四亞丙基氧基的嵌段結(jié)構(gòu)的加成物或無規(guī)結(jié)構(gòu)的加成物、十五亞乙基氧基與二亞丙基氧基的嵌段結(jié)構(gòu)的加成物或無規(guī)結(jié)構(gòu)的加成物。這些當中，最優(yōu)選2,2-雙{(4-甲基丙烯酰氧五亞乙基氧基)環(huán)己基}丙烷。對于上述通式(V)所示的化合物，式中ms或m6超過15時，得不到充分的感光度。式中，&。為碳原子數(shù)4~12的2價的有機基、二異氰酸酯的殘基。作為上述通式(V)所示的化合物的具體例子，列舉二異氰酸酯化合物，例如六亞曱基二異氰酸酯、亞千基二異氰酸酯、或2,2，4_三曱基六亞甲基二異氰酸酯；與一分子中具有羥基和(曱基)丙烯酸基的化合物，列舉例如丙烯酸2-羥丙酯、低聚單曱基丙烯酸丙二酯的尿烷化合物。具體地說，有六亞曱基二異氰酸酯與低聚單曱基丙烯酸丙二酯(日本油脂(抹)制、yk7T-PP1000)的反應物。對于上述通式(VI)所示的化合物，m7或ms超過12時，得不到充分的感光度。即便m9超過3,也得不到充分的感光度。作為上述通式(VI)所示的化合物的具體例子，列舉例如，將加成了平均2摩爾的環(huán)氧丙烷的聚丙二醇和加成了平均7摩爾的環(huán)氧乙烷的聚乙二醇與壬基苯酚加成得到的化合物的丙烯酸酯，即4_正壬基苯氧基七乙二醇二丙二醇丙烯酸酯。還可列舉將加成了平均8摩爾的環(huán)氧乙烷的聚乙二醇與壬基苯酚加成得到的化合物的丙烯酸酯，即4-正壬基苯氧基八乙二醇丙烯酸酯(東亞合成(4朱)制、M-114)。作為(b)至少一種可光聚合的不飽和化合物的、不屬于選自上述通式(ni)、(IV)、(V)、(VI)和(VII)所示的化合物所組成的組的化合物，有以下所示的可光聚合的不飽和化合物。例如，二(曱基)丙烯酸1，6-己二酯、二(甲基)丙烯酸1，4-環(huán)己二酯、二(曱基)丙烯酸聚丙二酯、二(甲基)丙烯酸聚乙二酯、2-二(對羥基苯基)丙烷二(甲基)丙烯酸酯、三(甲基)丙烯酸甘油酯、三羥曱基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、聚氧丙基三羥甲基丙烷三(曱基)丙烯酸酯、聚氧乙基三羥曱基丙烷三丙烯酸酯、四(曱基)丙烯酸季戊四醇酯、五(曱基)丙烯酸二季戊四醇酯、三羥曱基丙烷三縮水甘油醚三(甲基)丙烯酸酯、雙酚A二縮水甘油醚二(曱基)丙烯酸酯、鄰苯二甲酸(3-羥丙基-(3，-(丙烯酰氧基)丙酯、苯氧基聚乙二醇(曱基)丙烯酸酯、聚丙二醇單(甲基)丙烯酸酯。選自上述通式(II)~(VI)所示的化合物所組成的組中的至少一種可光聚合的不飽和化合物相對于感光性樹脂組合物全部的比例為3~70質(zhì)量％的范圍。從分辨率的觀點出發(fā)為3質(zhì)量％以上，從抗蝕圖案的撓性的觀點出發(fā)，為70質(zhì)量％以下。更優(yōu)選為3~30質(zhì)量％以下。從感光度的觀點出發(fā)，(b)可光聚合的不飽和化合物全部相對于感光性樹脂組合物全部的比例優(yōu)選為3質(zhì)量％以上，從熔邊的觀點出發(fā)，優(yōu)選為70質(zhì)量％以下。更優(yōu)選為10~60質(zhì)量％、進一步優(yōu)選為15~55質(zhì)量％。作為(c)光聚合引發(fā)劑，只要為通過各種活性光線、例如紫外線活性化引發(fā)(b)可光聚合的不飽和化合物的聚合的化合物即可，從高分辨率的觀點出發(fā)，優(yōu)選的實施方式是使用下述通式(VII)所示的2，4,5-三芳基咪唑二聚物。、p,p，-雙(二乙基氨基)二苯甲酮、p，p，-雙(二丁基氨基)二苯曱酮。