本發(fā)明涉及衍射光柵技術(shù)領(lǐng)域，具體的說，是涉及一種光柵刻劃機及其工作臺的鎖緊裝置。

背景技術(shù)：

光柵刻劃機是制作刻劃光柵的母機，間歇式刻劃是光柵刻劃機重要的工作方式之一，其原理是刻劃系統(tǒng)刻劃時分度系統(tǒng)靜止，刻劃系統(tǒng)回程時分度電機分度。在刻劃系統(tǒng)刻劃時，工作臺機構(gòu)的振動狀態(tài)是影響刻劃光柵性能的重要因素之一。

現(xiàn)有技術(shù)中，光柵刻劃機所刻劃的光柵寬度窄，工作臺機構(gòu)簡單，質(zhì)量輕，內(nèi)在振動影響小，主要是考慮外在干擾源，并通過氣浮隔振平臺進行隔離。對于帶有宏-微定位的能夠承載大尺寸衍射光柵基地的工作臺機構(gòu)除了隔離外在振動的影響外，內(nèi)在的振動源引起的振動也不容忽視。目前的工作臺機構(gòu)包括固定設(shè)置的下導(dǎo)軌和具有上導(dǎo)軌的工作臺主體，上導(dǎo)軌與下導(dǎo)軌配合，實現(xiàn)工作臺主體的滑行。實驗結(jié)果表明，上導(dǎo)軌在下導(dǎo)軌上的振動源會影響光柵的波前質(zhì)量、鬼線強度等指標，不利于高精度、高性能的刻劃光柵研制。

因此，如何提供一種光柵刻劃機工作臺的鎖緊裝置，以減緩振動，是本領(lǐng)域技術(shù)人員目前需要解決的技術(shù)問題。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

有鑒于此，本發(fā)明提供了一種光柵刻劃機工作臺的鎖緊裝置，以減緩振動。本發(fā)明還提供了具有上述光柵刻劃機工作臺的鎖緊裝置的光柵刻劃機。

為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：

一種光柵劃刻機工作臺的鎖緊裝置，用于鎖緊配合的導(dǎo)軌副，所述導(dǎo)軌副包括下導(dǎo)軌和上導(dǎo)軌，鎖緊裝置包括：

支座；

安裝在所述支座上的電磁鐵，所述電磁鐵得電后具有磁性，并且所述電磁鐵與所述上導(dǎo)軌相對的部分和與所述下導(dǎo)軌相對的部分的磁性相反，用于吸合所述上導(dǎo)軌和所述下導(dǎo)軌。

優(yōu)選地，上述的鎖緊裝置中，所述支座固定在所述上導(dǎo)軌上。

優(yōu)選地，上述的鎖緊裝置中，所述電磁鐵一端固定有第一連接座，所述支座上固定有第二連接座，所述第二連接座上安裝有壓板，所述第一連接座與第二連接座通過彈簧片連接。

優(yōu)選地，上述的鎖緊裝置中，所述電磁鐵具有兩個磁性相反的凸起部，兩個所述凸起部分別與所述上導(dǎo)軌和所述下導(dǎo)軌平行相對。

優(yōu)選地，上述的鎖緊裝置中，還包括用于調(diào)節(jié)所述電磁鐵到所述導(dǎo)軌副之間距離的調(diào)節(jié)組件。

優(yōu)選地，上述的鎖緊裝置中，所述調(diào)節(jié)組件包括：

固定在所述支座上的調(diào)整座；

固定在所述電磁鐵上的墊塊；

用于調(diào)整所述調(diào)整座與所述墊塊之間距離的調(diào)整螺釘，所述調(diào)整螺釘一端與所述調(diào)整座螺紋連接，所述調(diào)整螺釘?shù)牧硪欢伺c所述墊塊相抵。