類例如2-乙基蒽醌、2-叔丁基蒽醌，苯偶姻醚類例如苯偶姻、苯偶姻曱基醚、苯偶姻乙基醚，吖啶化合物例如9-苯基吖啶，除此有苯偶酰二曱基縮酮、苯偶酰二乙基縮酮。此外，還有噻p屯酮類例如p塞，，屯酮、2,4-二乙基p塞p屯酮、2-氯p塞p屯酮與一又胺化合物例如二曱基氨基安息香酸烷基酯化合物的組合。此外，肟酯類、例如，1-苯基-1,2-丙烷二酮-2-0-苯曱酰肟、1-苯基_1,2-丙二酮-2-(0-乙氧基羰基)肟。此外，還可使用N-芳基-a-氨基酸化合物，這些當中，特別優(yōu)選N-苯基甘氨酸。本發(fā)明的感光性樹脂層壓體中感光性樹脂組合物優(yōu)選相對于全部感光性樹脂組合物含有O.l~20質(zhì)量％(C)光聚合引發(fā)劑。從得到充分的感光度的觀點出發(fā)，優(yōu)選為0.1質(zhì)量％以上，從防止曝光時光在基材表面反射的觀點出發(fā)，優(yōu)選為20質(zhì)量％以下。感光性樹脂組合物中可使用堿性染料。作為堿性染料的具體例子，列舉品紅、酞氰綠、金胺、結(jié)晶紫、曱基橙、耐爾藍2B、孔雀綠(保土>谷化學(林)制74七、>(注冊商標)MALACHITEGREEN)、堿性藍(basicblue)20、鉆石綠(保土少谷化學(林)制7*4七'》(注冊商標)DIAMONDGREENGH)、維多利亞藍(保土少谷化學(株)制74七、乂(注冊商標)VICTORIAPUREBLUE)。還可在感光性樹脂組合物中含有通過光照射顯色的顯色系染料。作為所使用的顯色系染料，有例如無色染料與卣化合物的組合。作為無色染料，列舉例如三(4-二甲基氨基-2-甲基苯基)曱烷[無色結(jié)晶紫]、三(4-二甲基氨基-2-曱基苯基)曱烷[無色孔雀綠]。作為卣化合物，列舉溴戊烷、溴異戊烷、溴異丁烷、溴乙烷、溴二苯基曱烷、二溴芐、二溴甲烷、三溴曱基苯砜、四溴化碳、磷酸三(2,3-二溴丙基)酯、三氯乙酰胺、碘戊烷、碟異丁烷、l，l，l-三氯-2,2-雙(對氯苯基)乙烷、六氯乙烷、囟化三溱化合物。作為該卣化三嗪化合物，列舉2，4,6-三(三氯曱基)-均三溱、2-(4-曱氧基苯基)-4,6-雙(三氯甲基)_均三嗪。這樣的顯色系染料當中，有用的是三溴曱基苯砜與無色染料的組合、卣化三。秦化合物與無色染料的組合。含有囟化合物時的感光性樹脂組合物中的卣化合物的含量優(yōu)選為0.01~5質(zhì)量％。含有堿性染料和無色染料時的含量在感光性樹脂組合物中優(yōu)選分別為0.01~10質(zhì)量％。從可辨識充分的著色性(顯色性)方面出發(fā)，優(yōu)選為0.01質(zhì)量％以上，從具有曝光部與未曝光部的對比度的方面與維持保存穩(wěn)定性的觀點出發(fā)，優(yōu)選為IO質(zhì)量％以下。進而，為了提高本發(fā)明的感光性樹脂組合物的熱穩(wěn)定性、保存穩(wěn)定性，優(yōu)選在感光性樹脂組合物含有自由基聚合抑制劑、苯并三唑類。作為這樣的自由基聚合抑制劑，例如，對曱氧基苯酚、氫醌、鄰苯三酚、萘基胺、叔丁基鄰苯二酚、氯化亞銅、2，6-二-叔丁基-對曱酚、2，2，-亞甲基雙(4-甲基-6-叔丁基苯酚)、2,2，-亞甲基雙(4-乙基-6-叔丁基苯酚)、亞硝基苯基羥基胺鋁鹽、二苯基亞硝基胺。此外，作為苯并三唑類，列舉例如1,2，3-苯并三唑、1-氯-1，2,3-苯并三唑、雙(N-2-乙基己基)氨基亞甲基-1，2，3-苯并三唑、雙(N-2-乙基己基)氨基亞甲基-1,2,3-曱苯三唑、雙(N-2-羥乙基)氨基亞甲基-1，2，3-苯并三唑。此外，作為羧基苯并三唑類，列舉例如4-羧基-1,2,3-苯并三唑、5-羧基-1,2,3-苯并三唑、N-(N,N-二-2-乙基己基)氨基亞甲基羧基苯并三唑、N-(N，N-二-2-羥乙基)氨基亞甲基羧基苯并三唑、N-(N，N-二-2-乙基己基)氨基乙烯羧基苯并三唑。自由基聚合抑制劑和苯并三唑類的各自的總計添加量優(yōu)選為0.01~3質(zhì)量％、更優(yōu)選為0.05~1質(zhì)量％。從對感光性樹脂組合物賦予保存穩(wěn)定性的觀點出發(fā)，該量優(yōu)選為0.01質(zhì)量％以上，此外，從維持光感光度的觀點出發(fā)，更優(yōu)選為3質(zhì)量％以下?？蓡为毷褂眠@些自由基聚合抑制劑、苯并三唑類化合物，也可并用2種類以上。進而可在感光性樹脂組合物中根據(jù)需要含有增塑劑。作為這樣的增塑劑，列舉對苯二曱酸酯類，例如對苯二曱酸二乙酯、鄰曱苯磺酸酰胺、對曱苯磺酸酰胺、檸檬酸三丁酯、檸檬酸三乙酯、乙?；鶛幟仕崛阴?、乙酰基檸檬酸三-正丙酯、乙?；鶛幟仕崛?正丁酯、聚丙二醇、聚乙二醇、聚乙二醇烷基醚、聚丙二醇烷基醚。作為含有增塑劑時的含量，在感光性樹脂組合物中優(yōu)選為550質(zhì)量％、更優(yōu)選為5~30質(zhì)量％。從抑制顯影時間的延遲、或?qū)袒べx予柔軟性的觀點出發(fā)，優(yōu)選為5質(zhì)量％以上，此外，從抑制固化不足、冷流(coldflow)的觀點出發(fā)，優(yōu)選為50質(zhì)量％以下。以下參照圖1和圖2，對依次層壓支撐薄膜l、中間層2、感光性樹脂層3、和根據(jù)需要的保護層4來制作感光性樹脂層壓體的方法進4亍闡述。首先，將聚乙烯醇、例如抹式會社夕，k制造的PVA-205樹脂、和選自上述通式(I)所示的化合物所組成的組中的l種以上化合物，以固體成分比率為530重量％的量緩慢加入加溫至609(TC的水中，攪拌l小時左右、均勻溶解，得到前述中間層的組合物的均勻的水溶液。含聚乙烯醇的中間層的組合物的均勻的水溶液的粘度優(yōu)選調(diào)整至10500mPas。接著，使用棒涂機或輥涂機將該水溶液涂布到支撐薄膜1上并干燥，得到帶有中間層2的支撐薄膜1。另外，制成感光性樹脂組合物的調(diào)制液。優(yōu)選預先添加溶劑使得感光性樹脂組合物的調(diào)制液的粘度在25。C下為500~4000mPasec。作為所^吏用的溶劑，列舉以甲乙酮(MEK)為代表的酮類，醇類、例如曱醇、乙醇、異丙醇。與中間層2的涂布同樣，使用棒涂機或輥涂機，在帶有該中間層2的支撐薄膜1的中間層上涂布由感光性樹脂組合物形成的感光性樹脂層3并干燥。接著，可通過將保護層4層壓到感光性樹脂層3上而制作感光性樹脂層壓體。接著，對使用本發(fā)明的感光性樹脂層壓體制造印刷電路板的方法的一例進4于-說明。印刷電路板經(jīng)過以下各工序制造。(1)層壓工序在感光性樹脂層壓體上有保護層時，邊剝下保護層邊使用熱輥層壓機將其密合到基板、例如覆銅層壓板或撓性基板之上的工序。(2)曝光工序從感光性樹脂層壓體剝離支撐薄膜，并將具有期望的布線圖案的掩模薄膜密合于中間層上、使用活性光線源實施曝光的工序。(3)顯影工序使用堿性顯影液將中間層和感光性樹脂層的未曝光部分溶解或分散除去、并在基板上形成固化抗蝕圖案的工序。(4)蝕刻工序或鍍敷工序從所形成的抗蝕圖案上噴涂蝕刻液，蝕刻未被抗蝕圖案覆蓋的銅面的工序；或?qū)ξ幢豢刮g圖案覆蓋的銅面進行以銅、焊錫、鎳和錫為代表的鍍敷處理的工序。由此可制造導體圖案。(5)剝離工序使用堿性剝離液將抗蝕圖案從基板除去的工序。作為上述(2)曝光工序中使用的活性光線源，列舉例如高壓汞燈、超高壓汞燈、紫外線螢光燈、炭弧燈、氙燈。