優(yōu)選地，上述的鎖緊裝置中，還包括用于克服所述電磁鐵斷電時剩磁磁力的切斷裝置，所述切斷裝置包括：

安裝在所述電磁鐵上的拉簧柱；

通過墊圈和螺母安裝在所述調(diào)整座上的螺柱；

一端與所述拉簧柱連接，另一端與所述螺柱連接的拉簧。

優(yōu)選地，上述的鎖緊裝置中，所述調(diào)節(jié)組件為三個，并且分布在所述電磁鐵的上端和兩側(cè)。

優(yōu)選地，上述的鎖緊裝置中，所述切斷裝置為兩個，并且與所述電磁鐵兩側(cè)的所述調(diào)節(jié)組件一一對應(yīng)。

一種光柵刻劃機，包括工作臺和工作臺的鎖緊裝置，其中，所述鎖緊裝置為上述任一項所述的鎖緊裝置。

經(jīng)由上述的技術(shù)方案可知，本發(fā)明公開了一種光柵刻劃機工作臺的鎖緊裝置，用于鎖緊配合的下導(dǎo)軌和上導(dǎo)軌，包括支座和電磁鐵，其中，電磁鐵 安裝在支座上，并且得電后具有磁性，該電磁鐵與上導(dǎo)軌相對的部分和與下導(dǎo)軌相對的部分的磁性相反，以吸合上導(dǎo)軌和下導(dǎo)軌。電磁鐵得電后與上導(dǎo)軌相對的部分吸合上導(dǎo)軌，與下導(dǎo)軌相對的部分吸合下導(dǎo)軌，并且電磁鐵的這兩部分的磁性相反，根據(jù)磁鐵異性相吸的原理，使上導(dǎo)軌和下導(dǎo)軌穩(wěn)定的配合在一起。通過增加對上導(dǎo)軌和下導(dǎo)軌的鎖緊裝置，可防止上導(dǎo)軌在下導(dǎo)軌上的振動，提高了刻劃光柵精度和性能。

附圖說明

為了更清楚地說明本發(fā)明實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)提供的附圖獲得其他的附圖。

圖1為本發(fā)明實施例提供的光柵刻劃機工作臺的鎖緊裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本發(fā)明實施例提供的光柵刻劃機工作臺的鎖緊裝置的后視圖；

圖3為本發(fā)明實施例提供的光柵刻劃機的局部結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實施方式

本發(fā)明的核心是提供一種光柵刻劃機工作臺的鎖緊裝置，以減緩振動。本發(fā)明的另一核心是提供具有上述光柵刻劃機工作臺的鎖緊裝置的光柵刻劃機。

下面將結(jié)合本發(fā)明實施例中的附圖，對本發(fā)明實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本發(fā)明一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒景l(fā)明中的實施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發(fā)明保護的范圍。

如圖1-圖3所示，本發(fā)明公開了一種光柵刻劃機工作臺的鎖緊裝置，用于鎖緊配合的下導(dǎo)軌和上導(dǎo)軌，包括支座1和電磁鐵3，其中，電磁鐵3安裝在支座1上，并且得電后具有磁性，該電磁鐵3與上導(dǎo)軌相對的部分和與下導(dǎo)軌相對的部分的磁性相反，以吸合上導(dǎo)軌和下導(dǎo)軌。電磁鐵3得電后與上 導(dǎo)軌相對的部分吸合上導(dǎo)軌，與下導(dǎo)軌相對的部分吸合下導(dǎo)軌，并且電磁鐵3的這兩部分的磁性相反，根據(jù)磁鐵異性相吸的原理，使上導(dǎo)軌和下導(dǎo)軌穩(wěn)定的配合在一起。通過增加對上導(dǎo)軌和下導(dǎo)軌的鎖緊裝置，可防止上導(dǎo)軌在下導(dǎo)軌上的振動，提高了刻劃光柵精度和性能。

具體的實施例中，將支座1固定在上導(dǎo)軌上，但是電磁鐵3的兩個部分分別對應(yīng)上導(dǎo)軌和下導(dǎo)軌，即支座1只是作為電磁鐵3的安裝基礎(chǔ)，在此核心下，支座1也可固定在下導(dǎo)軌上或者與上導(dǎo)軌和下導(dǎo)軌均不連接，本領(lǐng)域技術(shù)人員可根據(jù)不同的需要進行設(shè)定，對應(yīng)支座1的連接方式也不做具體限定。

對于支座1的結(jié)構(gòu)可為U型框，并在開口處通過封板2連接形成口字形支座1，支座1固定在上導(dǎo)軌上，電磁鐵3安裝在支座形成的空間內(nèi)。

優(yōu)選的實施例中，上述的電磁鐵3一端固定有第一連接座61，支座1上固定有第二連接座62，第二連接座62上安裝有壓板7，第一連接座61與第二連接座62通過彈簧片8連接。上述連接方式實現(xiàn)了對電磁鐵3的懸掛安裝，并且由于彈簧片8的連接使得電磁鐵3的位置是不固定的，可發(fā)生移動。此處只是提供了一種電磁鐵3的懸掛安裝的具體方式，在實際中也可采用電磁鐵3位置可調(diào)的連接方式。由于本申請的核心在于通過電磁鐵3的吸合力實現(xiàn)上導(dǎo)軌和下導(dǎo)軌的穩(wěn)定配合，因此本申請也不排除能夠?qū)崿F(xiàn)上述核心的電磁鐵3固定安裝在支座1上的方式。

進一步的實施例中，該電磁鐵3的結(jié)構(gòu)為在一個電磁鐵3上具有兩個凸起部的結(jié)構(gòu)，具體的，該電磁鐵3的形狀可類似于旋轉(zhuǎn)90°后的“凹”字型。這兩個凸起部分別與上導(dǎo)軌和下導(dǎo)軌平行相對，并且這兩個凸起部的磁性是相反的，以保證將上導(dǎo)軌和下導(dǎo)軌均依靠電磁鐵3吸附在一起，實現(xiàn)穩(wěn)定配合。