此外，為了得到更微細的抗蝕圖案而更優(yōu)選使用平行光光源。在欲極力減少塵?；虍愇锏挠绊憰r，還有時將光掩模在高出支撐薄膜上數(shù)十lim以上數(shù)百pm以下的狀態(tài)下曝光(近接式曝光)。此外，作為上述(3)顯影工序中使用的堿性顯影液，列舉碳酸鈉或碳酸鉀的水溶液。這些的堿性水溶液根據(jù)感光'性樹月旨層的特性來選擇，通常使用0.5質(zhì)量％以上3質(zhì)量％以下的碳酸鈉水溶液。上述(4)蝕刻工序通過例如酸性蝕刻、堿性蝕刻來進行。這些選擇適于所使用的干膜抗蝕劑的方法。作為上述(5)剝離工序中使用的堿性剝離液，列舉堿性比通常在顯影中^f吏用的^5咸性水溶液還強的水溶液，例如1質(zhì)量％以上5質(zhì)量％以下的氫氧化鈉、或氫氧化鉀的水溶液。此外，選擇鍍敷工序時，也有時在將抗蝕圖案剝離后，對出現(xiàn)在抗蝕圖案之下的銅面進一步蝕刻。以下，通過實施例對本發(fā)明的實施方式的例子進行進一步詳細^兌明。以下，示出針對實施例和比較例的評價用試樣的制作方法以及對所得試樣的評價方法和評價結(jié)果?！矊嵤├齦~12〕和〔比4交例1~3〕l.評價用試樣的制作實施例和比較例中的感光性樹脂層壓體如下制作。<感光性樹脂層壓體的制作〉首先，將表l-l和表l-2所示的中間層組合物緩慢加入加溫至85。C的水中，使得固體成分比率為10質(zhì)量％,攪拌l小時左右，使其均勻溶解，得到中間層的組合物的均勻的水溶液。作為支撐薄膜使用厚16!im的聚對苯二甲酸乙二酯薄膜，使用棒涂機將該水溶液涂布到支撐薄膜上。接著，在10(TC的干燥機中干燥3分鐘，在支撐薄膜上形成均勻的中間層。中間層的厚度為2|im。使用棒涂機在層壓于支撐薄膜的中間層上均勻涂布表l-l和表l-2所示的感光性樹脂組合物，在95。C的干燥機中干燥3分鐘，形成均勻的感光性樹脂層。感光性樹脂層的厚度為3iiim。接著，在感光性樹脂層上的表面上貼合作為保護層的厚25pm的聚乙烯薄膜，得到感光性樹脂層壓體。<基板>分辨率評價、包括獨立圓柱附著力的附著力評價、抗蝕圖案的折邊評價、抗蝕圖案的側(cè)壁的不穩(wěn)評價、和抗蝕圖案的表面狀態(tài)評價，使用對絕緣樹脂層壓8pm銅箔的住友金屬(抹)制的工7——7k、乂夕只進4亍評^介。<層壓>邊剝下本發(fā)明的感光性樹脂層壓體的保護層、邊通過熱輥層壓機(旭化成工>^二Tij;/夕'(才朱)社制、AL-70)在輥溫度105。C下層壓?？諝鈮毫?.35MPa、層壓速度為1.Om/min。<曝光〉剝離支撐薄膜后，將感光性樹脂層的評價所必需的掩模薄膜置于中間層上，通過超高壓汞燈(才一夕制作所制、HMW-801)以80mJ/cm2的曝光量進行曝光。<顯影〉噴涂規(guī)定時間的30。C的0.5質(zhì)量。/。Na2CO3水溶液，溶解除去感光性樹脂層的未曝光部分。此時，將未曝光部分的感光性樹脂層完全溶解所需要的最少的時間作為最小顯影時間。在實際的顯影時間為最小顯影時間的2倍下顯影，得到固化抗蝕圖案。2J平1"介方法(1)支撐薄膜剝離性評價在曝光前剝離支撐薄膜時，對剝離性標記下述等級。〇(良)僅支撐薄膜剝下?！?可以)支撐薄膜上附著一部分中間層并同時剝下。x(不可以)支撐薄膜與中間層一起剝下(在中間層與感光性樹脂層之間被剝離)。(2)分辨率評價作為曝光時的掩模薄膜，使用曝光部與未曝光部的寬度為1:1的比率的線圖案掩模，對層壓后經(jīng)過15分鐘的基板如上述那樣曝光、顯影。將正常形成固化抗蝕圖案的最小掩模寬度作為分辨率的值，分辨率如下分為等級。◎(優(yōu))分辨率的值為5fim以下O(良)分辨率的值為超過5pm、10fim以下△(可以)分辨率的值為超過10pm、15(im以下x(不可以)分辨率的值為超過15jim(3)附著力評價作為曝光時的掩模薄膜，使用單獨為曝光部的線圖案掩模，對層壓后經(jīng)過15分鐘的基板如上述那樣曝光、顯影。將正常形成固化抗蝕圖案的最小掩模寬度作為附著力的值，附著力如下分為等級。◎(優(yōu))附著力的值為5)im以下〇(良)附著力的值為超過5(im、10pm以下△(可以)附著力的值為超過10nm、15[im以下x(不可以)附著力的值為超過15nm(4)獨立圓柱附著力評價作為曝光時的掩模薄膜，使用單獨為曝光部的圓柱圖案掩模，對層壓后經(jīng)過15分鐘的基板如上述那樣曝光、顯影。將正常形成固化抗蝕圖案的圓柱掩模直徑的最小寬度作為獨立圓柱附著力的值，如下分為等級?！?優(yōu))獨立圓柱附著力的值為5pm以下〇(良)獨立圓柱附著力的值為超過5)im、lOiim以下△(可以)獨立圓柱附著力的值為超過10(im、15i!m以下x(不可以)獨立圓柱附著力的值為超過15)im(5)抗蝕圖案的折邊評價作為曝光時的掩模薄膜，使用鉻玻璃光掩模，如上述那樣曝光、顯影。將所得固化圖案的10(im線的形狀如下述分為等級?！?優(yōu))固化抗蝕劑的底部的切斷良好、無帶有折邊。〇(良)固化抗蝕劑的底部的切斷良好、帶有折邊極小?！?可以)在固化抗蝕劑的底部看到了帶有3^m以下的折邊。x(不可以)在固化抗蝕劑的底部看到了帶有超過3i^m的折邊。(6)抗蝕圖案的側(cè)壁的不穩(wěn)評價使用鉻玻璃光掩模，對層壓到基板上的層壓體如上述那樣曝光、顯影。所得固化圖案的10pm線的抗蝕圖案的側(cè)壁形狀如下述分為等級。〇(良)在所形成的抗蝕劑側(cè)壁幾乎無不穩(wěn)?！?可以)在所形成的抗蝕劑側(cè)壁存在^f及少的不穩(wěn)。x(不可以)在所形成的抗蝕劑側(cè)壁的到處存在不穩(wěn)。(7)抗蝕圖案的表面狀態(tài)評價使用鉻玻璃光掩模，對層壓到基板上的層壓體如上述那樣曝光、顯影。所得固化圖案的10pm線的抗蝕表面狀態(tài)如下分為等級。〇(良)在所形成的抗蝕表面幾乎無凹陷?！?可以)在所形成的抗蝕表面存在;f及少的凹陷。X(不可以)在所形成的抗蝕表面到處存在凹陷。3.評價結(jié)果實施例和比較例的評價結(jié)果示于表l-l和表l-2。表l-1和表l-2中的P-1~P-2的質(zhì)量份為包含曱乙酮的量。表l-1和表l-2中，比較例l無中間層，比較例2的中間層的膜厚較厚，比較例3在中間層缺少前述通式(I)所示的化合物。表1一1<table>tableseeoriginaldocumentpage35</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage36</column></row><table><記號"i兌明〉Q-1:聚乙烯醇((林)夕，k制PVA-205)Q-2:聚乙二醇(重均分子量400)Q-3:聚氧乙烯單曱醚(日本油脂(株)制工二才y夕XM-550、重均分子量550)Q-4:聚乙烯吡咯烷酮(重均分子量40000)P-l:苯偶酰曱基丙烯酸酯80質(zhì)量％、曱基丙烯酸基酸20質(zhì)量％的2元共聚物的曱乙酮溶液(固體成分濃度50質(zhì)量％、重均分子量25000、酸當量430、分散度2.7)P-2:曱基丙烯酸基酸曱基50質(zhì)量％、曱基丙烯酸基酸25質(zhì)量％、苯乙烯25質(zhì)量％的三元共聚物的曱乙酮溶液(固體成分濃度35質(zhì)量％、重均分子量50000、酸當量344、分散度3.1)M-