更進一步的實施例中，該鎖緊裝置還包括調(diào)節(jié)組件，該調(diào)節(jié)組件用于調(diào)節(jié)電磁鐵3到導(dǎo)軌副之間的距離，即實現(xiàn)調(diào)節(jié)電磁鐵3與上導(dǎo)軌和下導(dǎo)軌之間的距離，以改變磁力的大小。

上述的調(diào)節(jié)組件包括：調(diào)整座4、墊塊9和調(diào)整螺釘5。其中，調(diào)整座4固定在支座1上，而墊塊9固定在電磁鐵3上，調(diào)整螺釘5用于調(diào)節(jié)調(diào)整座4與墊塊9之間的距離，即電磁鐵3相對于支座1之間的距離，從而實現(xiàn)電磁鐵3與導(dǎo)軌副之間的距離的變化。具體的，調(diào)整螺釘5一端與調(diào)整座4螺紋連接，另一端與墊塊9相抵，由于電磁鐵3通過彈簧片8懸掛在支座1上，因此，通過調(diào)整螺釘5與墊塊9的相抵，可實現(xiàn)電磁鐵3位置的改變。采用調(diào)整螺釘5的方式結(jié)構(gòu)簡單，易于操作。

更進一步的實施例中，該鎖緊裝置還包括用于克服電磁鐵3斷電時剩磁磁力的切斷裝置，該切斷裝置包括：拉簧柱11、螺柱13和拉簧12。其中，拉簧柱11安裝在電磁鐵3上，螺柱13通過墊圈15和螺母14安裝在調(diào)整座4上，上述的拉簧12一端與拉簧柱11連接，另一端與螺柱13連接，上述的拉簧12的拉力大于電磁鐵3的剩磁磁力。拉簧12套設(shè)在螺柱13上，并通過螺母14鎖緊限位，通過旋轉(zhuǎn)螺母14在螺柱13上的位置可調(diào)節(jié)拉簧12的長度，達到調(diào)節(jié)拉簧12拉力的目的。當(dāng)電磁鐵3得電后，電磁鐵3的拉力大于拉簧12的拉力，因此，可避免電磁鐵3被拉簧12拉動，而當(dāng)電磁鐵3斷電后，拉簧12的拉力大于電磁鐵3的剩磁磁力。當(dāng)電磁鐵3斷電后，在拉簧12的作用下將電磁鐵3拉回至自由狀態(tài)，即自由懸掛在支座1上，墊塊9與調(diào)整螺釘5分離。

為了保證電磁鐵運動的穩(wěn)定性，將調(diào)節(jié)組件限定為三個，并且分布在電磁鐵3的上端和兩側(cè)，即通過三個調(diào)節(jié)組件和彈簧片8的限定而達到對電磁鐵3位置的限定，上端的調(diào)節(jié)組件的作用在于不僅在于限定電磁鐵3與導(dǎo)軌副之間的距離，防止電磁鐵3發(fā)生傾斜，還限定了電磁鐵3與壓板7之間的位置。而兩側(cè)的調(diào)節(jié)組件作用僅在于限定電磁鐵3與導(dǎo)軌副之間的距離，但是這三個調(diào)節(jié)組件的結(jié)構(gòu)相同。雖然此實施例提供了調(diào)節(jié)組件的個數(shù)是三個，但是，本申請并不僅限定了三個調(diào)節(jié)組件的方式。

上述的切斷裝置為兩個，并且這兩個切斷裝置與電磁鐵3兩側(cè)的調(diào)節(jié)組件一一對應(yīng)設(shè)置。優(yōu)選地，這兩個調(diào)節(jié)組件關(guān)于電磁鐵3的豎直方向的中心 對稱，并且均位于電磁鐵3的水平方向的中心線，以保證電磁鐵3運動的左右平衡。

此外，本申請還公開了一種光柵刻劃機，其包括工作臺10和工作臺10的鎖緊裝置16，其中，該鎖緊裝置16為如上述實施例中公開的鎖緊裝置16，因此，具有該鎖緊裝置16的光柵刻劃機也具有上述所有技術(shù)效果，在此不再一一贅述。

具體的，上述的鎖緊裝置16為四個，并且均勻分布在工作臺10的兩側(cè)。在實際中也可選擇其他個數(shù)的鎖緊裝置，且均在保護范圍內(nèi)。

本說明書中各個實施例采用遞進的方式描述，每個實施例重點說明的都是與其他實施例的不同之處，各個實施例之間相同相似部分互相參見即可。

對所公開的實施例的上述說明，使本領(lǐng)域?qū)I(yè)技術(shù)人員能夠?qū)崿F(xiàn)或使用本發(fā)明。對這些實施例的多種修改對本領(lǐng)域的專業(yè)技術(shù)人員來說將是顯而易見的，本文中所定義的一般原理可以在不脫離本發(fā)明的精神或范圍的情況下，在其它實施例中實現(xiàn)。因此，本發(fā)明將不會被限制于本文所示的這些實施例，而是要符合與本文所公開的原理和新穎特點相一致的最寬的范圍。