1:對加成了平均12摩爾的環(huán)氧丙烷的聚丙二醇，再在其兩端進一步各加成平均3摩爾的環(huán)氧乙烷所得到的聚烷二醇的二甲基丙烯酸酯M-2:在雙酚A的兩端進一步各加成平均2摩爾的環(huán)氧丙烷和平均6摩爾的環(huán)氧乙烷所得到的聚烷二醇的二曱基丙烯酸酯M-3:在雙酚A的兩端各加成平均2摩爾的環(huán)氧乙烷所得到的聚乙二醇的二甲基丙烯酸酯(新中村化學工業(yè)(林)制NK工7亍/PBPE-200)M-4:在雙酚A的兩端各加成平均5摩爾的環(huán)氧乙烷所得到的聚乙二醇的二曱基丙烯酸酯(新中村化學工業(yè)(抹)制NK工7x々BPE-500M-5:2，2-雙{4-(甲基丙烯酰氧五乙氧基)環(huán)己基}丙烷M-6:六亞甲基二異氰酸酯與低聚單甲基丙烯酸丙二酯(日本油脂(4朱)制、yk>^-PP1000)的反應物、即尿烷二甲基丙烯酸聚丙二酯M-7:三羥甲基丙烷三曱基丙烯酸酯M-8:三氧乙基三羥甲基丙烷三丙烯酸酯(新中村化學工業(yè)(林)制NK工7于/1/A-TMPT-3EO)M-9:二丙烯酸九乙二酯G-l:4，4，-雙(二乙基氨基)二苯曱酮G-2:2-(鄰氯苯基)-4,5-二苯基咪唑二聚物J-1:鉆石綠(保土少谷化學(抹)制74七7(注冊商標)DIAMONDGREENGH)J-2:無色結(jié)晶紫L-l:1-(2-二-正丁基氨基曱基)-5-羧基苯并三唑與1-(2-二-正丁基氨基甲基)-6-羧基苯并三唑的1:1混合物L-2:季戊四醇的3，5-二-4又丁基-4-羥基苯基丙酸四酯(f"7《^、^弋卩f4少；、力(株)制IRGANOX245)工業(yè)上的可利用性本發(fā)明的感光性樹脂層壓體在具有導體圖案的印刷電路板、撓性基板、引線框架(leadframe)基板、COF用基板、半導體封裝用基板的制造、和具有液晶用透明電極、液晶用TFT用布線、PDP(等離子體顯示面板)用電極作為導體圖案的基板的制造領(lǐng)域中適合作為蝕刻抗蝕劑或鍍敷抗蝕劑。權(quán)利要求1.一種感光性樹脂層壓體，其特征在于，該感光性樹脂層壓體按順序含有支撐薄膜、以及該支撐薄膜上的層厚為0.1μm以上10μm以下的中間層、和感光性樹脂層而成，其中，該中間層含有聚乙烯醇和選自下述通式(I)所示的化合物所組成的組中的1種以上化合物。R1-O-(CH2CH2O)n1-R2　　(I)(R1和R2為H或CH3，這些可以相同、也可以不同，n1為3～25的整數(shù)。)2.根據(jù)權(quán)利要求l所述的感光性樹脂層壓體，前述感光性樹脂層上進一步層疊保護層。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的感光性樹脂層壓體，前述感光性樹脂層為由感光性樹脂組合物形成的層，該感光性樹脂組合物含有(a)羧基含量以酸當量計為100~600、重均分子量為5000-500000的粘合劑用樹脂20~90質(zhì)量％、(b)至少一種可光聚合的不飽和化合物3~70質(zhì)量％、(c)光聚合引發(fā)劑0.1~20質(zhì)量％。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的感光性樹脂層壓體，前述(a)粘合劑用樹脂含有(甲基)丙烯酸芐酯作為共聚成分。5.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的感光性樹脂層壓體，前述(b)至少一種可光聚合的不飽和化合物為選自下述通式(II)~(VI)所示的化合物所組成的組中的至少一種可光聚合的不飽和化合物。[化學式l]<formula>formulaseeoriginaldocumentpage3</formula>(式中，R4和Rs為H或CH3，這些可以相同、也可以不同，n3、n4和ns各自獨立為3~20的整數(shù)。)[化學式2]<formula>formulaseeoriginaldocumentpage3</formula>(式中，R6和R7為H或CH3，這些可以相同、也可以不同，A為C2H4、B為CH2CH(CH3)、n6+117為2~40的整凄史、n8+n9為0~40的整數(shù)、n6和ri7各自獨立為1~39的整數(shù)、118和119各自獨立為040的整數(shù)。-(A-0)-和-(B-O)-的重復單元的排列可以為無規(guī)、也可以為嵌段。為嵌段時，-(A-O)-和-(B-0)-的順序是任一個在雙苯基側(cè)皆可。)[化學式3]<formula>formulaseeoriginaldocumentpage4</formula>(式中，Rs和R9為H或CH3，這些可以相同、也可以不同，D為C2H4、E為CH2CH(CH3)、+1112為2~40的整數(shù)、m3+m4為040的整數(shù)、m!和m2各自獨立為1~39的整數(shù)、1113和1114各自獨立為0~40的整數(shù)。-(D-O)-和-(E-0)-的重復單元的排列可以為無規(guī)、也可以為嵌段。為嵌段時，-(D-0)-和_(E-0)-的順序是任一個在環(huán)己基側(cè)皆可。)[化學式4]<formula>formulaseeoriginaldocumentpage4</formula>(式中，RK)為碳原子數(shù)412的2價的有機基，Ru和Ru為H或CH3，這些可以相同、也可以不同。m5和m6各自獨立為115的整數(shù)。)[化學式5]^13<formula>formulaseeoriginaldocumentpage5</formula>(式中，Ru為H或CH3、Rn為碳原子數(shù)4~14的烷基、A，為C2H4、B，為CH2CH(CH3)、1117為1~12、ms為012、1119為0~3的整數(shù)。-(A，-O)-和-(B，-O)-的重復單元的排列可以為無規(guī)、也可以為嵌段。為嵌段時，-(A，-O)-和-(B，-0)-的順序是任一個在苯基側(cè)皆可。)6.—種抗蝕圖案的形成方法，其特征在于，其依次包括層壓工序，其將權(quán)利要求l~5任一項所述的感光性樹脂層壓體層壓到金屬板或金屬被覆絕緣板的表面；曝光工序，其將支撐薄膜剝離并曝光；顯影工序，其通過顯影除去未曝光部。7.—種導體圖案的制造方法，其特征在于，根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法，對形成了抗蝕圖案的基板進行蝕刻或鍍敷。全文摘要本發(fā)明提供一種感光性樹脂層壓體，其具有如下特性表現(xiàn)高分辨率和高附著力、抗蝕圖案的側(cè)壁無不穩(wěn)、抗蝕圖案的表面無凹陷、且顯影后的折邊極小，其中，該感光性樹脂層壓體在支撐薄膜剝離性上沒有問題。使用一種感光性樹脂層壓體，其特征在于，該感光性樹脂層壓體在支撐薄膜上依次層壓層厚為0.1μm以上10μm以下的中間層和感光性樹脂層而成，其中，該中間層含有聚乙烯醇和特定的化合物。文檔編號G03F7/11GK101432661SQ20078001549公開日2009年5月13日申請日期2007年4月26日優(yōu)先權(quán)日2006年4月28日發(fā)明者五十嵐勉申請人:旭化成電子材料元件株式會社